【課題】薄膜感光層であっても、優れた厚み均一性と基板への密着性とを両立することができるため、高解像度であり、かつ、感度と現像許容性とに優れ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】支持体と、該支持体上に感光層とを少なくとも有してなり、前記感光層が、バインダー、重合性化合物、光重合開始剤及びフッ素系界面活性剤を少なくとも含んでおり、前記バインダーが、分子中にカルボキシル基を含有する共重合体と、１分子中に１つのエポキシ基を有する飽和エポキシ化合物との開環付加反応物であり、ガラス転移温度（Ｔｇ）が３００〜４００Ｋであり、かつ、質量平均分子量が１，０００〜１０，０００であり、前記感光層の厚みが、３〜１０μｍであることを特徴とするパターン形成材料、及び該パターン形成材料を用いたパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置製造のリソグラフィープロセスにおいて使用され、フォトレジストに比べて大きなドライエッチング速度を有し、フォトレジストとのインターミキシングを起こさず、半導体基板上のホールの充填性に優れた有機下層膜を形成するためのリソグラフィー用下層膜形成組成物を提供する。
【解決手段】 包接分子を含有するシクロデキストリンを含むリソグラフィー用下層膜形成組成物。包接分子はハロゲン分子、酸分子、塩基分子、酸発生剤、又は塩基発生剤である。シクロデキストリンは、シクロデキストリンに含有する水酸基を有機基に置き換えた化学修飾シクロデキストリンである。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、良好なレジストパターン形状が得られ、かつ、絶縁信頼性に優れ、高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板の提供。
【解決手段】バインダー、重合性化合物、及び光重合開始剤、を少なくとも含む感光性組成物を用いて形成された感光層を有し、該感光層を、基板の表面に積層した後、該感光層に対して露光を少なくとも行うことにより形成されたパターンの膜厚１μｍ当たりの８１０ｃｍ^−１の吸収が、０．０２未満であるパターン形成材料である。また、該パターン形成材料を用いるパターン形成方法、及び前記パターン形成方法により永久パターンが形成されるプリント基板である。 （もっと読む）

【課題】製造工程における樹脂パターンの膨潤や劣化などを抑制することができ、使用可能な樹脂の選択性の幅が広く、微細かつ高精細な樹脂パターンを低コストで簡便に効率よく形成可能な樹脂パターンの形成方法等の提供。
【解決手段】本発明の樹脂パターンの形成方法は、基体上に、光が照射されると前記樹脂と結合可能となる結合性基と、前記基体の表面と結合可能な官能基とを少なくとも有する樹脂固定用化合物を含む樹脂固定層を形成する樹脂固定層形成工程と、前記樹脂固定層上に、前記樹脂を含む樹脂層を形成する樹脂層形成工程と、前記樹脂層に光を像様に照射することにより、該光を照射した領域の前記樹脂固定層と前記樹脂層とを結合させて潜像を形成する潜像形成工程と、前記光が照射されていない領域における樹脂層を、物理的刺激により剥離し除去することにより、樹脂パターンを現像する現像工程とを少なくとも含む。 （もっと読む）

【課題】耐傷性及び現像処理後のフィニッシングガム塗布面状に優れた平版印刷版原版の製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上にノボラック樹脂と相溶しない水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂を含有する下層用塗布液を用いて下層を塗設した後、該下層上にノボラック樹脂とスルホニウム塩と有機溶媒とを含有するポジ型記録層用塗布液を用いてポジ型記録層を塗設する平版印刷版原版の製造方法であって、前記ポジ型記録層用塗布液が、前記下層を１分間に０．１２〜０．１７ｇ／ｍ^２の速度で溶解する液であることを特徴とする平版印刷版原版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】合紙を用いずに積層した場合であっても、記録層に傷が生じることを抑制し、また、版同士の接着を防止しうる紫外線感光性平版印刷版原版を提供すること。
【解決手段】支持体の片面に、紫外線感光性の記録層を有し、前記支持体の記録層を有する面とは反対側の面に、数平均粒径１〜１００μｍの架橋されたポリマー粒子を含有する有機ポリマー層を有することを特徴とする紫外線感光性平版印刷版原版。また、有機ポリマー層がエポキシ樹脂及びレゾール樹脂から選ばれる少なくとも一種の有機ポリマーを含有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高密度、高精細であり、かつ、高い導電性を有する配線パターンを有するメタライズドセラミックス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】セラミックス焼結体基材上に、金属粉末および現像液に可溶な有機バインダーを含有する導電ペーストを塗布して、導電ペースト層を形成する工程、導電ペースト層上に、フォトレジスト層を形成する工程、フォトレジスト層上の所望の位置に光を照射し、現像液に不溶なレジストパターンを形成する工程、現像液により、レジストパターン以外のフォトレジスト、および、レジストパターン以外のフォトレジスト下部の導電ペーストを除去し、所望の導電ペーストパターンを形成する工程、焼成により、レジストパターンを除去し、導電ペーストパターンを焼結して、配線パターンを形成する工程、を有するメタライズドセラミックス基板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】少ない工程数で低欠陥な微粒子パターン、ドットアレイパターン、ホールアレイパターンを形成するための感光性シランカップリング剤、及び該感光性シランカップリング剤を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】ｏ−ニトロベンジルオキシカルボニル基で保護された２級アミノ基を有する感光性シランカップリング剤。基板１の表面に前記感光性シランカップリング剤を積層し、前記感光性シランカップリング剤層２にパターン状に露光を行ない、露光部３に２級アミノ基を発生させ、露光部２に選択的に微粒子を配する。得られた微粒子パターを用いて単一電子素子、パターンドメディア、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスなどを作製する。 （もっと読む）

【課題】短波長の露光光の反射率が低く、酸素プラズマ等に対するエッチング耐性にも優れる下層膜を形成するための下層膜用組成物及び多層レジストパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】フォトレジスト層の下層膜に用いられる下層膜用組成物であって、置換基を有してもよいアダマンチル基を側鎖に有するアクリルモノマーから誘導される構成単位と、ヒドロキシスチレン誘導体から誘導される構成単位とを含む共重合体を含む下層膜用組成物である。 （もっと読む）

【課題】パターン制御性、パターン精度及び生産性に優れた微粒子パターン形成方法および単電子素子、磁気記録媒体、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】光分解性保護基で保護されたチオール基、アミノ基、ヒドロキシル基、カルボキシル基またはスルホ基を有するシランカップリング剤を含有する層５が最上面に形成された基板１をパターン状に露光した後、該基板を金属原子含有微粒子が分散されたコロイド溶液に浸漬し、金属原子含有微粒子３を露光部４に選択的に付着させる微粒子パターン形成方法。前記微粒子パターン形成方法を用いた単電子素子、磁気記録媒体、化学センサ、量子ドットレーザー素子、フォトニック結晶光学デバイスの製造方法。 （もっと読む）

【課題】平版印刷原版において、熱による直接描画方法に対応して製版が可能であり、特に印刷時において膜剥がれを発生させず画像部の耐刷性に優れた平版印刷原版を提供することにある。
【解決手段】支持体上に熱可塑性樹脂を殻とする微小中空粒子を含有する断熱層、熱により疎水性へ変換できる層、親水性層の順に設けたことを特徴とする平版印刷原版。 （もっと読む）

【課題】合紙を用いずに積層した場合に、積層体を形成しやすく、また、積層体の版材間で振動によるズレが生じず、更に、記録層の損傷が効果的に抑制される赤外線感光性平版印刷版原版を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体の片面に、水不溶性且つアルカリ可溶性樹脂と赤外線吸収剤とを含み、赤外線照射により画像を形成し得る記録層を有し、該支持体の記録層を有する面とは反対の面に、有機ポリマー層を有し、前記記録層と前記有機ポリマー層との静摩擦係数が０．４５〜０．６０の範囲であることを特徴とする赤外線感光性平版印刷版原版。 （もっと読む）

【課題】ドライフィルムレジストを用いて感光性を有する基板を加工するに際して、該基板が変色、劣化、分解、重合することなく、且つ剥離性に優れた硬化レジストパターンを有するドライフィルムレジストを提供することを目的とする。
【解決手段】支持体フィルム上に硬化レジストパターンを有する感光性樹脂層次いで保護層を有するドライフィルムレジスト。 （もっと読む）

【課題】所望の界面で剥離可能であり、剥離性の良好な多層材料、剥離残りを効果的に抑制し、良好なパターンが得られる樹脂パターンの形成方法、及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層と感光性樹脂層とを有し、前記熱可塑性樹脂層が、分子内に極性基を有すると共にエネルギー付与によって気体を発生したり構造変化を生じて該熱可塑性樹脂層を膨張させる化合物を含み、転写後エネルギー付与を行った場合には熱可塑性樹脂層と中間層との界面で剥離され、エネルギー付与を行わない場合には中間層と感光性樹脂層との界面で剥離される多層材料、並びに該多層材料を用い、エネルギー付与によって熱可塑性樹脂層を膨張させ、該熱可塑性樹脂層と中間層との界面で仮支持体を剥離する工程を有する樹脂パターンの形成方法、該形成方法によって樹脂パターンを形成した基板を備える液晶表示装置。 （もっと読む）

【課題】被エッチング層のパターンの線幅ばらつきを低減させるパターン形成方法および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板１１上に設けられたゲート電極膜１２上に、ラクトン基含有骨格を有する高分子材料を含むレジストパターン１５’を形成する第１工程と、レジストパターン１５’のガラス転移温度または軟化点が低下するように、水素含有ガスを用いたプラズマ処理を行う第２工程と、エッチングにより、プラズマ処理後のレジストパターン１５’をゲート電極膜１２に転写することで、ゲート電極を形成する第３工程とを有することを特徴とするパターン形成方法および半導体装置の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】合紙を用いなくても、輸送、保管時等において記録層に傷が付きにくく、かつ耐熱性に優れ、プレートクリーナー等の各種印刷用薬品、特にＵＶインキ用洗浄剤に対する耐性に優れた平版印刷版原版を提供することを目的とする。
【解決手段】支持体の片面に、ジアゾニウム塩またはｏ−キノンジアジド化合物を感光性化合物として紫外線感光性の記録層を有し、前記支持体の記録層を有する面とは反対側の面に、エポキシ樹脂およびレゾール樹脂から選ばれる少なくとも一種の有機ポリマーと、架橋剤と、を含む溶液を塗布、乾燥することにより架橋反応を生じさせて形成された有機ポリマー層を有することを特徴とする紫外線感光性平版印刷版原版により上記課題が解決される。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、導電性に優れ、断面のアスペクト比が高い導電性パターンを形成する方法およびその方法に用いる組成物を提供する。
【解決手段】導電性パターン形成用液状組成物を露光面を有する容器に供給する工程と、導電性パターンが形成される表面を有する基材を前記組成物に浸漬する工程と、露光面と基材の表面との間に所定厚みの組成物層が介在するように基材を配置し、組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を形成する工程と、露光面と形成された硬化物層の表面との間に所定厚みの新たな組成物層が介在するように基材を移動させ、その組成物層にマスクを介して露光し、所定パターンの硬化物層を更に形成する操作を１回以上行い、硬化物層の積層膜を形成する工程と、基材の表面から未硬化の組成物を除去する工程と、積層膜を熱処理する工程とを有する導電性パターンの形成方法およびその方法に用いる導電性パターン形成用組成物。 （もっと読む）

【課題】基板上に形成されたパターンをマスクとしてエッチングを行うパターン形成方法において、パターン表面に、低温で、耐エッチング性が高い金属酸化物膜を、パターン表面に選択的に形成するために好適に用いられる下層膜形成用材料、積層体およびパターン形成方法を提供する。
【解決手段】基板と、加水分解により水酸基を生成し得る金属化合物（Ｗ）が溶剤（Ｓ）に溶解してなる膜形成用材料を用いて形成される金属酸化物膜との間に下層膜を形成するための下層膜形成用材料であって、多環式の炭化水素環を有し、該炭化水素環の環上の少なくとも１つの炭素原子が主鎖を構成する構成単位（ａ）を有し、前記金属化合物（Ｗ）と反応する官能基を有さず、かつ前記溶剤（Ｓ）に溶解可能な樹脂（Ａ１）を含有することを特徴とする下層膜形成用材料。 （もっと読む）

【課題】高さ分布の均一性が高いフォトスペーサーを形成し得る感光性樹脂転写材料を提供する。
【解決手段】仮支持体上に、少なくとも、アルカリ可溶な熱可塑性樹脂層と、感光性樹脂層とを有し、前記感光性樹脂層の層厚分布の標準偏差が層厚の平均値の１．５％以下であることを特徴とする感光性樹脂転写材料である。前記熱可塑性樹脂層の厚み（Ａ）と、前記感光性樹脂層の厚み（Ｂ）との比率（Ｂ／Ａ）としては、１／２．５以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】印刷機上での処理液耐性が良好で、耐刷性に優れ、印刷時の汚れ防止性に優れる感光性平版印刷版材料並びにそれを与える支持体及びその製版方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム板またはアルミニウム合金板に粗面化処理を施し、次いで陽極酸化処理を施し、更に、後処理を施して形成される感光性平版印刷版用支持体の製造方法において、該後処理はポリビニルホスホン酸水溶液による処理、又は、珪酸ソーダ処理後にポリビニルホスホン酸水溶液による処理であり、かつ、その後、該後処理されたアルミニウム板またはアルミニウム合金板をｐＨが４〜９、液温が７０〜９０℃の水溶液で洗浄することを特徴とする感光性平版印刷版用支持体その製造方法及び感光性平版印刷版材料。 （もっと読む）