【課題】黒体炉を小型化し、複数の赤外線センサを同時測定できるようにする。
【解決手段】赤外線センサ測定装置は、赤外線センサの受光面に黒体面２１ｂから赤外線を放射することによって、赤外線センサから出力される信号の出力値を測定する。黒体炉２１は、一部が開口し、内面が半球形または半円筒形に湾曲した黒体面２１ｂにより形成される内部空間２１ｄを有する。センサ載置部１２は、黒体面２１ｂと赤外線センサの受光面とを対向させ、かつ、赤外線センサの画角が対応する全有効領域内に黒体面２１ｂが対向するように赤外線センサを保持するとともに、赤外線センサの受光面が黒体炉２１ｂの開口から内部空間２１ｄの外側の位置となるように赤外線センサを保持する。 （もっと読む）

【課題】周囲環境の温度変化やＩＣ素子の発熱による検出精度の低下を抑制できる赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】熱型赤外線センサ１００と温度補償素子１０１とは同一構造であり、ＩＣ素子１０２は、熱型赤外線センサ１００の出力信号と温度補償素子１０１の出力信号とを差動増幅する。パッケージ１０３内に、パッケージ１０３の外部から内部へ入射した第１の赤外線、ＩＣ素子１０２の発熱に起因してＩＣ素子１０２から放射された第２の赤外線、およびパッケージ蓋１０５から放射された第３の赤外線が温度補償素子１０１へ到達するのを阻止する赤外線遮断構造部１０６を有し、赤外線遮断構造部１０６は、赤外線遮断構造部１０６の内側の第１の空間Ｋ１と赤外線遮蔽構造部１０６の外側の第２の空間Ｋ２とを連通させる連通部１６５が設けられてなる。 （もっと読む）

【課題】測定ガスの流量変化や温度変化などの外乱変化に対して安定して測定することができる量子型赤外線ガス濃度計を提供すること。
【解決手段】信号処理部１２０は、量子型赤外線センサからのセンサ信号を増幅する増幅器１２１ａ，１２１ｂを介して入力され、センサ信号から赤外線光源のオフレベル値を保持する。減算器１２３ａ，１２３ｂは、信号処理部により保持されたオフレベル値と増幅器を介して入力する信号とを減算する。区間設定器１２６は、赤外線光源の電源制御信号とこの電源制御信号から赤外線光源が赤外線を出力している区間を設定する。積算器１２４ａ，１２４ｂは、減算器からの信号を区間設定器の信号に基づいて積算する。演算器１２５は、測定対象ガスの吸収帯の透過光量の信号と測定対象ガスの吸収のない波長帯域の透過光量の信号に基づいて、それぞれの積算器の出力信号の比を演算する。 （もっと読む）

【課題】感度の向上を図れ、且つ、サーモパイルにかかる応力を低減することが可能な赤外線センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】熱型赤外線検出部３が、半導体基板１の一表面側で空洞部１１の周部に形成された支持部３ｄと、半導体基板１の上記一表面側で空洞部１１を覆う第１の薄膜構造部３ａとを備え、第１の薄膜構造部３ａが、空洞部１１の周方向に沿って並設され支持部３ｄに支持された複数の第２の薄膜構造部３ａａと、互いに対向する第２の薄膜構造部３ａａ，３ａａ同士を連結し第２の薄膜構造部３ａａにかかる応力を緩和する応力緩和構造部３ｃとを有し、第２の薄膜構造部３ａａごとに第２の薄膜構造部３ａａと支持部３ｄとに跨ってサーモパイル３０ａが設けられるとともに、サーモパイル３０ａごとに出力を取り出す場合に比べて温度変化に対する出力変化が大きくなる接続関係で全てのサーモパイル３０ａが電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】常にアナログ−デジタル変換部の性能を最大に使い切るように、増幅部が電気信号を増幅するように設定することできる計測器と計測システムを提供する。
【解決手段】受光部１１と、増幅部１２と、アナログ−デジタル変換部１３と、演算部１４と、増幅率算出部１５とを有し、受光部は、受光する光強度に応じて電気信号を生成し、増幅部は、受光部から電気信号を入力され、外部から設定可能な所定の増幅率に応じて電気信号を増幅し、アナログ−デジタル変換部は、増幅部で増幅されたアナログの電気信号をデジタル信号に変換し、演算部は、デジタル信号を入力され、デジタル信号に対して所定の信号処理を行い、増幅率算出部は、増幅部において設定するべき増幅率をデジタル信号に応じて算出し、増幅率算出部で算出された増幅率が増幅部に入力されて増幅部の増幅率として設定される構成とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサのチップの収量を増やすことが可能で、且つ、多数の赤外線センサを形成したシリコンウェハから個々の赤外線センサに分離する際のパーティクルの発生を抑制できる赤外線センサの製造方法を提供する。
【解決手段】保護膜６０を形成する前に積層構造部の一部を構成する複数の絶縁膜（第１のシリコン酸化膜３１とシリコン窒化膜３２とで構成される第１の絶縁膜、第２の絶縁膜５１、第３の絶縁膜５２、第４の絶縁膜５３、第５の絶縁膜５０）それぞれをパターニングする複数の絶縁膜パターニング工程では、シリコンウェハ１０においてダイシングレーンＤＬ内で当該ダイシングレーンＤＬに対応する格子状部に沿った所定の格子状領域を含む部位に対応する部分が開口されたマスク層を形成し、マスク層をマスクとして絶縁膜をウェットエッチングするようにしてシリコンウェハ１０の格子状領域が露出したときの撥水にてエッチングの終点検出を行う。 （もっと読む）

【課題】ノイズの低減及び検出精度の向上を図るとともに製造コストの低減を図ることができる赤外線センサ及び赤外線センサモジュールを提供する。
【解決手段】減圧封止された空洞部２２を有し、赤外線を透過する第１基板２０と、該第１基板２０において外部から赤外線が入射する側とは反対側に設けられ、前記空洞部２２を通過した赤外線を受光することにより出力変化を生じる検知部２１と、第１基板２０との間に検知部２１を囲む減圧空間３３を形成する凹部３１と、検知部２１に受光されずに第１基板２０を通過した赤外線を検知部２１に向けて反射集光可能に構成された反射面３２と、を有し、第１基板２０に積層される第２基板３０と、該第２基板３０において検知部２１に対して反射面３２を挟んだ位置に設けられ、検知部２１の出力を増幅または積分する演算回路４１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】静止した生体の検出を、熱的な外乱による誤検出をすることなく、簡素な構造で、高精度に行う温度センサーを提供でき、高精度で小型な温度センサーを低コストに作成することが可能とする。
【解決手段】輻射線を感受した第１，第２の電界効果トランジスタのそれぞれのゲート電極の仕事関数差を当該輻射線の検知信号として出力する仕事関数差型輻射線検知素子を用いた温度センサーとして、正の出力温度係数を持つ第１の仕事関数差型輻射線検知素子１５１６と、第１の仕事関数差型輻射線検知素子１５１６と出力温度係数の絶対値が等しい負の出力温度係数を持つ第２の仕事関数差型輻射線検知素子１５１７とを少なくとも一組有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサのシステム全体を小型化にし、さらに、より高い精度の赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線を感知するセンサ素子１１と、センサ素子１１によって赤外線が感知されたことによって出力される赤外線感知信号ａを処理する信号処理装置１０１と、信号処理装置１０１で同じく処理されるセンサ素子１１の抵抗値に応じて出力される温度測定信号ｂから温度を換算して赤外線感知信号ａの温度補正をする補正演算部５６と、を備える。切替部２１の制御により、センサ素子１１にゼロ電圧が与えられると、センサ素子１１から赤外線感知信号が出力され、信号処理部４１で増幅される。また、センサ素子１１にバイアス電圧が与えられると、センサ素子１１からセンサ素子１１の抵抗値に応じた温度測定信号が出力され、信号処理部４１で増幅される。 （もっと読む）

【課題】焦電型赤外線検出器内部の容積に対し、実装部材が少なく、熱容量が小さい事から、急激な温度変化が加わった際に、焦電素子が受ける熱影響が大きく、温度変化に対し、出力信号のドリフトに限界がある。
【解決手段】熱容量を大きくし、急激な温度変化が加わった際に於いても、焦電素子が受ける熱影響を小さく、温度変化に対し、出力信号のドリフトを抑制するために、焦電型赤外線検出器内部へ基板を２つ内蔵した２階建て基板構造とすることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】サーモパイルセンサ型赤外線検出器に於いて、サーモパイル型赤外線検出器内の容積に対し、実装部材が少なく、熱容量が小さい事から、急激な環境温度変化が加わった際に、サーモパイルチップが受ける熱影響が大きく、環境温度変化に対し、信号出力がドリフトしてしまうという課題がある。
【解決手段】サーモパイル型赤外線検出器に於ける回路部分である抵抗、コンデンサ、オペアンプ等を部材実装した基板を格納し、内部部材体積・熱容量を増加させする事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】温度補正を精度よく高速に行える小型の赤外線センサを提供する。
【解決手段】本発明に係る赤外線センサは、温度センサ素子と、外部からの赤外線を受光する量子型の赤外線センサ素子と、前記赤外線センサ素子と前記温度センサ素子とを包み込む樹脂パッケージと、赤外線を前記赤外線センサ素子の受光面に導くように前記樹脂パッケージに設けられた開口部分とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】正確な温度補償を実現できる赤外線温度センサを提供する。
【解決手段】赤外線温度センサ１０１は、熱源から放射される赤外線の熱量を検知する赤外線検知用感熱素子５１と、外部環境からの熱量を検知する温度補償用感熱素子５２と、外部環境と赤外線温度センサ１０１との間で熱の流出入が行われる熱流出入部位３０とを備え、熱流出入部位３０から赤外線検知用感熱素子５１及び温度補償用感熱素子５２へのそれぞれの熱伝導が略均等になるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】赤外線センサの受光面と同一面に感熱素子の感熱面を配置することにより赤外線センサの出力の温度補正を精度良く行うようにすること。
【解決手段】本発明の赤外線センサは、モールド樹脂１１内の周辺に配置された複数のセンサ電極端子１２ａ乃至１２ｄと、このセンサ電極端子１２ａ乃至１２ｄに囲まれた領域内に配置されたセンサ素子１３と、このセンサ素子１３の近傍でかつ領域内に配置され、センサ素子１３とモールド樹脂１１で一体的に設けられた温度補正用の感熱素子１４とから構成されている。また、センサ素子１３の受光面１３ａと感熱素子１４の感熱面１４ａとは同一面になるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】温度制御をされていない二次元アレイ状に配置された赤外線検知素子からの出力データの環境温度変化等による温度ドリフトを補正する。
【解決手段】二次元アレイ状に配置された赤外線検知素子に含まれる入射赤外線に対し感度の低い欠陥素子から出力されるデータの変動値によって、入射赤外線に対し十分な感度を持つ素子からの出力データの環境温度変動等で発生する温度ドリフトを補正し、センサ素子の温度制御をしないでも安定した出力を得る。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図れるだけでなく感度および応答速度の向上を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】シリコン基板（支持基板）１ａは、熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成されている。サーモパイル３０ａは、ｎ形ポリシリコン層（第１の熱電要素）３４とｐ形ポリシリコン層（第２の熱電要素）３５とを熱型赤外線検出部３においてシリコン基板１ａの空洞部１１に重なる領域で第１の接続金属部３６により接合することで形成された複数の温接点Ｔ１、ｎ形ポリシリコン層３４とｐ形ポリシリコン層３５とを熱型赤外線検出部３において空洞部１１に重ならない領域で第２の接続金属部３７により接合することで形成された複数の冷接点Ｔ２を有する。ジュール熱により温接点Ｔ１を温める自己診断用ヒータ部１３９は、熱型赤外線検出部３においてシリコン基板１ａの空洞部１１に重な域でサーモパイル３０ａと重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が少なく、且つ、赤外線反射防止膜や赤外線光学フィルタ膜の剥れを抑制できるとともに高感度化および低コスト化が可能な赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線検出素子１を収納するパッケージ２と、パッケージ２の開口部２ａを閉塞する第１の赤外線透過部材４１および第２の赤外線透過部材４２とを備え、パッケージ２と第１の赤外線透過部材４１とで囲まれた空間を真空雰囲気としてある。第１の赤外線透過部材４１は、ＺｎＳにより形成され、パッケージ２に対して、パッケージ２の内側から開口部２ａを閉塞する形で鉛フリーのガラスフリットからなる接合部５１により固着され、赤外線光学フィルタ膜４３と赤外線反射防止膜４４とが積層された第２の赤外線透過部材４２は、Ｓｉにより形成され、ガラスフリットに比べて低温での使用が可能な鉛フリーの導電性接着剤からなる接合部５２により、パッケージ２に対して固着されている。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上を図れるだけでなく、感度および応答速度の向上を図れる赤外線センサを提供する。
【解決手段】赤外線吸収部３３および当該赤外線吸収部３３の温度変化を検出する感温部３０を有しシリコン基板（支持基板）１ａの一表面側に形成されてシリコン基板１ａに支持された熱型赤外線検出部３を備え、シリコン基板１ａにおいて熱型赤外線検出部３の一部の直下に空洞部１１が形成されている。熱型赤外線検出部３のうち平面視において空洞部１１に重なる赤外線吸収部３３は、厚み方向の両側それぞれに複数の凹凸の高低差が均一で順テーパ状の傾斜面を有する凹凸面が形成された赤外線吸収層３９と、当該赤外線吸収層３９における空洞部１１側の凹凸面に接する形で形成され赤外線吸収層３９を透過した赤外線を反射する赤外線反射膜４０とを有し、赤外線反射膜４０における赤外線入射凹凸面の高低差が赤外線吸収層３９の厚さ寸法よりも小さい。 （もっと読む）