【課題】 検査環境などの変化にも対応し得る、汎用性の高い新規な検査装置を提供する。
【解決手段】 テラヘルツ波検出部１０４と、前記テラヘルツ波検出部で取得される信号を用いて、テラヘルツ波に関する第１の応答信号を成形する波形成形部１０５と、第１の測定条件を取得する測定条件取得部１０８と、測定条件に対応した第２の応答信号を記憶している応答信号記憶部１０９と、前記第２の応答信号を、前記応答信号記憶部から選択する選択部１１０と、前記第２の応答信号による逆畳込み演算を、前記第１の応答信号に対して行う信号処理部１０６とを有する。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉ基板上に３Ｃ−ＳｉＣ層が形成されたウェーハについて、前記３Ｃ−ＳｉＣ層のフォノンスペクトルを非破壊で、かつ、高確度・高分解能で、簡便に測定することができるＳｉ基板上の３Ｃ−ＳｉＣ層のフォノン波数の測定方法を提供する。
【解決手段】前記Ｓｉ基板およびその上に３Ｃ−ＳｉＣ層が形成されたウェーハのそれぞれに、Ｐ偏光をＳｉのブルースター角に調整して、または、干渉縞が最小値となるようにＰ偏光の角度を調整して入射し、それぞれの赤外透過スペクトルを測定し、両者の比から透過率または吸光度スペクトルを算出して、少なくともＬＯモードの波数を求めることにより、前記３Ｃ−ＳｉＣ層についての波数ベクトルｋ≒０のＴ₂フォノンを測定する。 （もっと読む）

【課題】光源の光量分布の変化による測定誤差を低減できる分析装置を提供する。
【解決手段】試験片１内に固定化された検体７からの光をレンズ３、絞り４等により構成される光学系を通して撮像素子５にて取得し、濃度情報を得ることができる装置において、試験片１を照明するための広帯域光源１１と、撮像素子５で取得する光の波長を任意に選択するための光学フィルタ１２とを組み合わせることにより、光源１１の光量分布の変化による測定誤差を低減することができる。 （もっと読む）

非接触な材料特性評価を行うための装置は、複数の基板（１２）を保持するように適合されたウエハキャリア（１０）と、材料特性評価装置（２０）、例えば、フォトルミネッセンス分光法を実行するための装置とを備えている。本装置は、載置されている基板（１２）を含むウエハキャリア（１０）の少なくとも一部に非接触な材料特性評価を行うように適合されている。
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【課題】コスト等をかけることなく、簡単な構成で複屈折特性を測定する。
【解決手段】複屈折測定装置１０は、光源１１、偏光子１５、位相子１６、回転検光子４０、受光器１８、コントローラ２０を有する。位相差フイルム１９は位相子１６と回転検光子４０との間に挿入される。コントローラ２０は、回転検光子４０の透過軸方位θとその透過軸方位のときに受光器１８で受光した光の強度とを対応付けて光強度データを作成する。光強度データ記憶部５０には、偏光子１５の透過軸方位がγ１であるときの第１光強度データと、透過軸方位がγ２（γ２はγ１と異なる方位）であるときの第２光強度データとが記憶されている。第１又は第２光強度データに基づき、位相差フイルム１９の主軸方位が求められるとともに、位相差フイルムの主軸方位、第１光強度データ、及び第２光強度データに基づいて、位相差フイルム１９のレタデーションが求められる。 （もっと読む）

【課題】 測定対象からの反射光の波動光学成分を示す情報を簡単に取得することを目的とする。
【解決手段】 測定対象からの反射光の分布に関する第一の情報と、当該反射光の幾何光学成分に関する第二の情報とを取得する取得手段と、前記第一の情報と前記第二の情報とに基づき、前記反射光の分布の近似を示す第三の情報を算出する算出手段と、前記第三の情報に基づき、前記反射光の波動光学成分に関する情報を出力する出力手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】前処理を必要とせずに、短時間でカテコールアミン類を検出することのできる、新規のケミカルバイオセンサーを提供する。
【解決手段】被検出物質と特異的に化学結合する部位を有するプローブ分子からなる導電性高分子層１を備えた。導電性高分子層１に流れる電流値の変化を電流検出器６により検出することにより、又は、導電性高分子層１により反射される光の反射率の変化を反射光検出器10により検出することにより、前処理を必要とせずに、短時間で被検物質を検出することができる。 （もっと読む）

【課題】小型、高速、広ダイナミックレンジ、周辺環境変化に対して冗長であることを同時に満たすストークスパラメータを取得できる光計測装置を提供する
【解決手段】２次元三角格子状に複数配列した光ファイバと、周期構造体群を含み、各光ファイバと周期構造体群を１対１で直列に配置してなる光学複合部品を用いる。かつ２次元または３次元の周期構造体群は、同種の周期構造体群が隣り合わず、かつ同種の周期構造体群が２次元長方形格子状の並進対称性を有して配列する。さらに１つの周期構造体群は６つの周期構造体群と隣接する光学複合部品を用いる。 （もっと読む）

【課題】光学フィルタの入射角度依存性による測定誤差を低減できる分析方法および分析装置を提供する。
【解決手段】試験片３に担持された検体２からの光を、光学フィルタ６を有する光学系を通して、複数の画素を備えたイメージセンサ７により受けて前記検体の濃度情報を得る分析方法において、画素Ａに結像する光の、光学フィルタ６に入射するフィルタ入射角度θを算出し、フィルタ入射角度θに対応する光学フィルタ６のフィルタ帯域のシフト量を得、前記シフト量に応じた補正係数を得て、この補正係数を用いて輝度を補正し、この補正輝度値に基づいて検体２の濃度情報を得る。この分析方法により、光学フィルタ６の入射角度依存性による測定誤差を低減することができて、検体２を分析する際の測定精度および信頼性が向上する。 （もっと読む）

【課題】被検出体の位相差や光軸方位の２次元分布を、広範囲で、且つ高精度、短時間に測定することができる偏光検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の偏光検出装置３０は、偏光子アレイ７と、ＴＤＩイメージセンサ５とが設けられた検出光学手段１、計算処理手段２、及び、走査ステージ３を備えている。偏光子アレイ７は、ＴＤＩイメージセンサの積分方向に整列した偏光子８からなる段を該積分方向に垂直な方向に４つ整列して、これを１つの組とすると、各段は、上述したように所定の角度範囲内において互いに異なる透過軸角度を有した偏光子からなり、上記組が、上記垂直な方向に沿って複数設けられており、ＴＤＩイメージセンサは、偏光子アレイ７の各偏光子８を透過した光を受光する受光素子を有している。 （もっと読む）

【課題】吸着した汚染物質の性質などによって被検体の表面性状が変化する場合においても、表面汚染度を評価することが可能な表面汚染度評価方法及び表面汚染度評価装置を提供する。
【解決手段】所定の清浄度を保持することが求められる被検体１に対し、空気中の汚染物質が吸着することによる被検体１の表面１ａの汚染度を評価する表面汚染度評価方法であって、空気中の水蒸気が吸着することによる表面１ａの吸着水分量を測定し、基準の被検体１の表面１ａに吸着した吸着水分量との差に基づいて表面１ａの汚染度を評価する。 （もっと読む）

【課題】表面凹凸を有する被検体の屈折率を、簡便な方法で、短時間に、精度よく測定する。
【解決手段】表面に凹凸を有する被検体Ｓの屈折率を全反射法により測定する方法であって、プリズムの反射面１０ａに被検体Ｓを接触させた状態と反射面に空気のみが接触している状態とのそれぞれについて、該反射面１０ａに投光した光の入射角・反射光強度関係Ｒs 、Ｒa を求め、反射面１０ａに被検体Ｓを接触させた状態での入射角・反射光強度関係Ｒsを 、反射面１０ａに反射面に空気のみが接触している状態での入射角・反射光強度関係Ｒa で規格化し、その規格化した入射角・反射光強度関係Ｒs’ に基づいて被検体の屈折率を測定する。 （もっと読む）

【課題】環境への悪影響を軽減し、より正確な分析結果を得ることが可能な銀めっき層の有害金属分析方法を提供する。
【解決手段】分析用めっき剥離剤は、銀めっき層中の有害金属を定量分析するために銀めっき層を溶解するものであって、モノクロル酢酸と、酢酸と、過酸化水素水と、純水とを含んでなり、元素周期表Ｖ，ＶＩ，ＶＩＩ属元素を含まず、且つ、シアン化合物を含まない。さらに、硫酸、硝酸、及び塩酸を用いる必要性もない。 （もっと読む）

【課題】紙山の積層状態や撮像環境といった外乱要因の存在にかかわらず、裁断面における微小な異物の存在を検出し、信頼性が高い評価結果を得ることができる紙の裁断面の品質評価装置及びそれを用いた品質評価方法を提供する。
【解決手段】紙山５０の裁断面５０ａに対向して設置された撮像装置１０と、照射光の光軸Ａ_２０が撮像装置１０の光軸Ａ_１０に対して６０度から９０度をなすように配置された照明装置２０と、品質評価値作成手段３０と、評価手段４０とを有する。品質評価値作成手段３０は、撮像装置１０が撮像して得られた裁断面５０ａの画像を構成する各画素の濃度に関する同時生起行列を作成し、その同時生起行列から前記評価対象範囲のコントラスト評価値を求めるコントラスト評価値演算手段３６を有する。評価手段４０は、求められたコントラスト評価値が、予め設定された基準値よりも低いか否かを評価する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は，光源からの光ビームの位置がずれるなど入射光の強度分布に変化が生じた場合であっても，適切に偏光面や位相差を測定できる偏光測定器や測定システムなどを提供することを目的とする。
【解決手段】 上記の課題は，偏光子アレイを具備する偏光測定器や測定システムであって，偏光子アレイが複数の行を有し，各行は，透過偏光軸が所定の方向から１８０（１／ｎ）°，１８０（２／ｎ）°，・・・，及び１８０{（ｎ−１）／ｎ}°ずれた領域を有するものにより解決される。また，上記課題は，波長板アレイを具備する偏光測定器や測定システムであって，波長板アレイが複数の行を有し，各行は，波長板の光軸が所定の方向から１８０（１／ｎ）°，１８０（２／ｎ）°，・・・，及び１８０{（ｎ−１）／ｎ}°ずれた領域を有するものにより解決される。
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【課題】成形用原料樹脂や樹脂成形品の内部に混入又はその表面に付着した異物が生体組織由来の異物であることを判別する方法を提供する。
【解決手段】成形用原料樹脂若しくは樹脂成形品の内部に混入又はその表面に付着した異物が生体組織由来か否かを判別する異物の判別方法であって、透過法又は反射法による異物への顕微赤外吸収スペクトル分析を実施したときに、得られる赤外吸収スペクトルの波数３，０００〜６５０ｃｍ^−１の範囲において、波数１，７００〜１，６００ｃｍ^−１の範囲に最も強い吸収のピーク（Ａ）が観測され、且つ、波数１，６００〜１，５００ｃｍ^−１の範囲にピーク（Ａ）に次ぐ強い吸収のピーク（Ｂ）が観測される異物について元素分析により酸素、硫黄、ナトリウム、カリウム及び塩素を検出する異物の判別方法。 （もっと読む）

テラヘルツ時間領域スペクトロメータ走査型センサシステムは、可動式スキャナヘッドに固定された送信機及び受信機を含む。スキャナヘッドから遠隔に配置された静止レーザから発射される短パルスの形態の光ポンプ光は、関連した光ファイバ送信である時間パルス中継の変動が最小化されるように、制御された光ファイバケーブル配置を通って送信機及び受信機へ配信される。このようにして、光のパルスが光ファイバケーブルを通って送信されている時に、ケーブルの曲げを制御し、したがって、そうしなければ生じる可能性がある時間遅延の変動を最小化するために、光ファイバケーブルの移動は、規定された経路に沿って操作される。レーザから光ファイバ内に発射されたレーザ光のパルスは、一貫した（ｉ）到達時間、（ｉｉ）位相持続時間、並びに（ｉｉｉ）偏光状態及びエネルギーでケーブルを出る。
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【課題】パターンドメディアの検査方法において、ナノインプリントのプロセス管理を目的とした場合には、パターンの正確な形状を計測する必要があり、製品の品質管理が目的の場合には、製品全数を検査する必要があるが、ＳＥＭやＡＦＭを用いた方法では、これらの要求を満たすことができない。
【解決手段】磁性体のパターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出する(S102)。次に、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し(S104)、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出する(S110)。 （もっと読む）

【課題】近赤外線遮蔽材料微粒子分散体に太陽光等が当たったときに青白色に変色するブルーヘイズを直接評価できる方法を提供する。
【解決手段】積分球４に標準反射板を取付けかつ測定試料を取付けない状態で光源１から光を球状空間内に入射させて反射光の分光データを得るブランク透過光強度測定工程と、積分球にライトトラップ部品６を取付けかつ測定試料２を取り付けた状態で光源から光を球状空間内に入射させて散乱光の分光データを得る拡散透過光強度測定工程と、各分光データに基づき拡散透過光強度とブランク透過光強度の波長毎の比をそれぞれ演算して波長毎の拡散透過率を得る拡散透過率演算工程と、波長360nmから500nm間の拡散透過率から測定試料のブルーへイズを評価する評価工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 紙葉類に貼付されている光沢物及び蛍光体を簡易な構成で検出することができる異物検出装置、異物検出方法、及び、紙葉類処理装置を提供する。
【解決手段】 異物検出装置１は、蛍光体を励起させ第３波長帯域の蛍光を発生させる第１波長帯域の光と前記第３波長帯域とは異なる第２波長帯域の光とを紙葉類７に対して照射する。前記紙葉類７からの光を受光し、受光した光のうちの少なくとも前記第２波長帯域及び前記第３波長帯域の光を撮像して画像を取得し、取得した画像に基づいて光沢物５２及び蛍光体５１を検出する。 （もっと読む）