【課題】標本へのダメージおよび蛍光の退色を抑制しつつ、環境光による影響を排除して安定した観察を行うことができるレーザ走査型顕微鏡を提供する。
【解決手段】標本Ａを収容し、内部の温度および湿度を維持可能な培養容器６と、培養容器６に隣接して配置され、培養容器６と光学的に接続された光学系空間５とを備え、光学系空間５に、極短パルスレーザ光を標本Ａ上で２次元的に走査するスキャナ２２と、走査された極短パルスレーザ光を標本Ａに集光させる一方、標本Ａからの光を集光する対物レンズ１５と、スキャナ２２と対物レンズ１５との間に設けられ、標本Ａからの光とレーザ光とを分岐するダイクロイックミラー５３と、分岐された標本Ａからの光を検出する光検出器５５と、光学系空間５を囲うように設けられ、光学系空間５の外部からの光を遮断する外装カバー２とが備えられているレーザ走査型顕微鏡１を採用する。 （もっと読む）

【課題】多数枚のスライドガラスの画像取得を短時間で行う。
【解決手段】標本を搭載したスライド２を搭載して水平方向に移動させるステージ８と、ステージ８に設けられ、スライド２を複数枚並列に搭載可能な複数のスライドホルダ部とを有する顕微鏡装置４と、標本を搭載した複数枚のスライド２を収容している収容部３と、収容部３と顕微鏡装置４のスライドホルダ部との間でスライド２を移載する少なくとも一つの移載アーム５と、移載アーム５によって収容部３からいずれか空のスライドホルダ部に未観察のスライド２を移載し、スライド２上の標本の画像の取得中に、他のスライド２を移載アーム５によって搬送するよう顕微鏡装置４および移載アーム５を制御する制御部６とを備える顕微鏡システム１を提供する。 （もっと読む）

【課題】画素シフト技術を用いて、高解像度で、且つ、画質の良好な蛍光画像を生成する技術を提供することを課題とする。
【解決手段】素子ずらし手段３３を用いて、標本１１の像に対する撮像素子２１の相対位置を変化させて、撮像素子２１で複数の相対位置の標本１１の像を撮像し、複数の画像データを取得する。取得された複数の画像データの階調を、画像データのヒストグラムを用いて褪色補正処理部４４で補正し、補正後の画像データを合成処理部４５で合成する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズとステージとの間の距離調整と対物レンズの高さ位置を基準にしたフォーカスを可能にした対物レンズ上下動式の顕微鏡を提供する。
【解決手段】標本を載置するステージとコンデンサレンズを保持可能なコンデンサホルダーおよびこれらステージとコンデンサホルダーを顕微鏡フレームのベース部に固定するコンデンサホルダー座を有するステージ受け部を具備し、
前記ステージ受け部のコンデンサホルダーを外し、前記ステージの高さ位置を調整可能にする。 （もっと読む）

【課題】照明系の全長を短くしコンパクトに構成することが可能な顕微鏡用照明装置を提供する。
【解決手段】照明光を射出する光源１と、照明光の光束を調節する開口絞りと、照明光の照明領域を設定する視野絞りと、前側焦点位置が視野絞りの位置に重なるように設けられ、視野絞りを通過した光を通過させ標本へ導くフィールドレンズ群とを備えた顕微鏡用照明装置において、光源１は、発光するＬＥＤ光源２０と、ＬＥＤ光源２０の光を入射させて入射の方向と異なる方向に伝播させて射出させるライトガイド２２及び散乱シート２３と、ライトガイド２２及び散乱シート２３から射出された光を入射させて角度方向に所定の強度分布を持たせて拡散及び射出させるプリズムシート２４，２５とを備えて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】構築されるバーチャルスライドにおいて拡大画像間の継ぎ目を低減し、見易く鮮明なバーチャルスライドを得る。
【解決手段】スライドＡ上の標本からの光を集光する対物レンズ３と、標本に対する対物レンズ３の合焦位置を検出する合焦位置検出部５と、該合焦位置検出部５による検出結果に基づいて、標本に対する合焦状態を調節する合焦状態調節部６と、標本の各部の拡大画像を取得する拡大画像取得部４とを備え、合焦状態調節部６は、合焦位置検出部５により検出された合焦位置が、隣接する拡大画像の取得時における合焦状態に対して、所定の閾値を超えて変動している場合に、該所定の閾値以下に合焦状態の調節を制限する顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

撮像機器は、特に、感光性のピクセルアレイを有し、アレイに関連する表面は、試料の少なくとも一部がピクセルの平均幅の約半分未満に等しい距離だけ表面から離れた状態で試料を受けるように構成される。

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【課題】 テレセントリックレンズのような特殊なレンズを使用することなく、低倍率でケラレを生じることなく、広範囲に亘る観察を行うことができる光学観察装置および光学観察方法を提供する。
【解決手段】
照明光７を発する点光源１６を有する光源装置６と、照明光７を平行光にする第１の凸レンズ４と、第１の凸レンズ４からの平行光を集光して、細胞培養を行うディッシュ等の観察対象物１３に照射する第２の凸レンズ５とを設け、更に観察対象物１３の像を形成するための結像用レンズ１４と、形成される像を撮像するＣＣＤ等からなる撮像素子１５を設ける。この装置では、点光源１６から発せられた照明光７は、第２の凸レンズ５によって結像光学系の開口絞り面の中心位置Ｃ（結像用レンズ１４の中心）に集光する。即ち、照明光の直接光９は、結像光学系の主光線８と一致しているので、結像領域Ｌの全てにおいて明るい画像が得られる。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させ、且つ、観察体の画像の取得処理速度を向上可能な顕微鏡システムの提供。
【解決手段】第一の撮像手段１５が撮像する領域よりも手前の領域を撮像する第二の撮像手段２０が撮像した画像を用いて、第一の撮像手段の撮像位置での当該領域についての対物レンズ１２の合焦位置を調整する自動合焦制御手段２１と、第一の撮像手段が撮像する観察体における分割領域と第二の撮像手段が撮像する観察体における分割領域との距離と、載置手段１１の水平方向への移動速度とに応じて、第二の撮像手段で撮像された観察体における分割領域を第一の撮像手段の撮像位置に搬送するタイミングと、第二の撮像手段で撮像された観察体における分割領域の像の結像位置を第一の撮像手段の撮像面に位置させるタイミングとが略一致するように制御する搬送・合焦位置調整タイミング制御手段２３を備える。 （もっと読む）

【課題】蛍光染色された生体サンプルの像を、画質を劣化させずに取得する。
【解決手段】生体サンプルＳＰＬのターゲットに標識される蛍光体に対して未励起状態とし、該プローブとの対照に標識される蛍光体に対して励起状態とする励起光を励起光源５１から出射させて生体サンプルＳＰＬを含むスライドガラスＳＧ全体の像を暗視野サムネイル画像としてサムネイルカメラ１４により撮像することにより、蛍光染色された生体サンプルＳＰＬ全体を含む暗視野サムネイル画像を、画質を劣化させずに取得することができる。 （もっと読む）

本発明は試料領域（Ｐ）を照明する光のシートを生成する照明装置（１９）を含む顕微鏡に関し、シートは照明ビーム経路の照明軸（Ｘ）方向及び照明軸に対し直角に位置する横軸（Ｙ）方向に略平面状に延在している。顕微鏡は試料領域からの放射光を検出ビーム経路の検出軸（Ｚ）に沿って検出する検出装置（１）を更に備え、照明軸と検出軸、並びに横軸と検出軸は互いに対しゼロでない角度に向いており、検出装置は、検出ビーム経路内に検出レンズ系（２）をさらに含む。本発明による顕微鏡の検出装置（１）は、光学検出素子をさらに含み、光学検出素子は、検出レンズ系（２）のフロントレンズから空間的に離れており、検出装置とは独立に調節することができ、光学検出素子は、検出イメージフィールドのサイズを連続的に変化させること、および試料領域（Ｐ）における検出の焦点面を連続的に移動させることのうちの少なくとも一方のために用いられる。
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【課題】対物レンズの瞳をリレーして、瞳共役面に瞳変調素子を配置して位相物体を観察する際に、瞳共役面の位置が変動しても、収差の発生が少ない良好な像が得られる顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】標本８からの光を基に平行光束を射出する対物レンズ１０と、対物レンズ１０からの平行光束を基に標本８の像を結像させる結像レンズ２０と、像をリレーするリレー光学系４０とを備え、リレー光学系４０は、第１リレーレンズ群４１と第２リレーレンズ群４２とから構成され、第１リレーレンズ群４１と第２リレーレンズ群４２の間に、対物レンズ１０の瞳１１と共役な瞳共役面２９が設けられ、θを結像レンズ２０に入射される主光線と光軸とのなす角度、ｆを合成焦点距離、ｙを対物レンズの瞳位置と共役な位置に形成される像の光軸からの距離とするとき、


の条件を満足する。 （もっと読む）

【課題】 焦点が伸張された観察画像を効率的に取得することが可能な画像取得装置を提供する。
【解決手段】 試料Ｓを載置する試料ステージ１０と、２次元画像の取得及びＴＤＩ駆動が可能な撮像装置２０と、対物レンズ３２を含む撮像光学系３０と、撮像装置２０及び撮像光学系３０によって試料Ｓを走査して観察画像を取得する走査部と、試料Ｓでの撮像の焦点が光軸方向に振動周波数ｆｓで振動するように試料Ｓでの焦点の振動を制御する焦点振動制御装置４０とによって画像取得装置１Ａを構成する。また、焦点振動制御装置４０は、撮像装置２０におけるＴＤＩ駆動での撮像期間Ｔｉの逆数１／Ｔｉを基本周波数として、振動周波数ｆｓが基本周波数のＮｓ倍（Ｎｓは１以上の整数）に略一致するように、振動周波数ｆｓを設定する。 （もっと読む）

【課題】透明な試料に適度な陰影をつけて観察することを可能にする比較的薄型の顕微鏡用透過照明装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡用透過照明装置は、試料８を載置するためのガラスプレート７と、ガラスプレート７に向けてほぼ均一な照明光を射出する面光源１０と、面光源１０から射出される照明光の拡散を少なくとも一方向に関して制限する光指向部材９とを備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、利便性を向上しつつも精度よく拡大像を取得する。
【解決手段】本発明は、明視野サムネイル像を基に、暗視野サムネイル像における組織切片部分の外形形状を修正し、その外形形状を用いて暗視野拡大像を取得し、明視野サムネイル像と暗視野拡大像を共に表示するようにしたことにより、明視野サムネイル像における組織切片部分の外形形状を正確に取得でき、かくして利便性を向上しつつも、精度よく暗視野拡大像を取得することができる。 （もっと読む）

マスク検査中に、ウェーハ露光中に同じく発生する欠陥を識別する必要がある。従って、レジスト内に生成される空間像と検出器上に生成される空間像とは、できる限り同じでなければならない。同等の像生成を提供するために、マスク検査中に照明及び物体側の開口数は、使用されるスキャナに適合される。本発明は、照明を可変的に設定するためのマスク検査顕微鏡に関する。マスク検査顕微鏡は、物体平面に配置されたレチクル（１４５）の構造（１５０）の像をマスク検査顕微鏡の視野平面に生成するように機能する。マスク検査顕微鏡は、投影光を放出する光源（５）と、少なくとも１つの照明ビーム経路（３，８７，８８）と、物体平面に対して光学的に共役な照明ビーム経路（３，８７，８８）の瞳平面（１３５）内に投影光の結果的強度分布を生成するための絞りとを含む。本発明により、絞りは、投影光の結果的強度分布が、最小強度値と最大強度値の間に少なくとも１つの更に別の強度値を有するような方法で具現化される。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどの試料についての望まれない粒子や、パターンきず等の検査するためのデザインを提供する。
【解決手段】このシステムは、開口（絞り）およびフーリエフィルタリングのための外部瞳がなく、比較的緩い製造公差を提供し、ブロードバンド明視野やおよびレーザ暗視野イメージングおよび波長３６５ｎｍ以下における検査に適する。使用されるレンズは単一の材料を用いて形成または構成される。少なくとも１つの小さな折り返しミラー（３０４）およびマンジャンミラー（３０６）を含んでいる。第２の戻りイメージが第１のイメージから横方向にずれるように軸をはずして構成される。これによって、受光を許容する横方向分離および各イメージを別々に操作することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】光軸方向における容器の設置不備を自動で検出できる観察システム及び設置不備検出プログラムを提供する。
【解決手段】観察装置２００のメモリ２４３が、容器がＸＹステージに適正に設置されている状態で観察対象物に焦点が合ったときのフォーカス軸位置を示す適正合焦位置を記憶する。観察装置２００の設置不備検出部２４２が、容器がＸＹステージに再設置された後に観察対象物に焦点が合ったときのフォーカス軸位置を示す再設置合焦位置を、メモリ２４３に記憶されている適正合焦位置と比較することによって、光軸方向における容器の設置不備を検出する。設置不備検出部２４２によって設置不備が検出された場合、制御ＰＣ１００のディスプレイ１１０が、設置不備が検出された旨を操作者に通知する処理を行う。 （もっと読む）

【課題】試料の大きさが小さい場合においても試料の物性を精度よく観察する。
【解決手段】観察範囲に対してパルス状のテラヘルツ波を照射して観察範囲で反射または透過した第１の電磁波Ｌ_２と、テラヘルツ波よりも波長が短いパルス状の第２の電磁波Ｌ_１とを電磁波Ｌ_２に対する電磁波Ｌ_１の入射タイミングを変更しながら光学結晶６に入射させ、光学結晶６で反射または透過した電磁波Ｌ_１の強度を取得し、電磁波Ｌ_１の強度と入射タイミングとに基づいて、電磁波Ｌ_２の時間変化を表す波形を生成する工程を、観察範囲内に試料Ａを配置した場合としない場合とについて行い、試料Ａを配置しない場合の電磁波Ｌ_２の波形における振動が存在する時間幅Ｔを算出し、試料Ａを配置した場合の電磁波Ｌ_２の波形から、その振動の開始時点後時間幅分経過した以降の波形成分を切り出し、試料Ａを配置した場合の電磁波Ｌ_２の波形成分をフーリエ変換する観察方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 正立顕微鏡としても倒立顕微鏡としても用いることができる顕微鏡を提供する。
【解決手段】 この顕微鏡１は、土台部１０と、この土台部１０に支持された回転台２０とを備えている。また、顕微鏡１は、この回転台２０に支持された鏡筒部３０と、鏡筒部３０の下方で回転台２０に支持された試料台４０と、試料台４０の下方で試料台４０を介して回転台２０に支持された模様体照明５０とを備えている。この顕微鏡１は、回転台２０を土台部１０に対し回転させることで、鏡筒部３０が試料台４０に対して上方に位置する正立位置と、鏡筒部３０が試料台４０に対して下方に位置する倒立位置とに配置することができるように構成されている。従って、この顕微鏡１は、正立顕微鏡としても倒立顕微鏡としても用いることができる。 （もっと読む）