脱着前に予備濃縮装置ハウジング（2）を排気する際に、化学分析装置（7）と予備濃縮装置ハウジング（2）のあいだの流動制限物質および／またはメンブレン（15）が省略されうるように、化学分析装置の内圧に実質的に等しいレベルまで予備濃縮装置ハウジングの内圧をポンプシステム（13）が低減させる、化学分析システムを開示する。化学分析システムは、化学分析装置（7）；関心対象化学物質を吸着または脱着させるために吸収材料を加熱するように構成された温度制御要素（5、18）と吸収材料（1）とをその中に入れた、化学分析装置に連結された予備濃縮装置ハウジング（2）；および関心対象化学物質を脱着させる前に予備濃縮装置ハウジングを排気するように構成された、予備濃縮装置ハウジングおよび化学分析装置に連結されたポンプシステム（13）を含む。

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【課題】二酸化炭素回収システムの循環吸収液の二酸化炭素含有量を速やかに測定できる測定装置、測定方法、及びびこのような測定装置を備える二酸化炭素回収システムの提供。
【解決手段】測定装置は、無機ガスが溶け込んだ有機溶液を気化し、キャリアガスと共に放出する気化部２と、気化部２から放出されたガスが供給され、第１の温度において、有機ガスを保持すると共に無機ガスを通過させ、前記第１の温度より高い第２の温度において、保持している有機ガスを放出する有機ガス保持部３と、有機ガス保持部３を通過した前記無機ガスに含まれる無機成分を分離して放出する無機ガス分離部５と、有機ガス保持部３から放出された前記有機ガスに含まれる有機成分を分離して放出する有機ガス分離部６と、無機ガス分離部５から放出された前記無機成分及び有機ガス分離部６から放出された前記有機成分を検知する検知部７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】排ガス成分計測前に適切な前処理を行って計測精度を高める。
【解決手段】この前処理では、まず空気精製機２の吸着材１１を高温精製空気によりパージし、次いで排気連結管７を高温精製空気によりパージする。排気連結管７のパージと並行してサンプリング装置４をパージする。これらパージ後、低温精製空気を用いてサンプリング装置４のパージが完了したか否かを判定する。パージ完了判定後、低温精製空気を用いて空気精製機２の診断を行い、次いで較正ガスを用いてシステム全体を診断する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、換気流量等の試験槽の環境が変化しても、高い精度で試験槽の湿度を制御することができる揮発物測定装置を提供することを課題とする。
【解決手段】上記課題を解決するため、本発明は、試験用導入口６０および排出口７０を有する試験槽８０と、試験用導入口６０から試験槽８０に導入される気体の流量を変更する流量調節器２０ａと、試験槽８０に導入される気体を加湿する加湿器２４と、試験槽８０内の湿度を検出する湿度センサＴ１と、フィードバック制御により加湿器２４を制御して湿度センサＴ１の検出湿度を設定湿度に移行させる制御部３と、を備え、排出口７０から排出される気体に含まれる揮発物を測定する揮発物測定装置１であって、制御部３は、湿度の制御に必要な加湿量に応じてフィードバック制御の制御定数を変更することを特徴とした。 （もっと読む）

【課題】電気機器の動作に伴うＶＯＣの発生を調べるには、電気機器に電力や制御信号を供給する必要がある。電力や制御信号を供給するためには化学物質測定チャンバーに孔を開ける必要があるが、単に孔を開けた場合、この孔から大気が流入し、測定精度が低下するという課題がある。また、テフロン（登録商標）テープを巻きつけ、ケーブルとの間の気密性を確保する方法では、テープの巻き方により機密性の良否が発生し、再現性の高い測定を行うことが困難となる課題がある。
【解決手段】ＰＦＡを用いてなるフィルムバック１１と、フィルムバック１１内部にジェル状物質を用いた変形体１２が充填されるケーブルサポート１０８を介して電力や制御信号を供給するケーブル１０６を通す。ケーブルサポート１０８を変形させることで化学物質測定チャンバーとケーブル１０６との間の間隙を塞ぎ、密閉する。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で短期間に長期安定性を評価し得る土壌汚染物質溶出試験方法を提供することを一の課題とする。
【解決手段】土壌汚染物質が含有されている固体試料から前記土壌汚染物質を水中に溶出させる溶出試験を実施することにより前記固体試料からの土壌汚染物質溶出量を測定する土壌汚染物質溶出試験方法であって、前記溶出試験前に、二酸化炭素濃度が０．１体積％以上の混合気体の雰囲気下で前記固体試料を養生することを特徴とする土壌汚染物質溶出試験方法による。 （もっと読む）

ＩＭＳ装置は、インレット７に前段濃縮器９を有する。ハウジング１の内側に結合された圧力パルス発生器８は、ハウジングに小さい交番の正負圧力のパルスを供給し、空気をインレット７へ、およびインレット７から、脈動して流す。これにより、試料が、前段濃縮器９により吸着され、イオン化され検出されるのに十分な試料は流れることができない。前段濃縮器９で検出可能な試料の量を集めるのに必要な時間の後、装置は、脱離フェーズに切り替える。前段濃縮器９が、試料を脱離するために加熱され、圧力パルス発生器８が、イオン化と検出のために反応領域に、解放された試料の十分な量を流すため大きな負のパルスを生成する。
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【課題】
シリコンウェーハ表面上の珪素を効率よく脱離することができるシリコンウェーハ表面の珪素脱離方法、この珪素脱離方法を適用することにより採取した液体サンプル中のシリコン含有量を低く抑えることができるようにしたシリコンウェーハ表層下領域の液体サンプル採取方法、及びこの採取方法により採取した液体サンプルを用いて分析することにより分析感度を向上させ高感度で安定した分析が行えるようにしたシリコンウェーハ表層下領域の金属不純物分析方法を提供する。
【解決手段】
ＨＦ溶液、ＨＮＯ₃溶液及びＨ₂ＯのそれぞれをＮ₂ガスでバブリングする工程と、シリコンウェーハを収納したチャンバー内に前記それぞれの溶液の揮発蒸気を含んだＮ₂ガスを導入し当該シリコンウェーハをエッチングする工程と、前記エッチングされたシリコンウェーハをＮ₂ガスでブローすることにより前記シリコンウェーハ表面上の珪素を蒸発する工程と、を有するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、音響波の減衰を抑制し、成分分離デバイスにおける成分分離制御の精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、流路溝１１を有する音響波伝搬部７と、流路溝１１の上方に設けられた第１連結層８と、この第１連結層８上に流路溝１１を覆うように設けられた第１封止部９と、音響波伝搬部７に接続された音響波発生部１０とを備え、第１連結層８の弾性率は前記第１封止部９の弾性率より小さいものとした。
これにより本発明は、音響波が第１封止部９へと拡散するのを抑制し、音響波の減衰を低減することができる。そしてその結果、流路溝１１内の定在波の強度が増し、成分分離制御の精度を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】 計測準備にかかる時間を短縮して揮発ガス成分を効率良く測定できる小型容器及びそれを有する同時ガス分析システムを提供することを課題とする。
【解決手段】 小型容器１０は、ガス発生源となる試料を収容するガス分析用容器本体１２と、ガス分析用容器本体に着脱自在な密閉用の蓋１４と、で構成される。蓋１４には、ガス導入管及びカートリッジにそれぞれ接続する２つの接続部１８が設けられている。この接続部１８には、蓋１４を貫通する貫通孔２０と、貫通孔２０を封止するように貫通孔内に形成され、ガス導入管の先端で突き破られ得る遮蔽板２２と、が設けられている。 （もっと読む）

固相マイクロ抽出（ＳＰＭＥ）ファイバ９を保持するプローブ５のためのホルダ１５を有する可動サンプラー・アーム２と、プローブ格納トレイ４およびガスクロマトグラフィ注入器７の間でプローブ５を搬送するための中間ブラケット６とを有する自動ＳＰＭＥサンプリング装置。種々のプローブ・ハンドリング段階において、プローブは、ホルダ１５のプランジャ１７の端部、ホルダの本体１６の自由端部、およびプローブ針８を誘導するブロック２９ｂの下側端部に取り付けられた磁性手段２０、２２、３３により回収される。プローブを搬送ブラケット６上に配置するため、またはプローブを搬送ブラケット６から取り除くために、磁性手段は、ＳＰＭＥファイバ９の一端部に取り付けられた強磁性コネクタ１２、およびファイバを収容する針８の端部に取り付けられた強磁性フランジ１３と相互作用する。装置は、全自動方式で、既に暴露されたＳＰＭＥファイバに関して分析を実施すること、サンプルから分析物を抽出すること、およびその後ガスクロマトグラフにおける脱離のために分析物を搬送することが可能である。
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本発明は、二酸化炭素などのガスを分析するための方法を提供する。不純物を分析する前にそれらを濃縮することにより、現場での経済的な分析の可能性が提供される。
【添付図面】 図１
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【課題】 吸着された被処理ガスの除去成分を脱着して生成する濃縮ガスの濃度および温度を、触媒に対応した最適な一定値に維持して、効率よく吸着剤から除去成分を脱着し脱着した除去成分を処理するガス処理システムを提供する。
【解決手段】 被処理ガスの除去成分を吸着部２の吸着剤に吸着させた後の脱ガス空気を排気し、吸着剤に加熱空気を供給することにより吸着剤から除去成分を脱着して濃縮ガスを生成し、濃縮ガスを触媒燃焼させて除去成分を処理し、処理後の脱ガス空気と濃縮ガスとを熱交換するガス処理システム１において、吸着剤の脱着時に吸着部２に加熱ガスを循環させる濃縮装置５と、脱着時の濃縮ガスの濃度を検知する濃度検知装置６とを設け、濃度検知装置６により濃縮装置５を制御する。 （もっと読む）

【課題】 土壌中に残留する揮発性有機塩素系化合物を高い濃度で検出することができ、また広い範囲で検出できる濃度測定方法を提供する。また土壌中に残留する揮発性有機塩素系化合物の濃度を確認しながら同時に浄化作業を進めることができる浄化方法を提供する。
【解決手段】 揮発性有機塩素系化合物により汚染された土壌中に、所定深さ位置に吐出孔４を設けたオゾン注入パイプ１を埋設し、該オゾン注入パイプ１から距離を隔てて、所定深さ位置に流入孔４を設けた観測パイプ２を埋設し、オゾン注入パイプ１を通じて吐出孔３から土壌中にオゾンガスを注入し、流入孔４から観測パイプ２内に流入した揮発性有機塩素系化合物のガスを捕捉して濃度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 基板製造時に、該基板が経由する局所的な空間の汚染状態を精度よく評価する方法を提供すること。
【解決手段】 基板製造工程において、該基板が経由する局所的空間にパッシブサンプラーを入れ、当該空間内の汚染物質を該パッシブサンプラー内の吸着剤に捕集し、次に、該吸着剤から吸着された汚染物質を脱離させ、脱離した汚染物質を分析することを特徴とする基板製造工程における局所空間の汚染状態の評価方法。 （もっと読む）

【課題】低濃度ＶＯＣを含むガスを容易に調製して校正を実施できる大気圧化学イオン化質量分析装置を提供する。
【解決手段】大気圧化学イオン化質量分析計と、前記大気圧化学イオン化質量分析計へのガス導入路と、前記ガス導入路に接続された校正装置とを備え、前記校正装置は、有機化合物を分離する分離カラムと、前記分離カラムに校正用の有機溶液を注入するための溶液注入口と、前記分離カラムへ搬送ガスを導入するための搬送ガス流入口とを有し、前記分離カラムの流出部が前記ガス導入路に設けられた接続口に接続されていることを特徴とする大気圧化学イオン化質量分析装置。 （もっと読む）

【課題】シールボックスを使用することなく、かつ簡易でありながら小口及び裏面からの放散を無くした状態で汚染物質の放散量を測定する。
【解決手段】２つの捕集管をコネクターで接続し、上流側の捕集管内に、試験体１をアルミ箔又は銅箔で完全に囲繞した後、試験体表面側の金属箔を所定の寸法で切り取り、表面側のみを暴露状態とすることによって作製した試験体を収容して揮発兼用の一次捕集管７とし、下流側の捕集管に捕集剤１０を充填して二次捕集管８とし、所定温度のキャリアガスを所定流量及び所定時間で供給し、前記試験体から放散される揮発性有機化合物を前記一次捕集管７及び二次捕集管８とで捕集した後、この２つの捕集管７，８をそれぞれ熱脱着型ガスクロマトグラフ質量分析計（GC／MS）の加熱脱着部にセットし、揮発性有機化合物の全放散量を算出する。 （もっと読む）

【課題】 この発明はガス吸着材の評価装置に関し、ガス吸着材に吸着されたガスの吸着量分布を取得することを目的とする。
【解決手段】 活性炭付フィルタ１２に供給される精製空気の流量の計測、制御を行うマスフローコントローラ２６を設ける。濾過部１２aの一部を覆う第１の開口部３４を有する第１の吸着材ホルダー２８を設ける。第１の開口部３４と同様の第２の開口部４０を有する第２の吸着材ホルダー３８を、フィルタ１２を介してホルダー２８と対向して配置する。これらの開口部３４、４０のそれぞれの縁部に互いに磁極を異ならせた一対の磁石３６、４２を配置する。計測部位を変更させるアクチュエータ４８を設ける。混合ガスの流量を計測するマスフローメータ５２と、THC濃度を検出する全炭化水素分析計５６とを設ける。THC吸着量をデータ処理回路６２により算出する。THC吸着量分布および総吸着量をデータ表示パネル６４により表示する。 （もっと読む）

最大約１００００ｐｓｉ（〜７００ｂａｒ）の圧力で流体試料を濃縮および分離するための濃縮器および分離器を有する流体アナライザ。濃縮器および分離器は、ソリッドステート薄膜ヒータ−吸収体と、固体基板によって支持されるチャンネルとから構成され得る。濃縮器は、試料流体の構成成分を吸収および脱着するための複数の加熱される相互作用的要素を有することができる。相互作用的要素は、ヒータによって時間段階的シーケンス方式で加熱されることができる。分離器は、化合物によって試料流体を分離することができる。熱伝導率検出器、流量センサ、および導電率検出器が、チャンネルに隣接して存在することができる。濃縮器、分離器、ヒータ、およびセンサからなるこのシステムは、試料流体組成についての情報を提供することができる。試料流体がチャンネル内を通り抜けるように、ポンプがチャンネルに接続されることができる。
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【課題】 クロマトグラフィー分析において、目的成分の抽出、濃縮等の試料調整等の前処理が極めて簡便にかつ短時間に実施できるようにする。
【解決手段】 クロマトグラフ分析の前処理に際し、マイクロトラップとして細管内に解放構造の多孔質体を細管全径に亘り適宜長に形成したカラムを使用し、測定対象物質含有試料を通過させ、該カラム内の多孔質体の細孔に測定対象物質を保持させ、濃縮させ、次いで離脱させて分析手段へ導く。 （もっと読む）