【課題】高純度の多価イオンを取り出すことができるイオン源を提供する。
【解決手段】イオン源１０は、レーザ１３が照射されると電子と陽イオンに電離したプラズマ１４を生成するターゲット１２と、このターゲット１２の電位を陽イオンの出射目標（加速チャンネル１８）よりも高く設定する第１電源（第１電圧Ｅ₁）と、この陽イオンがターゲット１２から出射目標（加速チャンネル１８）に至る経路上（フィルタ電極１５）の電位をターゲット１２の電位よりも高く設定する第２電源（第２電圧Ｅ₂）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】製造コストや維持コストおよび占有体積を抑制することが可能なＸ線照射装置および高周波電力生成ユニットの提供。
【解決手段】Ｘ線照射装置１００は、高周波電力を生成する高周波電力生成ユニット１１２と、電子線を放出する電子銃１１０と、高周波電力生成ユニット１１２による高周波電力の供給を受けて、電子銃１１０から放出された電子線を加速する加速器１１８と、加速器１１８で加速された電子線をＸ線に変換するＸ線変換部１２０と、を備え、高周波電力生成ユニット１１２は、高電圧のパルス電圧を生成する高周波電源１１２ａと、振幅が相異なる複数のパルスを規則的に配したドライブ信号を生成する信号発生器１１２ｃと、パルス電圧の供給を受け、ドライブ信号に応じて高周波電力を生成する高周波電力増幅器１１２ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの軌道を擾乱させることなく、ドロップレットターゲットをレーザ照射位置に高速に供給する機構と、プラズマから発生したイオン（帯電したデブリ）を磁場の作用によりトラップする機構とを両立させる。
【解決手段】極端紫外光源装置は、（ｉ）内部で極端紫外光が生成されるチャンバと、（ii）チャンバ内にターゲット物質を噴射するターゲットノズルと、（iii）ターゲットノズルから噴射されるターゲット物質を帯電させる電荷供給装置と、（iv）電磁石、超伝導磁石、及び、永久磁石の内のいずれかを含み、チャンバ内にミラー磁場を形成する１組の磁石と、ターゲット物質の軌道において該ミラー磁場の磁束線が略直線状且つターゲット物質の進入方向に対して略平行となるように、補助的な磁場を形成する少なくとも１つの補助磁場形成装置とを含む磁場形成装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】電流値が変化しても脈動電流比を許容範囲内に収めることができる電磁石用直流電源装置を得ることを目的とする。
【解決手段】電源１からの電流をスイッチング駆動して出力するチョッパ回路２と、チョッパ回路の出力を平滑化するパッシブフィルタ３と、電流指令値ＶＳに出力電流が合致するように、スイッチング駆動の駆動を制御する電流制御回路５と、を備え、電流制御回路５は、出力電流Ｓ４２の電流指令値ＶＳからの偏差成分Ｓ５６を算出する偏差成分算出部（５４〜５６）と、電圧値Ｓ４１から脈動成分Ｓ５３を算出する脈動成分算出部（５１〜５３）と、脈動成分Ｓ５３と偏差成分Ｓ５６とに基づいて、スイッチング駆動を制御するゲート信号ＳＧを生成する駆動制御信号生成部（５７〜５９）と、を有し、脈動成分Ｓ５３は、電圧値Ｓ４１のうちの交流成分Ｓ５１を電流値Ｓ４２で除した値に基づいて算出する。 （もっと読む）

【課題】従来の線形加速器よりも容易に設計及び製作することが可能な、任意の大きさの加速電流が得られる荷電粒子加速器を提供する。
【解決手段】
荷電粒子加速器１００は、前記複数の進行軌道のそれぞれに沿って配列する加速電極によって構成される荷電粒子加速ユニット１０１を複数備え、イオン発射部１０２から発射される複数のイオンビームそれぞれを、複数の荷電粒子加速ユニット１０１により、同期して加速することができるよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】電磁石に供給するパルス状電流の頂部における変動を抑制可能な電磁石用電源装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る電磁石用電源装置１Ａは、第１電圧で予め充電された第１コンデンサ２１の第１放電電流を電磁石５に供給することにより、パルス状電流Ｉを頂部まで立ち上げる第１電流源２と、パルス状電流Ｉの立ち上げ後に、第２電圧で予め充電された第２コンデンサ３１の第２放電電流を電磁石５に供給し、さらにその後、第３電圧で予め充電された第３コンデンサ３３の第３放電電流を第２放電電流とともに電磁石５に供給することにより、パルス状電流Ｉを頂部において維持する第２電流源３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子を加速するための加速電極と、加速電極に電力を供給する高周波電源とのインピーダンス整合をとる際の調整時間の短縮化を図ることが可能な調整回路を備えた粒子加速器を提供すること。
【解決手段】加速電極と高周波電源とのインピーダンス整合をとる整合回路の常数の調整を電気的に行う構成とする。具体的には、コイル２３のインダクタンスＬ１を調整するための円環状のフェライトと、フェライト２４に巻き付けられたバイアス巻線２５と、バイアス巻線２５にバイアス電流を供給するバイアス電源３１と、バイアス巻線２５に供給するバイアス電流を増減するバイアス電流調整部とを備える構成とし、バイアス巻線２５に供給するバイアス電流の増減を調整することで、フェライト２４の透磁率μを変更し、整合回路１０の常数を短時間で調整する。 （もっと読む）

【課題】安定な制御と、調整が簡単で調整時間が短い円形加速器を提供すること。
【解決手段】出射装置から出射する荷電粒子のビーム電流の目標電流値を記憶する目標電流値メモリと、ビーム電流検出器の検出信号と目標電流値メモリに記憶された目標電流値との誤差信号に基づくフィードバック制御により、周波数変化率を求め、この求めた周波数変化率と現在の周波数とにより次の周波数を決定する周波数決定部と、を備え、この周波数決定部で決定された次の周波数を周波数メモリに記憶するとともに、決定された次の周波数の高周波を高周波発生装置が発生するようにした （もっと読む）

【課題】１台の加速器で加速エネルギーを容易に変えることができ、加速中は高周波加速電極部の共振周波数の変更は不要な円形加速器を提供すること。
【解決手段】偏向磁場を形成する偏向電磁石と、荷電粒子の周回周波数に合わせて高周波電界を発生させるための高周波電源と、この高周波電源に接続された高周波電磁界結合部と、この高周波電磁界結合部に接続された加速電極と、荷電粒子の周回方向に高周波電界を発生する加速ギャップを、加速電極との間に形成するよう設けられた加速電極対向接地板とを備え、荷電粒子の周回周波数が、荷電粒子の入射から出射までの間に、荷電粒子の出射部分における周回周波数に対して、０．７％以上、２４．７％以下の変化量で変化する偏向磁場を、偏向電磁石が生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】粒子線治療装置で要求される照射ビームのエネルギーの変更制御が容易でありかつ、装置コストおよび装置の大型化を抑えられるイオンシンクロトロンを提供する。
【解決手段】電磁石電源制御装置22は、対して励磁電流パターンデータ401に基づき励磁電流設定値221を偏向電磁石電源21に設定する。電流変化検出装置23は、偏向電磁石電源制御装置22から入力した励磁電流設定値221の変化量が更新制御の基準となる参照電流値（Iref）以上になると、高周波制御装置32内の周波数更新制御部36に周波数更新指令信号231を出力する。高周波制御装置32内の周波数更新制御部36は、周波数更新指令信号231を入力すると、周波数データメモリ35に記憶された周波数パターンデータ403から励磁電流設定値221の変化に対応する周波数データ351を読み込み、高周波発振器34に周波数設定値321として設定する。 （もっと読む）

【課題】陽子、重陽子又はヘリウムイオンからなる大電流、高エネルギーイオンビームを生成するためのシングルエンド直流線形加速器を提供する。
【解決手段】加速器は、高電圧ターミナル４内に配置されたイオンビーム７を生成するイオン源６と、イオンビーム７を精製するための分析磁石１９と、加速管３と、重要なイオンを高エネルギーに加速する直流高電圧電源と、イオン源６からの中性ガスの大部分を接地電位の真空ポンプ１８に向けて輸送するポンプ輸送管１７とを備えており、それにより加速管３内における大きい真空圧力の悪影響を防止する。 （もっと読む）

【課題】機器構成が単純であり、かつ多極電磁石の励磁量を変更する際の閉軌道誤差の発生によるチューンの変化を簡単な手順で抑制することが可能なシンクロトロンを提供することを課題とする。
【解決手段】荷電粒子ビームを加速して出射するシンクロトロンであって、シンクロトロン中を周回する荷電粒子ビームの位置を測定するビーム位置モニタと、シンクロトロン中を周回する荷電粒子ビームの軌道を補正する軌道補正手段と、シンクロトロンの周回軌道上に四極磁場以上の多極磁場を発生させる多極電磁石とを備え、さらにビーム位置モニタと多極電磁石が入れ子状に設置されていることによって、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】従来のこの種の装置では不可能な伝送路長の大きな変化による位相変動を調整できると同時に、検出精度を高める。
【解決手段】高周波信号である原信号を発生する原発振器１と、制御信号に基づいて原信号の通過時間を調整する移相器２と、原信号が伝送される伝送路３と、位相検出用信号を発生する位相検出用発振器４と、位相検出用信号の周波数を切り替える信号を発生する周波数切替信号発生器５と、位相検出用信号を２つに分岐して、基準信号と変調信号として出力する方向性結合器６と、方向性結合器６により分岐した変調信号が伝送される伝送路７，８と、方向性結合器６により分岐した基準信号と方向性結合器６により分岐して伝送路７，８を伝播した変調信号との位相を比較し、比較結果に応じて、原信号の通過時間を調整する制御信号を生成し移相器２に出力する位相検出器９とを備えた位相制御装置である。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子の軌道を調整する磁力線の磁場分布を変化させ、各種偏向機能、各種収束機能、他の機能などを持たせることにより、荷電粒子加速器のリングで使用される電磁石の種類数を大幅に低減させ、加速器の低価格化、小型化を達成する。
【解決手段】励磁電源４によって、第１励磁ユニット２の励磁方向、励磁量、第２励磁ユニット３の励磁方向、励磁量を各々、制御させて、第１励磁ユニット２に、指定された磁場分布パターンの第１ギャップ内磁力線１６を生成させるとともに、第２励磁ユニット３に、指定された磁場分布パターンの第２ギャップ内磁力線１７を生成させ、指定された磁場分布パターンのギャップ内磁力線１８を生成させる。 （もっと読む）

【課題】スキャニング照射等で必要な粒子線の出射電流を簡便な制御機器で安定に変更可能な荷電粒子ビーム照射システムを提供すること。
【解決手段】入射された荷電粒子を偏向電磁石により偏向させて周回軌道に沿って周回させ荷電粒子ビームを形成し、荷電粒子を高周波加速空洞に印加する高周波電圧により加速し、収束用電磁石により荷電粒子ビームを収束させ、六極電磁石により周回軌道に共鳴を励起し、出射装置により荷電粒子を周回軌道から取り出す円形加速器から出射される荷電粒子ビームを照射対象に照射する荷電粒子ビーム照射システムにおいて、高周波加速空洞に印加する高周波電圧のパラメータを制御することにより、周回軌道から取り出す荷電粒子の出射電流を変更するようにした。 （もっと読む）

本発明は、キャパシタスタックと、スイッチングデバイスとを備えたＤＣ高電圧源に関し、キャパシタスタックは、第一の電位に設定可能な第一の電極（３７）と、第一の電極（３７）に対して同心状に配置され第二の電位に設定可能な第二の電極（３９）と、互いに同心状に配置され第一の電極（３７）と第二の電極（３９）との間に同心状に配置され第一の電位と第二の電位との間で連続的に増大していく電位レベルに設定可能な複数の中間電極（３３）とを有し、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）がスイッチングデバイス（３５）に接続され、スイッチングデバイス（３５）の動作時に、互いに同心状に配置されたキャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）が、増大していく電位レベルに設定可能となるようにスイッチングデバイスが構成されていて、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）の間隔が中心電極（３７）に向けて減少する。
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本発明は、キャパシタスタックと、そのキャパシタスタックを充電するためのスイッチングデバイスとを備えたＤＣ高電圧源に関し、キャパシタスタックは、第一の電位に設定可能な第一の電極（３７）と、第一の電極（３７）に対して同心状に配置され第二の電位に設定可能な第二の電極（３９）と、第一の電極（３７）と第二の電極（３９）との間に同心状に配置され第一の電位と第二の電位との間の中間電位に設定可能な少なくとも一つの中間電極（３３）とを有し、キャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）がスイッチングデバイス（３５）に接続され、スイッチングデバイス（３５）の動作時に、互いに同心状に配置されたキャパシタスタックの電極（３３、３７、３９）が、増大していく電位レベルに設定可能となるようにスイッチングデバイスが構成されていて、キャパシタスタックのスイッチングデバイス（３５）が、電子管（６３）を備える。
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【課題】高周波電圧の位相を高精度、高安定に制御することができる高周波制御装置の提供。
【解決手段】ディジタル位相信号を正弦波の振幅ディジタル信号に変換する変換器２により変換された正弦波の振幅ディジタル信号をアナログ信号に変換するＤＡコンバータ３と、３の出力であるアナログ信号を増幅する増幅器４と、４からの出力を入力して電圧に変換し、荷電粒子を加速する加速空洞５と、５に発生する電圧と、電圧によって加速される荷電粒子の電流との位相差を検出する検出器３１と、３１の出力信号をディジタル信号に変換するＡＤコンバータ３２と、３２の出力信号を入力し位相差を一定に制御するコントローラ３３と、周波数信号を入力してディジタル位相信号を出力するシンセサイザ１と、３３からの出力信号と、１から出力されるディジタル位相信号を加算したディジタル位相信号を、２に入力する加算器１１とを備える。 （もっと読む）

本発明は、切り換え可能な疑中性ビームシステムを用いてリアルタイムで基板を処理して、フォトレジスト層のエッチング耐性を改善する装置及び方法を供してよい。それに加えて、前記の改善されたフォトレジスト層は、エッチング処理において、ゲート及び/又はスペーサの限界寸法(CD)のより正確な制御、ゲート及び/又はスペーサのCD均一性の正確な制御、並びに、ライン端部粗さ(LER)及びライン幅粗さ(LWR)の除去に用いられてよい。
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【課題】加速器において、エネルギーの異なる複数のビームを短時間で取り出す。
【解決手段】本発明の加速器の制御装置は、磁場基準発生部と電流基準変換部とを備える。磁場基準発生部は、磁束密度が初期値から初期加速完了レベルまで増加する初期上げパターンと、所定の減少幅で磁束密度が減少する減少パターンと、磁束密度が終了値まで減少する終了パターンとを記憶しており、初期上げ指令を受けた場合には初期上げパターンに従った磁束密度情報を、初期上げパターンに従った磁束密度情報の出力後に減少指令を受けた場合には減少パターンに従った磁束密度情報を、終了指令を受けた場合には終了パターンに従った磁束密度情報を、経過時間に応じて出力する。電流基準変換部は、更新された磁束密度情報に応じた磁場を発生させるコイル電流値を求めて、これを加速器の磁場コイルの電源供給部に入力する。 （もっと読む）