【課題】 波長可変フィルターが、所望波長帯域の全帯域をスキャンするのに要する時間を短縮すること。
【解決手段】 光フィルター３００は、第１波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（１））と、第２波長可変バンドパスフィルター（ＢＰＦ（２））と、駆動部１２０と、各光フィルターの各々の分光帯域を可変に制御する制御部６００と、を含み、第１波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第１分光帯域と、第２分光帯域と、を少なくとも有し、第２波長可変バンドパスフィルターは、第１波長帯域に隣接する第２波長帯域の光を分光し、かつ、分光帯域として、第３分光帯域と、第４分光帯域とを少なくとも有し、駆動部１２０は、各第１波長可変バンドパスフィルターおよび第２波長可変バンドパスフィルターの各々を共に駆動し、第１分光帯域と、第３分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複し、かつ、第２分光帯域と、第４分光帯域とにおける、光が分光される期間の少なくとも一部が重複する。 （もっと読む）

【課題】出力光の光軸ずれを低減しつつ、選択波長の可変範囲を容易に広げること。
【解決手段】この光源装置１は、光源からの光を直線偏光成分Ｌ３，Ｌ４に分離する偏光分離素子８と、直線偏光成分Ｌ３を偏光分離素子８に向けて反射させる高反射ミラー１１と、偏光分離素子８と高反射ミラー１１との間に設けられたフィルタ回転体９及び１／４波長板１０とを備え、フィルタ回転体９は、偏光分離素子８からの直線偏光成分Ｌ３に基づく光成分を、その光成分の入射角に応じた波長範囲で選択的に透過させ、入射角が変更可能なように回転可能に支持された４枚のバンドパスフィルタ９１ａ〜９１ｄを有する。 （もっと読む）

【課題】中心波長より短波長側の色の多層干渉フィルターに対応した光電変換層の感度を向上できる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】固体撮像装置は、光電変換層と多層干渉フィルターとを備え、前記多層干渉フィルターは、互いに屈折率の異なる第１の層と第２の層とが交互に積層された上部積層構造と、前記第１の層と前記第２の層とが交互に積層された下部積層構造とを有し、前記上部積層構造の積層数と前記下部積層構造の積層数とは、等しく、前記上部積層構造の最下層と前記下部積層構造の最上層とは、いずれも前記第１の層であり、前記上部積層構造と前記下部積層構造とは、対応する位置にある２つの層をそれぞれ有する複数の組のうち一部の組における２つの層の一方の層が他方の層より薄くなっており、互いに非対称な構造を有している。 （もっと読む）

【課題】高分解能で、かつ低コストで製造可能な干渉フィルターを提供する。
【解決手段】エタロン５は、下部基板５１と、下部基板５１に対向する上部基板５２と、下部基板５１に設けられる下部反射膜５６と、上部基板５２に設けられるとともに、下部反射膜５６に対してギャップを介して対向する上部反射膜５７と、を備え、下部基板５１の上部基板５２に対向する面のうち、少なくとも下部反射膜５６が設けられる下部反射膜形成面５１１Ａには、上部基板５２に対向する表面が平滑面となる平滑膜５１２が設けられ、下部反射膜５６は、平滑膜５１２の表面に設けられる。 （もっと読む）

【課題】透過波長可変フィルタを用いて、高い波長分解能を有する分光測光装置を提供する。
【解決手段】入射した光を波長ごとに分光して透過させる光学部品であって、光が入射する面内の第１の方向に沿って透過波長が変化する第１の透過波長可変フィルタと、光が入射する面内の第２の方向に沿って透過波長が変化する第２の透過波長可変フィルタを有し、前記第１及び第２の透過波長可変フィルタを所定の間隔を隔てて、かつ、前記第１の方向と前記第２の方向が略平行となるように設置する。分光測光装置であって、前記光学部品と、前記光学部品を透過した光を受光する、複数のセンサが配列されたセンサアレイを備える。 （もっと読む）

【課題】新規な技術的原理に基づいて、従来にないコバート技術を提供すること。
【解決手段】反射光の色彩と透過光の色彩とが相違する二色性のシート１１と、特定の方向に偏光軸を有する光を選択的に反射する反射型偏光子１２とを積層して構成する。両者の間にパターン状位相差層１３を有していてもよい。二色性シートの内部で多重反射して入射側に出射する光と、二色性シートを透過して反射型偏光子で反射した光とは、色彩と偏光面の双方が異なるから、偏光フィルムを配置することで両者を分離できる。そして、偏光フィルムを回転することで、観察される色彩が変化する。この色彩の変化の有無で真偽判定ができる。 （もっと読む）

【課題】 高感度化及び高い色再現性の双方に対応できる固体撮像素子を実現する。
【解決手段】 入射される光を電荷に変換する光電変換部が形成された半導体基板と、光電変換部に対応して配置され、屈折率の異なる少なくとも２種以上の膜が積層された色分離用の干渉フィルタと、干渉フィルタが配置された光電変換部に対応して配置された色分離用の光吸収フィルタと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光学フィルターとして所望の特性を実現し得る構造を有する多層膜フィルター、及び、それを用いた蛍光顕微鏡を提供する。
【解決手段】第１の材料からなる層Ｈと第１の材料と屈折率の異なる第２の材料からなる層Ｌが交互に積層される多層膜部２２を含んで多層膜フィルター２０を構成する。多層膜部２２は、３層以上を１周期とする周期的な膜厚構造を有する。 （もっと読む）

【課題】微小な傾斜構造体を製造することを課題とする。
【解決手段】傾斜構造体の製造方法は、基板部１３ａの上に軸部１３ｂを形成し、軸部の上面が露出し、且つ軸部の上面と接続する上面を有する犠牲膜を基板部１３ａの上に形成し、軸部の上面及び犠牲膜の上面に傾斜構造体膜７を形成し、軸部の上面と軸部の側面によって構成される角部の上に位置する傾斜構造体膜７の膜厚を薄く加工することにより、傾斜構造体膜に前記角部の上に位置する薄膜部１１を形成し、傾斜構造体膜７と基板部１３ａとの間の犠牲膜を除去し、傾斜構造体膜と基板部との間に液体１８を供給し、液体１８を除去することにより、ステッキングを発生させ、傾斜構造体膜を薄膜部１１で曲げ、傾斜構造体膜の端部を基板部に接合することで、基板部と傾斜構造体膜によって鋭角を構成する。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの製造時又実使用時にはオゾンまたは紫外線から一対の反射膜を保護して、光フィルター特性を劣化させることがない光フィルター及びその製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０は、対向する第１，第２基板２０，３０と、第１，第２基板に設けられた第１，第２反射膜４０，５０と、第１，第２基板に設けられた第１，第２接合膜１００，１１０と、第１，第２反射膜の表面に形成された第１，第２バリア膜１２０，１３０とを有する。第１バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第１反射膜よりも低く、第２バリア膜はオゾンまたは紫外線の透過率が第２反射膜よりも低い。 （もっと読む）

【課題】 光フィルターの製造時にはオゾンまたは紫外線から反射膜を保護して、反射膜が劣化することを抑制することができる光フィルターの製造方法並びに分析機器及び光機器を提供すること。
【解決手段】 光フィルター１０の製造方法は、第１反射膜４０が形成された第１基板２０を準備し、第２反射膜５０が形成された第２基板３０を準備し、第１基板の第１接合領域に第１接合膜１００を形成し、第２基板の第２接合領域に第２接合膜１１０を形成し、第１マスク部材を用いて第１接合膜に、オゾンまたは紫外線を照射し、第２マスク部材を用いて第２接合膜にオゾンまたは紫外線を照射し、第１接合膜と第２接合膜とを接合して第１基板と第２基板とを貼り合わせることを含む。 （もっと読む）

【課題】可視域でのフラットで高い透過特性を保持しつつ、カットオフ域と近赤外域での所望の透過特性を与える光学蒸着膜フィルタを最小限の工程で製造する。
【解決手段】第１の入射角用のスペクトル合致度設計値に従って１次フィルタを作製する工程、１次フィルタのスペクトル合致度を第２の入射角で測定して１次スペクトル合致度を取得する工程、設計値と１次スペクトル合致度の差分に基づいて、可視域の設計値を維持した状態でカットオフ域及び近赤外域の設計値を補正し、補正された設計値に従って２次フィルタを作製する工程、２次フィルタのスペクトル合致度を第２の入射角で測定して２次スペクトル合致度を取得する工程、可視域の設計値を維持した状態で、カットオフ域及び近赤外域について、設計値、１次及び２次スペクトル合致度の関係に基づいて最終設計値を決定する工程、及び最終設計値に従って光学蒸着膜フィルタを作製する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】プロジェクタにおいて、青色光源からの青色光のカラーホイールからの反射を防止し、光の有効利用をする。
【解決手段】カラーホイール本体２４に蛍光体層２３の両側に、低屈折率層２１、高屈折率層２２の誘電体薄膜を単位として、繰り返して積層される周期的誘電体層Ａ、Ｂ（総数Ｘ）、Ｃ（総数Ｙ）を設ける。周期的誘電体層Ａに入射する青色光は、多重干渉効果が強められて蛍光体層２３に光が集中し、蛍光体層２３から発光した緑色光は、周期的誘電体層Ｂにより多重干渉効果が少なくなり、周期的誘電体層Ｃにより反射され、逆の道筋で出射される。本発明によれば、従来よりも青色光が有効に利用される。 （もっと読む）

本発明は、光学系、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の光学系の偏光特性を特性決定する構成体及び方法であって、光学系に入射する放射線の所定の偏光状態を設定する少なくとも１つの偏光状態発生器（１３０、２３０、３３０）と、光学系から出る放射線の出射偏光状態を測定するよう構成された偏光状態検出器（１４０、２４０、３４０）とを備え、光学系は、１５ｎｍ未満の使用波長用に設計され、偏光状態発生器及び／又は偏光状態検出器は、入射光ビームに対するそれらの偏光光学作用が少なくとも１０°の光ビームの角度スペクトルにわたって実質的に一定であるよう設計される構成体及び方法に関する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分光フィルタ光学系は、分光特性を正確に検出することができ、小型化が可能である分光フィルタ光学系を提供する。
【解決手段】 分光フィルタ光学系は、複数個の光学系により構成されるアレイ光学系（４０）と、透過位置により透過する光束の波長領域が異なるリニア波長可変フィルタ（１３）と、を備え、光学系は、正パワーを有する正レンズ（１２２）と、正レンズ（１２２）を透過したまたは透過する光束を他の光束と交わらないように限定する遮光部（２３）と、を有し、アレイ光学系（４０）の複数個の光学系はリニア波長可変フィルタ（１３）に対してそれぞれ異なる位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】少なくとも一つの測定方向で互いに可動自在で配置されている二つの対象物の、位置を検出するための位置測定装置を提供する。
【解決手段】位置測定装置には光源および、光源から送られた光線を二つ以上の分光光束に分割する分光手段を含んでいる。分光光束は、少なくとも二つの分光光路を通過する。分光光路からの干渉分光光束が、多数の光電式検知要素に当たるので、変位に従う位置信号を検知要素を介して検出することができる。光源は、ファイバ格子逆カップリング手段付き半導体レーザとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】広い波長範囲をカバーする優れた波長選択性を発揮しかつ偏光選択性の無い分光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルター２１は、３０°未満好ましくは２０°以下の異なる傾斜角度の第１〜第３斜面２４〜２６を設けた基板２２と、その主面に設けた誘電体多層膜２３とを備える。誘電体多層膜は、基板をその水平基準面が水平方向Ｈから所定のチルト角φ傾くように配置して、誘電体材料を真空蒸着により一定の入射方向に沿って入射させ、基板主面に積層成膜させて形成する。 （もっと読む）

【課題】デザイン設計の自由度を高くすることのできるプロジェクタを提供する。
【解決手段】複数の輝度ピーク波長を有する光を用いた画像生成用光束を投射口１００ｅを通して投射する装置本体と、前記輝度ピーク波長を透過し、前記輝度ピーク波長を除いた波長領域のうちの所定の可視光領域の波長を反射もしくは吸収する光学特性を有し、前記投射口を覆うように前記装置本体に取り付けられた光学部材１０２と、を有することを特徴とするプロジェクタ１００。 （もっと読む）

【課題】急峻な帯域阻止特性を有し、安価で小型化に適した構造の光フィルタ装置を実現する。
【解決手段】筒型ケース１０の一端部に、入力光ファイバ１２と出力光ファイバ１４を平行に配設したフェルール１６が位置し、筒型ケースの内部にレンズ２０と光フィルタ素子２２が光路に沿ってその順に配置され、入力光ファイバからの入力光がレンズで集光されて光フィルタ素子に入射し、光フィルタ素子での反射光がレンズによって出力光ファイバに結合するようにした反射型光フィルタ装置である。前記光フィルタ素子は、その透過光が帯域通過フィルタ特性を呈するものであり、それによって出力光ファイバからの出力光が帯域阻止特性を呈するようにし、筒型ケースの他端部が、平滑で且つ光路に対して傾斜した内面を有する蓋部３０で閉塞されている。 （もっと読む）

【課題】光源と、光学素子と、接着剤を介して当該光学素子を支持する支持部材とを備える光ピックアップ装置であって、接着剤への光の入射が防止されており、かつ製造が容易な光ピックアップ装置を提供する。
【解決手段】波長４０５ｎｍを含む第１の波長域の光を出射する光源と、光源からの光を透過して光ディスクに導くと共に、光ディスクで反射された光を透過して検出器に導く光学素子と、接着剤を介して光学素子を支持する支持部材と、光源からの光が光ディスクへ導かれる際に接着剤に入射する光を遮光する第１の遮光体と、光ディスクで反射された光が検出器へ導かれる際に接着剤に入射する光を遮光する第２の遮光体とを備え、第１及び／又は第２の遮光体は、第１の波長域の光を遮光し、紫外線の波長域１０〜４００ｎｍに含まれる第２の波長域の光を透過する、光ピックアップ装置とする。 （もっと読む）