【課題】本発明では、ブラシを用いた洗浄でも機能性膜表面に傷や剥離を発生させない洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】表面に成膜された膜付きガラス板の少なくとも膜表面に、該膜面に対し平行方向に４００〜６００Ｈｚで往復振動する洗浄用ブラシ毛を接触させて洗浄すること。 （もっと読む）

【課題】 清掃が必要なプローブを備えたプローブ組立体だけを選んで、簡単な操作で効率良くプローブのクリーニングを行うことができるプローブ清掃ユニットを提供することを課題とする。
【解決手段】 パネル検査装置のプローブユニットに対し、少なくとも前記プローブ組立体のそれぞれに対応する位置の間で移動可能に取り付けられるアーム部と；前記アーム部に取り付けられた本体部と；前記本体部に直線状に往復動可能に支持された移動ベースと；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させる手段と；前記移動ベースを前記本体部に対して直線状に往復動させたときに、前記移動ベースに取り付けられる第１清掃手段が前記プローブ組立体の複数のプローブの先端と接触するように、前記アーム部と前記移動ベースとの距離を調節する距離調節機構を備えているプローブ清掃ユニットを提供することによって解決する。 （もっと読む）

【課題】電子部品等の被清掃物に付着した微小異物の除去性能が高く、糊残りが低減されてかつ剥離が容易であり、電子機器等の製造工程において使い勝手のよいクリーニング材を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、表面にウレタン層を備えるクリーニング材であって、上記ウレタン層表面の表面粗さＲａが０．００５μｍ以上０．１μｍ以下であり、被清掃物に対する上記ウレタン層表面の面接触を経てその被清掃物に付着した異物を除去することを特徴とするクリーニング材である。 （もっと読む）

遠位側を圧力シンクに連結された管と、ノズルと、前記ノズルを前記管の近位側に連結する弾性要素と、前記管の前記近位側と前記ノズルとの間の隙間に架橋する変形可能な筐体とを備えた吸込みノズル組立体。任意選択的に、前記ノズルおよび前記筐体の一方または両方に形成され、かつ前記隙間と前記ノズル組立体の外側との間の流体連通をもたらす、少なくとも１つの均圧孔を含む。 （もっと読む）

【課題】 テープ状の清掃媒体の格別な繰り出し操作を不要にして清掃作業を容易とし、かつ繰り出し操作忘れを防ぎ、フェルールに致命的な傷を招くことなく付着塵埃などを確実に除去可能な光コネクタ端面清掃装置を得る。
【解決手段】 保持部１５にフェルールＦを挿入保持させて受け部３１の受け面３１ａに対しテープ状の清掃媒体２１を介して前記フェルールＦの端面を押圧した状態で、駆動部Ｍによってカセット本体１７をフェルールＦの挿入方向と直交方向に駆動させる。すると、フェルールＦの端面を清掃媒体２１によって相対的に払拭させることができ、付着塵埃などの除去を行わせることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の被洗浄面の洗浄に当たって洗浄クロスをその幅方向に有効利用することで、洗浄クロスの使用量を低減してコスト低下を図るとともに、洗浄クロスの交換間隔を長くして生産効率を向上する。
【解決手段】基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに押圧される押圧子と、基板１の被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧子の対向面１５にテープ状の洗浄クロス１２を送る洗浄クロス送給手段と、洗浄クロス１２に洗浄剤を吐出する洗浄剤供給手段と、押圧子を基板１の被洗浄面１ａ、１ｂの長手方向に相対移動させる移動手段とを備えた基板洗浄装置において、洗浄クロス１２の幅方向に複数の押圧子１１ａ１、１１ａ２と１１ｂ１、１１ｂ２とを並列配置するとともに、各押圧子１１ａ１、１１ａ２と１１ｂ１、１１ｂ２とを被洗浄面１ａ、１ｂに対する押圧可能位置と非押圧位置との間で位置切替可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】土や泥を効果的に除去する洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】グリップ本体２に洗浄流体の導管３が接続され、洗浄流体を断続する操作装置４がグリップ本体２に取り付けられている形式のものであり、導管３の先端に噴射ノズル５が設けられているとともに、この噴射ノズル５の近傍にブラシ６が配置され、このブラシ６は少なくとも導管３とほぼ同方向に延びる一対の対向部を有し、この対向部の間に噴射ノズル５が開口している。 （もっと読む）

【課題】清浄具の本体から払拭具を容易に取り替えることができ、且つ払拭具を取り付けた箇所に硬質部が露出せず、本体を洗浄，消毒し易く、コンパクトな構成の清浄具を提供することを目的とする。
【解決手段】棒状部材１１と軟質材製払拭具１２を備えた清浄具１０である。棒状部材１１は、長手方向両側に掴み部１３ｂ，１６ｂ、中央に折り曲げ／曲げ戻し自在な可撓性部材１４（折曲点）を備える。棒状部材１１を直線状にして可撓性部材１４（折曲点）及び棒先部分１３ａ，１６ａに払拭具１２を巻き、棒状部材１１を二つ折りにして払拭具１２を狭圧保持する。 （もっと読む）

例えば、集積チップ製造装置のクリーニングで又は集積チップ製造装置と組み合わせて使用するためのクリーニングウェハ又は基板。クリーニング基板は、一つ以上の予め決められた接着剤、非粘着、静電又は突出、くぼみあるいは他の物理的区分などの異なる予め決められた表面特徴を有する基板を含むことができる。予め決められた特徴は、集積チップウェハの適所に集積チップ製造装置などで使用されるコンポーネントのより効果的なクリーニングを提供できる。クリーニング基板は、真空、機械的、静電又は他の力によってクリーニング又は他の位置に付勢される。クリーニング基板は、削り又は研磨を含む様々な機能を達成するのに適される。クリーニング基板は、新規な製造方法で作られ、チップ製造装置と組み合わせて新規な使用方法で使用される。 （もっと読む）

【課題】ゴミの拭き取り能力に優れると共に、一旦捕捉したゴミに対する保持能力にも優れ、清掃効率を向上できる清掃用シートを提供する。
【解決手段】多数の透孔５を有する可撓性シート２と、可撓性シート２の内面側に位置し、静電気によるゴミ吸着能力を有する帯電性シート３とからなり、可撓性シート２の一端部２ａ及び他端部２ｂを帯電性シート３に接合してそれぞれ第１接合部６、第２接合部７を形成する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】基板の表面からパーティクル汚染物質を洗浄するための装置及び方法は、粘弾性材料の層を表面上に塗布することを含む。粘弾性材料は、薄い膜として塗布され、実質的な液体様特性を示す。粘弾性材料を塗布された表面の第１のエリアには、粘弾性材料を塗布された表面の第２のエリアがその加えられる力を実質的に受けないように、外力が加えられる。外力は、粘弾性材料の固体様特性にアクセスするために、粘弾性材料の固有時間よりも短い持続時間にわたって加えられる。固体様特性を示す粘弾性材料は、表面上に存在するパーティクル汚染物質の少なくとも一部と少なくとも部分的に相互作用する。粘弾性材料は、固体様特性を示している間、パーティクル汚染物質の少なくとも一部と併せて表面の第１のエリアの領域から除去される。 （もっと読む）

【課題】効率的に高い精度でゴミを除去することができるビット清掃装置を提供する。
【解決手段】空隙４１はドライバビット１８の先端部の形状を象る。空隙４１には布シート３２が覆い被さる。したがって、先端部がその軸心に沿って空隙４１に受け入れられると、先端部の外壁面および空隙４１の内壁面の間に布シート３２が挟み込まれる。軸心に沿ったドライバビット１８の移動に基づき先端部は空隙４１内で布シート３２に押し付けられる。布シート３２は押し潰される。布シート３２は先端部の外壁面から微小なゴミを擦り取る。こうして布シート３２は先端部の外壁面から効率的に高い精度でゴミを除去することができる。清掃作業は効率的に実施される。その結果、ドライバビット１８の先端部にゴミの付着は回避される。先端部から例えばねじのねじ頭へのゴミの移動は防止される。 （もっと読む）

【課題】実質的に粘着力を有さないクリーニング層を備えるクリーニング機能付搬送部材であって、搬送性能に優れ、エッジ付近を含むチャックテーブル全面にわたって均一に異物除去性能に優れ、さらに、ウェハのハンドリング部であるウェハエッジ部分付近への異物付着や汚れ付着が効果的に防止でき、機械式固定方式におけるウェハ接触部への異物付着や汚れ付着が効果的に防止できる、クリーニング機能付搬送部材を提供する。また、そのようなクリーニング機能付搬送部材の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のクリーニング機能付搬送部材は、クリーニング層を有するクリーニング機能付搬送部材であって、該クリーニング層は実質的に粘着力を有さず、該クリーニング層は、搬送部材の一方の面の全面と、搬送部材のエッジ部分と、搬送部材のもう一方の面の一部とを連続的に覆うように形成されている。 （もっと読む）

【課題】高温環境下に長時間曝されることなくロールの異物を除去する異物除去治具を提供することを目的とする。
【解決手段】金属材を載置して走行させる複数のロールが並設されるロール列に搭載され、このロールの回転によりこのロール列上を異物除去治具が走行する。この異物除去治具は、窓を有する治具本体と、鎖とで形成される。この鎖は、ロールの軸と交差する方向に延びるように取り付けられている。この鎖は所定の緩みを有している。ロール表面に鎖が接触し、ロール表面の異物を削ぎ落とす。 （もっと読む）

【課題】主管路内壁を、主管路ピグによりカキ取り清掃することができ、メンテナンスコストが安価な塗装液供給システムの提供。
【解決手段】分岐部取出口バルブ４１を閉じ、ランチャー側バルブ２１、およびキャッチャー側バルブ３１を開き、洗浄液注入バルブ５１を開いて洗浄液を主管路１０内へ注入し、ピグキャッチャー内のピグを洗浄液圧力でピグランチャー管方向へ押し戻し、主管路内圧力をゼロにした後、主管路１０内の洗浄液を加圧し、ピグランチャー管２内のピグを洗浄液圧力でピグキャッチャー管３方向へ押し出し、主管路１０内を洗浄する。主管路ピグ６が主管路１０内を移動する際に、主管路内壁に付着した塗料カスをカキ取り清掃するため、業者に洗浄を依頼する必要がなく、メンテナンスコストが安価である。 （もっと読む）

【課題】フイルム状基材表面に付着した粘着力のある異物を、フイルム状基材の全面を均一に洗浄して効率よく除去するとともに、除去した異物が再付着しにくく、しかもデリケートなフイルム表面にすり傷等の外観欠陥を発生させない洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】搬送されてくるフイルム状基材９を洗浄する洗浄装置であって、前記洗浄を行う洗浄部がスキージ４と洗浄液吹き出しノズル５とを有するフイルム状基材の洗浄装置である。また、搬送されてくるフイルム状基材を洗浄する方法において、スキージをフイルム上に押付けながら洗浄液をスキージ押付け部付近に吹き出すフイルム状基材の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】フィルターに付着した粉塵を簡便且つ確実に取除くことができ、しかも、集塵機を稼動させたままの状態においてもフィルターに付着した粉塵を取除くことができる集塵機を提供する。
【解決手段】空気を吸込む吸気ファンと、周方向に蛇腹状で内部の中空部分に蛇腹の内側が露呈する円筒状のフィルター材３６を有し、前記吸気ファンの上流側に設けられ、吸気ファンに吸込まれる空気中の塵埃をろ過するフィルター３２と、該フィルター３２の軸線部分に挿通され、回転駆動される回転軸３３と、該回転軸３３の径方向に突設され、回転軸３３の回転に伴って前記フィルター材３６の内方に露呈する蛇腹（内側の蛇腹部分３６ａ）を叩き弾く突片３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ベアリング軸受孔の内径の各種の寸法に対応して、幅広い範囲で効果的な清掃ができるように配慮された新規なベアリング軸受孔の清掃具を提供すること。
【解決手段】単繊維繊度が０．００１ｄｔｅｘ〜５ｄｔｅｘの合成繊維マルチフィラメント糸を用いた繊維布帛からなるテープ状繊維構造物の両縁部が、互いに熱融接着または縫い合わされることにより接合されて筒状構造を形成していて、かつ、接合後に該筒状構造の表裏面が裏返されて、前記接合された部分が前記筒状構造の内芯側に位置され、さらに、該筒状構造の全体の横断面は偏平状につぶれた形態をしていて、捻ることと折ることが自在に可能な繊維紐状体を呈しているベアリング軸受孔の清掃具。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の容積を小型化するとともに洗浄媒体を洗浄槽に滞留させることなく飛翔させて表面が複雑な形状をした洗浄対象物でも効率良く洗浄する。
【解決手段】吸引ダクト１７から洗浄槽６内の空気を吸気してプール部材１１ａの開口部とプール部材１１ｂの多孔性部材１２とにより洗浄槽６内に向かう吸引気流を生成している。この状態で洗浄対象物４を保持手段３の把持手段２１で把持してプール部材１１ａの開口部より洗浄対象物４が保持された保持手段３を挿入し、洗浄対象物４が洗浄槽６の中に送り、洗浄媒体加速ノズル１３に圧縮空気を供給し、洗浄媒体加速ノズル１３から洗浄媒体飛翔空間９に垂直上向きに気流を発生させて洗浄媒体５を飛翔させて洗浄対象物４に衝突させ洗浄対象物４表面に付着している付着物を効率良く除去する。 （もっと読む）

【課題】転写後の成形品に生じた箔バリを簡単に除去する箔バリ除去装置を提供する。
【解決手段】成形品の側面に生じた箔バリを付着させるための粘着テープを送り出すテープ供給装置と、成形品を保持する治具と、上記治具をその中心が楕円を描くように移動させる治具駆動部とを備え、上記治具の中心が楕円を描くように移動させて上記成形品の側面を上記粘着テープに押し付けることによって、上記箔バリを上記粘着テープに付着させて除去する。 （もっと読む）