【課題】 検査対象部位や検査の目的が変わっても、同じ構成の照明系を用いて検査に適した照明を実施できるようにする。
【解決手段】 基板４の上方に、カメラ１を光軸を下方に向けて配備し、このカメラ１の撮像対象領域を、複数のフルカラーＬＥＤランプを有する照明装置により照明する。照明装置の各ＬＥＤランプは、前記カメラ１の光軸を取り囲み、かつ基板４上の撮像対象領域の中心点Ｏに対し、所定の角度幅をもつ範囲に配置される。これらのＬＥＤランプを、角度範囲の異なる複数の領域Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに分類し、領域単位で制御することによって、検査の内容に応じた照明パターンを実現する。 （もっと読む）

【課題】画像の形状から不良の金属リングを確実に判別できる側縁検査方法を提供する。
【解決手段】金属リング７の側縁を照明手段３により照明して撮像手段４により撮像する。撮像された画像２３を２値化する。２値化された画像２３ａに検査対象部２６を設定する。検査対象部２６における金属リング７の接線方向をＸ軸、Ｘ軸に直交する方向をＹ軸として、明部像２５のＹ軸方向の長さの平均値ｈと、明部像２５のＹ軸方向の全長Ｈに対するＸ軸方向の全長Ｗの比として縦横比ｒとを算出し、この縦横比ｒに対する平均値ｈが所定の基準値Ｓ以上であれば金属リング７が基準外であると判定する。平均値ｈは、検査対象部２６内の明部像２５の面積を求め、この面積を検査対象部２６のＸ軸方向の全長Ｗで除することにより算出する。基準値Ｓは、前記縦横比の増加に伴って、段階的に増加するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】無端状の金属リングを複数積層して形成される積層リングを光学的に検査する方法であって、各金属リングの側縁の状態に加えて、金属リングの積層状態も検査できるようにする。
【解決手段】撮像手段２により撮像された積層リングの側縁の画像を２値化し、２値化された画像に表れる各金属リングに対応する各リング像に基づいて各金属リングの側縁の状態を検査し、また、複数のリング像間の相対位置関係に基づいて金属リングの積層状態を検査する。積層検査工程では、２値化された画像から隣接する各２個のリング像を順に選択し、金属リングの周方向に合致する方向をＸ軸方向、金属リングの径方向に合致する方向をＹ軸方向として、選択された２個のリング像の重心間距離と２個のリング像の重心間距離のＸ軸方向における変化量との内の１つ以上を夫々の閾値と比較して金属リングの積層状態を判別する （もっと読む）

【課題】 ギアその他の検査対象物の傷検出の精度を向上させる。
【解決手段】 検査対象物を撮像する撮像手段と、撮像手段から取得した対象物の画像において、予め定めたしきい値を超える輝度の差を有する要判定領域を検出し、該領域を囲む検査領域を特定する手段と、予め定めた複数のパラメータに関して検査領域から特徴を抽出する手段と、特徴に基づいて表面状態の判定を行う手段と、を備える。一形態においては、同様のテクスチャの構成単位を連続的に複数有する対象物を相対的に回転させて該構成単位を順次撮像し、取得した画像において、今回の画像と前回の画像との差分をとり、差分画像において予め定めたしきい値を超える輝度を有する要判定領域を検出し、この領域を囲む検査領域を特定し、予め定めた複数のパラメータに関してこの検査領域から特徴を抽出し、この特徴に基づいて傷の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】検査対象物における傷その他の表面状態の判定を効率的に行う。
【解決手段】検査対象物の表面状態判定装置は、該対象物を回転させて、該対象物の画像を順次撮像する撮像手段を備える。該装置は、撮像手段から取得した対象物の画像において、他の領域に対し予め定めたしきい値を超える輝度差を有する要判定領域を検出し、該要判定領域を囲む検査領域を特定する。順次撮像した画像のうち、連続した複数の画像において、該検査領域が、対象物上の同じ位置に特定されたならば、該検査領域が所定の表面状態を含むと判定する。こうして、計算集約的な判定処理を行うことなく、効率的に表面状態の判定を行う。 （もっと読む）

【課題】印刷により透明板状体の表面の一部に塗膜が形成される印刷部と、塗膜が形成されていない非印刷部とを、検査の対象にして、印刷部のピンホールやかすれなどの印刷欠陥と、非印刷部分の印刷汚れを検出する方法および装置を提供する
【解決手段】透明板状体の表面の一部に印刷により着色膜あるいは導電線を形成した印刷物を散乱光を用いて印刷物を照明してＣＣＤカメラで撮像し、画像を暗部と明部とに２値化処理する。２値化処理した明部と暗部の面積を、予め与えられている基準面積と比較し、該基準面積よりもよりも小となるときの明部あるいは暗部を、印刷欠陥あるいは印刷汚れとして検出する。 （もっと読む）

【課題】小さな凹凸の集団からなる打痕について、基準外とするべき打痕を確実に検出できる金属リングの側縁検査方法を提供する。
【解決手段】金属リング７の側縁を照明手段３により照明して撮像手段４により撮像する。撮像された画像を２値化し、２値化画像内に検査対象部を設定する。該検査対象部の面積を算出する。該検査対象部の面積を所定の第１の基準値と比較し、該面積が第１の基準値より大きければ基準外と判定し、該面積が第１の基準値以下であり、かつ第１の基準値より小さい所定の第２の基準値より大きければ該検査対象部を連続判定対象とする。各連続判定対象について他の連続判定対象との間隔を所定の第３の基準値と比較して、該間隔が第３の基準値より小さければ、両連続判定対象は連続しているものと見なし、該連続判定対象が所定数以上の他の連続判定対象と連続しているものと見なされるときに基準外と判定する。 （もっと読む）

本発明は、ガラス壜の壜口部等の特定位置にある欠陥を撮像により検出することができるガラス壜の検査装置に関する。本発明のガラス壜の検査装置は、ガラス壜（２）を照明しガラス壜を回転させつつガラス壜からの光を撮影して画像処理によりガラス壜の欠陥を検出する検査装置において、ガラス壜に対して所定の位置に配置された照明（７）と、ガラス壜の周囲に配置されガラス壜の特定部位を撮影する複数のＣＣＤカメラ（１１〜２０）と、ガラス壜の基準位置に対する回転角度を検出する角度検出手段（１０）と、ＣＣＤカメラにより得られた画像を処理する画像処理装置（８）とを備え、前記画像処理装置は、前記角度検出手段により検出された回転角度情報を各ＣＣＤカメラにより撮影された画像に対応させて記録しておく。
（もっと読む）

【課題】 非常に小さな欠陥であっても、容易に検出することを可能とするフィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】 フィルム１の両側に直交ニコル状態に第１，第２の偏光板３，４を配置し、第１の偏光板３の外側からライン状光源２によりライン状の光を照射し、第２の偏光板４の外側に配置されたＣＣＤラインセンサ５により受光し、ＣＣＤラインセンサ５から得られた信号をＡ／Ｄコンバータ６でデジタル信号に変換し、得られたデジタル信号を画像処理装置７により２値化し、欠陥の有無を検出するに当り、ＣＣＤラインセンサ５における複数のＣＣＤカメラ５ａが並ぶ第１の方向及びライン状光源２から出射されるライン状の光のライン方向を平行とし、かつＣＣＤラインセンサ５における受光量を小さくするためにＣＣＤラインセンサ５の受光面をフィルム１の上面に対して傾斜させて配置する、フィルム検査方法。 （もっと読む）

【課題】 容器の充填口表面の色と内容物の色とが同じか又は区別できない程度に色の差異が小さい場合であっても、容器の充填口端縁への付着物の有無を確実に検査する。
【解決手段】 検査対象となる容器２の充填口６の端縁７をカメラによって該端縁７の輪郭線が直線に見える方向に撮像し、前記カメラによって撮像された検査画像３１において容器２の充填口６端縁７の輪郭線と垂直な高さ方向に延びる少なくとも一つの検査領域３２を設定し、該検査領域３２内で前記検査画像３１を走査して充填口６の表面色と背景色との識別により前記検査画像の特徴データ（例えば境界位置３３の高さ方向の座標）を生成し、付着物８が非存在である場合の容器２の画像に基づいて得られる基準データを前記特徴データ（例えば基準座標３４）と比較して、両データ間に有意差がある場合に付着物８を有すると判定する。 （もっと読む）

【課題】 粉体やフィルム等の検査対象物の等級を、検査対象物に存在する特徴点の複数の特徴量よって特徴付けられる特徴点の数または比率に基づいて判定する方法を提供する。
【解決手段】 検査対象物に存在する複数の特徴点に関してそれぞれ２種類の特徴量ｘ、ｙを計測し、ｘ、ｙを軸とする平面に複数の等級領域を設定し、該特徴点を該平面にプロットし、各等級領域内に含まれる特徴点の数または全特徴点に対する各等級領域内の特徴点の比率に基づいて検査対象物の等級を判定することを特徴とする等級判定方法である。 （もっと読む）

【課題】プリント基板上の有機皮膜を検査する場合において、作業者の負担を軽減するとともに、高精度な検査を実現する。
【解決手段】コンピュータによってデータ処理部１１０および検出部１１１といった機能構成を実現する。データ処理部１１０は、良品基板やサンプル基板から実験により求めた閾値情報や検査領域を特定する情報を入力として受け付け、特性データ１００および検査領域データ１０１を生成する。検出部１１１は、検査領域データ１０１を参照することにより、検査対象となる基板を撮像した画像データ１０２を構成する画素から検査領域に相当する画素を選択する。さらに、選択した画素の画素値から実測値を演算し、求めた実測値と特性データ１００の閾値とを比較して、比較結果に応じて有機皮膜を検出する。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出対象の形状による欠陥の検出処理量の増大を抑制する。
【解決手段】 複数の色の領域を有する検査対象物を撮影する。撮影によって得られた検査対象物のカラー画像を、色に応じて領域分割する。この領域分割結果から、特定の領域の形状を表す被検査画像を取得する。そして、被検査画像と比較画像とを対比することにより、特定の領域に関する欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上のパターンの検査を精度よく行うことができるテンプレートヒストグラムを生成する。
【解決手段】パターン検査装置のテンプレートヒストグラム取得部５２では、準備された複数の参照画像のそれぞれから検査領域の画素値の参照ヒストグラムが生成される。続いて、各画素値における複数の参照ヒストグラムの複数の頻度に対して所定の演算が行われ、各画素値に対応するとともに複数の頻度の最小値以上最大値以下の１つの頻度が求められることにより、検査領域に対する１つのテンプレートヒストグラムが取得される。半導体基板のパターンの検査において、テンプレートヒストグラムは被検査画像中の検査領域における画素値のヒストグラムと比較され、これにより、半導体基板上のパターンの検査が精度よく行われる。 （もっと読む）

【課題】光を透過させる異物について、面積の大きな異物を所定以上の高さの異物と誤認識するのを防止する。
【解決手段】光学系１０の投光系は、帯状の検査光をガラス基板１の表面へ２０°前後の入射角で照射する。光学系１０の第１の受光系は、検査光がガラス基板１の表面の異物により散乱された散乱光を、検査光に対してほぼ垂直の角度で受光する。光学系１０の第２の受光系は、検査光がガラス基板１の表面により反射された反射光を、検査光の入射角に対する反射角で受光する。光を透過させる異物について、異物の内部へ透過した検査光が、検査光の入射位置から大きくずれた位置で放射された場合、第１の受光系は、従来よりも水平に近い角度で受光を行うため、光が放射された位置に焦点が合わず、放射された光をほとんど受光しない。 （もっと読む）

大型基板フラットパネル検査システムに関して、方法および装置が記載される。該方法は、電子シャッタを有する撮像装置を含む機械を用いて対象物を検査する方法であって、第一の位置と第二の位置との間の該対象物の表面にわたって該撮像装置を走査することと、少なくとも１つの発光ダイオードをストロボ発光して、該第一の位置と該第二の位置との間の該対象物を照明することと、該電子シャッタの動作を、該ストロボ発光された少なくとも１つの発光ダイオードと同期化することとを包含し、ｉ）該少なくとも１つの発光ダイオードをストロボ発光することは、該機械上に位置する少なくとも１つのインデックスマークを用いて、該少なくとも１つの発光ダイオードを点灯することを含み、ｉｉ）走査することは、該第一の位置と該第二の位置との間で、該撮像装置を連続的に移動させることを含む。
（もっと読む）

【課題】検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる光学的測定方法及び光学的測定装置を提供する。
【解決手段】検査対象ＧＬに光を照射し、検査対象ＧＬから得られる光を受光して最終的に２次元的な光強度信号Ｓ１に変換し、光強度信号Ｓ１のなかから、表面状態ＩＢを測定するに際して必要な信号である注目信号ＳＢと表面状態を測定するに際して不要な信号であるノイズ信号ＳＮとを分離することにより注目信号ＳＢのみを抽出し、抽出された注目信号ＳＢと所定の閾値Ｔ１とを比較する。実質上、光強度信号Ｓ１とノイズ信号ＳＮに追随した閾値とを比較していることになり、検査対象の表面特性によるノイズから生じる測定精度の劣化を回避できる。 （もっと読む）

【課題】
マンコンベア用移動手摺の検査装置において、移動手摺の稼働による移動手摺の裏面の摩滅と、移動手摺の稼働以外の要因による移動手摺の裏面の傷の発生とを判別することが可能なマンコンベア用移動手摺の検査装置を提供する。
【解決手段】
移動手摺１の裏面形状を測定し、裏面形状測定値を出力する形状取得手段６と、前記の裏面形状測定値より前記移動手摺の損傷部位を抽出する損傷部位抽出手段８と、前記損傷部位抽出結果より損傷度を判定する損傷度判定手段９とを備え、前記損傷部位抽出手段８は、前記移動手摺の裏面形状測定値に対して２次微分を行い、２次微分値を出力する２次微分手段を含み、前記損傷度判定手段９は、前記２次微分値に対してあらかじめ定めた閾値を超える前記２次微分値が出力された場合、当該移動手摺部位が損傷していると判定する。 （もっと読む）

【課題】 画像の画素位置ズレや伸縮ノイズ、センシングノイズに埋もれるほどの欠陥を可及的に検出することを可能にする。
【解決手段】 検査基準パターン画像と被検査パターン画像との関係を検査中にオンラインで同定して、画像の画素ズレや伸縮ノイズ、センシングノイズを吸収（フィッティング）した数式モデルを構築し、そのモデルのシミュレーションによって得られる新たな検査基準パターン画像（モデル画像）と被検査パターン画像とを比較することによって欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の表面が梨地状の場合でも精度良く筋状欠陥を検出できる筋状欠陥の検出方法を提供する。
【解決手段】画像の注目画素から一定画素数の線分における輝度のばらつきを注目画素から全方向にわたって求めて、最も輝度のばらつきの小さい方向の候補線分n1を抽出する。候補線分n1の先端から一定画素数の線分における輝度のばらつきを先端画素から複数方向にわたって求めて、最も輝度のばらつきの小さい方向の候補線分n2を抽出する。候補線分n2が候補線分n1に対して所定の角度内の場合には、さらに候補線分n2の先端から一定画素数の線分における輝度のばらつきを先端画素から複数方向にわたって求めて、最も輝度のばらつきの小さい方向の候補線分n3…nmの抽出を繰り返し同様に行なう。連続して抽出された候補線分n1〜nmまでの候補線分数mが一定数以上であれば、その複数本の候補線分n1〜nmを筋状の欠陥と判定する。 （もっと読む）