【課題】欠陥が多くても検査対象面の全体についての欠陥の検査結果を出力可能な欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】欠陥検査装置１は、設定部２と検査部３を含む。設定部２は、予め定められた欠陥サイズごとに、目標となる検査カバレッジを示す目標検査カバレッジを設定する。検査部３は、欠陥サイズごとに、その欠陥サイズの欠陥についての検査カバレッジが、その欠陥サイズの目標検査カバレッジとなるように、基板４の検査対象面４ａ上の欠陥の中から検査対象となる欠陥を特定し、その特定された欠陥についての情報を、検査対象面４ａの全体についての検査結果として出力する。 （もっと読む）

【課題】海島型複合繊維を溶融紡糸する紡糸口金の内部に装着された数万本にも及ぶパイプに関して、少なくともパイプ曲りの発生を自動で検出することができる紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法を提供する。
【解決手段】直管型パイプが口金板に対して垂直に多数立設された口金板を装着する紡糸口金に対して各パイプのポリマー流路である貫通孔を通過した検査光をカメラで撮影して、撮影した画像データを二値化処理などの画像処理を行って各パイプの先端部のポリマー流路の中心座標を算出し、算出した中心座標が設計時の値よりもずれているかどうかを判断して、パイプ曲りの有無を検出する紡糸口金の異常検査装置及び異常検査方法とする。 （もっと読む）

【課題】検査対象の管の端面における欠陥を精度良く検出することが可能な管端面検査装置及び管端面検査方法を提供する。
【解決手段】管端面検査装置（１）は、検査対象の管（１０）の端面（１０ａ）を撮影し、管端面（１０ａ）が写った検査画像を生成する撮像部（３）と、照明光を管端面（１０ａ）へ向けて照射し、管端面の外周端（１０ｂ）及び内周端（１０ｃ）で正反射された照明光の少なくとも一部が撮像部（３）へ向かい、管端面のその他の部位で正反射された照明光が撮像部（３）からそれるように配置された照明光源（２）と、検査画像から管端面の外周端（１０ｂ）に相当する第１のエッジ及び管端面の内周端（１０ｃ）に相当する第２のエッジを検出し、その第１のエッジ及び第２のエッジに基づいて管（１０）の良否を判定する画像処理部（４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生数などの欠陥情報を分かり易く伝えることで、問題点の検知を迅速に行うことができる外観検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物１０の検査対象面を撮像するカメラ２と、カメラ２に接続され、カメラ２からの映像信号に基づいて検査対象物１０の良否判定を行う画像処理装置１とを備える。画像処理装置１は、画像データを画像処理することで欠陥画素を検出して検査条件Ｃ１に基づいて良否判定を行うとともに、欠陥画素の位置情報、画像データ、及び、良否判定結果を記憶する。画像処理装置１は、装置本体１ｂ及びモニタ１ａを備え、記憶した欠陥がその位置情報に基づいて欠陥の発生頻度を装置本体１ｂが算出し、指定した欠陥発生頻度の画素領域を、画素の濃淡または色相のうち少なくともいずれか一方を変化させて、検査対象物１０の画像と重ねて表示する。 （もっと読む）

【課題】対象物を効果的に識別する。
【解決手段】模様領域Ａ２の単位領域Ａ３について複数手法で特徴量を求め、抽出領域Ａ４の各単位領域Ａ５について同様に特徴量を求め、これらについて手法ごとに重み付けをして合成された一致度を求め、合成された一致度の値から抽出領域の各単位領域が識別対象か背景かを判定し、当該判定に従って識別対象と背景の境界線を求め、撮像画像における実際の境界線上の位置と判定により取得された境界線との誤差を求め、当該誤差が十分に小さくなるように重み付けのパターンを逐次変更しつ好適化を図り、好適化された重み付けパターンに従って撮像画像から識別対象を識別する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの内部欠陥及び表裏面の欠陥検査を簡素化することにある。
【解決手段】光源と撮像器と光学系を備える２組の光源・撮像ユニット４、５をウェーハ１を挟んで対向して配置し、光源・撮像ユニット４、５の少なくとも一方からウェーハ１に赤外光を照射してウェーハ１からの透過光を受光してウェーハ１の透過画像を撮像する第１撮像工程と、光源・撮像ユニット４、５からウェーハ１に赤外光又は可視光を照射してウェーハ１からの反射光を受光してウェーハ両面の反射画像をそれぞれ撮像する第２撮像工程と、透過画像と両面の反射画像に基づいてウェーハ１の欠陥を抽出する抽出工程を有し、ウェーハの内部欠陥と表裏面の欠陥を同一時に検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面の機械的な測定を行うことなく、面、特に肌理のある面を客観的に評価する。
【解決手段】被検査面（１０）上に放射線を照射する工程と、面（１０）上に照射され、面（１０）で反射した放射線の少なくとも一部による画像を受ける工程と、記録画像の位置分解評価および画像を特徴付ける少なくとも１つの値（Ｋ）の決定を行う工程と、を含む肌理のある面（１０）の光学的検査のための方法であって、面を特徴付けるパラメータ（Ｇ）は、特徴値（Ｋ）を使用しながらおよび面の（既知または決定された）少なくとも１つのさらなる特性（Ｅ）を使用しながらに決定されることを特徴とする方法。 （もっと読む）

【課題】被検査体が所定の形状および寸法よりもわずかでも小さい場合には寸法不足を確実に検出して欠陥であると判定できる形状検査装置および形状検査方法を提供すること。
【解決手段】被検査体であるスパイダの素形材２の突起部２２，２３の形状を測定してその断面形状を示す「形状データ」を作成し、作成した「形状データ」からスパイダの素形材２の突起部２２，２３の軸線方向の全長にわたって最も外側に位置する部分の抽出することにより得られる形状を「基準形状」としてこの「基準形状」をデータ化した「基準形状データ」を作成し、「基準形状データ」と「形状データ」との差分を算出し、算出した差分に基づいてスパイダの素形材２の突起部２２，２３に欠陥があるかを判定する。 （もっと読む）

【課題】ユーザのパーティクル発生要因判定システムの利用に関するインセンティブを与えることができる課金方法を提供する。
【解決手段】ユーザがパーティクルマップを入力するユーザインターフェイス装置１１と、サーバ装置１３とを備えるパーティクル発生要因判定システム１０において、サーバ装置１３が、パーティクルマップに基づいて、複数のパーティクル発生要因の各々についての確度を算出し、ユーザインターフェイス装置１１が、算出された各確度や、該確度に対応する各パーティクル発生要因に関する発生要因関連情報２７の標題等を表示し、サーバ装置１３が、発生要因関連情報２７をユーザインターフェイス装置１１に提供するとともに、少なくとも提供される発生要因関連情報２７に対応するパーティクル発生要因の確度に基づいて決定された課金額を発生要因関連情報２７の提供に対して課金する。 （もっと読む）

【課題】高多層プリント配線基板の配線パターンを検査する際に誤報告の少ないキャリブレーション位置を決定すると共に、その検査性を評価しベリファイ作業時間を予測することができる検査システムを提供する。
【解決手段】検査システムにおいて、検査対象のプリント配線基板を構成する各層のＣＡＤデータとその層構成情報を元に検査面より透視した輝度成分マップを生成する。そして検査面を構成する輝度成分の組を求め、全組を網羅する１つ以上の輝度評価領域を決定した後、検査装置にて領域を撮像、各輝度成分に対応する統計輝度値を求め輝度成分マップに代入し、検査閾値を決定するための最適キャリブレーション位置を求め検査を行う。 （もっと読む）

【課題】スクリーンにおける局所的歪みの存在を定量的に解析してスクリーンの良否判定を行うことが可能なスクリーン検査システムを提供する。
【解決手段】スクリーンに正対する方向から前記スクリーンを撮影する撮影装置と、前記スクリーンに対して前記正対する方向より斜めの方向から光を投射する投射装置と、前記撮影装置から得られる前記スクリーンの撮影画像に基づき、前記スクリーンの局所的歪みに起因する明るさムラの程度を判定する画像処理装置とによってスクリーン検査システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】微小なパーティクルであっても高い確実性をもって検出することができ、信頼性の高い計測を行うことができるパーティクルの検出方法を提供すること。
【解決手段】基板である半導体ウエハＷの上にダミー膜１１を成膜し、次いでウエハＷの表面に真上から光を照射しながら照射位置を移動させ、その反射光を受光し、この受光した光の強度と光の照射位置とを対応付けたデータを取得して、ウエハＷ上のパーティクルを検出する。ここでダミー膜１１の膜厚をダミー膜１１の表面で反射された反射光と、ダミー膜１１とウエハＷとの界面で反射された反射光とが同位相になるかまたは逆位相になるように設定することにより、可干渉状態あるいは不干渉状態を形成しておく。パーティクルがダミー膜１１の表面あるいは前記界面のいずれかに存在すると、上記の状態が崩れるため、受光する光の強度が変化し、これにより高感度でパーティクルを検出することができる。 （もっと読む）

【課題】 記録紙の繊維配向方向と光照射方向との関係次第では、同じ記録紙であっても、異なる判別結果になってしまう恐れがある
【解決手段】 画像を形成する記録紙の表面状態を検出する画像形成装置であって、第１光束と第２光束を出射する光源と、前記第１光束に照射された状態の記録紙表面の第１画像、及び、前記第２光束に照射された状態の記録紙表面の第２画像を撮像する撮像器と、を有し、前記第１光束の中心の光線を含む直線と前記第２光束の中心の光線を含む直線とを夫々記録紙表面に投影すると交差しており、前記第１画像及び、前記第２画像に基づいて記録紙表面の凹凸に関する情報を検出することを特徴とする画像形成装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ光入射角が異なっても適確な溶接品質の評価が可能なレーザ溶接品質評価方法及び装置を提供する。
【解決手段】入射角が可変のレーザ光Ａを被溶接物Ｗに照射して行ったレーザ溶接の品質評価において、レーザ光照射位置及びその周辺のレーザ反射光Ｂの分布情報を取得する反射光分布情報取得回路１０と、被溶接物Ｗに対する入射角情報を取得する入射角情報取得回路１１と、反射光分布情報取得回路１０からのレーザ反射光分布情報を入射角情報取得回路１１からの入射角情報に対応付けて解析した結果と予め取得しておいた入射角情報毎のレーザ反射光分布情報の解析結果群とに基づいて溶接品質を判定する溶接品質判定回路１３とを設ける。レーザ光入射角に応じてレーザ反射光分布情報を解析し、変化する溶融金属及びキーホールの形成状態（溶接品質）をレーザ入射角毎に評価可能とした。 （もっと読む）

【課題】ＴＤＩセンサ等のセンサのラインレート以上のスキャン速度で検査した場合、ＴＤＩセンサのラインレートとスキャン速度が非同期となり画像がボケてしまうため、ＴＤＩセンサのラインレート以上のスキャン速度では使えないという課題についての配慮がされていなかった。
【解決手段】ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度を非同期で制御し、且つＴＤＩセンサの電荷蓄積による画像加算ずれの課題を解決するため、被検査物に細線照明を照射し、ＴＤＩセンサの任意の画素ラインのみに被検査物の散乱光を受光させる。また、ＴＤＩセンサのラインレートとステージスキャン速度の速度比によって、検出画素サイズの縦横比を制御する。 （もっと読む）

【課題】フラットパネルの表面、ウエハーおよび基板のパターン付き表面といった表面の全領域光計測値を取得する。
【解決手段】均一な波面を有する光プローブビーム１１２を被計測表面１３０に照射し、表面１３０によって引き起こされるひずみを帯びた反射波面を有する反射プローブビーム１３２を、光シェアリング干渉計デバイス１０１に向け、光干渉模様を取得する。次に、反射波面と、反射波面のレプリカとの間の位相シフトを調整し、別の干渉模様を取得する。干渉模様を処理し、被計測表面１３０の照射場所の全域で、表面傾斜に関する情報を取得する。 （もっと読む）

【課題】記録材の繊維配向方向の影響を受けることなく、精度良く記録材を判別することが可能な記録材表面検出装置、及びそれを備える画像形成装置を提供する。
【解決手段】記録材Ｐの表面状態を検出する記録材表面検出装置４０であって、光を照射する照射用ＬＥＤ４２、光照射領域を表面画像として撮像するＣＭＯＳエリアセンサ４３Ａ、４３Ｂ、記録材Ｐの表面の凹凸状態に関する情報を検出する駆動・演算部４０Ｃ、を有し、ＣＭＯＳエリアセンサ４３Ａ、４３Ｂは、第１光照射領域と第２光照射領域とをそれぞれ撮像しており、照射用ＬＥＤ４２が記録材Ｐに光を照射している状態において、照射用ＬＥＤ４２と第１光照射領域とを結ぶ直線を記録材Ｐに投影した直線と、照射用ＬＥＤ４２と第２光照射領域とを結ぶ直線を記録材Ｐに投影した直線とが交差する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な処理で、濃淡値の良品範囲を随時更新して最適化することができる欠陥検査方法および欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置１は、欠陥判定手段１３で良品と判定された場合に、当該検査対象物４の撮像画像を設定用画像として設定用画像メモリ１４に追加する範囲更新手段１０を有している。演算処理器１５は、予め設定用画像メモリ１４に記憶されている設定用画像から良品範囲を設定するだけでなく、範囲更新手段１０により新たな設定用画像が設定用画像メモリ１４に保存される度に、各画素ごとの濃淡値の度数分布を求め、当該度数分布結果から良品範囲を再設定する。しかして、欠陥判定手段１３で良品と判定される度、範囲更新手段１０は、設定用画像を設定用画像メモリ１４に追加し、追加された設定用画像を含む複数枚の設定用画像に基づいて良品範囲を自動的に更新させることとなる。 （もっと読む）

【課題】金属帯の表面に発生する疵に対する、金属帯の両面からの情報に基づいた検査精度を、更に向上させることができる表面欠陥検査装置及び表面欠陥検査方法を提供すること。
【解決手段】搬送される金属帯Ｆ表面の疵を検査する表面欠陥検査装置１０を提供する。この表面欠陥検査装置１０は、金属帯Ｆの第１面及び第２面を撮像する第１撮像部１０１及び第２撮像部２０１と、撮像した第１画像又は第２画像に基づいて、第１面側又は第２面側の疵候補の位置情報を含む特徴情報を抽出する第１抽出部１０３及び第２抽出部と、第１及び第２面側の疵候補の位置情報に基づいて、第１及び第２面側いずれか一側の疵候補に対して最近接の他側の疵候補を特定して対応付ける最近接特定部１３１と、対応づけられた両側の疵候補の特徴情報に基づいて、一側の疵候補の種類及び程度の少なくとも一方を判定する一側判定部１３２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査を行っている過程で初期に設定された判定制度が維持されているかどうかを判定する判定処理の精度判定方法及び判定処理精度判定装置を提案する。
【解決手段】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、前記判定処理の精度を判定する方法であって、複数の良品について、当該検査装置を用いて得た複数の良品計量値が正規分布で表されると仮定して、良品平均値Ｍ_Ｇと、良品標準偏差σ_Ｇとを求め、複数の検査対象物について、当該検査装置を用いて得た複数の検査計量値が正規分布で表されると仮定して、検査平均値Ｍ_Ｓと、検査標準偏差σ_Ｓとを求め、前記良品平均値Ｍ_Ｇを中心として予め定められている範囲に設定されている良品平均範囲と、前記検査平均値Ｍ_Ｓとを比較する。 （もっと読む）