【課題】対象物の表面に形成された被膜の膜厚の分布を精度良く測定することが可能な膜厚測定装置および膜厚測定方法を提供するとともに、表面に被膜が形成された対象物の表面温度の分布を当該被膜の膜厚の分布によらず精度良く測定することが可能な表面温度検査装置および表面温度検査方法を提供する。
【解決手段】波長帯が異なる二種類の赤外線の強度分布から算出される測定温度分布の差分値に基づいて鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａに形成された被膜１１の膜厚分布を算出する。また、被膜１１の膜厚に基づいて鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａの放射率分布を補正し、波長帯が異なる三種類の赤外線の強度分布および補正された鍛造用金型１０のキャビティ面１０ａの放射率分布に基づいて鍛造用金型１０の表面温度分布を算出する。 （もっと読む）

【課題】 診断対象物が設置等されている現場において、迅速かつ適正に温度異常の有無を判断することができる温度異常診断システムを提供する。
【解決手段】 診断対象物Ｆｍに配設可能でその診断対象物Ｆｍの許容温度を記憶した無線ＩＣタグ２と、携帯可能な診断装置３とを備える。診断装置３に、診断対象物Ｆｍの任意の位置の温度を遠隔から測定する温度測定部３１と、無線ＩＣタグ２から許容温度を読み取るリーダ／ライタ３２と、温度測定部３１による測定温度と、リーダ／ライタ３２によって読み取った許容温度とに基づいて、温度異常の有無を診断する診断部３７とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板処理チャンバ中の基板の温度を測定するためのプローブで、自己較正ができるようにする。
【解決手段】プローブは、一方の端部が処理チャンバ中に挿入されている光導体を含み、光導体の他の端部は、二またの光ファイバに結合されており、光源が光ファイバの１つの支線に光学的に結合され、高温計が他の支線に光学的に結合されていて、プローブを自己較正するために、安定した反射率の物体、たとえば金メッキされたウェハがチャンバ中に挿入され、光源が起動され、そのウェハから反射した光の強度を高温計によって測定している。 （もっと読む）

【課題】 アニール対象物のレーザビーム入射位置の溶融部分の表面温度を計測する技術を提供する。
【解決手段】 放射光検出器が、アニール対象物の表面のうち、パルスレーザビームが入射した領域内の被測定領域からの放射光の強度を検出する。反射率測定器が、被測定領域の反射率を測定する。制御装置が、反射率測定器による反射率の測定結果、及び放射光検出器による放射光の強度の測定結果に基づいて、アニール対象物の表面の温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】放射温度測定装置において、灰色体、非灰色体、平面、凸凹面に拘わらず、非接触にて高精度に温度を測定できるようにする。
【解決手段】被測定物Ｗに対して複数の異なる波長領域を含む赤外線を照射する赤外光源１０、赤外光源をオフにした状態で被測定物からの放射光における複数の異なる波長領域での赤外線強度を検出する放射光検出手段３０、４０、赤外光源をオンにした状態で被測定物からの放射光及び反射光の重畳光における複数の異なる波長領域での赤外線強度を検出する重畳光検出手段３０，４０、放射光検出手段及び重畳光検出手段の検出情報に基づいて被測定物の温度を演算する演算手段８０を備え、赤外光源１０は、被測定物の測定表面側Ｗｓから観て、放射光検出手段及び重畳光検出手段を取り囲むように形成されている。これにより、測定表面が凸凹状であっても高精度に温度を測定できる。 （もっと読む）

【課題】被測定物がプランクの法則に基づく黒色体又は灰色体若しくは被測定物がプランクの法則に基づかない非灰色体の何れに拘わらず、被測定物の温度測定の際に当該被測定物を構成する物質の放射率を設定することなく被測定物の温度を高精度に測定する。
【課題手段】被測定物に対して赤外線領域における複数の異なる波長領域を含む赤外線を照射する赤外線照射手段と前記赤外線照射手段のオフ時に前記被測定物からその表面温度に応じて放射される赤外線領域における前記複数の異なる波長領域の赤外線強度と前記赤外線照射手段のオン時に前記被測定物から放射及び反射される赤外線領域における前記複数の異なる波長領域の赤外線強度と、を検出する赤外線検出手段と、前記赤外線照射手段のオン／オフ時のそれぞれにおける前記赤外線検出手段により検出された前記複数の異なる波長領域の赤外線強度に基づいて前記被測定物の温度を算出する演算制御手段と有する。 （もっと読む）

【課題】 ＣＶＤによる成膜に際し、プラズマに影響されずに基板温度を測定する。
【解決手段】 プラズマ輻射スペクトルの計測処理Ｓ１では、分光輝度計により、黒体輻射のない状態のプラズマ輻射スペクトルを測定する。フィッティングに要する波長領域の選定処理Ｓ２では、プラズマ輻射スペクトルのうち、フィッティングに適した領域を選定し、プラズマ輻射・スペクトルの決定処理Ｓ３でプラズマ輻射スペクトルを決定する。フィッティング処理Ｓ４では、プランクの放射則による理論式とプラズマ輻射スペクトルの和を最少自乗法によって測定スペクトルにフィッティングさせ、評価を行う。 （もっと読む）

【課題】 撮像対象物の温度に応じて各赤外線検知素子の感度バラツキを高精度に補正することができる赤外線撮像装置を提供する。
【解決手段】 赤外線撮像装置は、放射温度測定手段２０、３個以上の熱源３１〜３６、撮像対象物の赤外線を所定の光路Ｌ０を介して複数の赤外線検知素子６０に結像させる光学的結像手段１，２，５、所定の光路Ｌ０上において撮像対象物からの赤外線を周期的に遮断し、それと同時に熱源３１〜３６の赤外線を複数の赤外線検知素子６０へと導く光路切り換え手段４，３７、複数の赤外線検知素子６０から撮像対象物に対応する生画素信号を１フレームずつ出力させ、放射温度に対して高温側および低温側で温度差が最小となる２個の熱源を１フレームおきに切り換えながら高温画素信号および低温画素信号を出力させる制御手段４０と、高温画素信号および低温画素信号に基づいて生画素信号を補正する補正手段９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】焼鈍炉内で熱処理される鋼板の表面温度をオンラインで連続的に測定するのに好適な、鋼板温度計測方法と装置を提供することを目的とする。
【解決手段】加熱炉の炉壁の一部に赤外波長領域での放射率が高い耐熱物質を埋め込み、該耐熱物質からの放射光が前記鋼板の表面で正反射する方向において、複数の波長の放射輝度を、各々複数の偏光角成分において測定し、その測定した複数の波長での複数の偏光角成分のおける各々の放射輝度信号と前記耐熱物質の表面温度とにもとづいて前記鋼板の放射率を算出し、該放射率を元にして前記鋼板の表面温度を算出する。 （もっと読む）

【課題】 炉底表面の温度を広範囲に亘って精度良く測定することが可能な炉底温度測定方法及び装置、及び該測定した温度に基づき炉底の異常を検知することができる溶融炉の炉底監視方法及び装置を提供する。
【解決手段】 溶融炉１０の炉底１７表面を測定範囲に含む位置にサーモグラフィ装置３０を設置し、前記測定範囲に含まれる任意の温度測定点３２の近傍に、放射率を１．０若しくはこれに近似させた黒体３１を設けておき、予め基準放射率を１．０若しくはこれに近似させた値に設定し、前記サーモグラフィ装置３０にて前記黒体３１の放射エネルギから黒体温度を測定し、該サーモグラフィ装置にて前記測定点の放射エネルギから測定した測定点温度が、前記黒体温度と略一致する放射率を求め、該求めた放射率を前記測定範囲の放射率に設定し、前記サーモグラフィ装置により該測定範囲の温度分布を測定する。 （もっと読む）

【課題】加熱中の物体の温度を正確に測定できるようにすると共に、それにより物体に対して正確な温度で熱処理を行なえるようにする。
【解決手段】基板１０に対する熱処理工程において、基板１０の裏面の輻射率εを測定するときに、基板１０の表面上には、輻射率εを変動させる材料よりなる膜、例えば、プラグ１５Ａを構成する第１のＤＰＳ膜１５、容量下部電極１７Ａを構成する第２のＤＰＳ膜１７、及び容量上部電極２０Ａを構成する第３のＤＰＳ膜２０が形成されている。一方、基板１０の裏面上には、ＤＰＳ膜等の、輻射率εを変動させる材料よりなる膜は形成されていない。 （もっと読む）

【課題】遠隔地点から非接触により対象物の表面温度を計測可能な熱画像収録装置及び熱画像収録方法とそのシステムならびに記録媒体を提供する。
【解決手段】地表面や建物表面等の３次元空間の全方向から放射される赤外線を全球熱画像収録装置で検出した放射温度分布画像を放射率及び大気補正を施すことで対象物の表面温度に変換して表示、記録可能な熱画像収録装置及び熱画像収録方法とそのシステム並びに記録媒体を得る。 （もっと読む）

【課題】 本体部をヘッド部の特性に容易に適合させることができる放射温度計を提供するとともに、ヘッド部を本体部の設定に容易に適合させることができる放射温度計を提供する。
【解決手段】 使用者により本体部とヘッド部とが互いに接続されると、本体部のＣＰＵは、ヘッド部のＣＰＵと初期通信を行う。次に、ヘッド部型式を示す信号がヘッド部のＣＰＵにより送信される。本体部のＣＰＵは、ヘッド部型式を示す信号を受信する。続いて、本体部のＣＰＵは、受信したヘッド部型式に基づいて測定対象物検出処理に適用することが可能な検出モードの選定を行う。この場合、選定される検出モードは、１または複数の検出モードを含む。次に、本体部のＣＰＵは、使用者の操作に従い、選定した検出モードを表示部へ表示する。 （もっと読む）

【課題】被加熱物底面の状態如何にかかわらず、精度良く被加熱物底面温度を検出し、良好な調理加熱制御が実現できる加熱調理器を提供することを目的とする。
【解決手段】投光手段１５、１６は受光手段１７、１８の周囲に順次投光するように複数個設け、反射率換算手段１９は、投光手段１５、１６の投光タイミングに同期して入力した複数個の反射光強度から赤外線センサ１４の視野部の反射率を換算するようにした。これによって、特定方向の反射光強度のみを検出するのではなく、順次投光する複数個の反射光強度で赤外線センサ１４の視野部の反射率が換算されるため、被加熱物１１底面の状態如何にかかわらず、精度良く被加熱物１１底面温度を検出し、良好な調理加熱制御が実現できる。 （もっと読む）

【課題】 測温作業が効率化された放射温度計を提供することである。
【解決手段】 本体部１００Ｂの記憶部９５は、複数のバンクＢ１〜Ｂ３を含む。バンクＢ１に第１の放射率および第１のしきい値が記憶され、バンクＢ２に第２の放射率および第２のしきい値が記憶され、バンクＢ３に第３の放射率および第３のしきい値が記憶されている。使用者が操作設定部９６を操作してバンクを選択することによりＣＰＵ９３に与えられる放射率およびしきい値が決定される。ＣＰＵ９３は、与えられた放射率およびしきい値に基づいて、アナログ信号ＡＯ、デジタル信号ＤＯおよび検出信号ＤＥＴを出力する。 （もっと読む）

【課題】 測定対象物の有無および温度変化を容易に検出することが可能な放射温度計を提供する。
【解決手段】 ＣＰＵは、測定対象物に対応するデジタル信号およびサーミスタに対応するデジタル信号をそれぞれ取得する。次に、ＣＰＵは、チャンネルに割り当てられた測定モードの確認を行う。続いて、ＣＰＵは、使用者により設定された測定モードが第１のモードであるか否かを判別する。設定された測定モードが第１のモードである場合、ＣＰＵは、比較処理を行う。次に、ＣＰＵは、比較結果を検出信号として出力する。次いで、ＣＰＵは、次のチャンネルがあるか否かを判別する。次のチャンネルがない場合、ＣＰＵは、検出処理を終了する。次のチャンネルがある場合、ＣＰＵは、チャンネルに割り当てられた測定モードの確認を再び行う。 （もっと読む）

【課題】 高炉の出銑口１から流出する出銑滓２の温度Ｔを簡易にかつ連続的に正確に測温するための高炉出銑滓温度及び溶銑・溶融スラグ混合比率測定方法を提供する。
【解決手段】 高炉出銑口１から流出する出銑滓２の温度を放射測温法で測定するに際し、短波長検出放射計４によって可視又は近赤外帯域（短波長帯域）の分光放射輝度Ｌ_{meas, SW}、長波長検出放射計５によって遠赤外帯域（長波長帯域）の分光放射輝度Ｌ_{meas, LW}をそれぞれ測定し、長波長帯域での測定分光放射輝度Ｌ_{meas, LW}に基づいて溶銑と溶融スラグとの混合比率Ｒを求め、求めた混合比率Ｒ、短波長帯域での溶銑の分光放射率ε_s,SWと溶融スラグの分光放射率ε_m,SW、及び短波長帯域での測定分光放射輝度Ｌ_{meas, SW}に基づいて、出銑滓の温度Ｔを定める。 （もっと読む）

【課題】 表面に薄膜が成膜されている半導体基板のように、放射率が刻々変化する表面処理中の被処理物の温度を、放射率の変動の影響を受けずに非接触で正確に測温することのできる温度測定方法と放射温度計、および、それを用いた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 被測定体１の同じ領域からの放射光の異なる複数の波長λ_１、λ_２をそれぞれの受光手段４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄで受光し、受光手段４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが受光したそれぞれ異なる波長毎の受光結果から被測定体１の温度を算出する放射温度計２０による測定で、異なる波長と、被測定体１の法線に対する受光手段４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの受光角をそれぞれθ_１、θ_２とした場合に、波長と被測定体１の法線ｎに対する受光手段４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの受光角との関係を、λ_１ｃｏｓθ_１＝λ_２ｃｏｓθ_２にする。 （もっと読む）

【課題】 石英ガラスよりなる部材の外表面の温度を高い精度で測定することのできる放射温度測定装置を提供することにある。
【解決手段】 放射温度測定装置は、特定の波長領域の光を透過するフィルタと、当該特定の波長領域を含む波長領域の光に対して有効感度を有する検出器とを備えてなり、石英ガラスよりなる部材を測定対象体とするものであって、前記フィルタが、波長５．０〜７．４μｍの領域の光を透過するものであり、前記検出器が、少なくとも波長５．０〜７．４μｍの領域の光に対して有効感度を有するものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構成簡易でコンパクトな光学系を備え、かつ光学系の調整を容易に行なうことが可能な波面測定用干渉計装置、および光ビームの波面測定と光ビームスポットの特性測定とを行なうことが可能な光ビーム測定装置および方法を得る。
【解決手段】光ビーム測定装置１０Ａは、光源部１１から射出された光ビームを２つの光束に分離するビームスプリッタ１３と、分離された一方の光束の一部を被検光束として入射方向と逆向きに反射する半透過反射面１５ａと、半透過反射面１５ａを透過した光束の一部を波面整形された基準光束に変換して射出する反射型の基準光生成手段２３とを備えており、光ビームの波面測定と光ビームスポットの特性測定とを行なうことができる。 （もっと読む）