【課題】目視による外観検査を不要としながら、高精度に効率よく半導体ウエハの外観異常を検出する。
【解決手段】検査装置により、欠陥の検出感度を標準感度にして半導体ウエハの欠陥箇所を検出する。これにより、欠陥箇所Ｆ１，Ｆ２が検出される。続いて、検出感度を標準感度よりも検出感度が高い高感度に設定して、半導体ウエハの欠陥箇所を検出する。これにより、欠陥箇所Ｆ３〜Ｆ６（図中、点線で示す）が得られる。そして、標準感度にて検出された欠陥箇所と高感度にて検出された欠陥箇所とが重複している欠陥箇所において、高感度にて検出された欠陥箇所（欠陥箇所Ｆ６，Ｆ３）を欠陥箇所エリアと決定し、該欠陥箇所エリアに該当する半導体チップを不良チップとする処理を行う。 （もっと読む）

【課題】撮影されたコンクリート表面に、実際のひび割れと類似した汚れや染み、撮影ムラ、型枠跡などが存在する場合でも、高い精度で実際のひび割れのみを検出することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成するステップ、注目画素のウェーブレット係数が閾値よりも大きな場合は注目画素をひび割れと判定し、小さな場合は注目画素をひび割れでないと判定し、局所領域および注目画素を変化させながら注目画素のウェーブレット係数と閾値との比較をおこない、ひび割れと判定された画素に対してひび割れとノイズの判別処理をおこない、さらに輪郭線追跡処理をおこなうことで二値化画像を作成するステップ、残りのノイズを除去してひび割れ画像を作成するステップ、細線化処理を実行して細線化画像を作成し、ひび割れ幅を推定するステップ、からなるひび割れ検出方法である。 （もっと読む）

【課題】画像から取得される欠陥から目的欠陥を抽出するための検査方法を提供する。
【解決手段】複数の検査対象領域の画像データを取得し、前記複数の検査対象領域のうち同じ構造を形成する領域同士の同じ位置の輝度を比較して輝度の差から輝度差分布を求め、前記複数の検査対象領域のそれぞれにおいて、優先的に検査をしたい優先検出領域の閾値がその他の領域の閾値よりも低くなるよう閾値分布を設定し、前記輝度差分布のうち前記閾値分布以上になる位置を目的欠陥発生位置と判定する、処理を有する。 （もっと読む）

【課題】容器詰め液製品の検査において、未検査品の再検査や被検体の複数回検査を、人手を介することなくスムーズに行えるようにする。
【解決手段】被検体画像検査装置２０は、検査ロータ１０の外周部近傍に設けられ、検査ロータ１０の保持部に保持されて移動する被検体の外観画像を取得して、その外観画像に基づきその被検体における不良の有無を検査する。検査制御装置３０は、被検体画像検査装置２０の検査結果の基づき、その被検体が良品、不良品および未検査品のいずれであるかを判定し、未検査品と判定した被検体については、被検体分別用スターホイル６０を制御して、その被検体を被検体回帰用スターホイル７０へ受け渡させ、その被検体が検査ロータ１０に戻るように制御する。また、そのときには、検査制御装置３０は、投入被検体搬送装置４０に設けられた搬送抑制ゲート制御して、被検体の被検体供給用スターホイル５０への搬送を停止させる。 （もっと読む）

【課題】安価な構成により、外観検査の検査精度を向上する。
【解決手段】ウェーハ外観検査装置１は、同一の基板に複数の半導体装置が形成されているウェーハを搬送し、半導体装置を検査位置に移動させるプローバ装置１０と、検査位置の半導体装置に照明光を照射する光源部（マルチアングル照明５０）と、照明光を照射された半導体装置の画像を撮像するカメラ４０と、カメラ４０によって撮像された画像データに基づいて、半導体装置を検査する画像判定部（外観コントローラ２０）と、半導体装置のサイズに応じて半導体装置を複数の領域に分割し、分割した複数の領域に対応してカメラ４０に撮像させる検査位置に、ウェーハを順次移動させる制御部（ＰＣ３０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハングアップ及びオーバースペックを抑制しつつ、鋼板製造ラインにおいて鋼板の表面疵の検査を適切に行うことができる鋼板の表面疵検査装置を提供する。
【解決手段】１つの鋼板製造ライン１上に複数の表面疵検査装置を配置し、各配置位置において鋼板２の表面疵を検出する。このとき、上流側に配置した表面疵検査装置で検出した表面疵を含む領域をマスク領域とした連続マスク画像を作成し、下流側に配置した表面疵検査装置では、撮像装置で撮像した鋼板２の表面画像（鋼板連続画像）において上記マスク領域をマスクした後、弁別処理により表面疵を判別する。 （もっと読む）

【課題】高速かつ高精度な白目不良の検査を行なうことができる、半田付け検査方法及び半田付け検査装置を提供する。
【解決手段】ランドは半田で覆われているが、チップ部品の電極と半田にフィレットが形成されておらず、接合が取れていない状態の白目不良を検出する半田付け検査方法であって、基板の表面に垂直な方向から基板の半田部を撮像し、撮像された画像に基づいて白目不良候補を抽出し、抽出された白目不良候補の３次元形状測定を行い、３次元形状測定された形状から抽出された特徴量に基づいて白目不良を検出する検出工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】広範囲領域でのスポット溶接の有無、およびスポット溶接位置の検査を可能とするスポット溶接検査方法および装置を提供する。
【解決手段】スポット溶接を施した溶接母材に対して斜光を照射する第１の投光機と、上方から溶接母材の画像を取得する撮像機と、第１の投光機および撮像機を搭載し、溶接母材に対する位置調整可能な走査装置と、撮像機からの画像情報を処理する処理装置から構成され、処理装置は、撮像機から得られた３階層レベルの輝度の第１の画像から、中間輝度レベルと中間輝度レベル以外の輝度の２階層レベルの輝度で構成された第２の画像を得、中間輝度レベル以外の輝度の部分をスポット溶接のエッジ部分とする第１の手段、第１の手段によるエッジ部分からスポット溶接の中心位置を決定する第２の手段を備える。 （もっと読む）

【課題】撮影されたコンクリート表面に、実際のひび割れと類似した汚れや染み、撮影ムラ、型枠跡などが存在する場合でも、高い精度で実際のひび割れのみを検出することのできるひび割れ検出方法を提供すること。
【解決手段】ウェーブレット画像を作成するステップ、輪郭線追跡処理をおこなうことでノイズの一部が除去されてなる第１のひび割れ抽出画像を作成するステップ、第１のひび割れ抽出画像におけるひび割れに対してラベリングをおこない、ラベリングされたひび割れの特徴量を設定し、この特徴量と閾値を比較してノイズのさらに一部が除去されてなる第２のひび割れ抽出画像を作成するステップ、第２のひび割れ抽出画像における残りのノイズを除去して細線化画像を作成し、さらにひび割れ幅を設定するステップ、第１の関係式に細線化画像に対応するウェーブレット係数を代入してひび割れ幅を推定するステップ、からなる検出方法である。 （もっと読む）

【課題】簡便に、かつ確実にウイスカの検査を行う。
【解決手段】コントローラ１１は、ステージ１３に載置された検査対象物２に対して、赤外線照明部１４により赤外線照明を照射させて、その赤外線照明の照射が終了した直後に、加熱された検査対象物２を赤外線画像センサ１６により撮影させることで、検査対象物２の表面上の細い針のような形状からなるウイスカ３は、周囲よりもはやく温度が高くなるので、その周囲に比べて先に温度が高くなっているウイスカ３を検出して、ウイスカ３の発生の有無を検出する。これにより、簡便に、かつ確実にウイスカ３の検査を行うことができる。本発明は、検査対象物の表面に発生したウイスカの検査を行うウイスカ検査装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の良否を判定する際に欠陥領域を途切れないように検出する。
【解決手段】外観検査システム１において、外観検査装置３の画像処理部３２１は、濃淡画像を用いて微分２値化画像を作成する。第１の抽出部３２２は、同一の欠陥候補領域を構成する画素群を抽出する。検出部３２４は、各ラインごとに、微分絶対値が閾値以上である画素をエッジ画素として検出する。第２の算出部３２６は、第２の抽出部３２５で抽出された欠陥領域について水平方向の射影幅と垂直方向の射影幅とを求める。判定部３２７は、水平方向の射影幅と垂直方向の射影幅との少なくとも一方が基準値より大きい場合に、検査対象Ａが不良であると判定する。上記検出部３２４は、第１の算出部３２３で求められた欠陥幅が最大となるラインから順に各ラインごとにエッジ画素を検出し、欠陥幅が狭いほど次のラインの閾値が低くなるように次のラインの閾値を設定する。 （もっと読む）

【課題】生じる光線経路の変化が異なる様々な種類の欠陥を一度に十分な精度で検出できる欠陥検査用画像処理装置等を実現する。
【解決手段】欠陥検査用画像処理装置（画像解析装置）６は、移動中の成形シートをエリアカメラ５で時間的に連続して撮影した画像データを処理するものであり、画像データ上の異なる複数の位置について、同一位置のラインデータを異なる画像データからそれぞれ抽出するデータ抽出部１１と、複数のラインデータを画像データ上の位置ごとに時系列に並べて複数のライン合成画像データを生成するデータ格納部１３と、複数のライン合成画像データに微分オペレータ演算を行って複数の強調画像データを生成する変化量算出部１５と、複数の強調画像データから成形シートの同一箇所を示すものを抽出する同一箇所判定抽出部１６と、抽出された強調画像データの輝度値を画素ごとに積算して欠陥検査用画像データを生成する積算部１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】錠剤表面に付着している異物や、錠剤のチッピングの有無の検査精度を向上させる錠剤包装検査装置を提供する。
【解決手段】錠剤包装検査装置であって、凹部に錠剤が一つまたは複数供給されたプラスチックシートを撮像するＣＣＤカメラ８０と、撮像された画像から錠剤一つが撮像されている領域をそれぞれ切り出す錠剤切り出し部２と、切り出された一つの錠剤が撮像された画像から、前記錠剤の中心を極とした極座標に変換した画像であって、中心からの距離、および偏角をそれぞれ軸とした画像を作成する座標変換部４Ａと、作成された画像から、偏角ごとに濃度値をそれぞれ集計する射影データ算出部５と、偏角ごとに集計された集計値のうち、錠剤に入っている割線の濃度値に基づき決定された値よりも下回る集計値をマスクするマスク処理部６と、偏角ごとに集計された集計値のうち、かつマスクされた集計値以外の集計値のうちで、閾値を下回る値があるかを判定する判定部７Ａとを有する錠剤包装検査装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の位置決めの装置を用いずに，また多量のテンプレートを用いたマッチング処理を行わずに，精度の高い外観検査を実現する。
【解決手段】外観検査制御装置１０において，テンプレート情報記憶部１１には，正規化用リファレンス画像と，検査用リファレンス画像とがあらかじめ登録されている。検査対象画像正規化部１５は，第１段階で，低解像度の検査対象画像と，低解像度の正規化用リファレンス画像とのマッチング結果に基づいて，検査対象画像を正規化する。検査対象画像正規化部１５は，第２段階で，第１段階で正規化された検査対象画像と，本来の解像度の正規化用リファレンス画像とのマッチング結果に基づいて，第１段階で正規化された検査対象画像をさらに正規化する。検査部１６は，２段階に正規化された検査対象画像に対して，検査用リファレンス画像を用いた検査を行う。 （もっと読む）

【課題】目視によるブレードの確認が容易になる画像処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】ＣＰＵ３４ｃは、ジェットエンジン内に周期的に配置されたブレードを撮像した動画像を構成するブレード画像からテンプレート画像を抽出し、ブレード画像とテンプレート画像とを比較する。ＣＰＵ３４ｃは、ブレード画像の中から、画像比較の結果に基づいて一部のブレード画像を選択し、選択したブレード画像に基づいてブレードの表面形状を計測する。モニタ２２は、計測された表面形状を表示する。 （もっと読む）

【課題】修正すべきパターン箇所を容易に判別可能な情報を出力する機能を備えた検査装置を提供する。
【解決手段】設計パターンデータの抽出は、欠陥一つ毎に、制御計算機１１０が欠陥座標を包含するＸ、Ｙそれぞれの所定範囲を算出し、次いで、第１の磁気ディスク装置１０９ａから読み出した設計パターンデータから、所定範囲内に原点が存在するクラスタまたはセルデータを抽出して出力ファイルを作成する。出力ファイルは、入力した設計パターンデータと同一フォーマット、または、汎用性の高いＯＡＳＩＳフォーマットデータに変換して第２の磁気ディスク装置１０９ｂに出力する。この欠陥の検出された箇所のみのパターンデータは、検査装置１００から外部装置に出力可能である。 （もっと読む）

【課題】欠陥判定処理を容易にすることができ、また、汎用性の高いシミュレータと連動して欠陥判定処理を行うことのできる検査装置を提供する。
【解決手段】制御計算機１１０の動作設定画面でリソグラフィ・シミュレータの情報を設定して検査装置１００の校正を行った後、フォトマスク１０１の全面を検査する。検査で欠陥とされた箇所の座標は、ＸＭＬファイルに変換される。検査モードがダイ−トゥ−データベースのときには、検査装置１００で参照データの生成に利用しているデータベースのパターンデータを制御計算機１１０で読み込み、汎用性の高いＯＡＳＩＳフォーマットデータに変換する。検査装置１００で撮像された光学画像はビットマップに変換される。これらのデータは、検査装置１００の校正に使用した画像のデータやシミュレーションの動作条件とともに、リソグラフィ・シミュレータに転送される。 （もっと読む）

【課題】 レトルトパウチのそり曲がりなどによる画像検査の困難を克服する。
【解決手段】 パウチ２のシール不良検出装置１は、充填物が充填されたパウチ２を搬送する搬送部３と、搬送部３の片側に配置されパウチ２を斜め上方から搬送部３を横切るように設定された第１方向Ｘから照明する第１照明部４と、搬送されているパウチ２のシール部２ａが第１照明部４を通過するときにシール部２ａを撮像する第１撮像部５と、第１照明部４の搬送方向の下流側に配置され、かつ、パウチ２を第１方向Ｘと垂直線に対して線対称に設定された第２方向Ｙから照明する第２照明部６と、搬送されているパウチ２のシール部２ａが第２照明部６を通過するときにシール部２ａを撮像する第２撮像部７と、第１撮像部５及び第２撮像部７で撮像される画像を処理し、画像中のシール不良を検出するシール不良検出部８と、該当するパウチを不良品として排出する排出部９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査する領域の的確な決定を容易とする基板検査装置および基板検査方法を提供する。
【解決手段】基板検査装置は，基板のパターンを記憶するパターン記憶部と，前記基板に検査ビームを照射する照射系と，前記基板からの前記検査ビームの透過，反射，または散乱を受け取り，対応する信号を出力する受取部と，互いに並列な複数の走査線に沿って，前記基板上で前記検査ビームを走査する走査部と，前記複数の走査線にそれぞれ対応する複数の領域に前記基板を区分する領域分割部と，前記複数の領域それぞれから，前記パターンの所定の特徴量を抽出する特徴量抽出部と，前記抽出される特徴量に基づき，前記複数の領域から検査する領域を決定する検査領域決定部と，を具備する。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な処理で、濃淡値の良品範囲を随時更新して最適化することができる欠陥検査方法および欠陥検査システムを提供する。
【解決手段】画像処理装置１は、欠陥判定手段１３で良品と判定された場合に、当該検査対象物４の撮像画像を設定用画像として設定用画像メモリ１４に追加する範囲更新手段１０を有している。演算処理器１５は、予め設定用画像メモリ１４に記憶されている設定用画像から良品範囲を設定するだけでなく、範囲更新手段１０により新たな設定用画像が設定用画像メモリ１４に保存される度に、各画素ごとの濃淡値の度数分布を求め、当該度数分布結果から良品範囲を再設定する。しかして、欠陥判定手段１３で良品と判定される度、範囲更新手段１０は、設定用画像を設定用画像メモリ１４に追加し、追加された設定用画像を含む複数枚の設定用画像に基づいて良品範囲を自動的に更新させることとなる。 （もっと読む）