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Fターム[2H147FB04]の内容

光集積回路 (45,729) | 屈折率、複屈折、サイズの調整 (968) | ビーム照射 (680) | マスクを介した照射 (323)

Fターム[2H147FB04]に分類される特許

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【課題】光回路のパターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高い光路を簡単な方法で形成することができ、耐久性に優れる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】光導波路構造体1は、凸部21および凹部22が形成された基板2と、基板2の上面に形成された金属層5と、凹部22内に形成され、コア層93の両面にクラッド層91、92を積層してなる光導波路9と、凸部21の外周の傾斜面に形成され、伝送光18を反射する反射面961と、基板3と、発光素子10と、受光素子11と、電子回路素子12とを備えている。コア層93は、コア部94とクラッド部95とを有し、コア部94は、活性放射線の照射と加熱とにより屈折率が変化する材料で構成されたコア層93に対し活性放射線を選択的に照射して所望形状に形成したものである。 (もっと読む)


【課題】導波路構造、並びにコア領域およびその横に隣接するクラッド領域からなる当該構造を形成するための方法を提供する。本発明の実施例の導波路構造は、コア領域がその横に隣接するクラッド領域およびクラッド層によって共同的に取り囲まれている。そのような構造を形成するための方法も提供する。
【解決手段】光誘発熱現像性フィルムであって:第一の屈折率を有するポリマーマトリックスと;前記ポリマーマトリックスと相溶性があり、前記第一の屈折率と異なる第二の屈折率を有する少なくとも1種のモノマーと;プロカタリストと;コカタリストとを含み、前記コカタリストは、化学線の照射に伴い、前記プロカタリストを潜在活性形態に変換し、前記潜在活性形態は、第一の温度での加熱に伴い、活性形態に変換する光誘発熱現像性フィルム。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、材料に起因する光損失を低減できる感光性樹脂組成物を提供することに有り、さらには光損失を低減できる光導波路用感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 本発明の感光性樹脂組成物は、側鎖に脱離性基を有する環状オレフィン系樹脂と、酸発生剤と、特定の第1モノマーとを含む。また、本発明の光導波路形成用感光性樹脂組成物は、上記に記載の感光性樹脂組成物を光導波路形成用の感光性樹脂組成物として用いる。また、本発明の光導波路形成用フィルムは、上記に記載の光導波路形成用感光性樹脂組成物で構成される。また、本発明の光導波路は、上記に記載の光導波路形成用フィルムに、互いに屈折率の異なるコア部とクラッド部とを設けている。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、上記従来の問題点に鑑み、長期信頼性に優れた光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器を提供することにある。
【解決手段】 本発明の光導波路は、コア部と、前記コア部の周囲を覆うクラッド部とで構成されている光導波路であって、前記コア部および前記クラッド部の少なくとも1層が酸発生を含有しているものであって、前記クラッド部の周囲の少なくとも一部に、酸捕捉剤を有する樹脂層を積層してなることを特徴とする。また、本発明の光配線は、上記に記載の光導波路を備えたことを特徴とする。また、本発明の光電気混載基板は、電気配線と、上記に記載の光配線とを、有することを特徴とする。また、本発明の電子機器は、上記に記載の光導波路を備えたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、現像性、低損失、耐熱性を同時に兼ね備えた感光性樹脂組成物、光導波路形成用感光性樹脂組成物、光導波路形成用フィルム、光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器を提供することである。
【解決手段】 本発明の観光性樹脂組成物は、下記式(1)で表される繰り返し単位を有する環状オレフィン系共重合体を含む樹脂組成物であって、前記環状オレフィン系共重合体の重量平均分子量が30,000〜200,000であり、かつ、前記環状オレフィン系共重合体において前記下記式(1)で表される繰り返し単位のモル分率をXとしたときに、Xは20〜50mol%の範囲であることを特徴とする。また本発明の光導波路形成用感光性樹脂組成物、光導波路形成用フィルム、光導波路、光配線、光電気混載基板および電子機器は、上記感光性樹脂組成物を用いるものである。 (もっと読む)


【課題】感光性を有する樹脂層の所定箇所に光照射した後に光照射されていない箇所を現像液で除去するフォトリソグラフィーにより光導波路のパターンを形成する光導波路の製造方法において、十分な光伝送能力及び十分に高いパターン形成精度を提供する。
【解決手段】下部クラッド層を形成する工程と、前記下部クラッド層の表面上にコア材料からなるコア層を形成する工程と、前記コア層の表面上に上部クラッド層を形成する工程と、前記上部クラッド層の所定箇所に光照射した後に、現像液により光照射されていない箇所を除去して前記上部クラッド層のパターンを形成すると共に、該パターン形成がされた上部クラッド層をレジストマスクとして前記現像液により前記コア層及び前記下部クラッド層のパターンを形成して、下部クラッドと、前記下部クラッド上に形成されたコアと、前記コア上に形成された上部クラッドとを備える光導波路を得る工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】コアまたはクラッドの上層にさらにクラッドを形成する場合において、上層のクラッドの厚みを高精度に制御して、クラッドを平坦化できる積層光回路の製造方法を提供する。
【解決手段】クラッド上に形成されたコアの直上に金属マスクを形成する金属マスク形成工程101と、コア及び金属マスクをクラッドで埋め込むクラッド埋込工程102と、金属マスクが露出するまでクラッドを研磨して平坦化する研磨工程103と、露出した金属マスクを除去する金属マスク除去工程104と、平坦化したクラッドとコアとの段差の距離を計測する距離計測工程105と、平坦化したクラッド上及び金属マスク除去後のコア上に、段差の距離及びコアと次層のコアとの間の所望の距離に応じた厚さのクラッドを形成し、熱処理によってクラッドを一体成型することにより段差を平坦化する平坦化行程106とを含む。 (もっと読む)


【課題】本発明は、高度な機能性を達成しつつ、長さを短縮し小型化することも可能な基板型光導波路デバイスを提供する。
【解決手段】光導波路のコア10の側壁の一部(例えば基板側の下部)12が、水平方向の幅の広い凸部12bとコア幅の狭い凹部12aとを交互に有するブラッググレーティングパターン構造(第1のブラッググレーティングパターン)を有する基板型光導波路素子であり、さらに第2のブラッググレーティングパターン13が、光の導波方向と直交する断面において前記第1のブラッググレーティングパターンとは異なる領域に位置し、かつ光の導波方向に沿って並列した領域に形成されてもよい。 (もっと読む)


【課題】パタン化されたコア層の近傍に発生する残コアや異物がパタン化されたコア層と直接接触することを回避し、光伝搬損失の悪化を抑制することが可能な光導波路及び光電気複合基板の製造方法並びにそれらにより得られる光導波路と光電気複合基板を提供する。
【解決手段】基材上又は電気配線板上に略直方体形状の下部クラッド層、及び該下部クラッド層の上面に搭載された略直方体形状のコア層からなる略直方体形状部材を形成する第1の工程と、該コア層の上面と側面、及び該下部クラッド層の側面を覆う上部クラッド層を形成する第2の工程とを含むことを特徴とする光導波路又は光電気複合基板の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】光接続が容易で、光導波体の先端に欠け等の損傷の生じない信頼性の高い光伝送基板、光モジュールおよび光伝送装置を提供すること。
【解決手段】光伝送基板10は、一方表面11aからこれと対向する他方表面11cにかけて形成された長孔11bを有する基板11と、先端12aを基板11の表面11cから突出させるとともに長孔11b内に複数密接させて配置された光導波体12とを備えている。精度が良く光接続が容易な光伝送基板を容易に得ることができる。 (もっと読む)


【課題】パターン形状の設計の自由度が広く、寸法精度の高いコア部(光路)を簡単な方法で形成することができる光導波路を備えた光導波路構造体を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路構造体9は、コア部94と、該コア部94より屈折率が低いクラッド部95とを備えるコア層93とを有する光導波路90と、該光導波路90の両面に設けられた導体層901、902とを有する。コア層90は、主鎖と該主鎖から分岐し、分子構造の少なくとも一部が前記主鎖から離脱し得る離脱性基とを有するノルボルネン系ポリマーを含有し、コア部94とクラッド部95とは、前記主鎖に結合した状態の前記離脱性基の数が異なること、および、前記ノルボルネン系ポリマーと異なる屈折率を有するノルボルネン系モノマーの反応物の含有量が異なることにより、それらの屈折率が異なっている。 (もっと読む)


【課題】優れた耐屈曲性と結合損失の低減とを高度に両立し得る光導波路を構成するための光導波路用フィルムを、効率よく簡単に製造可能な光導波路用フィルムの製造方法、かかる光導波路用フィルムの製造方法により製造された光導波路用フィルム、およびかかる光導波路用フィルムを備えた光導波路、光電気混載基板および電子機器を提供すること。
【解決手段】基材20に対してノズル522が螺旋を描くように、基材20およびノズル522を相対的に移動させつつ、ノズル522から液状樹脂組成物100を吐出して液状被膜110を形成し、その後固化することにより、光導波路用フィルムを製造する方法であって、液状被膜110の縁部を形成する際の第1塗布量が、中央部を形成する際の第2塗布量より大きくなるように、基材20またはヘッド520の移動パターンおよびノズル522の吐出パターンの少なくとも一方を制御することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高度な機能性を達成しつつ、長さを短縮し小型化することも可能であり、しかも製造工程における加工精度の管理を容易化できるグレーティング構造を有する基板型光導波路デバイスの設計方法を提供する。
【解決手段】フォトリソグラフィー工程及びエッチング工程によって加工してなるグレーティング構造を有する基板型光導波路デバイスの設計方法であって、所望の光学特性を入力し逆散乱問題を解くことによって、z軸(光導波路の長手方向)に沿ったコア幅を間隔Δzごとに算出して、グレーティングピッチPがΔzの整数倍となるグレーティング構造を設計し、Pを設計中心波長/(参照実効屈折率×2)とするとき、P−Δzがフォトリソグラフィー工程及びエッチング工程の適用可能な最小ピッチPmin以上となるように、Δzを設定する。 (もっと読む)


【課題】従来の光配線材料を用いてガラスエポキシ基板などの光が拡散反射する基板上にてパターン加工を行うと、明瞭なパターン形成が困難な場合があった。また、これを用いた光導波路の光伝搬損失が大きくなることがあった。
【解決手段】紫外線吸収剤を含有する下部クラッディング層、およびコア層を有する光導波路形成用材料である。また、これを用いて製造した光導波路である。
る光導波路形成用材料である。また、これを用いて製造した光導波路である。 (もっと読む)


【課題】基板の表面に光導波路を形成する場合において、その基板の種類に関係なく、光導波路のコアにおける光の伝播損失を小さくすることができる光導波路装置の製造方法を提供する。
【解決手段】金属製基板11等を用いた場合、その金属製基板11等に起因して、コア形成用の照射線Lが乱反射し、コア3の側面3aが粗面に形成される。しかし、その後、オーバークラッド層形成用の(第2の)感光性樹脂層4Aを、非溶剤系の感光性樹脂組成物で形成し、露光に先立って加熱することにより、コア3と感光性樹脂層4Aとの界面部分を、混合層5に形成する。その混合層5の形成により、粗面に形成されていたコア3の側面3a部分に光が僅かしか伝播しなくなるため、伝播した光が、コア3の側面3aの粗面の影響を僅かしか受けなくなり、光の伝播損失は小さくなる。 (もっと読む)


【課題】本発明は、波長無依存化を実現する光90度ハイブリッド回路を提供する。
【解決手段】本発明に係る光90度ハイブリッド回路は、第1の光スプリッタと接続された第1のアーム導波路及び第2のアーム導波路と、第2の光スプリッタと接続された第3のアーム導波路及び第4のアーム導波路と、第1のアーム導波路と前記第3のアーム導波路とに接続された第1の光結合器と、第2のアーム導波路と前記第4のアーム導波路とに接続された第2の光結合器と、第1のアーム導波路及び第2のアーム導波路から伝送された光の位相差と、第3のアーム導波路及び第4のアーム導波路から伝送された光の位相差との和θの絶対値が、使用する波長帯域内のある波長λ=λCにおいて、mを整数として90+360m度となり、λ=λCにおけるdθ/dλの絶対値が最小となるように構成された位相シフト機構とを備える。 (もっと読む)


【課題】外観性状が均一で、パーティクル数が少なく、光透過損失や偏波依存性損失の小さい光導波路を作製できるハロゲン化ポリアミド酸組成物;外観性状が均一で、光透過損失や偏波依存性損失の小さい光導波路を作製できるハロゲン化ポリイミドおよびそのフィルム;光透過損失および偏波依存性損失の少ない光導波路、および光導波路装置を提供する。
【解決手段】テトラカルボン酸類(a)とジアミン化合物(b)と一級アミノ基を有するケイ素または4価金属化合物および/またはその縮合物(c)とを重合して得られるハロゲン化ポリアミド酸(A)と、ケイ素または4価金属化合物および/またはその縮合物(B)とを含有するハロゲン化ポリアミド酸組成物、および前記組成物から得られるハロゲン化ポリイミドおよびそのフィルム。前記ハロゲン化ポリイミドを用いた光導波路およびその装置。 (もっと読む)


【課題】 本発明の目的は、材料に起因する光損失を低減できる感光性樹脂組成物を提供することに有り、さらには光損失を低減できる光導波路用感光性樹脂組成物を提供することにある。
【解決手段】 本発明の感光性樹脂組成物は、環状オレフィン系樹脂と、触媒と、酸発生剤と、カチオン重合可能な第1モノマーと、第1モノマーと異なる第2モノマーとを含む。また本発明の光導波路形成用感光性樹脂組成物は、上記に記載の感光性樹脂組成物を光導波路形成用の感光性樹脂組成物として用いる。また、本発明の光導波路は、上記に記載の光導波路形成用フィルムに、互いに屈折率の異なるコア部とクラッド部とを設けている。 (もっと読む)


【課題】光導波路のコア層またはクラッド層の膜厚を任意に制御できる光導波路形成用樹脂フィルム、およびこれを用いた光導波路、その製造方法並びに光電気複合配線板を提供する。
【解決手段】同一フィルム内に厚さが異なる部分を有する光導波路形成用樹脂フィルム、該光導波路形成用樹脂フィルムを用いて作製してなる光導波路、及び光導波路の製造方法、並びに該光導波路を、電気配線板に複合化した光電気複合配線板である。 (もっと読む)


【課題】光軸のずれが抑制された高精密な光導波路基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光学素子と、該光学素子に光学的に接続された光導波路3と、を備える光導波路基板を作製する方法において、エッチング可能な基板4と、該基板の一方の面に設けられたエッチングストップ部材2と、を有する複合基板を準備し、上記エッチング可能な基板上に、所望のパターンを有するマスクを形成する。その後、上記エッチング可能な基板に異方性エッチングを施して上記エッチングストップ部材まで上記基板を腐食させ、所望の幅となった時点でエッチングを停止して、当該基板に溝部3を形成し、上記溝部内に光伝播部5を形成する。 (もっと読む)


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