【課題】回転するブラシにより効率よく洗浄対象物を洗浄することができるようにする。
【解決手段】ブラシ装置１０は内側筒状軸２０、外側筒状軸３０およびブラシ４０を備えている。内側筒状軸２０は回転しないように配設され、外側筒状軸３０は内側筒状軸２０を回転中心として回転可能に配設され、ブラシ４０は外側筒状軸３０の外面３２に固定され、内側筒状軸２０の内面２１と外面２２との間を貫通する孔２３が形成され、外側筒状軸３０の内面３１と外面３２との間を貫通する孔３３が形成され、内側筒状軸２０に空気が吹き込まれる。 （もっと読む）

【課題】処理部中の塵埃を除去でき、装置の小型化、処理のスループットの向上及び歩留まりの向上を図れるようにすること。
【解決手段】搬送手段によって搬送されるウエハを処理部に搬送して処理を施す基板搬送処理において、ウエハＷの処理前に、搬送手段であるメインアームＡ２によって搬送される、塵埃を捕集可能な状態の捕集プレートＰＬを塗布処理ユニット３２に搬入して、塗布処理ユニット内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。塵埃を捕集した捕集プレートを洗浄ユニット８０内に搬入し、この洗浄ユニット内において捕集した塵埃を洗浄により除去し、塵埃が除去された捕集プレートを、塵埃を捕集可能な状態例えばイオナイザ２００によって帯電して再生する。塵埃を捕集可能な状態に再生された捕集プレートを、メインアームによって処理前の処理部に搬入して、この処理部内に発生する塵埃を捕集プレートに付着して捕集する。 （もっと読む）

【課題】この発明は半導体ウエハの上面と下面とを同時に、しかも確実に洗浄することができる基板の処理装置を提供することにある。
【解決手段】一側面に出し入れ口２が形成された処理槽１と、この処理槽内の上記出し入れ口と対向する位置に設けられ処理槽内に搬入された半導体ウエハ１０の搬入方向と交差する径方向の両端部を保持してこの半導体ウエハを回転駆動する保持駆動手段８と、保持駆動手段に保持された半導体ウエハに処理液を供給する洗浄ノズル１２４，１２５と、処理槽内の上記保持駆動手段よりも内方に設けられ先端部に上記半導体ウエハの板面を洗浄する洗浄ブラシ７１，１２２を有するアーム６３，１２１およびこのアームを上下方向に駆動するとともに洗浄ブラシが半導体ウエハの径方向に沿って移動するよう上記アームを揺動駆動する駆動手段を有するツールユニット６１，６２とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄仕上がりで洗浄できる磁気記録媒体用基板の洗浄に用いられるブラシの保管方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体用基板の洗浄に用いられるポリビニルアルコールスポンジからなるブラシ３の保管方法であって、過酸化水素を含有する保管液中で前記ブラシ３を保管するブラシの保管方法とする。 （もっと読む）

【課題】基板の表裏両面の好適な洗浄を可能とする。
【解決手段】ベース部材２に設けられた保持部材６によってベース部材２と基板Ｗとが離間された状態で基板Ｗの周縁部が保持され、保持部材６に保持された基板Ｗの面のうち、ベース部材２に向く側の第１洗浄面ＷＦ１を洗浄するための第１洗浄ブラシ２１は、第１洗浄具支持アーム２２によって、基板Ｗとベース部材２との間に第１洗浄面ＷＦ１に沿って移動可能に配置支持される。回転モーター１１によってベース部材２に連結された中空状の回転軸９を介して基板保持機構１及びそれに保持された基板Ｗを回転させながら、回転モーター１６による移動動力によって、第１洗浄面ＷＦ１に沿って第１洗浄ブラシ２１を移動させ、第１洗浄ブラシ２１により基板Ｗの第１洗浄面ＷＦ１を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板のブレイク時に発生したガラスカレットを確実に捕捉・除去することができるガラスカレットの除去装置、除去方法等を提供する。
【解決手段】ガラス基板８０の表裏両側からスクライブラインＬに臨む一対のカレット除去ユニット１０から成り、カレット除去ユニット１０は、弱粘着シート１１と、弱粘着シート１１の粘着面をガラス基板８０に押し当てる押当て位置と退避位置との間で移動自在な押圧部材３１と、押圧部材３１を移動させる移動手段３５と、弱粘着シート１１を巻き取るシート巻取り手段４２と、制御する制御手段７と、を備え、制御手段７は、ブレイク前、押圧部材３１を押当て位置に移動させ、ブレイクの後、押圧部材３１を退避位置に移動させてから弱粘着シート１１を巻き取らせるようにしている。 （もっと読む）

【課題】従来のバフの洗浄装置においては、手による揉み洗いで、洗浄し、天日乾燥か、強制脱水等による方法が一般的である。この方法は、能率が劣ること、厳寒時には大変に辛い作業であり、その改良が望まれていた。一部において、洗浄水を単にバフ装置に吹き付けて洗浄する方法では、バフ装置のバフの奥に付着した汚れが取れ難い等の問題がある。そして、また乾燥はエアを吹き付けることにより行なっているため、エアの供給が必要であった。
【構成】フレームに設けたケーシングにクロス状に軸支したローラと、洗浄水供給装置と、ホースとで構成した車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置で、ケーシングの上面に水噴出用の孔を複数個開設し、この孔を洗浄水供給装置に連通し、またケーシングの上面に排水用の孔を複数個開設する構成とした車輌、又は壁面用のバフを備えた電動工具清掃装置である。 （もっと読む）

【課題】 製造コスト及びメンテナンスコストを従来より下げることができる表面洗浄装置を提供する。
【解決手段】 表面洗浄装置１０は、側板１２、１３と、側板１２、１３から引き出し可能な引出ユニット３０、４０とを備え、引出ユニット３０は、板状の対象物であるプリント基板９０の表面９０ａに付着しているゴミを吸着する粘着ラバーロール３１ａと、粘着ラバーロール３１ａに付着したゴミを転写する粘着テープロール３３とを有し、引出ユニット４０は、プリント基板９０の表面９０ｂに付着しているゴミを吸着する粘着ラバーロール４１ａと、粘着ラバーロール４１ａに付着したゴミを転写する粘着テープロール４３とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】清掃及び保守を考慮して改善されたブラシの利用を可能にすること。
【解決手段】本発明は、印刷シリンダー（２）の清掃装置（４）に関する。前記清掃装置は、前記印刷シリンダーの回転軸線に平行な回転軸線と、駆動シャフト（３０）に取り付けられたブラシ組立体（２８、２８ａ〜ｄ）とを有する回転式のブラシ（１２）を含む。前記ブラシ組立体は、連続して配置された複数の筒状のブラシ部材（２８ａ〜ｄ）を有する。前記清掃装置は、洗浄液を分配させ及び（又は）放出するために使用される少なくとも１つの通路（３８ａ、３８ｂ、４０ａ、４０ｂ）を有する、前記駆動シャフトに平行な搬送部材（６）有する。前記搬送部材は、１つの部材であり、前記通路を有する押出し成形された断面を有する。 （もっと読む）

【課題】フィルタによるパーティクルの捕捉性能を十分に引き出す。
【解決手段】高圧配管２６に設けられたフィルタＦＦを通過するＳＣＣＯ_２の温度を温度調節部ＴＣ１により処理温度Ｔ１より高い濾過温度Ｔ２に上昇させる。そして、温度調節部ＴＣ２によりＳＣＣＯ_２の温度を処理温度Ｔ１に低下させて処理チャンバーに供給する。 （もっと読む）

【課題】柔軟性の無い凹凸面や、書画等のデリケートなものに付着した塵埃を適切に清掃することのできる清掃用具を提供する。
【解決手段】被清掃面にその先端部が摺動接触して塵埃を掃き取ると共にこの塵埃が付着する掃き取り部（２６７）を有する掃き取りブラシ（２６０）と、前記掃き取り部（２６７）の先端部が接触して前記塵埃が転位付着する除去ブラシ（２７１）と、この除去ブラシ（２７１）を回動可能に取付け且つ、その内部空間の集塵部に除去ブラシに付着した塵埃を転位付着させて集塵部に移送収納させるための塵埃移送ブラシ（２７３）を有する集塵ユニットとを備えた清掃用具とする。 （もっと読む）

【課題】微細プローブ（微細ピンセット）を用いて被処理物からパーティクルを除去した後のパーティクルを保持した微細プローブ洗浄を効率よく確実に行う。
【解決手段】微細プローブ２のパーティクルを保持した部分２Ａのみを、微細口１０から洗浄処理部９に挿入し、洗浄処理部９の洗浄液あるいはエアロゾルによって、微細プローブ２からパーティクルを除去する。 （もっと読む）

本発明に係るブラシ、特に髪の毛や動物の毛用ブラシの洗浄装置は、容器（１２）と、前記容器（１２）の内部に挿置され、洗浄すべき少なくとも一つのブラシに作用し得る少なくとも一つの回転カウンターブラシ（２ａ，２ｂ，２ｃ）とを有する。カウンターブラシは、カウンターブラシの本体の外面に沿った複数の優先ラインに沿って配置された複数の剛毛を有し、前記ラインは、カウンターブラシの本体に沿って髪の毛や動物の毛が巻き付くことを可能にするのに十分な空間を持って相互に離間されている。 （もっと読む）

【課題】ベアリング部を常に望ましい衛生状態にすると共に、洗浄液の消費量を低減することができるクリーニングヘッドを提供する。
【解決手段】クリーニングヘッドの洗浄のための洗浄液の供給量を調整するため、本発明におけるハブ（４）は、ＡＩＳＩ３１６Ｌ及びNitronic60のような摩耗しない金属からなるベアリング、好ましくはベアリング部（１５、２０）の材料が互いに異なる、によりハウジング（３）内に取り付けられている。それにより、液体はベアリングギャップ（１４）を通過することができ、ハブ（１４）を洗浄する液体の消費量と、表面に固定された強固な液体層の形成とを正確に低減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、粘着ローラによる粘着物の付着を防止し、また、凹凸のある配線パターン表面の異物も除去可能な異物除去方法、及び前記方法を用いた多層体形成装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、基材上の異物を除去する方法であって、基材と接した異物除去ブラシロールと、前記異物除去ブラシロールと接しながら連動する異物埋込ブラシロールを用い、異物を除去する工程を真空中で行うことによって、粘着ロールによる粘着物の付着を防止し、異物除去ブラシロールに付着した異物が基材に再付着するのを防止し、また、凹凸のある配線パターン表面の異物も除去可能な異物除去方法、及び前記方法を用いた多層体形成装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】マスク基板や半導体ウエーハ等の基板をブラシで洗浄する際、ブラシ自体を劣化させずに清浄な状態で洗浄し、それにより基板を清浄な状態で洗浄することができる基板の洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板８を保持するための基板保持手段３と、基板を洗浄するためのブラシ４と、ブラシを駆動させるためのブラシ駆動手段５と、基板保持手段により保持された基板又はブラシに対して洗浄液を供給するための洗浄液供給手段６と、ブラシを洗浄するためのブラシ洗浄手段９とを備え、ブラシ洗浄手段が、ブラシを収容し、該ブラシを押し当てて洗浄するためのブラシ洗浄板が設けられたブラシ洗浄槽１０と、ブラシ洗浄槽にブラシ用の洗浄液を供給するためのブラシ洗浄液供給手段１３と、ブラシ洗浄槽に対して超音波を印加してブラシ洗浄板を洗浄するための超音波印加手段１６とを有することを特徴とする基板洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】
バッチ方式でスクラブ洗浄することが可能であり、洗浄処理のスループットを向上させることができ、装置の小型化に適したディスク洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】
この発明は、回転ブラシを所定の長さの円板状あるいは円筒状のブラシとして回転ブラシが複数個挿着された回転軸を有し隣接する前後の回転ブラシのブラシ面の間にディスクが挿入されて保持され回転ブラシを回転させる回転ブラシユニットと、回転ブラシの回転による回転軸を中心とする保持したディスクの公転を阻止し自転を許容するためのディスク公転防止ストッパと、回転ブラシユニットに隣接して設けられ装置外からロードされたディスクを受けて受けたディスクをディスクの外側の一点を中心として回動させて回転ブラシのブラシ面の間に挿入するディスク挿着機構とを備えるものである。 （もっと読む）

【課題】 各種サイズの異物を除去でき、基板への押し付け量を容易に調整でき、ブラシの自己洗浄が可能な基板洗浄ブラシを提供する。
【解決手段】 帯状の長い金具に毛束を挟んでなるチャンネルブラシ２０を設けて当該チャンネルブラシ２０をローラ状のブラシシャフト１０外周に数本等間隔で配列させて螺旋状に巻きつけてなり回転させることで基板表面の洗浄液を等間隔であいたブラシの目に沿って排出させながら洗浄する基板洗浄ブラシであって、ブラシシャフト１０の外周にチャンネルブラシ２０ａ、２０ｂ、２０ｃを３本配列させて傾斜角度が５〜１５度で螺旋状に巻きつけるとともに、この３本配列した各チャンネルブラシ２０は毛の太さ（Ｌ、Ｍ、Ｓ）が各々異なり、配列順に洗浄液の水圧に倒れず排出できる硬さから段階的に柔らかくなるように設ける。 （もっと読む）

【課題】デジタルカメラのセンサ表面などの繊細な表面の清掃において、ごみの粒子を取り除くために使用する清掃用具を提供する。
【解決手段】選択的に作動される清掃用アクチュエータと、清掃用アクチュエータと結合した、複数の毛を有する清掃用部材とを備える清掃用具である。複数の毛は、高い静電気蓄積能力を備えるものである。清掃用アクチュエータは、清掃用部材を動作させるために作動させることができ、それにより毛を静電的に帯電させるのと同時に、ごみが毛から除去されるようにする。 （もっと読む）

自動車の車体に塗料を塗布する前に車体からダストを除去する機械（４）が提供される。上記機械は、中心軸線のまわりで回転するように装着されかつコンベア上を順方向に駆動される車体と接触するようにして回転駆動されるフェザーローラに基いて構成される。少なくとも二つのフェザーローラ（２６、２７）は互いに連続して配列されしかも同期して回転駆動され、これらのローラ（２６、２７）のそれぞれの軸線（２８、２９）の角度は、それら軸線（２８、２９）の少なくとも一つの傾斜を変えることによって調整できる。従って本機械は、種々の車体輪郭に適応できる。このような構成はダスト除去ルーフ及び側方機械に応用できる。
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