【課題】固体状のクリーニング対象物の表面に堆積・付着した微細なゴミを、クリーニング対象物を液中に浸すことなく、かつ非接触で除去することができる超音波を用いたクリーニング方法を提供する。
【解決手段】本発明の超音波を用いた非接触クリーニング方法は、固体状のクリーニング対象物の表面に付着した微細な塵埃等の固形微小物を除去するために、気相中で超音波を対抗する面から非接触でクリーニング対象物の表面に照射することで、固形微小物を振動させてはじき出し、もしくは剥離させた後に遊離させ、音圧の節にリフトアップさせて捕捉しもしくは跳ね飛ばして除去可能な状態とした後、除去することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】３６０度方向に超音波を放射する円柱状または円筒状の放射部を有する超音波振動子を用いて管材またはワーク穴の内面を均一に、かつ効率的に洗浄することができる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波洗浄装置１００は、超音波振動子１０と、超音波発振器２０、一対の走行手段３０ａ，３０ｂとを備える。走行手段３０ａ，３０ｂは、超音波振動子１０の軸線と直交する方向に設けられた円形または多辺形の板状部材３１と、板状部材３１の外周に設けられた複数のボールキャスター３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の欠陥の発生が極めて少ないフォトマスク関連基板を得られる洗浄方法及び洗浄装置提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスク関連基板の洗浄方法において、少なくとも、前記フォトマスク関連基板の表面の異物をあらかじめ除去する前処理工程と、該前処理工程の後に前記フォトマスク関連基板にＵＶ光を照射するＵＶ照射工程と、該ＵＶ照射工程の後に前記フォトマスク関連基板を湿式で洗浄する湿式洗浄工程とを行うことを特徴とするフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】イオン系コンタミが少なく、かつ乾燥不良が起きず、その結果ヘッド浮上量が微少なハードディスクに搭載してもヘッドクラッシュを起こさない磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】磁気情報記録媒体用ガラス基板を保管ケースに保管する公知を備える磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記保管ケースは、電気抵抗値が１０ＭΩ・ｃｍ以下である水溶液を用いてリンスされることを特徴とする磁気情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を用いる。前記電気抵抗値が１０ＭΩ・ｃｍ以下である水溶液は、水に炭酸ガスを浸透溶解させて調整したものであることが好ましい。また、前記電気抵抗値が１０ＭΩ・ｃｍ以下である水溶液は、水に水素ガスを浸透溶解させ、ｐＨを９〜１０に調整したものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】高度な表面製が要求されるガラス板の間に挿入されるガラス用合紙に関し、特に、合紙からガラス板へ転写される汚れの低減、及びガラス板に付着した汚れの洗浄による除去効果の向上を図ることができるガラス用合紙を提供する。
【解決手段】古紙を原料として抄造された合紙本体の表面に、フッ素コーティング皮膜を形成した。また、前記ガラス用合紙を、複数枚重ね合わせた各ガラス板の間に挿入して、ガラス用合紙からガラス板へ転写される不純物の汚れを、フッ素を介在させた状態でガラス板表面に付着させ、その後、水で洗浄処理した際に前記汚れをフッ素の疎水性を利用してガラス板表面から洗い流すようにしたガラス板に付着した汚れの除去方法。 （もっと読む）

【課題】 デバイスに薬剤が充填された高活性医薬品を安全且つ安定的に生産することのできる医薬品の製造装置を提供する。
【解決手段】 アイソレータ１１４内に充填装置１８等が備えられると共に、スリーブスーツ１２０で先端部を除いて気密に覆われたロボット７８等でデバイス７６が移送される。そのため、薬剤充填などに人が関与しないので、高活性医薬品が取り扱われる場合にも安全に医薬品を製造することができる。また、ロボット７８等によるデバイス７６の移送はピックアンドプレイスで行われるため、デバイス７６の転倒や破損が生じない。しかも、ロボット７８等は、関節を含む基台４０側はスリーブスーツ１２０によって気密に覆われているので、その関節等からの発塵によるアイソレータ１１４内の汚染が抑制されると共に、薬剤やこれを洗い流すための洗浄液がロボット７８等に付着してこれを腐食させることが抑制される。 （もっと読む）

【課題】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法で、付着異物の除去が効果的な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 大型のフォトマスク用の遮光膜付き基板の洗浄方法であって、高い圧力をかけてノズルから、純水を微粒径の状態状態で噴射させて、前記遮光膜付き基板の遮光膜にあてる、純水ジェット洗浄処理を施す。 （もっと読む）

【課題】ガスタービン翼を補修・再生する際に、ガスタービン翼母材の機械的性質の変化を低減させること。
【解決手段】ガスタービン翼１Ａの内部に設けられた内部冷却媒体通路内に強アルカリ性洗浄液、水、弱酸性洗浄液を供給し、かつ、流通させる洗浄液・洗浄水供給手段６０，６１が、支持手段２の底部に設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】びん、缶等の容器に飲料等を充填する充填機器或いは充填液の液処理機器或いはこれらの機器を接続する配管機器等の機器を定置洗浄する洗浄方法において、充填液に接する箇所の洗浄度を大幅に向上させ、しかも洗浄時間を短縮でき、洗浄液等のユーティリティの使用量を軽減できる機器洗浄方法を提供する。
【解決手段】びん、缶等の容器に飲料等を充填する充填機器４或いは充填液の液処理機器３或いはこれらの機器を接続する配管機器４ｐ等の機器の液通路を定置洗浄する洗浄方法において、前記機器にナノバブルを含んだ液体を送液して所定時間静置浸漬するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板にキズが発生するのを防止しつつ、安定して基板を洗浄することができる、基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄板１と、洗浄板１を振動させる振動部２と、基板に非接触な状態で基板上を吸引し、洗浄板１の先端部１ａの近傍に吸込み口を有する吸引部３，４と、洗浄板１を基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】メタルマスク版の表面にはみ出した半田等の付着物の拭き取りに使用した拭き取りシートから付着物を除去して、拭き取りシートを何度も再利用できるようにした付着物除去装置を提供する。
【解決手段】拭き取りシートＳに染み込んだ液媒体及び振動ユニット４０により剥離された後で拭き取りシートＳ表面に再付着した付着物を吸引除去する吸引除去ユニット５０を備える。吸引除去ユニット５０は、拭き取りシートＳが巻き掛けられる面に吸引孔５１ａが形成された筒状の吸引ノズル５１と、吸引ノズル５１内の空気を吸引する吸引ポンプ５２とを有する。吸引ノズル５１には、吸引ポンプ５２が接続される一方、開口部には蓋部材が着脱自在に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】極めて簡単で効果的に洗浄作業ができる管路及びパイプラインの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】管路１０を閉塞して所定の区間を略密閉区間１０ａとする閉塞工程と、密閉区間１０ａに微小気泡を含有する水を充満させる充満工程と、充満工程による充満状態を所定時間維持する維持工程と、維持工程後に充満した水を排出する排水工程と、を有する。なお、閉塞工程の後に、充満工程と維持工程と排水工程とからなる一連の工程を複数回繰り返しても良い。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁や端面に残りやすい切粉等を、基板に損傷を与えることなく確実に除去する。
【解決手段】基板Ａの洗浄トレー１は、線条体７を張設した収容部５内に基板Ａを収容するセットトレー２と、複数の線条体１１を張設したネットトレー９とを一体としてなり、該セットトレー２の収容部５内に収容された該基板Ａを揺動自在に保持するので、吹き付けられた高圧の洗浄媒体によって基板が収容部内で大きく揺動しても、基板への衝撃は該両トレーに張設された線条体により十分に緩衝されることから、基板に損傷を与えることなく、基板の周縁や端面に付着する切粉等を確実に除去できる。 （もっと読む）

工業部品を洗浄するための装置は、洗浄液を収容するための液体囲壁を定める液体容器と、洗浄液内の動作周波数及び波長を有し且つ２〜１０波長の間隔で液体容器の少なくとも一部に固定される超音波変換器とを有する。動作中、超音波変換器は、液体容器の構成部品受取り領域内で、液体容器の平均出力密度よりも大きい出力密度を生成する。
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【課題】例えば超音波を用いて原子炉冷却材圧力バウンダリを構成する構造体の付着固形物の洗浄、除去を行う際でも、作業に長時間を要さず、作業員の被爆量が軽減できると共に、構成が複雑でなく、コストの大幅上昇を生じない超音波キャビテーション洗浄方法を提供する。
【解決手段】 内部が水７で満たされた円筒状構造体１４の内表面の付着固体物を、超音波振動子２の発する超音波を用いて洗浄、除去する方法で、構造体１４に外方側から超音波振動子２の発する超音波を入射すると共に、入射する超音波の周波数を、超音波の１／２波長の整数倍と該構造体の厚さｔとが等しくなるよう調整し、調整した超音波を構造体１４に入射して厚さ方向の共振を生起させ、構造体１４の内表面にキャビティ泡２１を発生させるようにする。 （もっと読む）

パルス・ウォータージェットを用いてシリンダ・ボアの表面を前処理するための装置及び方法が、信号発生器を用いて周波数ｆを有する信号を発生させる段階、出口穴直径ｄ及び長さＬを有するノズルの出口穴を介してパルス・ウォータージェットを生成するように信号を印加する段階を含む。このパルス・ウォータージェットは、所定の表面粗さ範囲内に合わせて表面を前処理する。表面粗さは、スタンドオフ距離（ＳＤ）、ノズルのトラバース速度Ｖ_ＴＲ、水圧Ｐ、水流量Ｑ、穴の長さ対直径（Ｌ／ｄ）比率、並びに信号の周波数ｆ及び振幅Ａを含む、作動パラメータを選択することによって決定される。
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【課題】ドライ洗浄とウエット洗浄とを組み合わせてマスク部材をクリーニングする際に、その洗浄プロセスを円滑に運転させることができ、マスク部材を効率的にクリーニング処理を行えるようにする。
【解決手段】ロードステージ１０と、レーザ光を用いたドライ洗浄ステージ１１と、洗浄液にマスク部材４を浸漬させて行う第１のウエット洗浄ステージ１２と、マスク部材４に対してシャワー洗浄を行う第２のウエット洗浄ステージ１３と、マスク部材４に熱風を供給して行う乾燥ステージ１４と、アンロードステージ１５とから構成されるクリーニング装置において、ロードステージ１０からドライ洗浄ステージ１１にマスク部材４を搬送・移載する同期式マスク搬送手段２０Ｃと、ステージ１１〜１５間にマスク部材４を搬送・移載する非同期式マスク搬送手段２０Ａとが設けられている。 （もっと読む）

【課題】スリッター刃の外周端縁に付着するスリッター粉を除去可能な除塵装置を提供する。
【解決手段】スリッター刃１の外周端縁11が走行通過するスリット溝７を凹設し、このスリット溝７の内面７Ａに、噴出孔12及び吸入孔14を配設する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクなどに用いられる石英基板の洗浄方法であって、傷が発生せず、洗浄効果も高い研磨した石英ガラス基板のスクラブ洗浄方法を提供する。
【解決手段】２流体ジェット洗浄によりスクラブ洗浄時にスクラブ材にからんで基板に傷をつけるような異物を除去し、その後、スクラブ材として３０％圧縮応力が２０〜１００ｋＰａ、２０ｋＰａにおける圧縮弾性率が５０〜２００ｋＰａであるスクラブ材を用いて、スクラブ洗浄することで、スクラブ洗浄による傷の発生を抑制し、なおかつ基板の主表面のみならず端面まで細かい付着物を除去する。 （もっと読む）

【課題】フィルム表面に付着した微小な異物、特にフィルムと同じ材質の異物を除去するためのフィルム洗浄技術を提供すること。
【解決手段】フィルム８００を搬送しながら、加熱冷却部３００で加熱及び冷却を行った後、洗浄部４００で洗浄し乾燥部５００で乾燥を行う。加熱冷却部３００では、加熱・冷却時のフィルム及びこれに付着する異物の温度差により、両者の熱応力（変形量）に差が生じ、異物はフィルムから剥離される。洗浄部４００では、剥離された異物をフィルムから除去する。 （もっと読む）