【課題】除塵作業後の被除塵物に粉塵が再付着するのを抑止する。
【解決手段】粉塵拭き取り用又は粉塵掃き取り用のワイプ部材４を備える除塵ロボット６を設け、搬送手段により搬送される被除塵物２をワイプ部材４で除塵する除塵用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にするとともに、被除塵物２から離れた位置に設定した清掃域でワイプ部材４の清掃が実施可能なように、除塵用動作後のワイプ部材４を清掃域に移動させる清掃用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にする。 （もっと読む）

【課題】剥離フィルムを確実に、且つ連続的に清掃することができる剥離フィルムのリサイクル方法を提供すること。
【解決手段】剥離フィルムに第1粘着ロールを接触させて、剥離フィルムに付着した付着物を第1粘着ロールに付着させるフィルム清掃工程と、第1粘着ロールに第２粘着ロールを接触させて、第1粘着ロールに付着した付着物を第２粘着ロールに付着させる第１ロール清掃工程と、第２粘着ロールに付着した付着物を除去する第２ロール清掃工程と、を備え、第１ロール清掃工程において、第２粘着ロールの表面のうち付着物が除去された部分を第1粘着ロールに接触させる、剥離フィルムのリサイクル方法。 （もっと読む）

【課題】搬送方向における最前部が拘束されない状態で搬送されるシート状物に付着した付着物を除去することが可能な付着物除去装置を提供する。
【解決手段】付着物除去装置１００に、シート１０の第一シート面に付着した付着物が転写される第一粘着ローラ１４２と、第一粘着ローラ１４２に対して所定の搬送方向に所定のオフセット量だけオフセットされた状態で配置され、第一粘着ローラ１４２との間でシート１０を挟持し、シート１０の第二シート面に付着した付着物が転写される第二粘着ローラ１４４と、第一粘着ローラ１４２に当接したシート１０の第一シート面に対向する位置に配置される第一ガイド部材１６１と、第二粘着ローラ１４４に当接したシート１０の第二シート面に対向する位置に配置される第二ガイド部材１６２と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って、被洗浄面に付着した液体を確実に除去、搾取、洗浄することができるロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を、コストを抑えて安価にて提供する。
【解決手段】ロール１はロール部２及び台座３を有し、台座３は開口部１０が形成された本体部７、及び本体部７の両端に連接される継ぎ手部Ａ８及び継ぎ手部Ｂ９を有し、継ぎ手部Ａ８及び／又は継ぎ手部Ｂ９は中空部１１が形成され、中空部１１は開口部１０と連通されてあり、本体部７の外周には開口部１０に連通する孔部１３が開設されてあると共に、ロール部２が形成され、ロール部２は不織布からなる概円環状の複数のロール片４ａ、４ｂが積層されると共に、内周に切欠き部が設けられたロール片４ｂを有し、切欠き部が本体部７の長手方向に連なることにより複数の流体拡散溝部１４が形成され、孔部１３のロール部２側に流体拡散溝部１４が位置するものである。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って、被洗浄面に付着した液体を確実に除去、搾取、洗浄することができるロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を、コストを抑えて安価にて提供する。
【解決手段】ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は開口部１０が形成された本体部７、及び前記本体部７の両端に連接される継ぎ手部Ａ８及び継ぎ手部Ｂ９を有し、前記継ぎ手部Ａ８及び／又は前記継ぎ手部Ｂ９は中空部１１が形成され、前記中空部１１は前記開口部１０と連通されてあり、前記本体部７の外周には不織布からなる前記ロール部２が形成されてあると共に、流体拡散溝部１３が形成されてあり、前記流体拡散溝部１３には前記開口部１０に連通する孔部１４が形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】
本発明は擦動部材による基板の洗浄をより効率的かつ高精度に行うことができる基板洗浄装置及び、基板洗浄方法を提供する。また、本発明は擦動部材の高密度なセルフクリーニングが可能な基板洗浄装置及び、基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、基板搬送手段により搬送される基板面を洗浄するために、前記基板面に接触し擦動部材が回転する擦動部材ユニットと、前記擦動部材の洗浄する洗浄液の受皿となる洗浄液受皿と、前記洗浄液受皿を移動させて前記擦動部材に接触させる洗浄液受皿駆動部を有する。 （もっと読む）

【課題】ブラシの寿命を長くした洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する保持機構１０と、基板Ｗを洗浄可能な洗浄ブラシ２１とを備え、保持機構１０に保持された基板Ｗに洗浄ブラシ２１を当接させながら相対回転させて基板Ｗを洗浄するように構成された洗浄装置１において、洗浄ブラシ２１を洗浄するブラシ洗浄器５０を有し、このブラシ洗浄器５０は、洗浄ブラシ２１の表面電位を変化させて、洗浄ブラシ２１の表面電位および当該洗浄ブラシ２１に付着した異物の表面電位を互いに正負が同じ表面電位にすることにより、洗浄ブラシ２１から異物を分離して除去するようになっている。 （もっと読む）

【課題】紫外線や薬液を使用することなく、ガラス基板に貼り付いている有機汚れを除去することを目的とする。
【解決手段】基板１を水平搬送する搬送ローラ１７の上下位置に配置され、基板１を加熱および加湿する温水シャワー１８と、搬送ローラ１７の温水シャワー１８よりも下流側の上下位置に配置され、カム駆動モータ５０Ｍに取り付けられた回転軸５０にブラシ４１を装着した擦動ユニット１９と、ブラシ４１を基板１に対して押し付けるために、擦動ユニット１９を昇降動作させる昇降ユニットと、搬送ローラ１７の上下位置に配置され、ブラシ４１が基板１を擦動する部位に向けて高温純水を供給する温水ノズル２０と、を備え、上部側のブラシ４１と下部側のブラシ４１とが基板１を挟み込むようにして、基板１の洗浄を行っている。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルの吐出口面および隣接面に付着した塗布液とその乾燥固着物を容易に、短時間で除去することが可能な清掃方法及び清掃装置、並びにこれらを用いて塗布品位に優れたディスプレイ用部材を高い生産性で製造可能なディスプレイ用部材の製造方法及び製造装置を提供することにある。
【解決手段】吐出口面と、該吐出口面に隣接する隣接面を有するスリットノズルを清掃する方法であって、清掃部材を吐出口面と隣接面に接触させつつ長手方向に移動させて、吐出口面と隣接面の清掃を行う第1の清掃工程と、回転ブラシを隣接面に当接させつつ、且つ当接部に洗浄液を供給しながら長手方向に移動させて、隣接面を清掃する第２の清掃工程と、を有するスリットノズルの清掃方法。 （もっと読む）

【課題】ガードレール表面を清掃して再塗装する場合に、塗装面を美しく仕上げることのできるガードレール清掃塗装装置を提供する。
【解決手段】ガードレール３００に沿って移動しながらガードレール３００表面の清掃及び塗装を行うガードレール清掃塗装装置１００であって、ガードレール３００表面から汚れを剥離させる剥離手段１０と、剥離手段１０により剥離された汚れを拭き取る拭き取り手段２０と、拭き取り手段２０により汚れが拭き取られたガードレール３００表面を塗装する塗装手段３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ブラシの内部に染み込んだ異物を確実に除去できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハを洗浄するためのスポンジブラシ１８と、このスポンジブラシ１８を所定の処理位置と所定の待機位置との間で移動させる移動手段とを備えている。スポンジブラシ１８は、前記待機位置で待機ポッド２５内に収容される。移動手段は、待機ポッド２５内でスポンジブラシ１８に洗浄液が供給されている状態で、スポンジブラシ１８を受け部４３に押し付けてスポンジブラシ１８を圧縮させる圧縮動作、およびスポンジブラシ１８を受け部４３から離反させてスポンジブラシ１８を自身の復元力により復元伸長させる伸長動作を交互に行うように制御される。 （もっと読む）

【課題】簡易な構造で、ブラシから異物を確実に除去できる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】基板処理装置１は、ブラシ１８およびブラシ洗浄液供給機構５３を備えている。ブラシ１８は、基板に接触する接触面４５,４６を外表面に有し、内方から接触面４５,４６に向けてブラシ洗浄液を供給するためのブラシ洗浄液導入孔４７が形成されている。ブラシ１８は、所定の基板処理位置で接触面４５,４６を基板に接触させて当該基板を洗浄する。ブラシ１８が前記基板処理位置から退避して待機するときの待機位置には、当該ブラシ１８を収容するための待機ポッド２１が設けられている。また、ブラシ洗浄液供給機構５３は、待機ポッド２１の底部５１に設けられており、ブラシ洗浄液導入孔４７にブラシ洗浄液を供給する。 （もっと読む）

【課題】単純な構造でブラシを回転させることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】ブラシ２０は、ブラシホルダ４７およびホルダ取付部４８を介して、回転シャフト４５に一体回転可能に連結されている。また、ホルダ取付部４８の外周には、複数の羽根１０４からなる羽根車１０５が連結されている。ブラシ２０および羽根車１０５は一体回転可能に連結されている。ブラシ２０および羽根車１０５は、第１および第２ノズル１１５，１１６から吐出されたブラシ洗浄液が羽根１０４に当たることにより、一体的に回転させられる。 （もっと読む）

【課題】ブラシローラを有する鋼板用洗浄装置に関して、ブラシローラ中央部の洗浄液等の滞留を抑制する。
【解決手段】鋼板１１をその長手方向に搬送しながら洗浄する鋼板１１の洗浄装置１であって、鋼板１１の表裏両面にそれぞれ当接して鋼板１１の表裏面を洗浄液で洗浄する少なくとも一対のブラシローラ３０（３１，３２）を備え、これらのブラシローラ３０を回転することによって鋼板１１は洗浄されるとともに搬送され、ブラシローラ３０は、軸方向中心部に周囲に渡り所定の幅Ｗａを有した帯状の中央ブラシ部７０と、この中央ブラシ部７０によって軸方向において左右に分割された一対の側ブラシ部７１を有し、この側ブラシ部７１は、所定の幅Ｗｂを有し、鋼板１１との接触によって中央ブラシ部７０から鋼板１１の幅方向端部ＲＥＵ，ＬＥＵに向かって洗浄液ＰＯＬを送ることができる螺旋状に設けた。 （もっと読む）

【課題】基板の表面のデバイス形成領域に処理液による悪影響を与えることなく、基板の周縁部から汚染を良好に除去することができる基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】ブラシ１１に関連して、処理液を吸引するための吸引ノズル７０が設けられている。吸引ノズル７０の先端部は、第１接触面３２と第２接触面３３との境界部分３４に対向する先端面７２と、第１接触面３２および第２接触面３３と当接する当接面７３とを有している。先端面７２には、吸引口７４が形成されている。吸引ノズル７０に接続された吸引管７６は、処理室２の外部へ延びており、その先端は、真空発生装置６０に接続されている。真空発生装置６０が駆動されると、ブラシ１１の内部に含まれる処理液は吸引口７４に吸引され、ブラシ１１の内部に吸引口７４に向かう処理液の流れが形成される。 （もっと読む）

【課題】糸屑のような糸毛状異物が付着したマットであっても、確実に清掃できると共に、メンテナンスの容易なマット清掃装置を提供する。
【解決手段】 ラジアル方向に対して回転前方へ傾倒した多数の短毛１ａを突設させた斜毛ローラ１を有し、斜毛ローラ１より大きな回転周速度にて回転し、短毛１ａから糸毛状異物Ｂを除去するために、斜毛ローラ１に接触する除去ローラ２を有している。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄工程を中断することなく、スクラブブラシを毎回クリーニングすることを可能にする。
【解決手段】回転台３１２に取付けた被洗浄基板１１０にスクラブブラシ３２０ａを接触させ、このスクラブブラシ３２０ａを被洗浄基板１１０の中心から外縁方向へ揺動させることで被洗浄基板１１０の表面を洗浄するに際し、回転台３１２の外周にスクラブブラシ３２０ａをクリーニングするクリーニングディスク３４１を配設し、スクラブブラシ３２０ａをクリーニングディスク３４１まで揺動させてクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】回動体による基板の損傷を防止して、基板表面の円滑な除塵を実現することができる基板用除塵装置を提供する。
【解決手段】除塵ユニット２は、エア排出室５とエア吸引室７とを備えると共に、エア排出室５及びエア吸引室７が基板３０の搬送方向Ｒ１に沿って配置され、エア排出室５から噴出用流路６を介して基板３０の表面に向けて噴出させた清浄エアをエア吸引室７に吸引させるように構成される。また除塵ユニット２は、エア排出室５とエア吸引室７との間に設けられ、エア吸引室７の吸引力に抵抗する抵抗力を搬送中の基板３０に与えるために基板３０に従動して回動する回動体９を備える。さらに除塵ユニット２は、エア排出室５の清浄エアを、回動体９の表面であって基板３０との接触位置とは異なる位置に噴出させた後、吸引除去する異物除去用流路１０を有する。 （もっと読む）

【課題】スラリに含まれる磁性異物を磁石を有する吸着体により効果的に除去することができ、しかも吸着体に付着した磁性異物を効果的に取り除いて吸着体を繰り返し使用できるようにする。
【解決手段】スラリを収容するスラリ受入槽１１と、非磁性材からなる外被体の内部に磁石を移動可能に備えた吸着体１９と、外被体内の磁石を流体の作用により吸着位置と退去位置とに移動させる流体駆動手段と、吸着体１９を支持し、磁石が吸着位置に移動した吸着体１９をスラリ受入槽１１のスラリに挿入して外被体の外面にスラリ中の磁性異物を付着させた後吸着体１９をスラリから外部に取り出すようにした支持装置１５と、スラリから取り出した吸着体１９内の磁石を退去位置に移動させ磁性異物の付着力を消失させた状態で吸着体１９を洗浄することにより磁性異物を除去する洗浄装置１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度と清浄度とを高めて洗浄品質と洗浄効率とを向上させるとともに複雑な形状の部品であっても傷や洗浄残しが発生することを抑制する。
【解決手段】筒状に形成され可撓性を有する洗浄媒体１を、洗浄槽１２内で気流により飛翔させ洗浄対象物３に衝突させて洗浄対象物３に付着している付着物を除去する。洗浄媒体１が洗浄対象物３に衝突するとき、洗浄媒体１が洗浄対象物３に非弾性衝突するため一度の衝突における接触面積が大きく、かつ洗浄対象物３に衝突したときの接触力が大きくなると洗浄媒体１が撓んで洗浄対象物３の形状に倣うから、複雑な形状の洗浄対象物３を確実に洗浄して洗浄品質を高めて洗浄効率を向上させる。 （もっと読む）