本発明は、少なくとも４つの平面状誘電体層を積層して、その上層が誘電体層で回折次数を決める溝が彫られた回折格子で、光線を回折する反射回折格子の製造方法であって、その製造方法は、溝が彫られる層を含めて誘電体層の数と性状を選択する段階と、予め定めた回折格子の形態それぞれの使用スペクトル範囲の周波数で、少なくとも４つの誘電体の厚さを変え、予め定めた回折格子の間隔と予め定めたインクレメントピッチで少なくとも１つの格子溝のパラメーター値を変えて、少なくとも１つの回折次数での回折および／または伝達効率を数値計算する段階と、計算された形態の内で、想定される回折の使用基準を考慮して、少なくとも１つの形態を決める段階と、を有して構成されている。 （もっと読む）

特にＥＵＶリソグラフィ装置用の応力低減型反射光学素子を構成する軟Ｘ線及び極端紫外線波長域内の作業波長用の反射光学素子であり、前記反射光学素子は、基板（２）上に前記作業波長で屈折率の異なる実数部を有する少なくとも２つの交互材料（４１，４２）からなる第１の多層膜系（４）を備え、該多層膜系が前記基板（２）に層応力を及ぼし、前記基板（２）上に周期的に交互の少なくとも２つの材料（６１，６２）からなる第２の多層膜系（６）を備え、該多層膜系が前記第１の多層膜系（４）と前記基板（２）との間に配置され、前記基板（２）に反対方向の層応力を及ぼし、前記第２の多層膜系（６）の前記少なくとも２つの材料の第１の材料（６１）が、前記第２の多層膜系（６）の少なくとも１つの他の材料（６２）の１ｎｍまでの厚さの層によって、前記第１の材料（６１）がアモルファス状態で存在するような間隔で遮断されている。第２の実施例では、前記第２の多層膜系（６）の一つの材料はニッケル又はニッケル合金である。
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【課題】目視角度の変化に応じて反射色に変化が生じる多層薄膜層を有し、さらにオバート機能とコバート機能を具備してなる偽造防止媒体であり、特に目視による真偽判定が容易であり、かつ偽造・改ざん・変造・複写を困難にする偽造防止媒体を提供する。
【解決手段】基材１１の一方の面側に設けられている、可視光線の照射下で目視角度に対応して色変化が生じる多層薄膜層１８の上に、少なくともパターン状光反射層１３が設けられ、さらにそのパターン状光反射層の一部もしくは全面を覆うように位相差層１４が設けられていることを特徴とする偽造防止媒体。 （もっと読む）

本明細書では、ＮｂＴａＺｒ酸化物を含む高い屈折率の材料を使用した、光干渉多層コーティングが開示される。このようなコーティングは、好ましい光学的および物理的特性の高温での維持を強化する。本明細書ではまた、光透過性外囲器を備えるランプが開示され、光透過性外囲器の表面の少なくとも一部分に上記の光干渉多層コーティングが設けられる。このようなコーティングがランプに用いられた場合は、このようなランプに対する改善されたエネルギー効率を有利にもたらすことができる。 （もっと読む）

本発明は、セキュリティ要素及びホログラムの製造のための、成形した遷移金属、特に銀、粒子及び結合剤を含む被覆組成物の使用に関し、その際、顔料と結合剤との比は、有利には、得られた被覆が、角度依存の色変化を示すような比である。本発明の被覆組成物が、ホログラムを被覆することに使用される場合に、得られた生成物は、角度依存の色変化（フィリップフロップ効果）、反射及び透過における異なる色、極めて明るいＯＶＤ画像並びに極めて強いレインボー効果、高純度及びコントラストを示す。 （もっと読む）

【課題】赤外線反射層の保護層をポリシクロオレフィン層から形成することにより放射率を低く抑制して、耐熱性及び耐候性に優れた赤外線反射基板を提供する。
【解決手段】赤外線反射層と、前記赤外線反射層の表面に設けられた保護層と、前記赤外線反射層を裏面側から支持する透明基板とを有する赤外線反射基板であって、前記保護層は、ポリシクロオレフィン層からなることを特徴とする赤外線反射基板。 （もっと読む）

【課題】赤外線領域での遮熱性能に優れ、色味調整が容易で、誘電体膜積層膜のクラック耐性、耐衝撃性に優れ、低ヘイズで、耐久性（耐光性）に優れた誘電体膜積層体と、その製造方法を提供する。
【解決手段】基材上に、無機顔料を含有する層と、低屈折率誘電体膜と高屈折率誘電体膜とを交互に積層した誘電体膜ユニットとを有することを特徴とする誘電体膜積層体。 （もっと読む）

【課題】入射角に対する光学特性の依存性を著しく低減できる光学フィルタを簡便な手段により構成する。
【解決手段】シート状の樹脂基板の上に、薄膜を蒸着により物理膜厚を均一に積層して、所定の波長領域の光線の透過を制限するＵＶＩＲカットフィルタである光学フィルタ１２を作成し、この光学フィルタ１２の周囲を湾曲した枠体２１に円柱表面状のような凸形状となるように固定し、凸形状を形成する。 （もっと読む）

多層ミラー（１００）は、極端紫外線（ＥＵＶ）放射を反射する一方で、ＥＵＶ放射の波長よりも実質的に長い波長を有する第２のタイプの放射を吸収するように構成される。ミラーは、基板（１０４）上に積み重ねられた複数の層対（１１０、１１２）を含む。各層対は、第１の材料を含む第１の層（１１２）と第２の材料を含む第２の層（１１０）とを備える。第１の層（１１２）は、同じ厚さを有する同じ金属のシンプルな層に比べて、第２の放射の反射へのその寄与を減少するように変更される。変更には、化学結合または電子トラッピングによって電気伝導率を減少するように金属層内またはその周りに第３の材料をドープすること、および／または、絶縁層で金属層を副層に分割することが含まれ得る。スタックにおける層の数は、周知の多層ミラーより大きく、ＩＲ反射において最小値を達成すべく調整され得る。 （もっと読む）

複数の光ビームを１つの光路上に結合させるためのビームコンバイナであって、第１の波長帯域の光を光路に沿って透過し、第２の波長帯域の光を光路上に反射するように配置されたダイクロイックコーティングを有する第１のダイクロイック要素と、第１および第２の波長帯域の光を光路に沿って透過し、第３の波長帯域の光を光路上に反射するように配置されたダイクロイックコーティングを有する第２のダイクロイック要素と、を備える、ビームコンバイナ。前記ビームコンバイナはさらに、第１、第２、および第３の波長帯域のいずれかの外側に存在する少なくとも１つの反射率エッジ遷移を提供し、第１、第２、および第３の波長帯域の少なくとも１つにおいて通過光の変更状態に対する累積された位相差に対する補償を提供する位相差補償多層薄膜スタックを含む。
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【課題】視野角が広く、さらに、近赤外線カット能に優れ、吸湿性が低く、異物やソリのない、近赤外線カットフィルターを得ることを目的とする。
【解決手段】透過率が下記（Ａ）〜（Ｄ）を満たすことを特徴とする近赤外線カットフィルター；
（Ａ）波長４３０〜５８０ｎｍの範囲において、透過率の平均値が７５％以上。（Ｂ）波長８００〜１０００ｎｍにおいて、透過率の平均値が２０％以下。（Ｃ）８００ｎｍ以下の波長領域において、透過率が７０％となる最も長い波長と、波長５８０ｎｍ以上の波長領域において、透過率が３０％となる最も短い波長との差の絶対値が７５ｎｍ未満。（Ｄ）波長５６０〜８００ｎｍの範囲において、垂直方向から測定した場合の透過率が５０％となる波長の値と、垂直方向に対して３０°の角度から測定した場合の透過率が５０％となる波長の値の差の絶対値が１５ｎｍ未満。 （もっと読む）

【課題】防塵性能の高い光学物品を提供する。
【解決手段】基板１の上に複数層からなる無機薄膜２を有する防塵ガラス１０であって、無機薄膜２は、複数の酸化ケイ素層２Ａと、複数の金属酸化物の層２Ｂと、が積層され、金属酸化物は、ジルコニウム、タンタルまたはチタンのいずれかを含んだ金属酸化物であり、酸化ケイ素の層２Ａには、低密度の酸化ケイ素層と、この低密度の酸化ケイ素層より密度の高い高密度の酸化ケイ素層とがあり、無機薄膜２の最表層２Ｓは、低密度の酸化ケイ素層であり、無機薄膜２の最表層２Ｓの表面粗さは０．５５ｎｍ以上０．７０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】各色間における共振強度や指向性などのバランス調整が容易な複数波長発光素子を提供する。
【解決手段】この発光素子は、出力すべき波長成分を含んだ光を発する発光手段(4)と、発光手段から発せられた光のうち特定の波長を有する光の一部を透過し残りを反射する半反射層(2R、2G、2B)が、出力すべき光の波長に対応させて光の進行方向に沿って順に積層されている半反射層群(2)とを備える。出力させる光の波長に対応付けて発光領域(AR、AG、AB)が定められている。各発光領域では、その発光領域から出力させる光を反射する半反射層(2R、2G、2B)の発光手段側からの光に対する反射面と、発光層の半反射層群側の端部から反射層までの間における一点との間の距離(Ｌ_R、Ｌ_G、Ｌ_B)が、その光に対して共振する光学距離となるように調整されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】高い反射率を得ることが可能な多層膜反射鏡を提供する。
【解決手段】本発明の多層膜反射鏡は、Ｍｏを主成分とするＭｏ層とＳｉを主成分とするＳｉ層とからなるＭｏ-Ｓｉペア層を積層した多層膜反射鏡であって、Ｍｏ-Ｓｉペア層におけるＭｏ層の厚さとＳｉ層の厚さの和が略一定であり、入射光の進行方向からみて、入射光が最初に入射する第１層目のＭｏ層から離れたＭｏ層であるに従い、Ｍｏ層の厚さが増大することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的単純であり且つ所望の仕様を有するＥＵＶスペクトル純度フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】極端紫外放射を透過させ、かつ第２のタイプの放射の透過を抑制するよう構成された複数のアパーチャを有するスペクトル純度フィルタの製造方法である。基材に、アパーチャ間に形成される壁に対応するパターンに溝が形成される。グリッド材料の壁を形成するために、溝がグリッド材料で充填される。アパーチャを形成するために、グリッド材料が露出し、グリッド材料の壁間に空間が生じるまで、基材が選択的に除去される。 （もっと読む）

【課題】透明性が高く遮蔽係数のよい透明熱反射積層体を提供する。
【解決手段】透明誘電体と金属の多層膜よりなる可視光に透明で低熱放射率の透明熱反射膜と、基板よりなる積層体で、該積層体が基板１側より透明誘電体／銀合金（１）／透明誘電体／銀合金（２）／透明誘電体膜の構成よりなり、該銀合金（２）の膜厚が１６ｎｍ以上であり該銀合金（１）の膜厚より１．２倍以上２倍以下の範囲にあり、かつ該積層体の可視光透過率が７５％以上で遮蔽係数が０．５以下である積層体。この積層体は、優れた透明性と近赤外光遮断性をバランス良く持つことを見出した。 （もっと読む）

本発明は、ＥＵＶ波長領域に対する反射コーティングと、基板とを具えるミラーであって、基板の表面領域は反射コーティングの下側でこの反射コーティングに沿って均一に延在しているとともに、基板の表面から見て５μｍまでの深さｄを有している当該ミラーに関するものである。この場合、この表面領域はこの表面領域以外の残りの基板よりも２％だけ高い密度を有する。本発明は更に、上述した表面領域を同様に有する基板に関するものである。本発明は更に、イオン又は電子を照射することにより、上述した表面領域を有する上述したミラー及び基板を製造する方法に関するものである。
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本発明は、微小機械ユニット、特に調節可能な光学フィルタ、およびまたそのユニットを製造する方法に関する。このユニットは、互いに少なくとも部分的に固定される第１の素子層と第２の基板層とを含み、素子層は、複数の可動でない固定反射素子の間に分割される複数の反射素子を含み、固定素子は基板に接続され、空洞が、基板と各々の可動素子との間に規定され、各々の可動素子は空洞内でスプリングにより負荷される動きを生じるように設置され、複数の誘電性スペーサブロックが、それらの間の電気接触を回避するために各々の可動素子と基板との間の空洞内に配置される。 （もっと読む）

【課題】特定波長帯の光を選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を選択的に透過することができ、かつ、耐久性を向上することができる光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、光が入射する平滑な入射面を有する光学層と、光学層内に形成された波長選択反射膜とを備える。波長選択反射膜は、特定波長帯の光を選択的に指向反射するのに対して、特定波長帯以外の光を選択的に透過するものである。光学層が、波長選択反射膜の第１の主面上に形成された第１の光学層と、波長選択反射膜の第２の主面上に形成された第２の光学層とを備える。第1の光学層および第２の光学層の少なくとも一方が、基材と、基材と波長選択反射膜との間に形成された樹脂層とを備え、基材が、樹脂層よりも低い水蒸気透過率を有する。 （もっと読む）

【課題】光を指向反射する光学体を提供する。
【解決手段】光学体は、光が入射する入射面を有する光学層と、光学層内に形成された反射膜とを備える。反射膜は、光を指向反射するものである。光学層が、反射膜の第１の主面上に形成された第１の光学層と、反射膜の第２の主面上に形成された第２の光学層とを備える。第１の光学層および第２の光学層の少なくとも一方が、極性の高い官能基を含み、その含有量が第１の光学層と第２の光学層とで異なる。 （もっと読む）