【課題】 熱型赤外線固体撮像素子において２次元画素アレイの画素数を多画素化にともない発生する、水平走査回路の動作速度低減、駆動線での電圧降下によるオフセット分布の問題の解決、及び素子温度変動による温度ドリフト抑制を同時に実現可能な熱型赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】 熱型赤外線固体撮像素子において、画素エリアの水平走査を行う水平走査回路（８）を設け、画素の読み出しを行うとともに、画素エリアの両端部に配置した２つの垂直走査回路（４ａ、４ｂ）により駆動線（３）を両端駆動し、さらに、差動積分回路（７）のバイアス線（１９）に画素エリアの両端にて電圧供給することにより画素エリア端部に形成した参照画素（１２）列の出力をフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】複数のフォトセンサを備える光検出回路において、各フォトセンサに電源を供給する配線や、各フォトセンサが光を検出して生成した電気信号を出力する配線に、寄生抵抗のばらつきが存在すると、このばらつきに起因したノイズが発生する。
【解決手段】入力端子と接続された第１の配線と、出力端子と接続された第２の配線と、一方の端子が第１の配線と接続され、他方の端子が第２の配線と接続された第１のフォトセンサと第２のフォトセンサとを有し、第１の配線と第２の配線とは平行に配置される光検出回路において、入力端子から、第１の配線、第１のフォトセンサ、第２の配線を介して出力端子に至る第１の経路と、入力端子から、第１の配線、第２のフォトセンサ、第２の配線を介して出力端子に至る第２の経路とで、抵抗値の和を等しくする。 （もっと読む）

【課題】ノイズを低減した高感度の赤外線固体撮像素子を提供する。
【解決手段】基板上に設けられた赤外線検出画素アレイ２５０と、基板上に設けられた検出回路部２６０と、を備えた赤外線固体撮像素子が提供される。赤外線検出画素アレイは、複数の行配線２１０と、複数の列配線２２０と、一端が複数の行配線のいずれかに接続され他端が複数の列配線のいずれかに接続され、受光する赤外線に基づいて第１電気信号ｓｇ１を生成する複数の赤外線検出画素１１０と、を有する。検出回路部は、列配線のそれぞれに接続され、第１電気信号を積分増幅して第２電気信号ｓｇ２を生成する複数の積分増幅回路４０と、複数の積分増幅回路のそれぞれに接続され、第２電気信号と、予め定められた参照電圧Ｖｒｅｆと、を比較して、第３電気信号ｓｇ３を出力する複数の比較回路５０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】検出精度の高い検出装置、センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】検出装置は、熱センサー素子１０と、熱センサー素子１０の検出ノードＮ１に接続される検出回路２０と、検出回路２０の読み出しノードＮ２に接続される読み出し回路３０とを含む。検出回路２０は、検出ノードＮ１によりゲートが制御される駆動トランジスターＴ１を含む。プログラム期間において、検出ノードＮ１が駆動トランジスターＴ１のしきい値電圧に対応する電圧値にプログラミングされ、プログラム期間の後の読み出し期間において、読み出し回路３０が検出回路２０の検出結果の読み出し動作を行う。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で精度の高い熱検出が可能な熱センサー用検出回路、熱センサーデバイス及び電子機器等を提供すること。
【解決手段】熱センサー用検出回路は、熱センサー素子ＣＦの一端のノードである検出ノードＮ１と第２の電源ノードＶＤＤとの間に設けられる充電回路２０と、検出ノードＮ１と第１の電源ノードＶＳＳとの間に設けられる放電回路３０とを含む。放電回路３０は、検出ノードＮ１と第１の電源ノードＶＳＳとの間に直列に設けられる放電用抵抗素子ＲＡ及び放電用トランジスターＴ２を有する。充電回路２０は、第２の電源ノードＶＤＤと検出ノードＮ１との間に設けられる充電用トランジスターＴ１を含む。 （もっと読む）

【課題】 多画素化及び小型化に対応する為に、赤外線検出画素の面積を犠牲にすることなく、支持脚における熱コンダクタンスの悪化による感度劣化を抑制することができる赤外線撮像素子を得る。
【解決手段】 第一の支持脚及び第二の支持脚で基板に中空保持される赤外線検出画素２を２次元配列し、赤外線検出画素２に駆動信号を入力する駆動極を行毎に当該赤外線検出画素２を保持する第一の支持脚１５ａを介して共通接続する駆動線と、赤外線検出画素２の検出信号を出力する信号極を列毎に当該赤外線検出画素２を保持する第二の支持脚１５ｂを介して共通接続する信号線とを備え、前記駆動線及び前記信号線の少なくともいずれか一方は、絶縁層によって分離された２つの層を有する多層線を用いて配線する。 （もっと読む）

【課題】可視光から赤外光までの光を受光して、適切な画像を形成することができる固体撮像素子及び画像入力装置の提供。
【解決手段】第１のフォトダイオード４が、可視光について光電変換を行い、第２のフォトダイオード４’が、第１のフォトダイオード４を通過した赤外光を光電変換する。可視光成分が多い場合でも、第２のフォトダイオード４’の画素が飽和することが抑制され、赤外光の成分が多い場合でも、第１のフォトダイオード４の画素が飽和することが抑制される。第１のフォトダイオード４により光電変換される可視光は、急峻なカットオフ特性のフィルタＦを用いて、各色成分毎に分離することができ、高画質RGB画像を形成できる。第２のフォトダイオード４’全体で光電変換された赤外光を用い赤外光専用センサと同等な解像度の赤外光画像を形成できる。第１のフォトダイオード４と第２のフォトダイオード４’は、別個に露光制御を行うことも出来る。 （もっと読む）

【課題】入射した赤外線を効率良く吸収し、得た赤外線エネルギーを効果的に利用できる赤外線検出素子及び赤外線検出装置を提供する。
【解決手段】温度の上昇により自発分極の値が変化し、表面電荷を生じる焦電体２と、焦電体２の上面に配置された上部電極３と、焦電体２の下面に配置された下部電極４を有する焦電素子１０，１１，１２から成る焦電素子層が上下に配置された、２層以上の焦電素子層を含む赤外線検出素子１００を構成する。また、この赤外線検出素子１００を備えた赤外線検出装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス変動によるバラツキ等を抑え、分解能を高く設定できる検出回路、センサーデバイス及び電子機器等の提供。
【解決手段】検出回路は、カレントミラー回路２０と、カレントミラー回路２０の第１のノードＮＡ１と第１の電源ノードとの間に設けられる焦電素子Ｃ１と、カレントミラー回路２０の第２のノードＮＡ２と第１の電源ノードとの間に設けられる容量素子Ｃ２と、カレントミラー回路２０を介して焦電素子Ｃ１及び容量素子Ｃ２の充電動作を行う充電回路３０を含む。 （もっと読む）

【課題】ノイズの混入に起因する精度の低下を抑制することが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】このサーモセンサ１００（センサ装置）は、ｎ型シリコン基板１１の上方に配置され、熱（赤外線）を測定することにより電子を供給する電荷供給部４８と、ｎ型シリコン基板１１の表面に形成され、電子が電荷供給部４８から供給されるｎ型ウェル領域１５と、ｎ型ウェル領域１５の電子が供給される領域の周辺近傍の表面に形成されるｐ^＋拡散層１７とを備え、ｐ^＋拡散層１７の下方に電子を転送するための埋込みチャネル領域が設けられている。 （もっと読む）

【課題】高い感度で赤外線を検出できる赤外線検出回路、センサーデバイス及び電子機器等の提供。
【解決手段】赤外線検出回路は、赤外線検出素子ＣＦの一端側の読み出しノードＮＲと、タンクノードＮＴとの間に設けられ、赤外線検出素子ＣＦからの電荷をタンクノードＮＴに転送する電荷転送用トランジスターＴＴＲと、電荷転送用トランジスターＴＴＲのゲートを制御するゲート制御回路２０と、電荷転送用トランジスターＴＴＲによる電荷転送時に、タンクノードＮＴを負電位に設定する負電位生成回路３０を含む。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサのチップの収量を増やすことが可能で、且つ、多数の赤外線センサを形成したシリコンウェハから個々の赤外線センサに分離する際のパーティクルの発生を抑制できる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】保護膜６０を形成する前に積層構造部の一部を構成する複数の絶縁膜（第１のシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２とで構成される第１の絶縁膜、第２の絶縁膜５１、第３の絶縁膜５２、第４の絶縁膜５３、第５の絶縁膜５０）それぞれをパターニングする複数の絶縁膜パターニング工程では、シリコンウェハ１０においてダイシングレーンＤＬ内で当該ダイシングレーンＤＬに対応する格子状部に沿った所定の格子状領域を含む部位に対応する部分が開口されたマスク層を形成し、マスク層をマスクとして絶縁膜をウェットエッチングするようにしてシリコンウェハ１０の格子状領域が露出したときの撥水にてエッチングの終点検出を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成により適切に対象監視処理を行う。
【解決手段】遠赤外領域に感度を有する複数の第１のセンサセルが並べられて構成された第１のセンサ群２０と；第１のセンサ群２０に近接して設けられると共に、第１のセンサ群２０と略同一製造工程において製造され、遠赤外領域に感度を有しない複数の第２のセンサセルが並べられて構成された第２のセンサ群３０と；第１のセンサセルの各出力信号と第２のセンサセルの各出力信号とを１対１に対応させて複数の差分信号を得る差分信号取得手段４０と；複数の差分信号から最大値信号を求める最大値検出手段５０とを具備する。 （もっと読む）

【課題】照度検出回路を有する表示装置を提供する。
【解決手段】照度検出回路を有する表示装置であって、前記照度検出回路は、外光照度に応じて光電流が変化するホトセンサと、前記ホトセンサに前記光電流が流れることにより電荷が放電されるコンデンサと、前記コンデンサの電圧が所定の電圧以上の時に、第１の端子に入力されるクロックを出力する第１のトランジスタとを備える。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、素子設置面積が小さく、簡易な方法で作製できる光センサーを提供する。
【解決手段】キャリア濃度が１．０×１０^１４／ｃｍ^３以上１．０×１０^１７／ｃｍ^３以下の半導体材料からなるゲート電極１０と、前記ゲート電極と同型のキャリアによりチャネルを形成する半導体である活性層１６と、ソース電極１４Ｓと、ドレイン電極１４Ｄと、ゲート絶縁膜１２と、を有するトランジスタを備え、前記ゲート電極に形成された空乏層に対して光を照射し、前記活性層を介してソース電極とドレイン電極との間を流れる電流値の変化によって照射された光の強度を検知する。 （もっと読む）

【課題】高い性能を有する光変換装置、及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる光電変換装置は、基板１上に形成された薄膜トランジスタ１０１と、薄膜トランジスタ１０１と電気的に接続されたフォトダイオード１００と、を備え、フォトダイオード１００は、薄膜トランジスタ１０１のドレイン電極７と接続する下部電極１０と、下部電極１０の上に形成された光電変換層１１と、光電変換層１１上に透明導電膜によって形成され、上面視で光電変換層１１の上面に内包されるよう形成された上部電極１２と、上部電極１２の外側の部分の光電変換層１１の上面を保護するよう設けられた保護膜（化合物層２０等）と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】焦電型赤外線検出器内部の容積に対し、実装部材が少なく、熱容量が小さい事から、急激な温度変化が加わった際に、焦電素子が受ける熱影響が大きく、温度変化に対し、出力信号のドリフトに限界がある。
【解決手段】熱容量を大きくし、急激な温度変化が加わった際に於いても、焦電素子が受ける熱影響を小さく、温度変化に対し、出力信号のドリフトを抑制するために、焦電型赤外線検出器内部へ基板を２つ内蔵した２階建て基板構造とすることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】半導体基板のボディ領域側で発生した、迷光等による余分なキャリアのフォトダイオードへの影響を排除または十分に抑圧する。
【解決手段】半導体基板は、ｐ型のボディ領域１０と半導体層１２とを有する。第２のフォトダイオードＰＤ２が半導体層１２に形成されている。第１のフォトダイオードＰＤ１が、半導体層１２内でＰＤ２の基板深部側に形成されている。電位障壁層（ＰＢＬ１１）は、第１のフォトダイオードＰＤ１とボディ領域１０との間に形成された、より高濃度なｐ型半導体領域であり、ボディ領域１０に対し電位障壁を形成する。 （もっと読む）

【解決手段】光子検出システムは、アバランシェフォトダイオードと、 前記アバランシェフォトダイオードのための電圧源と、を具備し、前記アバランシェフォトダイオードは、シリコンまたはそのヘテロ構造を具備し、前記電圧源は、時間に関して静的な電圧成分と時間と共に変化する電圧成分とで、前記アバランシェフォトダイオードにバイアスをかける。 （もっと読む）

【課題】使用するＡＰＤ等の特性を特別に揃えることなく光子受信器の高速化を可能にするパルスノイズ除去方法およびそれを用いた光子検出回路を提供する。
【解決手段】タイミング生成回路７１は、受光素子２に逆バイアスパルス電圧を印加するタイミング信号を生成し、電源回路１はタイミング信号に従って受光素子２に逆バイアスパルス電圧を印加し、減算器６３は受光素子２の最新の出力電流信号から予め取り出された受光素子２の出力電流信号を減算することでノイズを除去する。 （もっと読む）