【課題】１の方向に走査する金属製の構造体を、電磁駆動方式にて他の方向にさらに走査することが可能な２次元光走査装置を提供すること。
【解決手段】金属構造体１１と、金属構造体１１のミラー部分１１ａを第１軸線ａ回りに揺動させる第１駆動部１２と、金属構造体１１が取り付けられる軸部と、軸部を第２軸線ｂ回りに揺動可能に支持する台座部２１と、磁界発生部２４と平面コイル２３とを含み、軸部を第２軸線ｂ回りに揺動させる第２駆動部と、磁界が平面コイル２３へ到達するのを許容するとともに、磁界が金属構造体１１へ到達するのを妨害する閉磁部２６と、を備える２次元光走査装置である。 （もっと読む）

【課題】ミラー部を揺動駆動するための圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーをノコギリ波状の駆動電圧により圧電駆動しつつ、ミラー部の高周波振動の発生が抑制されるように該ミラー部の揺動を行なうことができる光偏向器の駆動装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１を揺動軸Ｘ２の周りに揺動させる圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂは、複数の圧電カンチレバー３(i)（ｉ＝１，２，３，４）を連結して構成され、圧電アクチュエータ１０ａ，１０ｂの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の圧電カンチレバー３（偶数）を圧電駆動する第１駆動電圧と、奇数数番目の圧電カンチレバー３（奇数）を圧電駆動する第２駆動電圧とを逆位相のノコギリ波状の電圧とする。第１駆動電圧と第２駆動電圧との間の位相差が、ミラー部１の高周波振動が発生するのを抑制するように設定される。 （もっと読む）

【課題】駆動の安定性及びハンドリング性を向上させたプレーナ型アクチュエータ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】枠状の固定部４と、固定部４の内側に形成されるトーションバー５ａ，５ａ、５ｂ，５ｂと、各トーションバーを介して固定部４に回動可能に軸支され駆動手段により駆動される可動部６ａ，６ｂとを第１半導体基板７で一体形成して備えたアクチュエータ部２と、第２半導体基板１０で形成され固定部４介してアクチュエータ部２を支持する支持部３とを有し、第１半導体基板７として、少なくとも各トーションバーに対応する部位に各トーションバーに応じた厚さが残るように予め溝部９ａ，９ｂが形成されたキャビティー基板を用いて形成したプレーナ型アクチュエータ１において、第２半導体基板１０で形成された支持部３を、固定部４と異なる形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】櫛歯電極構造を高いアライメント精度で製造する方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１５１の面１５１ａ上に櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを形成し、これを介してシリコン基板１５３を貼り合わせる。シリコン基板１５１，１５３の面１５１ｂ，１５３ｂに、櫛歯電極用マスクパターン１５２ａ，１５２ｂを内包する粗櫛歯マスクパターン１５４，１５５を形成する。面１５３ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５５をマスクにしてシリコン基板１５３を選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ａをマスクにしてシリコン基板１５１を選択的に除去する。面１５１ｂの側からＤＲＩＥをおこなって、粗櫛歯マスクパターン１５４をマスクにして残存シリコン基板１５１ｃを選択的に除去し、さらに櫛歯電極用マスクパターン１５２ｂをマスクにして残存シリコン基板１５３ｃを選択的に除去する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが簡便で、安定した制御が可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】梁部１３ａ，１３ｂは、光を反射するミラー部１４がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部１４を支持する。アーム部１２ａ，１２ｂは、梁部１３ａ，１３ｂを支持し、駆動されることによりミラー部１４をＸ軸方向に揺動させる。フレーム部１１は、アーム部１２ａ，１２ｂを支持する。駆動用圧電膜２１ａ，２１ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における一端側に設けられ、変位することによりアーム部１２ａ，１２ｂを駆動する。検出用圧電膜２２ａ，２２ｂは、アーム部１２ａ，１２ｂのＸ軸方向における他端側に設けられ、変位されることによりアーム部１２ａ，１２ｂの駆動を検出する。駆動によるアーム部１２ａ，１２ｂの他端側の振幅は、一端側の振幅より小さい。 （もっと読む）

【課題】消費電力、製造コスト、面積が小さく、光ビームを大きな角度に２軸方向に走査可能な光走査素子を提供する。
【解決手段】アーム部２３は、ミラー部２１がＸ軸方向の揺動可能なように、ミラー部２１を支持する。上層可動フレーム部２５は、アーム部２３を支持する。下層可動フレーム部３５は、上面に複数の凸部３２を有し、上面と上層可動フレーム部２５の下面との間に間隙を有するように、複数の凸部３２により上層可動フレーム部２５の下面に接合される。固定フレーム部（２０，３０）上層可動フレーム部２５及び前記下層可動フレーム部３５が、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向の揺動可能なように、上層可動フレーム部２５を支持する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い共振周波数で駆動を行った場合であっても、非線形線振動の発生を低減しつつ、発生する応力を低減させ、ミラーの変形を防ぐことができる光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ミラー支持部２０を軸方向両側から捻れ梁３０により支持し、該捻れ梁３０の捻れにより前記ミラー支持部２０を軸周りに揺動させて駆動する光走査装置であって、
前記捻れ梁３０には、前記軸方向に略平行なスリット３１が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】衝撃に対する故障発生の低減を図ることのできるアクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 本発明のアクチュエータ装置３０は、枠部材１と、枠部材１に梁部材３を介して回動可能に支持された可動部２とを備え、両梁部材３を回動軸として可動部２を枠部材１に対して回動させるアクチュエータ装置において、両梁部材３の回動軸線上にダンパー部材４を設けた。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定してかつ大きく回動させることのできるアクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】光スキャナー１は、支持部３と、光反射性を有する光反射部２２を備える可動板２と、支持部３に対して変位可能に設けられた駆動部４１と、駆動部４１と可動板２とを連結する第１の軸部４２とを備え、可動板２を支持部３に対して変位可能に連結する連結部４を含む４つの連結部と、駆動部４１の中心に対して可動板２側の規制位置で第１の軸部４２が可動板２の厚さ方向に変位するのを局所的に規制する１対の捩り梁部４４とを有し、駆動部４１の変位に伴って、１対の捩り梁部４４の規制位置を支点として第１の軸部４２を回動させる。 （もっと読む）

【課題】揺動部の揺動動作に係る固有振動数を調整するのに適したマイクロ揺動素子を提供する。
【解決手段】マイクロ揺動素子Ｘ２は、揺動部２１０と、フレーム２２０と、前記揺動部および前記フレームを連結し、揺動軸心Ａ２を規定する連結部２３０と、を備え、前記連結部は、並列する複数のトーションバー２３１，２３２，２３３を含み、当該複数のトーションバーから選択される二本のトーションバーは相対的に近接離反可能であり、前記揺動部は、揺動主部２１１と、当該揺動主部２１１に取り付けられ且つ前記揺動軸心と交差する方向に変移可能な第１可動部２１２Ａ，２１２Ｂとを有し、前記フレームは、フレーム主部と、当該フレーム主部に取り付けられ且つ前記第１可動部２１２Ａ，２１２Ａと同方向に変移可能な第２可動部２２３Ａ，２２３Ｂとを有し、前記連結部に含まれる一のトーションバー２３２，２３３は、当該第１および第２可動部を連結する。 （もっと読む）

【課題】梁部に高い振動疲労特性と揺動部に高剛性を持たせつつ小型化された振動素子を提供する。
【解決手段】振動素子は、基体３と、前記基体３から梁状に設けられた梁部２と、前記梁部２の前記基体３側とは反対の側に設けられたミラー部４とを備え、前記揺動部４の少なくとも一部及び前記梁部２は金属ガラスで一体に形成される。次に、真空中でＹＡＧレーザ１０を振動素子のミラー部４に照射して局所的な構造緩和を行う。 （もっと読む）

【課題】往復振動するミラー基板を有するマイクロミラー装置において、ミラー基板の重畳増加を最小限に抑えつつ剛性を向上させて、ミラー基板を高速で往復振動させた場合でも、該ミラー基板の動的変形を確実に防止する。
【解決手段】ミラー基板１０３は、一対の捻り梁１０２で揺動可能に支持され、該捻り梁１０２をねじり回転軸として往復振動する。このミラー基板１０３の光反射面とは反対側の裏面に、該ミラー基板１０３の動的変形を抑えるための構造補強部材１０４を設け、これを三次元規則配列多孔体で構成する。三次元規則配列多孔体は、多数の微粒子による最密充填構造体を形成した後に、前記微粒子とは異なる材料からなる物質を空隙に充填して固化し、その後、微粒子を選択的に除去することによって、該微粒子の占めていた領域が空隙として残された構造のいわゆるインバースオパール構造体である。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価で、軽量コンパクトな構成で、複数の波長選択スイッチも用いることなく、１つの波長選択スイッチを用いて、ポート数が多い波長選択スイッチを実現する。
【解決手段】 本発明に係る波長選択スイッチは、第１方向にアレイ状に並び波長多重された光の入力部と出力部とを有する光入出力部（１０）と、入力部から入力された波長多重光をそれぞれの信号波長に分離する光分散手段（１５）と、信号波長に分離された光を収束させる集光要素（１６）と、集光要素（１６）により集光されたそれぞれの信号波長光を所望の出力部にスイッチングさせるよう第１方向に信号光を偏向させる光偏向素子アレイ（１７）から構成される波長選択スイッチであって、集光要素（１６）により収束された光束に対して、光偏向素子アレイ（１７）の光偏向素子が第１方向に複数配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】可動板を互いに直交する２つの軸のそれぞれの軸まわりに安定して回動させることのできる光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】変位部４１，５１，６１，７１を駆動する駆動部８１０，８２０，８３０，８４０が、可動梁４２，５２，６２，７２の延長方向に変位部４１，５１，６１，７１から隔てて配置され、変位部４１，５１，６１，７１の内枠部４１１に固定される永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１に近付けて配置することができる。このため、永久磁石８１１，８２１，８３１，８４１により駆動部８１０，８２０，８３０，８４０に発生させるトルクを高い状態にすることができる。同一のトルクを低い電流で発生させ、消費電力化を実現する光スキャナー１を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】ミラーの回動に要する駆動電圧を低下させる。
【解決手段】光スイッチは、ミラー装置と、制御装置１とを備える。ミラー装置は、回動可能に支持されたミラー１０３と、ミラー１０３から離間して配置された電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとを有する。制御装置１は、ミラー１０３の回動角を制御する制御電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成する駆動電圧生成部３と、ミラー１０３と電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂとの間の距離を制御するバイアス電圧をミラー１０３の所望の回動角に応じて電極毎に生成するバイアス電圧生成部４と、制御電圧とバイアス電圧とを電極毎に加算して、加算後の駆動電圧を対応する電極３０２ａ，３０２ｂ，３０３ａ，３０３ｂに印加する加算部５ａ〜５ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】方向性のある力以外の力を用いてステージを移動させる。
【手段】駆動装置（１００）は、ベース部（１１０）と、回転可能な被駆動部（１３０）と、弾性部（１２０）と、被駆動部及び弾性部により定まる共振周波数で被駆動部が一の方向（Ｙ軸）に沿った軸を中心軸として共振しながら回転するように被駆動部を回転させるための微振動をベース部に加える印加部（１４０）とを備える。 （もっと読む）

【課題】筐体とケーブルとの間に発生する異音を低減することができる光スキャナと、その光スキャナを利用した画像投影装置とを提供すること。
【解決手段】ミラー部と一対の捩れ梁部と本体部とを有する平板状の構造体と、構造体が固定される筐体と、構造体に設けられた駆動部と、駆動部を駆動するための電力を伝達するケーブルとを備える光スキャナである。ケーブルは、第１固定部分と、第２固定部分とにおいて、筐体に対して固定される。第１固定部分では、筐体の一部である第１筐体部分と、ケーブルの一部であってケーブルの一端に存在する第１ケーブル部分とが固定される。第２固定部分では、筐体の一部であって第１筐体部分とは異なる位置に存在する第２筐体部分と、ケーブルの一部であって第１ケーブル部分よりも構造体から離間した位置に存在する第２ケーブル部分とが固定される。 （もっと読む）

【課題】小型化が容易なマイクロミラーデバイスを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】反射角を変化させることができるミラー２を複数個配置して成るマイクロミラーデバイスと、ミラー２群の内の複数のミラー２の、各々１つの反射面に対して、各々の別の光線束、若しくは、各々の別の曲面から出射する平行光線束、若しくは、共通な直交曲面をもつ光線群に、２つ以上の方向から集まる光線群と、２つ以上の方向へ広がる光線群の、両方を含んで成る光線束を、入射させる部分１と、を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー駆動装置に係り、ミラーで反射した光を遮断し難くして、ミラーで反射する光を広範囲な角度に亘って走査することにある。
【解決手段】基板と、光を反射するミラーと、基板に対してミラーを支持する梁と、電磁力によりミラーを基板の上面よりも上方へ浮上させるミラー浮上制御機構と、ミラー浮上制御機構によりミラーが基板の上面よりも上方へ浮上されている際に、該ミラーを該基板に対して傾斜させるミラー傾斜制御機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】稠密に配列された大面積のミラー素子を有する空間光変調器を構成する。
【解決手段】反射面ＳＥＡを有する複数のミラー素子ＳＥｋと、複数のミラー素子ＳＥｋがそれぞれの反射面ＳＥＡ内の頂点ＳＥｐを中心に傾動可能に配列されたベース部材ＳＶｂと、複数のミラー素子ＳＥｋのそれぞれを反射面ＳＥＡの裏面上で頂点ＳＥｐを含んで同一直線上にない複数の位置にて反射面ＳＥＡに対する垂直方向に駆動する複数のボイスコイルモータＳＶｋとから、空間光変調器が構成される。 （もっと読む）