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Fターム[2G051EC02]の内容

光学的手段による材料の調査の特殊な応用 (70,229) | 信号の統計処理 (2,009) | 頻度分布、ヒストグラム (434)

Fターム[2G051EC02]に分類される特許

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装飾家具パネル、装飾床積層、壁パネル等のような、多色パターンを有する表面の視覚色印象の最終品質は、依然として、印刷プロセスを使用して実質的に製造される実際の装飾、いわゆる一次装飾において測定することができない。なぜなら、中でも含浸及び比較、保護ニスコーティングのような後続のプロセスによって、いわゆる二次装飾を形成するのに色印象が変化するためである。したがって、そのような製品の場合、印刷プロセスを連続してモニタリングしても、最終製品の色印象又はさらなるプロセスステップの後の色印象に関する、印刷技術を使用して生成される、品質に関連するステートメントを、印刷機に連続して提供することができない。本発明によれば、一次装飾のサンプルのnチャネル画像から色印象特徴を求めると共に、該特徴を二次装飾のための特徴に変換する(直接的な予測)か、又は一次装飾のサンプルのnチャネル画像から二次装飾の画像を計算すると共に二次装飾の画像を使用して色印象特性を計算する(間接的な予測)ために、各装飾に関する習得フェーズ中に、一次装飾のサンプル及び二次装飾のサンプルを使用して予測規則が求められる。 (もっと読む)


【課題】連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行うこと。
【解決手段】外観画像検査システム1は、カメラ2と照明5,6とを備え、照明5,6の照明条件を切り替えつつカメラ2による連続撮影を行う外観画像検査システム1であって、カメラ2の露光終了タイミングに応じて、照明条件の切り替えを開始する。これにより、露光終了タイミングに応じて照明条件を切り替えることができるので、好適な照明条件の切り替えのために利用可能な期間をフル活用することができる。したがって、連続撮影の際の照明条件の切り替えを好適に行える。 (もっと読む)


【課題】現在の手動検査プロセスを置き換える自動化検査システムを提供すること。
【解決手段】自動化欠陥検査システム(10)が発明され、これはパターン化されたウェハ、全ウェハ、破損ウェハ、部分ウェハ、ワッフルパック、MCMなどを検査するために使用される。この検査システムは、特に、スクラッチ、ボイド、腐食およびブリッジング、などの金属化欠陥、ならびに拡散欠陥、被覆保護層欠陥、書きこみ欠陥、ガラス絶縁欠陥、切込みからのチップおよびクラック、半田隆起欠陥、ボンドパッド領域欠陥、などの欠陥のための第二の光学的ウェハ検査のために意図され、そして設計される。 (もっと読む)


【課題】安価である上に安定した欠陥検出を行うことができるものとする。
【解決手段】所定速度で移送される検査木材1の表面を照明する照明手段3と、照明手段3で照明された検査木材の表面を撮像する撮像手段2と、前記撮像手段で撮像された画像に基づいて検査木材表面の欠陥を検出する処理手段4とからなる。上記照明手段は検査木材の検査面に420nm〜530nmの波長域の光を照射し、上記処理手段は撮像された画像における輝度を基に欠陥部を抽出する。上記波長の光を用いることで、正常部(良品部)と欠陥部とで高いコントラストを得られるために、欠陥部の判定を良好に行うことができる。 (もっと読む)


【課題】1組の光源とラインセンサ型カメラによって欠陥の検出に加え、欠陥の種別の判別も行う。
【解決手段】一定方向に送られる被検査物5の表面に斜光照明を行うライン状光源2と、該光源からの光の被検査物表面での反射光を捕らえるラインセンサ型カメラ1と、上記カメラの出力画像の明暗から欠陥を検出する画像処理回路3とからなる。上記光源の光軸L2と被検査物表面との交点の位置を、上記カメラの光軸L1と被検査物表面との交点の位置からずらして、上記光源の光軸と被検査物表面とがなす角度αよりも、上記光源からカメラの光軸と被検査物表面との交点の位置に至る光が被検査物表面とがなす角度α’を小さくする。 (もっと読む)


本願の発明は、ウェブ検査において較正するシステム及び方法に係り、ウェブの第1のクロスウェブ部分の第1の特性を示す信号を受信し、上記第1の特性を表す第1の応答信号を測定較正単位で提供するように構成される、少なくとも1つのウェブセンサであって、上記第1のクロスウェブ部分が上記ウェブの幅未満であるウェブセンサと、上記ウェブの上記第1のクロスウェブ部分及び少なくとも第2のクロスウェブ部分の上記第1の特性を示す信号を受信し、それぞれ、上記第1のクロスウェブ部分及び上記第2のクロスウェブ部分の上記第1の特性を表す、第2及び第3の応答信号を提供するように構成される上記ウェブ検査システムと、第1の較正モデルを上記第2の応答信号に適用して、上記第2の応答信号を上記第1の応答信号の測定単位に変換するために、上記第1の応答信号及び上記第2の応答信号を分析するセンサ−検査システム較正モジュールと、を備える。 (もっと読む)


【課題】パターン検査装置において、膜厚の違いやパターン幅のばらつきなどから生じるパターンの明るさむらの影響を低減して、高感度な欠陥検査を実現する。
【解決手段】同一パターンとなるように形成されたパターンの画像を比較して不一致部を欠陥と判定する欠陥検査装置を複数の光学条件の対応する領域の画像の特徴量を特徴空間にプロットし、特徴空間上のはずれ値を欠陥として検出。これにより、ウェハ内の画像間の同一パターンで明るさの違いが生じている場合であっても各種の欠陥を高感度に検出できるようにした。また、これらの画像処理部のシステム構成を、画像の分割,タスクの生成を行うタスク管理部とからなり、タスクに応じて並列もしくは時系列に欠陥判定処理を行う構成とすることにより,高速な欠陥検査を行えるようにした。 (もっと読む)


【課題】 連続的に走行する金属シートまたはストリップの表面清浄度を測定するための自動化インライン方法を提供する。
【解決手段】 この方法は、輻射線もしくは粒子のビームまたはスパークが移動中のストリップの表面上に焦点を合わされ、伝達されるパワー及び焦点直径が、周辺酸化リングにより取り囲まれた中央領域の形で金属を局所的にエッチングするプラズマまたはホットスポットを作るのに十分なパワー密度を得るように選ばれ;前記酸化リング及び可能なら前記中央領域を包囲する領域の特徴が光学画像取得装置及び画像処理により分析され;それらから表面清浄度を示す客観値が導出されることを含むことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】レビュー装置における最適観察条件の条件出しの作業において、試行レビューの回数を低減することができ、その作業効率の向上を図る手段の提供。
【解決手段】レシピパラメータ管理装置3は、レビュー装置10で行われた欠陥レビューについて、その欠陥レビュー時に設定されたレシピパラメータの設定値と、そのレシピパラメータを設定するまでに行った試行レビューの回数と、その欠陥レビュー時に取得された欠陥画像と、をレシピパラメータ設定履歴としてレシピパラメータ設定履歴DB32に蓄積しておき、一方で、レシピパラメータ設定履歴DB32に蓄積されたレシピパラメータ設定履歴データに基づき生成したヒストグラムと、試行レビューの回数を端末装置40に表示する。従って、オペレータは、過去のレシピパラメータ設定に係るデータを容易に取得することができる。 (もっと読む)


【課題】着色物品の表面状態を目視評価によらず、効果的かつ効率的な着色物品の表面の外観評価方法を提供する。
【解決手段】(a)光源、分光器および検出器を測定器本体内部に具備してなる分光光度計を着色物品表面の測定位置にセットし、該着色物品または該分光光度計の一方を固定させ、他方を移動可能な状態とし、測定の準備をするステップ;(b)上記物品表面における微小面積の分光反射率を上記着色物品または上記分光光度計を移動させ、連続して測定するステップ;(c)測定した上記分光反射率に基づき、表色値および/または統計値を算出し、物品表面の測定位置に対応する評価用データを作成するステップ;および、(d)上記評価用データに基づき、グラフを表示し、上記着色物品表面を評価するステップを包含することを特徴とする着色物品表面の外観評価方法。 (もっと読む)


【課題】目視確認の部品の画像の表示を、不良の可能性の高さまたは判定の難易度に基づいて制御できるようにする。
【解決手段】管理サーバ2の検査結果データベース21には、良/不良の判定結果とともに検査の過程で生じた各種情報が蓄積され、画像データベース22には、自動外観検査に使用された画像が蓄積される。管理サーバ2は、基板外観検査装置1による自動検査で不良と判定されて目視確認の対象となった部品について、その部品と同じ検査ルールによる自動外観検査が実施された部品に係る蓄積情報を用いて不良の可能性の高さまたは判定の難易度を示すパラメータを算出する。そして、各部品のパラメータが所定の順序で並ぶように、それぞれの部品の画像の表示順序を決定し、決定した順序に基づいて確認用端末3に画像を表示する。 (もっと読む)


【課題】欠陥の有無による受光強度の差が微小であり環境光が変動する場合でも欠陥を検出し、局所的に受光強度が変動しても誤認することなく欠陥を精度よく検出する。
【解決手段】透明フィルム1を検査対象として照明装置2から検査対象の表面に光を照射するとともに、検査対象の表面の各部位からの反射光をラインセンサカメラ3により受光して濃淡画像を生成する。画像分割部13は濃淡画像を複数の分割画像に分割し、最頻値抽出部14は分割画像内において濃淡値の最頻値を求める。欠陥候補抽出部15は最頻値を含む良品範囲を設定し良品範囲を逸脱する濃淡値を持つ画素を欠陥候補点として抽出する。欠陥領域統合部16は連結領域を統合する。検査領域設定部18は欠陥領域について重心を基準とする検査領域を設定し、欠陥判定部20は検査領域内で基準値との差分が規定の閾値以上となる濃淡値を持つ画素を欠陥の画素として抽出する。 (もっと読む)


【課題】半導体製造プロセスの検査における回路パターンの製造結果の良否の判定が容易となるように、特徴量を表示することができる半導体検査装置、及び半導体検査方法を提供する。
【解決手段】表示装置は、回路パターンの画像の特徴量を座標軸とする座標平面上に、回路パターンの画像を表す点をプロットしたグラフを表示する。グラフの点の各々は、回路パターンの画像の各々に対してオペレータが設定した評価クラスを示すように描かれている。オペレータは、この座標平面上にて、グラフの点を、評価クラス別に区分けする閾線を付加することができる。閾線によって確定される領域が、特徴量の閾値を表す。 (もっと読む)


【課題】 検査対象領域のサイズがばらつきに対応して画像抽出を行い、十分な検査精度が得られる外観検査システムを提供する。
【解決手段】 画像処理を用いた外観検査システムであって、検査対象の撮像画像の回転補正を行った後、回転補正画像の加工部測定を行い、その測定結果に合わせてサイズを調整した良品画像とのパターンマッチングによって検査対象領域の抽出を行い、抽出された検査対象領域を2値化することにより、検査を行うようにした外観検査システム。 (もっと読む)


【課題】パターンマッチングによる複数種類の組付部品の合否判定に共通に使用でき、かつ信頼性の高い合否判定ができるマスター画像の選択を可能とする。
【解決手段】1つの種類の撮影画像(組付部品)のグループにおける各撮影画像の相関値を算出してその相関値の平均値X、分散値σx及び相関値の最下限値Xmin(=X−3*σx)を算出し、他の種類の部品グループ対しても同様に相関値の平均値Y、分散値σyを算出し、また最上限値Ymax(=Y−3*σy)を算出する。そして、各々最下限値Xminと最上限値Ymaxとの差(=Xmin−Ymax)を算出し、その差が最大となるときの画像をマスター画像に選択するようにした。最下限値Xminと最上限値Ymaxの算出に3σの考え方を導入して組付部品のばらつきが考慮された信頼性の高い合否判定を可能とした。 (もっと読む)


【課題】溶接欠陥の像をより確実に抽出することができる。
【解決手段】溶接箇所を含む被検査物の画像から溶接欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、画像の輝度毎のヒストグラムを平滑化してマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下である領域を画像から抽出して抽出画像を生成する抽出部とを備える欠陥抽出装置が提供される。また、上記抽出部は、マスク画像上の対応領域の輝度が基準輝度以下の領域を画像の当該領域の輝度とし、当該マスク画像上の対応領域の輝度が当該基準輝度を超える領域を当該基準輝度を超える予め定められた輝度として抽出画像を生成してもよい。 (もっと読む)


ウェブ上の欠陥を優先的にマーキングするためのシステムが説明される。システムは、複数の異なる等級水準の個別のシートに変換される材料のウェブと、ウェブ上の異常の異常データを格納するデータベースであって、異常が複数の異なる等級水準のうちの少なくとも1つにおける潜在的な欠陥である、データベースと、等級水準のうちの少なくとも1つに固有のマークを関連付けるマーカーと、データベースから異常データを検索し、かつ、マークをどこに付けるかに関してマーカーに信号を送信するためのコントローラと、を備え、マーカーは、異常が欠陥を発生させる可能性がある等級水準のうちの少なくとも1つに関連付けられたマークを適用する。システムは、単一のウェブロールからの多様な製品の変換業者が、ウェブのどの領域がそれぞれの等級水準を満たすかを決定することができる等の利点を提供することができる。
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【課題】キズ等の欠陥が強調された欠陥抽出画像を生成することができる。
【解決手段】被検査物の欠陥を抽出する欠陥抽出装置であって、被検査物を撮像した対象画像からマスク画像を生成するマスク画像生成部と、マスク画像により対象画像をマスクして、対象画像に撮像された被検査物の欠陥を抽出する抽出部とを備え、マスク画像生成部は、対象画像における、輝度がより高い部分を膨張させ、輝度がより低い部分を収縮させる高輝度強調部と、対象画像における、輝度がより高い部分を収縮させ、輝度がより低い部分を膨張させる低輝度強調部と、高輝度強調部および低輝度強調部が出力した画像の差分をとってマスク画像を生成する差分処理部と、を有する欠陥抽出装置が提供される。 (もっと読む)


【課題】人手によらずプレス鋼板における微小な凹凸を検出することのできる、表面検査システム及びこれを用いた表面検査方法を提供する。
【解決手段】プレスされた鋼板に向けて赤外光を含む光を照射するライト21と、鋼板に反射した赤外光を含む光を検知するカメラ22と、このカメラ22により撮像された画像から凹凸を検出する画像処理装置3と、この画像処理装置3により算出された情報を出力する出力装置としての表示装置4及び記録装置5とを有する表面検査システム1を構成する。 (もっと読む)


【課題】
欠陥の種類に応じて散乱光分布が変化する。このため、検査対象欠陥の散乱光が強い領域を暗視野検出光学系にて捕捉することにより検出感度の高い欠陥検査方法とその装置を提供する。
【解決手段】
検査対象欠陥の散乱光が強い領域が暗視野検出系の開口部と重なるように照明光の方位を選択可能とし、且つ欠陥検出上のノイズとなるパターン正反射光と暗視野検出系の開口部が重ならないことを両立する欠陥検出技術である。 (もっと読む)


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