【課題】サーモパイルの抵抗のばらつきを小さくすることが可能な赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】サーモパイル３０ａにおけるｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４の基礎となるノンドープのポリシリコン層を形成した後、ｐ形不純物およびｎ形不純物それぞれを上記ポリシリコン層の互いに異なる所定部位にイオン注入してｐ形ポリシリコン層３５およびｎ形ポリシリコン層３４を形成するようにし、ｐ形ポリシリコン層３５を形成するためのｐ形不純物のイオン注入を行う際のイオン注入量を、ｐ形ポリシリコン層３５のドーピング濃度が固溶限となるイオン注入量よりも高く設定し、かつ、ｎ形ポリシリコン層３４を形成するためのｎ形不純物のイオン注入を行う際のイオン注入量を、ｎ形ポリシリコン層３４のドーピング濃度が固溶限となるイオン注入量よりも高く設定する。 （もっと読む）

【課題】アバランシフォトダイオード（ＡＰＤ）の出力に乗る周期的雑音を除去するために従来用いていた差動アンプ等を不要とし、差動アンプ等の代わりに、スタブと呼ばれる単純な線路を用いることによって同様の機能を実現することにより、回路のコストダウンを図るとともに、多段化を容易にして、スタブを連ねることによって、雑音除去の効果をいくらでも強めることを可能にする。
【解決手段】アバランシフォトダイオード（ＡＰＤ）１に周期的なバイアス電圧を印加することにより駆動される単一光子検出器であって、ＡＰＤ１に伝送路３を介して接続され、バイアス電圧Ｖ（ｔ）６に起因して出力信号に加わる周期的な雑音を除去するスタブ型の帯域除去フィルタを備えている。このスタブ型の帯域除去フィルタは、同軸ケーブルまたはプリント基板上のパターンから構成される電気的な線路（スタブ４）から構成される。 （もっと読む）

【課題】高感度化が可能な赤外線撮像素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、赤外線検出基板１０１と、対向基板２０１と、を備えた赤外線撮像素子が提供される。赤外線検出基板は、検出素子基板１０５と、検出素子基板の第１主面１０１ａの側に設けられ検出素子基板と離間し赤外線を検出する複数の赤外線検出画素部１１０と、第１主面上において赤外線検出画素部どうしの間に設けられた第１突出部１２０と、を含む。対向基板は、第１主面に対向する第２主面２０１ａを有する。対向基板は、第２主面上に設けられ赤外線検出画素部と離間し赤外線検出画素部に対向する複数のレンズ部２１０と、第２主面上において複数のレンズ部どうしの間に設けられ、第１突出部と当接する第２突出部２２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】物体の温度の検出精度を向上することが可能な温度センサを提供する。
【解決手段】制御手段は、ＭＯＳトランジスタ４をオン状態とする際の第２のパッドＶsel1〜Ｖsel8の電位ＶsをＶon、ＭＯＳトランジスタ４をオフ状態とする際の第２のパッドＶsel1〜Ｖsel8の電位ＶsをＶoffとし、第２のパッドＶsel1〜Ｖsel8の電位ＶsをＶonとしたときに、第４のパッドＶrefinの電位（Ｖref）と第３のパッドＶchの電位（Ｖwell）との電位差に起因して第４のパッドＶrefin−感温部（熱電変換部）３０−ソース領域４４−ウェル領域（チャネル形成用領域）４１−第３のパッドＶchを通る経路で流れるリーク電流が、Ａ／Ｄ変換回路における入力値の分解能を感温部３０の抵抗値と増幅回路の増幅率との積により除した値以下となるように予め設定されたＶwell、Ｖrefの条件で赤外線センサ１００を制御する。 （もっと読む）

【課題】 焦電型検出素子の焦電材料に還元ガスが侵入し難くした構造を有する焦電型検出器、焦電型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 第１，第２電極２３４，２３６間に配置された焦電材料２３２を有するキャパシター２３０が、温度に基づいて分極量を変化させる焦電型検出素子２２０と、第１面２１１Ａ側に焦電型検出素子を搭載した支持部材２１０と、支持部材の第２面２１１Ｂが空洞部１０２に臨んで配置され、支持部材の一部を支持する支持部１０４とを有し、第１方向Ｄ１に沿って支持部、支持部材及び焦電型検出素子の順で積層され、支持部材は、少なくとも第１面２１１Ａ側に第１絶縁層２１２を有し、第１絶縁層２１２は、第１方向Ｄ１とは逆方向を第２方向Ｄ２としたとき、第１絶縁層２１２よりも第２方向Ｄ２に位置する第２絶縁層（１０４または２１６）よりも水素含有率が小さい。 （もっと読む）

【課題】 ２次元配列の検出アレイを有する赤外線固体撮像装置において、配線の段差形状等によって生じる配線抵抗値の差が引き起こす電圧分布偏りを抑圧することで、シェーディングを抑圧できるものを得る。
【解決手段】 温度検出器２１が２次元配列された検出器アレイ２と、温度検出器２１の一方の極を行毎に共通接続した行選択線４２と他方の極を列毎に共通接続した列信号線４１と、行選択線４２を順次選択して画素用電圧供給源と接続する垂直走査回路７と、列信号線４１を順次選択して撮像出力を出力する水平走査回路６とを備える赤外線固体撮像装置であって、垂直走査回路７は、入力端と出力端との電位を等しくするバッファ手段７３を設け、前記画素用電圧供給源とそれぞれのバッファ手段７３との接続線をアレイ配置したダミー検出器３１の一方の極を共通接続したもので構成する。 （もっと読む）

【課題】 アクティブフォトセンサーピクセル、アクティブフォトセンサーアレイ及びフォトセンシング方法を提供する。
【解決手段】 本発明は二端子フォトセンサートランジスタと駆動トランジスタとを含むアクティブフォトセンサーピクセルを提供し、二端子フォトセンサートランジスタは第一ノードに結合する第一ターミナルと、選択信号線に接続する第二ターミナルと、第一ノードに接続する制御ターミナルとを有する。駆動トランジスタは第一参考電圧に結合する第一ターミナルと、出力信号線に結合する第二ターミナルと、第一ノードに接続する制御ターミナルとを有する。 （もっと読む）

【課題】高感度ボロメータ型ＴＨｚ波検出器の提供。
【解決手段】基板に形成された読出回路に接続される電気配線を含む支持部により、前記電気配線に接続されるボロメータ薄膜を含む温度検出部および該温度検出部の周縁部から内側と外側に延びて形成された庇が、前記基板から浮いた状態で支持される熱分離構造を有するボロメータ型ＴＨｚ波検出器であって、該庇のうち該温度検出部の周縁部から内側に延びて形成された庇の一部に１個または複数の穴を有し、前記基板上の前記温度検出部に対向する位置にＴＨｚ波を反射する反射膜が形成され、前記庇上に前記ＴＨｚ波を吸収する吸収膜が形成され、前記反射膜と前記吸収膜とで光学的共振構造が形成される。 （もっと読む）

【課題】受光する光の強度にばらつきが生じたとしても、高精度に測定することができるイメージセンサ、分光装置、及びイメージセンサの作動方法を提供する。
【解決手段】イメージセンサ１は、入力用スイッチ２２を介して受光素子２１の接続された積分回路２３、その出力電圧値が検出閾値を越えたときに検出信号Ｓを出力する電圧検出回路２４、及び出力用スイッチ２５を有する複数の光電変換部１０と、ＡＤＣ１１と、入力用スイッチ２２を閉状態に制御して検出信号Ｓが出力されたときにその入力用スイッチ２２を開状態に制御し、入力用スイッチ２２を閉状態に維持させた時間を電荷蓄積時間として測定すると共に、出力用スイッチ２５を制御して光電変換部１０ごとの出力電圧値を測定電圧値としてＡＤＣ１１から読み込み、各光電変換部１０への入射光の強度を、電荷蓄積時間及び測定電圧値に基づいて演算する制御部１２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検出された光子数を判定できるように構成された光子検出システムの提供。
【解決手段】検出システムは、アバランシェフォトダイオード５１と、照明においてアバランシェによる信号がシステムの飽和値よりも小さいようにフォトダイオードの両端にバイアスを印加する手段と、アバランシェ信号の大きさを測定する手段と、を具備するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 想定外の方向から想定外の大きさの赤外線放射物が検知領域に侵入してきても誤判定をおこさず、なおかつ赤外線以外の影響が補償できる焦電素子及び焦電型赤外線センサを提供すること。
【解決手段】 焦電体基板３４の受光面に、第一の矩形電極３５と第二の矩形電極３６とが互いに近接して第一の中心線に対して対称に配置され、第三の矩形電極３８と第四の矩形電極３９とが第一の矩形電極３５および第二の矩形電極３６の短辺の外側に近接して第二の中心線に対して対称に配置されており、第一の矩形電極３５と第二の矩形電極３６との間は接続電極３７によって接続され、第一の矩形電極３５および第二の矩形電極３６と、第三の矩形電極３８および第四の矩形電極３９が、それぞれＹ方向およびＸ方向に複数個配置されている。 （もっと読む）

【課題】電磁放射検出デバイスを提供する。
【解決手段】電磁放射検出デバイスは、一つ以上のサブアセンブリ（３００）にまとめられた複数の基本検出器（３２、３２０）を含む。各サブアセンブリは複数の基本検出器（３２、３２０）を含む。各基本検出器（３２、３２０）は、相互接続部（３２．１、３２０．１）によってインピーダンス整合デバイス（３３）に接続されている。そして、インピーダンス整合デバイス（３３）が、単一のサブアセンブリ（３００）の全ての基本検出器（３２、３２０）に共通であり、各サブアセンブリ（３００）において、相互接続部（３２．１、３２０．１）が略同一の抵抗値を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】入射光量に応じた高精度の値の電気信号を出力することができる光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置１は、フォトダイオードＰＤ，積分回路１０，比較回路２０，電荷注入回路３０，計数回路４０，第１保持回路５１，第２保持回路５２，増幅回路６０，ＡＤ変換回路７０および選択回路８０を備える。積分回路１０は、アンプＡ_１０，積分容量素子Ｃ_１０，第１スイッチＳＷ_１１，第２スイッチＳＷ_１２および第３スイッチＳＷ_１３を有する。スイッチＳＷ_１２，ＳＷ_１３の開閉動作により、電荷注入回路３０による電荷注入の際の積分回路１０の出力電圧値Ｖ_１０の変化量が求められる。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出器の小型化を、無理なく実現すること。
【解決手段】 熱型光検出器は、基板ＢＳと、光吸収膜５を含む熱型光検出素子９０と、熱型光検出素子を搭載する搭載部５６と、一端が搭載部の一端に連結され、他端が基板の一端に支持される第１アーム部５２と、一端が搭載部の他端に連結され、他端が基板の他端に支持される第２アーム部５４と、を有する支持部材と、を含み、第１アーム部５２には、熱型光検出素子９０に電気的に接続される複数本の配線４３ａ，４３ｂが設けられ、第２アーム部５４には、熱型光検出素子９０に電気的に接続される配線が設けられず、かつ、前記第２アーム部５４の長さは、第１アーム部５２の長さよりも短く設定される。 （もっと読む）

【課題】焦電型の赤外線検出素子及びこれを用いた赤外線検出装置において、画素として用いる赤外線検出素子の受光面積を小さく、膜厚を薄くしても、ノイズの影響を低減化することを目的とする。
【解決手段】基板１１と、支持電気絶縁層１２と、第１の電極１４と、焦電層１５と、第２の電極１６と、を備える。焦電層１５は、受光面積が１×１０^２μｍ^２以上１×１０^４μｍ^２以下であり、膜厚が０．８μｍ以上１０μｍ以下であり、且つ、Ｐｂ（Ｚｒ_ｘＴｉ_１−ｘ）Ｏ_３（但し０．５７＜ｘ＜０．９３とする）で表される化合物を主成分とする。圧電ノイズを抑え、十分な焦電特性が得られ、高い感度の検出が可能となる。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現しながら、組み立てを容易にすることが可能な光検出装置を提供する。
【解決手段】光検出装置１００は、照度センサ１と、照度センサ１の検出結果に基づいて、前照灯および尾灯を制御するマイコンと、照度センサ１が実装されるプリント配線基板１０と、マイコンが実装されるプリント配線基板２０と、プリント配線基板１０および２０を保持する保持部材３０と、保持部材３０を収納する筐体５０とを備える。プリント配線基板１０が配置される平面と異なる平面にプリント配線基板２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】感度特性及び応答安定性に優れた赤外線温度センサを提案する。
【解決手段】赤外線温度センサ１００は、熱源から放射される赤外線の熱量を検知する赤外線検知用感熱素子２０と、外部環境からの熱量を検知する温度補償用感熱素子３０と、第一の主面１１Ａ及びその裏面である第二の主面１１Ｂを有する基板１１を備える。赤外線検知用感熱素子２０及び温度補償用感熱素子３０は、それぞれ基板１１の最大肉厚部分１６よりも肉薄な肉薄部分１４，１５に配置されている。 （もっと読む）

【課題】様々な種類の媒体に対応して、フォトセンサにおける最適な光強度と受光感度を自動的に決定可能にする。
【解決手段】所定間隔で印刷領域が配置された第１面と、印刷位置マークが付された第２面とを備えた媒体を搬送モータで搬送し、印刷領域に印刷を行うプリンタであって、複数の光強度を切替可能とし、所定の光強度の照射光を第２面に出力する発光手段と、複数の受光感度を切替可能とし、発光手段からの照射光の反射光を受光し、受光した反射光を基に出力電圧を発生する受光手段と、を有しており、媒体が搬送モータによって最小搬送単位だけ搬送される毎に、発光手段の光強度と受光手段の受光感度との組合せの全てに対応して出力電圧を検出し、当該検出を少なくとも印刷領域の長さ分繰り返し行い、組合せ毎に、出力電圧の電位差を算出し、少なくとも、電位差が最大である組合せを、光強度と受光感度を調整するための組合せとして予め決定する。 （もっと読む）

【課題】電極が本来意図していない方向に湾曲することに起因して、感度がばらつくのを抑制することが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】このサーモセンサ１００（センサ装置）は、熱膨張率の異なる複数の層を有し、一方端側が絶縁膜２３に支持されているカンチレバー電極２４と、カンチレバー電極２４に対向するように配置される下部電極２２とを含み、カンチレバー電極２４から延びる方向であるＸ方向と交差するＹ方向を軸にして、カンチレバー電極２４が下部電極２２と離間する方向に湾曲することによって熱を測定することにより電子を供給する電荷供給部２８を備え、カンチレバー電極２４の表面上には、カンチレバー電極２４がＹ方向とは異なる方向を軸にして湾曲するのを抑制するための湾曲抑制部材２７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 熱型光検出素子を空洞部の上方にて支持する支持部材の反りを抑制できる熱型光検出器、熱型光検出装置及び電子機器を提供することにある。
【解決手段】 熱型光検出器２００は、熱型検出素子２２０と、空洞部１０２と面する第１面と対向する第２面に熱型検出素子を搭載して支持する支持部材２１０と、少なくとも熱型検出素子と対向する位置に空洞部を形成して支持部材を支持する固定部１００とを有する。支持部材は、第２面側に配置され、第１方向に向う残留応力ＣＳを有する第１層部材２１２と、第１面側にて第１層部材に積層され、第１方向とは逆向きの第２方向に向う残留応力ＴＳを有する第２層部材２１４とを有する。第１層部材２１２は第２層部材２１４よりも熱コンダクタンスが小さい。 （もっと読む）