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Fターム[2H047PA24]の内容

光集積回路 (2,283) | 製法 (627) | 加工(エッチング、切削等) (141)

Fターム[2H047PA24]に分類される特許

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【課題】 光軸調心が容易な光ガイド用メタルパターン付き導波路型光回路及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ガラス基板11の一方の面上に設けた低屈折率層12内に、高屈折率の光伝搬層が所望パターン形状で形成されて埋め込まれた光回路10において、ガラス基板11の他方の面上に、光伝搬層のパターン14を反転させた形状のメタルパターン15が形成されているものである。 (もっと読む)


【課題】 生産性、材料選択性、凹凸面の設計の自由度、コストおよび波長選択性に優れた基板生成方法、フォトニック結晶素子の生成方法、フォトニック結晶構造の生成方法を提供することを課題とし、さらには、フォトニック結晶構造の光学特性の向上および形状の小型化を図ることを課題とする。
【解決手段】 矩形の溝形状を表面に有する基板を準備し、この上に、スパッタによる成膜とエッチング処理を繰り返して、断面三角形状の面形状を形成する。さらに、その上に、Ni電界めっきにより、300μm程度の厚さを有するNi膜を形成し、形成したNi膜を剥離して、断面三角形の表面形状を有するスタンパを取得する。取得したスタンパを用いて樹脂材料を射出成形して基板を取得する。この基板表面には、フォトニック結晶構造を積層形成するための断面三角形の表面形状が形成されている。 (もっと読む)


【課題】 広い波長領域で完全フォトニックバンドギャップを呈し、しかも製造が容易な3次元周期構造及びそれを有する機能素子を得ること。
【解決手段】 フォトニックバンドギャップを呈する3次元周期構造であって、複数の柱状構造が所定の間隔を空けて配列された層が付加層を介して順次積層され、該付加層に含まれる離散構造は該柱状構造の交点に相当する位置に配置され、該離散構造の面積は前記柱状構造の交差領域の面積より大きいことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 広い完全フォトニックバンドギャップ(PBG)を有する2次元フォトニック結晶を提供する。
【解決手段】 スラブ状の本体31に、スラブ面に平行な方向の断面形状が正三角形である空孔32を三角格子状に周期的に配置する。この空孔32の上面及び下面を本体31の材料で覆うことにより、上記断面形状がスラブ面に垂直な方向には一様でないようにする。これによりTM偏波に対するPBGは広くなり、TE偏波に対するPBGと重なるエネルギーの範囲が広くなる。この重なりの部分が完全PBGである。完全PBG内のエネルギーに対応する波長を有する光は、TE偏波、TM偏波の双方がフォトニック結晶内を伝播することができない。そのため、このフォトニック結晶に導波路や共振器を設けると、それらからフォトニック結晶内に上記波長を有する光が漏れて損失となることを防ぐことができる。 (もっと読む)


【課題】 精度のよいリッジ型構造の加工が可能な光導波路デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 (a)強誘電体材料からなる第一基体11に、リッジ型構造形成面16を加工する工程、(b)第一基体材料より屈折率の小さい材料が第一基体のリッジ型構造形成面16と接するようにして、第一基体11のリッジ型構造形成面側に固着される第二基体12を設ける工程、(c)第一基体のリッジ型構造形成面16とは反対側である裏面を薄片化処理して、薄片化処理面17を形成する工程、により、先にリッジ型構造を形成した後に、薄片化処理を行うようにする。 (もっと読む)


本発明は、それぞれが少なくとも1つの動作可能な面を備える各光デバイスの機能性を拡張する方法に関する。この方法は、上記の動作可能な各面のそれぞれの位置を揃えて1つの複合面を形成するようにこの光デバイスを積み重ねることと、複製を受け入れるように構成された膜を上記複合面に被覆することと、この加えられた膜にナノ構造のパターンを複製することとを含んでいる。実質上、動作可能な各面のそれぞれの面が十分な分の上記複製されたナノ構造パターンで複製されて、上記ナノ構造に伴うある機能を遂行することによりデバイスの動作を拡張する。
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【課題】 本発明は、小型でしかも応答性に優れ、作製も容易かつ低コストで行うことのできる光デバイス等を提供することを目的とする。
【解決手段】 フォトニック結晶から形成された固定基板20と、可動基板30とを備える光学素子10を用い、光デバイス100Aを構成した。固定基板20の導波路25と、可動基板30の導波路32とを、互いに重なり合うように設け、エバネッセント光による光結合が可能な状態とし、アクチュエータ40で、可動基板30を固定基板20に対して相対移動させるようにした。これにより、固定基板20の導波路25と可動基板30の導波路32との間で光結合によって伝播する光の量が変化し、導波路25から出射される光と、導波路32から出射される光の強度等を制御する。このような光学素子10を用いることで、変位、力、圧力、加速度等を検出する高感度のセンサを構成することもできる。 (もっと読む)


【課題】 特定の波長のみに可変の光減衰を付与することが可能でかつ半固定動作が可能な光デバイスと、光制御方法を実現する。
【解決手段】 2種類以上の媒質からなる2次元または3次元の周期構造体のフォトンのバンド構造における反対称モードを外部光の斜め入射により励振することで、反対称モードの存在する波長の光に、透過損失または反射損失を生じさせることと、直交する偏波のうちの少なくとも一方に対する実効的な光波のバンドギャップを生じさせることとのうちの、少なくともいずれかをなす。また、入射角をステッピングモータを用いて可変とすることで透過損失を可変とする。 (もっと読む)


【課題】生産性を向上させながら、高い透過率を有する光学素子を形成することが可能な光学素子の製造方法および光学素子形成用ウェハを提供する。
【解決手段】この光学素子の製造方法は、透明基板1上にアルミニウム膜2を堆積する工程と、アルミニウム膜2の素子領域2a以外の領域を除去することにより分離溝4を形成する工程と、アルミニウム膜2の素子領域2aに陽極酸化を施す工程と、陽極酸化された酸化アルミニウム膜6に水蒸気酸化を施す工程と、水蒸気酸化が施された酸化アルミニウム膜6を含む光学素子形成用ウェハ7を分離溝4に沿って分離する工程とを備えている。 (もっと読む)


【課題】 光の進路をコンパクトに方向変換する光導波路装置、及び、その光導波路装置と他の光部品(発光素子、受光素子、光ファイバ、或いは光導波路など)とを位置合わせして基体に位置固定し、光学的に結合した光結合装置を提供すること。
【解決手段】 クラッド2とコア3との接合体からなる光導波路1の両端面4と5を、45度に傾斜した反射面に形成する。一方の端面4に対向して、支持体12のV字溝14によって調芯された光ファイバ8を配置し、その端面を光導波路主面6に接着固定して、光導波路1と光ファイバ8との光結合を形成する。他方の端面5には、面型の受発光素子46を対向配置する。光導波路1と受発光素子46との位置合わせは、光導波路1の下部クラッドに設けた嵌合用凸部11と、実装基板41に設けた嵌合用凹部42との凹凸嵌合によって行い、これを補助するガイドピン13とガイド孔43を、支持体12と実装基板41に設ける。 (もっと読む)


【課題】光導波路の下部クラッド層の材料として用いることにより、光導波路の形成時に発生する収縮応力を緩和して、高温高湿等の条件下でも長期に亘って基材からの光導波路の剥離を防止することのできる光導波路用感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)ウレタン(メタ)アクリレート35〜69.98質量%、(B)エチレン性不飽和基を1つ含む化合物30〜64.98質量%、(C)アクリロイル基を2つ以上含む(メタ)アクリレート0〜20質量%、(D)ラジカル性光重合開始剤0.01〜10質量%および(E)酸化防止剤0.01〜3質量%を含有する感光性樹脂組成物。該感光性樹脂組成物2は、基板1上に塗布され、光導波路13を構成する第一の下部クラッド層4を形成する。 (もっと読む)


【課題】 光軸調心が容易な光回路及びその製造方法を提供するものである。
【解決手段】 本発明に係る光回路10は、ガラス基板11の一方の平面上に設けたクラッド層12内に、そのクラッド層12よりも高屈折率の光伝搬パターン13を設けた回路部14を有するものである。ガラス基板11の他方の平面上にはメタルパターン15が設けられ、クラッド層12内に、このメタルパターン15と略同形状の光伝搬パターン13が設けられる。 (もっと読む)


【課題】光通信に使用される近赤外領域で高い透明性と低い屈折率を示し、高周波エレクトロニクス材料として有用な低誘電率を有し、加工性に優れたポリベンゾオキサゾール樹脂とその前駆体を提供すること。
【解決手段】
主鎖に、3つのベンゼン環が2個の酸素原子によって連結された構造を有するフッ素化ジカルボン酸モノマー成分に由来する繰り返し単位を有し、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィによりポリスチレン換算値として測定される重量平均分子量が3,000〜1,000,000の範囲内であるポリベンゾオキサゾール樹脂前駆体、該前駆体を環化してなるポリベンゾオキサゾール樹脂、該樹脂から形成された成形体、これらの製造方法、樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】 より容易に製造することが可能な積層構造体、積層構造体の製造方法、積層構造体を含む光学素子、及び光学素子を含む光学製品を提供する。
【解決手段】 積層構造体は、基板、基板の表面における少なくとも一つの方向に関して周期的な形状を備えた水素シルセスキオキサンを含む層、及び水素シルセスキオキサンを含む層に積層された周期的な形状と同一の形状を備えた単数又は複数の層を含む。積層構造体の製造方法は、基板の表面に水素シルセスキオキサンを含む液体を塗布して、水素シルセスキオキサンを含む層を形成する段階、基板における少なくとも一つの方向に関して周期的な形状を反転した形状を備えた型を用いて、水素シルセスキオキサンを含む層に周期的な形状を転写する段階、及び周期的な形状が転写された水素シルセスキオキサンを含む層に周期的な形状と同一の形状を備えた単数又は複数の層を積層させる段階を含む。 (もっと読む)


【課題】機械的な動きなしで電気的信号を用いて安定的に共振周波数を変化させることが可能な、可変光偏向器を用いた波長可変型外部共振レーザダイオードを提供する。
【解決手段】様々な波長のビームを発生させる半導体光増幅器112と、受動導波路113と、スラブ導波路100と、光入射面が凹状からなり、前記スラブ導波路から進行するビームを波長に応じて平行に回折させる凹曲面回折格子120と、前記スラブ導波路の一側面に形成され、前記凹曲面回折格子によって回折された平行なビームを反射させる反射鏡101と、前記凹曲面回折格子と前記反射鏡との間に位置し、電気的信号に応じて屈折率が変化し、前記凹曲面回折格子によって回折されたビームのうち特定波長のビームが前記反射鏡に垂直に入射するようにする可変光偏向器130とを含み、前記半導体光増幅器、前記回折格子及び前記可変光偏向器が前記スラブ導波路に集積される。 (もっと読む)


【課題】 光結合のロスが少ない光導波装置及びその製造方法、並びに光情報処理装置を提供すること。
【解決手段】 第1の半導体層2と、絶縁層3と、第2の半導体層4とがこの順に積層され、第1の半導体層2に光導波層5が形成されている光導波装置1において、光導波層5の少なくとも厚みが、光入射側端部6で光出射側端部7よりも大きいことを特徴とする、光導波装置1。本発明の光導波装置1と、この光導波装置1の光導波層5に光を入射させる光入射手段9と、光導波層5からの出射光を受け入れる受光手段10とを有する、光情報処理装置8。第1の半導体層2にゲルマニウム等の不純物元素を導入する工程を経て、少なくとも厚みが光入射側端部6で光出射側端部7よりも大きい光導波層5を形成することを特徴とする、光導波装置1の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 光導波路配線基板における光導波路配線及び光電気混載基板における光導波路配線と電気配線の導通の良否を検査する方法において、検査光信号の挿入損失を低減することが可能な検査方法を提供すること。
【解決手段】光導波路配線基板に形成された光導波路配線の導通の良否を、光導波路配線基板に重ねた検査用基板を用いて判定する検査方法であり、検査用基板の入力部を介して検査用光信号を光導波路配線基板面上の光入力部に入射させ、光導波路を導波した検査用光信号を光導波路配線基板面上の光出力部から出射させ検査用基板の出力部を介して取り出し検出することにより光導波路配線の導通の良否を判定する検査方法、前記検査用基板に更に電気配線検査端子を設け、光電気混載基板における光導波路及び電気配線の導通の良否を判定する検査方法。 (もっと読む)


【課題】 マスクを用いたエッチング加工を改良した半導体素子の作製方法及び半導体素子を提供すること。
【解決手段】 SiO膜63上にレジストを塗布した後に回折格子作製マスク用のレジストパターン64を作製する(c)。レジストパターンをマスクとしてSiO膜を加工することにより、レジストパターンをSiO膜63に転写する(d)。レジストパターン64を除去することにより、InP上に傾斜面aを有する導波層構造を作製するためのSiOマスクが形成される(e)。マスクから半導体表面への塩素プラズマの拡散によりマスク端から離れるにつれてエッチング深さが浅くなり、傾斜面aを有する形状が形成される(f)。最後にSiO膜63を、炭化フッ素系ガスを用いたRIEにより除去する(g)。 (もっと読む)


【課題】 光電気混載基板を構成する光導波路配線基板と電気回路基板との積層位置合わせを容易に行いうる光電気混載基板を提供する。
【解決手段】 光導波路配線基板200と電気回路基板300とを積層した光電気混載基板100であり、光導波路配線基板200は、光導波路配線212、214、光入出力部、及び光導波路配線基板200平面に平行な面に対して角度を有する方向へ光の方向を変換することにより光導波路配線基板200面上に設けた光入出力部と光導波路212、214を光接続する光路変換手段A210を少なくとも2つ有し、前記電気回路基板300の電気配線302、304ピッチが、光路変換手段A210の間隔の整数倍、または整数分の1であり、電気配線302、304が光導波路配線基板200への光入力及び光導波路配線基板200からの光出力を妨げないように電気回路基板300と光導波路配線基板200が積層されている。 (もっと読む)


反射率が高く、振動に強いミラーを用いた光スイッチを提供する。光導波路基板230と、ミラー部118と、ミラー部118を搭載した可動部231とを有する。ミラー部118は、光反射部101と、光反射部101を可動部231上に支持する支持部102とを含む。光導波路基板230は、光路をスイッチングするために可動部231によって光反射部101が挿入されるための溝247と、光反射部101が溝247に挿入される際に支持部102の一部が入り込むための凹部250とを有する。
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