【課題】基板を高速に洗浄する。
【解決手段】基板１の側縁部の表側の第１の洗浄面と裏側の第２の洗浄面とを、洗浄テープによって洗浄する基板洗浄装置であって、洗浄テープを第１の洗浄面に押し付ける第１の押圧部材１１ａと、洗浄テープを第２の洗浄面に押し付ける第２の押圧部材１１ｂと、洗浄テープを供給する供給リール１６と、洗浄テープを回収する回収リール２０と、供給リールから第１および第２の洗浄面上を通過して回収リールに至るテープ経路に沿って洗浄テープを送るテープ送り機構１５とを含む洗浄ユニット２１と、着脱可能に装着した洗浄ユニットを基板の側縁部の長手方向に移動させる洗浄ユニット移動装置５０とを有する。洗浄ユニットにおいて供給リールと回収リールとが並列に配置され、供給リールからテープ経路に洗浄テープを供給する駆動装置のテープ供給動作と回収リールによる洗浄テープ回収動作とを連動させる連動装置を洗浄ユニットが備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の表面に付着した研磨剤や不純物を除去する洗浄工程において、ガラス基板の表面にキズをつけてしまうのを防止可能な洗浄用ブラシを提供すること。
【解決手段】この洗浄用ブラシ１は、被洗浄体を洗浄するための洗浄用ブラシであり、回転軸４を中心に回転する円筒形状のブラシ本体２と、ブラシ本体２の外周面上に配列された複数のブラシ片３とを具備する。各ブラシ片３は、短辺３ａと長辺３ｂとからなる長方形の先端面３ｄを有し、短辺３ａは、回転軸４に対して垂直な辺であり、長辺３ｂは、回転軸４に対して平行な辺であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ロール部に吸収された液体を、迅速、且つ均一に吸引してロールの外部に排出すると共に、ロールの回転バランスが保持され、長期間に亘って、被洗浄面から均一に液体を除去、搾取、洗浄することができる耐久性に優れたロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロールはロール部及び台座を有し、台座は開口部が形成された本体部、及び本体部の両端に連接される継ぎ手部Ａ及び継ぎ手部Ｂを有し、継ぎ手部Ａ及び継ぎ手部Ｂは中空部が形成され、中空部は開口部と連通されてあり、本体部の外周には開口部に連通する孔部が開設されてあると共に、ロール部が形成され、ロール部は不織布からなる概円環状の複数のロール片が積層されると共に、内周に切欠き部が設けられたロール片を有し、切欠き部が本体部の長手方向に連なることにより複数の流体導入溝部が形成され、孔部のロール部側に流体導入溝部が位置するものである。 （もっと読む）

【課題】 一対の通水用面材を有するケース内に夫々平行に配設された多数本の杆状の器具押さえパッドにより、洗浄するべきマイクロ器具を閉じ込めた状態でジェット洗浄などで洗浄するに用いられる洗浄器において、高さや太さの異なる全てのマイクロ器具を、その高さか太さに応じて器具押さえパッド間に円滑且つ安定良好に閉じ込め、洗浄し得られるようにした洗浄器を提供する。
【解決手段】 通水用多孔面材2bを有する筐体2内に、その対向枠壁間2a,2aに亘り杆状の器具押さえパッド3,3,…の多数本を平行に配設して成るケース1の一対をその各開口面を対向させて互いに開閉自在として成る洗浄器において、両ケース1,1の少なくともいずれか一方のケース1内に配設して成る各器具押さえパッド3をばね6により上下方向に可動自在に支持せしめた。 （もっと読む）

【課題】プラスチックレンズ成形型に付着した樹脂汚れの除去を容易化可能とするプラスチックレンズ成形型用洗浄剤組成物、およびこれを用いたプラスチックレンズ成形型を構成するガラス型の清浄化方法、並びに、プラスチックレンズの製造方法を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で示されるフェニルエーテルおよび一般式（２）で示されるフェニルエーテルから選ばれる少なくとも１種のフェニルエーテルを含有するプラスチックレンズ成形型用洗浄剤組成物。
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本発明は、容器洗浄機械、特にボトル洗浄機械の容積セルであって、洗浄する容器を収容するための、セルカバーに取り囲まれたセル内部空間を有する容器セルに関する。
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本発明は、処理ゾーン２を有する真空チャンバを実質的に連続的に移動して通過する金属基板又は絶縁基板３をプラズマ処理するための方法及びデバイスに関し、プラズマは、無線周波発生器に接続されるインダクタ４による処理ゾーン２内での無線周波誘導結合によって維持され、インダクタ４は、プラズマとインダクタ４の間に配置されるファラデー・ケージ７によって、基板３の表面によって放出される物質によるあらゆる汚染から保護され、ファラデー・ケージ７は、平均すると、プラズマ中に存在する基板３に対して、或いは対電極に対して電気的に正にバイアスされる。
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【課題】ワークを機械的に加工した加工部位に発生する微細なバリを高いバリ取り品質で効率よく除去することができるバリ取り洗浄装置およびバリ取り洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】樹脂基板８を切断した切断面に発生したバリを除去して洗浄するバリ取り洗浄において、ラバールノズルを応用したアイスブラストノズル２２によって、洗浄水と圧縮空気を用いて洗浄水の凍結粒子２３ａおよび過冷却状態の液滴２３ｂを含む洗浄媒体２３を生成し、樹脂基板８に対して噴射する。これにより、銅などの延性に富む金属の微細なバリを対象とする場合にも、高いバリ取り品質で効率よく除去することができる。 （もっと読む）

【課題】検査機からプローブピンを抜き取ることなく検査機に取付けたそのままの状態で全てのプローブピンを一度に簡便に清掃でき、静電気による悪影響を与える心配もないプローブピン清掃用の積層体と、この積層体を用いたプローブピンの簡便な清掃方法を提供する。
【解決手段】常温で大半ないし全てが液状であるアルキレンオキサイドのセグメントを有し且つイオン化合物が含有された制電性ないし導電性のセグメント化ポリウレタン粘着ゲルからなるゲル層１の両面に、制電性ないし導電性の剥離層２，２を積層した積層体１０とする。清掃方法は積層体１０の片面側の剥離層２を剥離除去してゲル層１を制電性ないし導電性のプレートに貼着し、反対面側の剥離層２を剥離除去して検査機のプローブピンをゲル層１に突き刺したのちゲル層１から引き抜き、ゲル層１の粘着力でプローブピンから塵埃を粘着除去する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で電極と誘電板との間に異常放電が生じないように出来るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】電極３１の放電空間１ｐを向く面を、電極３１とは分離可能な固体誘電体からなる誘電板５１で覆う。電極３１の背部に電極冷却部材３２を配置し、この背部指示部材３２を誘電板５１に対し接近離間方向に位置固定する。電極冷却部材３２と電極３１との間に圧縮コイルばねからなる弾性付勢部材７０を圧縮状態で配置する。 （もっと読む）

【課題】洗浄殺菌装置は、その開閉部の液漏洩を防止するために技術的価格的に高度なシール構造と煩雑な操作工程を要し、その為煩雑な装置形態を呈していた。更に、液状洗浄殺菌剤による被洗浄殺菌物の過剰濡れが処理済み被洗浄殺菌物の洗浄効率とハンドリングを大きく損ねていた。
【解決手段】上記課題に対する解決手段は、殺菌作用を有する物質を含有する粒状物を装置の洗浄殺菌媒体に用いたことと、装置の洗浄殺菌工程における該粒状媒体との被洗浄殺菌物の接触及び分離とを簡便容易に実現する装置構造及びその操作法を備えたことである。 （もっと読む）

本発明は少なくとも１つの充填用注ぎ口（３２）と洗浄器とを備えた容器充填装置に関し、上記洗浄器は通路開口部（４１）を有する固定式収集部材（４）と、待機位置と封止部材（５）が通路開口部を密閉できる作業位置との間で移動可能な封止部材（５）と、封止部材をその待機位置と作業位置との間で移動させる移動手段とを備える。上記封止部材はホルダ（６２）に載置された弾性を有する可変形薄膜（５１）を備え、ホルダ（６２）と弾性を有する可変形薄膜（５１）とが密閉性変形室を形成し、上記ホルダが移動手段によって作業位置に移動した場合に上記密閉性変形室は加圧流体を入れて可変形薄膜を変形させることが可能であり、通路開口部を封止する。
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【課題】プラズマ処理装置の電極を含む処理ヘッドにおける樹脂ボルトの損傷を防止し、メンテナンスの容易化を図る。
【解決手段】プラズマ処理装置Ｍの処理ヘッド２０の電極２３をはじめとするヘッド構成部材２１〜２３を、樹脂製のボルト３０で連結する。樹脂ボルト３０の頭部３１に被覆材４０を被せる。被覆材４０は、ボルト頭部３１への取り付け時に流動性を有し、取り付け後剥離可能に粘着し硬化し、単独で取り外し可能である。被覆材４０は、好ましくはビニルポリシロキサンで構成されている。 （もっと読む）

【課題】本金型は多くのパーツから成り立ちまたサイズも小さいことから取り扱いが難しくこれを分解して組み直すのに非常に手間がかかるため、洗浄作業には非常に多くの時間がかかるという課題を有していた。またウエット洗浄であることから金属への腐食が発生する課題も有していた。
【解決手段】熱可塑性樹脂を用いた射出成形金型の少なくともキャビティ形成面を含んで真空領域を形成し、この真空領域内にプラズマ放電と反応ガスを導入して反応ガスの活性種を前記金型に照射して前記キャビティ形成面を洗浄することが出来るようにした。 （もっと読む）

【課題】複数の電子部品などのワークにおける異物除去が確実、且つ効率的に行えるブロー洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の吐出口１１を有する気体吐出部１０と、複数の吐出口１１から吐出された気体が吹き付けられる位置に複数のワーク２５を保持するワーク収容部２０と、を備えるブロー洗浄装置１であって、ワーク収容部２０は、複数のワーク２５を各ワーク２５の被洗浄部位と各吐出口１１とが対向するように配置するトレイ２１と、トレイ２１に配置された複数のワーク２５を支持し、且つ網状に形成されたワーク押さえ２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ロープの傾斜角度に関係なく、そのロープの略全長にわたって付着した付着物を容易且つ迅速に除去できることを課題とする。
【解決手段】水中に存在するロープ４が挿通されるロープガイド体５と、前記ロープガイド体５を支持する装置本体８と、前記ロープガイド体および装置本体をロープに沿って移動させる駆動装置８とを備え、前記ロープに沿って移動しながら、前記ロープに付着する貝殻等の付着物を掻き落とす筒状のスクレーパ部２４が、前記ロープガイド体の進行方向先端部に設けられたことにある。 （もっと読む）

【課題】部品から除去した塵埃が、再び部品に付着することを確実に防止することができ
る除塵装置及び除塵方法を提供すること。
【解決手段】処理対象５０を保持する保持台３０を有する除塵室１２と、処理対象５０に
対して空気を吹き付ける空気噴射装置２２と、除塵室１２から塵埃を吸引する負圧発生装
置１８を有する除塵装置１０であって、負圧発生装置１８は、除塵終了後において、予め
規定した規定時間の間、作動を継続するように構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部誘電体と内部誘電体との間に供給される処理ガスの流量などを均一にしたり、外部誘電体の強度を高めることができる処理ガス吐出装置などを提供する。
【解決手段】処理ガス吐出装置は、上部外周面に形成された供給穴２３及び下部外周面に形成された吐出穴を有する管状の外部誘電体２２と、外部誘電体２２の外周面に設けられ、接地された外部電極２６と、外部誘電体２２の管内にこれと一定間隔を隔てて同軸に設けられる管状の内部誘電体と、内部誘電体の管内に設けられる内部電極と、内部電極と外部電極２６との間に高周波電圧を印加する高周波電源と、供給穴２３から外部誘電体２２と内部誘電体との間に処理ガスを供給するガス供給機構とを備える。供給穴２３は、長手方向が外部誘電体２２の軸線に沿うように一列に形成された複数のスリット穴から構成され、各スリット穴の両端部には丸穴２３ｂが形成される。 （もっと読む）

【課題】内部誘電体と内部電極との間に生じる隙間を無くして、無駄な電力を消費するのを防止したり、内部誘電体の冷却効率を高めることができる処理ガス吐出装置などを提供する。
【解決手段】処理ガス吐出装置は、供給穴２３及び吐出穴２４を有する管状の外部誘電体２２と、外部誘電体２２の外周面に設けられ、接地された外部電極２６と、外部誘電体２２の管内に設けられる管状の内部誘電体３５と、内部誘電体３５の管内に設けられる管状の心材３７及びその外周面に巻き付けられる金属箔３８からなる内部電極３６と、心材３７と外部電極２６との間に高周波電圧を印加する高周波電源３９と、供給穴２３から外部誘電体２２と内部誘電体３５との間に処理ガスを供給するガス供給機構と、心材３７の内部に冷却液を循環させる冷却液循環機構とを備える。内部電極３６は、金属箔３８のスプリングバックにより内部誘電体３５の内周面に隙間なく当接する。 （もっと読む）

【課題】 吐出ノズルの先端部に存在している塗布液を、多くの洗浄液を使用することなく、簡単な設備で効率よく除去できるようにする。
【解決手段】 吐出ノズル20先端のスリット状の吐出口21から吐出された塗布液22を保持する回転ローラ11を吐出ノズルと接触しないように設け、この回転ローラの外周面に保持された塗布液を除去するブレード12を回転ローラの軸方向に往復移動可能に設けると共に、回転ローラの外周面に洗浄液14を供給する洗浄液供給装置15をブレードよりも回転ローラの回転方向下流側に設け、ブレードにより塗布液を回転ローラから除去する段階では、回転ローラに洗浄液が供給されないようにする一方、少なくとも回転ローラの外周面に洗浄液を供給している段階で、上記のブレードを回転ローラの軸方向に往復移動させるようにした。 （もっと読む）