【課題】 レジスト現像廃液などの金属イオンとテトラアルキルアンモニウムイオンを含む溶液から、効率的に金属イオンを除去する。
【解決手段】 金属イオンとテトラアルキルアンモニウムイオンを含む溶液と、陽イオン交換樹脂を接触させてこれらイオンを該樹脂に吸着させ、次いで、アルカリ金属塩溶液により溶離させる。溶離液中の前記アルカリ金属イオン濃度をモニターし、該アルカリ金属イオン濃度が急上昇する前に回収経路を切り替えることにより、アルカリ金属イオンのみならず、前記他の金属イオンの濃度も低いテトラアルキルアンモニウム塩溶液を回収することができる。
回収したテトラアルキルアンモニウム塩は電解により水酸化テトラアルキルアンモニウムとすることができる。この電解の際の妨害物質となりがたいこと、及びコスト等の観点から、前記アルカリ金属塩溶液としては炭酸ナトリウム水溶液が最も好ましい。 （もっと読む）

【課題】自動現像機の現像浴や水洗浴等に堆積物の蓄積による汚れが少なく、長時間連続的に製版処理した場合においても、析出物の発生が抑制され、容易に洗浄が可能であり、且つ、得られた再生水は再利用が可能である製版処理廃液のリサイクル方法を提供する。
【解決手段】感光性平版印刷版の製版処理廃液を、蒸発濃縮装置中で加熱し、発生した水蒸気と製版処理廃液中に含まれる溶解成分とに分離し、分離された水蒸気を凝縮して再生水とする現像処理システムであって、沸点が１００℃〜３００℃の範囲である有機溶剤を５質量％〜３０質量％の範囲で含む現像補充液を、現像浴に補充し、且つ、発生する製版処理廃液を容量基準で、１／２．５〜１／５（＝濃縮後の製版処理廃液／濃縮前の製版処理廃液）の範囲に濃縮し、再生水を現像補充液の希釈水またはリンス水の少なくとも一方に使用する製版処理廃液のリサイクル方法。 （もっと読む）

【課題】設備のメンテナンス性に優れ、長時間連続的に製版処理した場合でも析出物の発生が抑制され、排出される製版処理廃液の量が少ない平版印刷版の製版処理廃液のリサイクル方法を提供する
【解決手段】自動現像機から排出される製版処理廃液を、蒸発釜と冷却手段とを備える廃液濃縮装置により容量比で１／５〜１／８量となるように蒸発濃縮すること、製版処理廃液より蒸発濃縮された際に分離された水蒸気を冷却手段で凝縮して再生水とすること、再生水を自動現像機における希釈水及びリンス水の少なくとも一方として供給すること、及び、自動現像機に供給する現像補充液として、現像浴中での現像液の標準活性度を満たす条件に適合するように、少なくとも前記再生水を用いて、標準濃度より１．２倍から２倍に希釈した現像補充液を標準供給量の１．３倍〜２倍量補充すること、を含む感光性平版印刷版の製版処理廃液のリサイクル方法。 （もっと読む）

【課題】感光性樹脂版の現像廃液から感光性樹脂成分を簡単な方法で効率良く分離するための現像廃液処理装置を提供すること。
【解決手段】側面および底面にヒーターを具備する本体容器を有する感光性樹脂版の現像廃液処理装置。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な操作でかつ工業的に有利にTAAH含有廃液を再生処理し、高純度のTAAH水溶液を効率良く製品として回収することができるTAAH含有廃液の再生処理方法を提供する。
【解決手段】水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)含有廃液の中和工程１と、この中和工程で得られた中和処理液を、陽イオン交換膜４で陽極室５と陰極室６とに区画された電解槽２で電気分解する電解工程とを有し、電解槽の陰極室側から高純度の製品TAAH水溶液を回収するTAAH含有廃液の処理方法であり、中和処理液の濁度（JIS K0101測定法）を５０００ppm以下に管理すると共に、陽極室内を循環する陽極循環液の流速（線速度）を１．５×１０^-3〜２５×１０^-3m/秒の範囲内に維持し、また、陰極室側からTAAH濃度１５〜３０質量%の製品TAAH水溶液を回収する水酸化テトラアルキルアンモニウム含有廃液の再生処理方法。 （もっと読む）

【課題】省エネルギーで効率的に廃液中の目的物質を分離濃縮することのできる濃縮方法および濃縮装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、目的物質を含有する廃液中から、上記廃液よりも高い濃度の上記目的物質を含有する液体を分離する、目的物質の濃縮方法であって、上記廃液を霧化する霧化工程と、上記霧化工程により上記廃液から生じた霧粒子を分級する分級工程とを含むことを特徴とする、目的物質の濃縮方法である。 （もっと読む）

【課題】劣化した有機溶剤の溶解能力を向上し、再生可能回数を増加させることにより、コストと環境負荷を低減できる有機溶剤の再生方法と、この技術を適用したインクジェット記録ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】ポリケトン樹脂を構成するモノマーよりも沸点が高く、波長２９０ｎｍにおける吸光度が４より小さい有機溶剤を使用し、波長が２６０ｎｍ以上３２０ｎｍ以下の紫外線を照射して含有するポリケトン樹脂を分解した後、溶液を加熱して分解物モノマーを蒸発除去する加熱工程を含む有機溶剤の再生、及びこの方法を適用したインクジェット記録ヘッドの製造。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板上のＣｕ膜若しくはＣｕ合金膜をウェットエッチングすることによって配線等とする際に、Ｃｕ膜にダメージを与えないように剥離し、なおかつ、Ｃｕ膜の上に堆積させる層との間の接着力を低下させないフォトレジストの剥離液を用いた剥離液リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】主剤と極性溶媒と水からなる混合液およびレジスト成分からなる剥離液を繰り返し使用し、剥離液中のレジスト濃度が所定の値に達したら、剥離液の一部を排出管から排出し、新たな剥離液の供給を受けるレジスト剥離装置と、廃液タンクと、廃液タンク中の剥離液を蒸留する蒸留再生装置と、前記分離液中の主剤と極性溶媒の組成比率を調べる成分検査装置と、分離液の主剤と極性溶媒および水の比率が予め決められた比率になるように不足分の主剤と極性溶媒および水を追加して、混合液を調製する調合装置と混合液を貯留する供給タンクを有する。 （もっと読む）

【課題】 平板印刷版の製版において、珪酸塩を利用した現像廃液を再利用するために固液を分離させて処理する方法を実現することを目的とする。
【解決手段】 製版装置から排出された現像廃液に、撹拌しながら有機酸あるいは無機酸を少しずつ添加して固液を分離させ、上澄み液と沈殿物を傾斜法あるいは濾過によって分離し、固体および液体のいずれの成分も再資源化できるように分取することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を処理してレジスト成分を高度に除去した高純度のＴＡＡＨ再生液を得る。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液をｐＨ８〜１２に調整してＭＦ膜モジュール１で膜分離処理し、透過水をナノフィルトレーション（ＮＦ）膜モジュール２により膜分離処理する。ＮＦ膜として、膜表面がゼータ電位−５０ｍＶ以下に負に大きく帯電したものを用いることにより、負に帯電しているレジスト剥離物を効果的に除去して高純度のＴＡＡＨ再生液を得る。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離液成分含有水から効率よくレジスト剥離液を回収することができるレジスト剥離液の回収方法を提供する。
【解決手段】レジスト剥離液含有水からレジスト剥離液を回収する方法において、レジスト剥離液含有水を疎水性ゼオライトよりなる吸着材４と接触させて、レジスト剥離液及び一部の水分を該吸着材に吸着させ、次いで、該吸着材から一部の水を脱着（第１脱着塔１０における第１回脱着）させ、その後、該吸着材に対しレジスト剥離液の沸点よりも温度の高い過熱水蒸気を接触させて該吸着材から該レジスト剥離液を脱着（第２脱着塔２０における第２回脱着）させ、この第２回脱着の脱着液を蒸留して該レジスト剥離液を分取して回収することを特徴とするレジスト剥離液の回収方法。 （もっと読む）

【課題】レジスト剥離物とテトラアルキルアンモニウムハイドロオキサイド（ＴＡＡＨ）とを含む現像廃液を安定かつ効率的に再生処理する。
【解決手段】レジスト剥離物とＴＡＡＨとを含有する現像廃液をｐＨ８〜１２に調整した後、ＭＦ膜モジュール４で膜分離処理し、濃縮水を循環処理するに当たり、濃縮水に無機凝集剤及び／又は高分子凝集剤を添加して凝集・固液分離処理し、分離水をＭＦ膜モジュール４の一次側に返送して膜分離処理する。現像廃液を膜分離処理するに当たり、膜供給水ではなく、膜分離処理で得られた濃縮水に凝集剤を添加して凝集・固液分離処理し、得られた分離水を膜の一次側に返送して現像廃液と共に膜分離処理することにより、凝集剤使用量を低減すると共に、凝集・固液分離のための設備を小型化した上で、膜の濁質負荷を軽減し、安定かつ効率的な処理を行える。 （もっと読む）

【課題】ドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）をムラ無く、均一に薄膜化することが可能で、除去液の再生が可能で、廃液量を大きく削減でき、環境に優しい処理方法であり、除去液の再生の処理時間が大きく短縮可能なドライフィルムレジストの薄膜化処理方法を提供する。
【解決手段】ＤＦＲが貼り付けられた基板の該ＤＦＲを処理液で処理する工程、その後に、除去液を用いて表面の不用なＤＦＲを除去液を用いて除去する工程とからなるＤＦＲの薄膜化処理方法において、除去液中に含まれるＤＦＲ濃度が０．５質量％を超える前に、除去液中に溶解したＤＦＲを、ｐＨを一旦低下させることにより、凝集、沈殿させ、ろ過助剤としてセルロースパウダーを使用し、加圧型の脱水ろ過機を用いて固液分離し、分離後のろ過水のｐＨを中性に戻して、再度、除去液として再利用することを特徴とするＤＦＲの薄膜化処理方法。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、十分な処理効果を得ることができるフォトリソグラフィー工程排水の処理方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィー工程排水に、アニオン性官能基を有するモノマーを少なくとも１０モル％以上重合して得られる又は高分子反応によって得られるアニオン性ポリマー、及び、カチオン性官能基を有するモノマーを少なくとも１０モル％以上重合して得られる又は高分子反応によって得られるカチオン性ポリマーを添加して撹拌した後、固液分離処理を行う。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、十分な処理効果を得ることができるフォトリソグラフィー工程排水の処理方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィー工程排水に疎水性官能基を有するカチオン性有機高分子凝集剤を添加した後、固液分離処理を行う。 （もっと読む）

【課題】多成分溶媒溶液の再平衡方法を提供する。
【解決手段】本発明は、光重合性層を有する感光性印刷要素を処理するために有用である溶媒溶液を再平衡させるための方法に関する。溶媒溶液は、洗い流し処理中に感光性印刷要素から剥離される未重合材料およびその他の材料で汚染された状態となり、汚染物質の分離は、使用済み溶媒溶液中の１つ以上の成分の一部も同様に除去する。この方法は、３つ以上の成分を有する溶媒溶液中の成分の割合を再平衡させる。この方法は、汚染物質から分離された再生物を２つ以上の特性について測定するステップと、測定された各々の特性について生成された方程式に基づいて、再生物に添加すべき成分の質量を計算するステップと、再生物に対してこの質量の１つまたは複数の成分を添加して再生物中の成分割合を目標の割合に調整するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】アミン系剥離液使用により蓄積するレジスト樹脂、炭酸アンモニウム塩、溶解金属を連続的に除去し、剥離液の再生装置、方法を提供する。
【解決手段】剥離装置１内で循環する使用済み剥離液２を配管経路３を通じて電解槽４の陽極ドラム５およびカチオン交換膜６間に導入する。一方で電解槽４には陽極ドラム５に対向する陰極７が、カチオン交換膜６を介して設置されており、陰極７は再生済みの剥離液８によって満たされている。陽極と陰極間の電気伝導は陽イオンの移動による電気伝導が可能となっているので電気的には隔離されていない。陽極ドラム５及び陰極には、電気給手段として電源９が接続されている。陰極及び陽極間に直流電流を通電することで、使用済み剥離液に含まれるレジスト樹脂を陽極ドラム５の表面上に電着でき、剥離液中からレジスト樹脂を除去できる。 （もっと読む）