【課題】マイクロバブルまたはナノバブルを含む処理液を使用する基板処理装置および基板処理方法において、基板に対してマイクロバブルまたはナノバブルを効果的に作用させることができる技術を提供する。
【解決手段】マイクロバブル洗浄処理部４０は、圧送される洗浄液中に注入する窒素ガスの流量を調節することにより、洗浄液中に含まれるマイクロバブルのサイズを調節することができる。このため、除去対象となるパーティクルのサイズに応じて最適なサイズのマイクロバブルを多量に供給することができ、基板に対してマイクロバブルを効果的に作用させることができる。 （もっと読む）

【課題】処理液を基板に供給して処理する基板処理装置において、処理中における基板の帯電を抑制する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板２に向けて処理液の液滴を吐出する吐出口４６を有する吐出手段４１、および、吐出手段４１の外壁４１１に設けられた誘導電極４４を備える。処理液供給ユニット４１３は導電線４９を介して接地される。誘導電極４４は電源４５に接続され、処理液供給ユニット４１３と誘導電極４４との間に電位差が付与されることにより、電荷が誘導された処理液の液滴が生成される。基板処理装置１では、電荷が誘導された処理液の液滴により基板２を洗浄することにより、洗浄中および洗浄後における基板２の帯電を抑制することができる。また、外壁４１１に誘導電極４４が配置されることにより、外壁４１１の内部で液滴が生成される吐出手段に対しても、簡単な構成で誘導電極を配置できる。 （もっと読む）

本発明の主題は、容器（１）の処理、特に、瓶（１）の内部洗浄のための方法及び装置である。その際、少なくとも、スプレー装置（２）は、容器内部を、殺菌剤/洗浄剤（３、３′）を噴出させる。本発明によれば、スプレー装置（２）は、主として、容器内部で、容器底（１a）の近傍にまで進入する。
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【課題】基板からレジストを良好に除去することができ、かつ、そのレジストの除去に用いた処理液の再利用を図ることができる、基板処理装置および基板処理方法を提供すること。
【解決手段】ミキシングバルブ８には、過硫酸生成槽１２において濃度４ｍｏｌ／ｌの低濃度硫酸を電気分解して生成される過硫酸と、温度１２０℃、濃度９６ｗｔ％の高温高濃度硫酸とが供給される。ミキシングバルブ８に過硫酸および高温高濃度硫酸が供給されると、これらが混合され、高温高濃度硫酸が過硫酸で希釈されることによる希釈熱が生じ、この希釈熱および高温高濃度硫酸が有する熱により、その過硫酸および高温高濃度硫酸の混合液は、高温高濃度硫酸の液温以上の高温に急速に昇温する。高温に昇温した混合液は、その後直ちにミキシングバルブ８からノズル３に送られ、ノズル３からウエハＷの表面に向けて吐出される。 （もっと読む）

【課題】 生産性の向上した基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 ガス及び薬液を混合してミストを形成し、基板上にミストを噴射する噴射ノズル、噴射ノズルに薬液を供給する薬液供給部、噴射ノズルにガスを供給するガス供給部及びガス供給部と連結されてガスの温度を上昇させる加熱部を含む基板洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】吹付けアスベストを効率良く除去する方法を提供する。
【解決手段】ノズルヘッダー２３の周囲に高温高圧の蒸気４が逃げないように取り付けたフード１を吹付アスベストに当てがい、ノズルヘッダーから噴出するアスベスト除去剤３の噴霧体をノズル２より吹付アスベストに所定の時間噴霧した後、ヘラ等でアスベストを除去する。 （もっと読む）

【課題】パターン形成された基板に対し、基板上のパターンを損傷することなく、基板上のパーティクルを除去できる基板処理方法を提供する。
【解決手段】加圧された気体と薬液を混合し、ミストを形成する２流体ノズルを用いて、パターン形成された基板にミストを吐出する処理を行うことで、基板上のパーティクルを除去することができる。その基板処理において、基板上のパターンのアスペクト比に対応して、気体流量を変更して処理を行う。好適な処理条件の１つとして、Ａｌ配線パターンが形成された基板上において、アスペクト比２．２未満のパターンが形成された基板に対して、気体流量８０Ｌ／ｍｉｎで処理を行う。アスペクト２．２以上のパターンが形成された基板に対して、気体流量６０Ｌ／ｍｉｎで処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ノズルの軸方向に複数設けられた各ノズル孔から噴出する流体を均一化することにより洗浄性能を向上する。
【解決手段】ノズル２に供給された流体を、ノズル２の終端部に接続した戻し経路４を介して、流体を供給する流体供給経路１に戻して循環させる一方で、ノズル２の軸方向に複数設けた各ノズル孔２ａから噴出させる。これにより、ノズル２内の流体が、軸方向に沿って、十分な速度及び量を確保し、圧力（特に動圧）を均一化して、各ノズル孔２ａからほぼ均一に噴出するのを可能とする。 （もっと読む）

【課題】基板表面に形成された液膜を短時間でしかも基板表面を汚染させることなく凍結させることができる基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法を提供する。
【解決手段】スピンチャック２に基板Ｗを略水平姿勢で保持した状態で基板表面ＷｆにＤＩＷを供給して基板表面Ｗｆに液膜を形成する。続いて、基板裏面Ｗｂに液体冷媒を供給しながら基板Ｗを回転させる。これにより、基板Ｗに接液する液体冷媒に作用する遠心力によって、基板Ｗの裏面全体に液体冷媒が均一に行き渡る。その結果、基板Ｗが裏面Ｗｂに接液する液体冷媒によって直接的に冷却され、液膜が比較的短時間で凍結する。また、基板表面Ｗｆに形成された液膜に液体冷媒が接触することがないため、基板表面Ｗｆを汚染させることなく液膜を凍結させることができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の塗布膜を選択的に溶解除去した端部にレジスト残りを発生させないガラス基板端部のレジスト除去方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板４０の端部の塗布膜２を選択的に溶解除去する処理ヘッド部１０を使用した端面処理方法において、１）ガラス基板の端部を処理液貯留部５１に位置させる際の、処理ヘッド部内のガラス基板の経路５６の上下に設けられた洗浄用純水の吐出口に２流体ノズル２０Ａ、２０Ｂを設けて、２）ガラス基板の端部の塗布膜を選択的に溶解除去した後に、２流体ノズルを用い純水とクリーンエアーでガラス基板の端部を２流体洗浄すること。 （もっと読む）

【課題】 装置の小型化を可能にするとともに、含浸剤の洗浄硬化の処理時間を短縮することができる含浸剤の洗浄、硬化方法を提供することである。
【解決手段】 硬化性樹脂を含んだ含浸剤を巣穴や細孔に充填した含浸対象物の表面を洗浄するとともに、含浸対象物に充填された含浸剤を硬化させる含浸剤の洗浄硬化方法において、洗浄時には水と水蒸気とを混合して含浸対象物に対して噴射し、硬化時には水蒸気を噴射して含浸対象物の温度を含浸剤の硬化温度以上に上昇させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板にダメージを与えることなく、その表面に硬化層を有するレジストであっても除去することができる、基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷを加熱しつつ、そのウエハＷの表面に、ＳＰＭと窒素ガスとの混合流体（液滴の噴流）を供給する。ウエハＷの表面上のレジストがその表面に硬化層を有していても、ウエハＷが加熱されることによって、そのレジストの表面の硬化層は軟化する。そのため、混合流体がウエハＷの表面に供給されると、その軟化した硬化層は、その混合流体が衝突するときの衝撃により破壊される。この後、ウエハＷの表面にＳＰＭを供給する。レジストの表面の硬化層が破壊されているので、その硬化層の破壊された部分からレジストの内部にＳＰＭを浸透させることができ、ＳＰＭの化学的な力により、レジストをウエハＷの表面から硬化層ごと剥離させて除去することができる。 （もっと読む）

【課題】処理液を基板に供給して処理する基板処理装置において、処理による基板の帯電を抑制しつつ基板上の電位分布の均一性を向上する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板９に向けて洗浄液の液滴を吐出する吐出部３、吐出部３の吐出口３１近傍に配置される円環状の誘導電極６、吐出部３を基板９に対して相対移動する吐出部移動機構５を備える。基板処理装置１では、誘導電極６と吐出部３の洗浄液管との間に電位差が付与されて洗浄液にプラスの電荷が誘導され、当該洗浄液の液滴により基板９を洗浄することにより、洗浄中における基板９のマイナスの帯電を抑制することができる。そして、吐出部３の移動および洗浄液の吐出と並行して、基板９の帯電特性および吐出部３の基板９に対する相対位置に基づいて、誘導電極６と洗浄液管との間の電位差が電位差制御部１０１により制御されることにより、基板９上の電位分布の均一性を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置において処理液に効率良く電荷を誘導し、基板の帯電を効率良く抑制する。
【解決手段】基板処理装置は、基板に向けて洗浄液の液滴を吐出する吐出部３、および、吐出部３の吐出口３１近傍に配置される誘導電極６を備え、誘導電極６は吐出口３１の中心軸３０に対して傾斜する傾斜面６１を有する。基板処理装置では、誘導電極６と吐出部３の洗浄液管３２との間に電位差を付与することにより洗浄液に電荷を誘導し、当該洗浄液の液滴により基板を洗浄することにより洗浄処理による基板の帯電を抑制することができる。誘導電極６では、中心軸３０を含む面による傾斜面６１の任意の断面において、中心軸３０と傾斜面６１との間の距離が吐出口３１に近づくほど長くされる。これにより、吐出口３１に近接した位置における誘導電極６の面積を大きくすることができるため、洗浄液に効率良く電荷を誘導して基板の帯電を効率良く抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されたゴム弾性部材に付着した付着物を所望のように除去することのできるゴム弾性部材の洗浄方法、及び、ゴム弾性部材の洗浄装置を提供すること。
【解決手段】被粘着物を粘着保持する保持治具に装着されたゴム弾性部材の洗浄方法であって、前記ゴム弾性部材に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で、洗浄液を前記ゴム弾性部材に噴射することを特徴とするゴム弾性部材の洗浄方法、及び、被粘着物を粘着保持する保持治具３０に装着されたゴム弾性部材３１の洗浄装置１であって、前記ゴム弾性部材３１を固定する固定台１０と、前記固定台１０に固定された前記ゴム弾性部材３１に対して０．０１０〜０．０６ＭＰａの衝撃荷重で洗浄液を前記ゴム弾性部材３１に噴射する噴射ノズル２０とを備えたことを特徴とするゴム弾性部材３１の洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ごみピットにごみを投入したごみ収集車のテールゲート内部を洗浄するために好適な洗浄装置及びこの洗浄装置を備えたごみ焼却施設を提供することである。
【解決手段】本発明による洗浄装置は、洗浄水を噴出するノズル（５１）と、前記ノズルがごみピット（２０）を臨むプラットホーム（１０）に設けられた車止め（１１）よりごみピット側に配置されるように前記ノズルを支持する支持体（５２）とを具備している。このようなノズルの配置は、ごみ収集車（９０）のテールゲート（９１）内部を洗浄するために好適である。本発明によれば、作業者は、足場の悪いごみ投入口（２０ａ）周辺でテールゲート（９１）の清掃作業をしないで済む。本発明による洗浄装置は、ごみ焼却施設又はごみ焼却施設以外のごみ処理施設に適用可能である。 （もっと読む）

【課題】微細気泡洗浄方法の洗浄効果をより高め、洗浄液の長寿命化を図り、コンパクトで操作性の良い洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄部２０は、洗浄槽２１と、洗浄ノズル部２２と、オーバーフロー槽２７とを有し、洗浄ノズル部２２は、複数の洗浄ノズルから成り、複数の洗浄ノズルは、洗浄槽２１の各部位に所定の数だけ装着され、洗浄ノズルは、制御ノズルと、ミキシングノズルとから成り、油水分離タンク部３０は、循環用洗浄液２８を浄化して循環させるため、オーバーフロー槽２７とポンプ部４０とに接続され、ポンプ部４０は、浄化された循環用洗浄液２８を洗浄槽２１へ供給するため、洗浄ノズル部２２に接続されて構成される。 （もっと読む）

【課題】水−泡噴流を用いてコンクリート、モルタル、土、岩石、道路の白線などの各種材料の洗浄、はつり、切削、破砕、穿孔、消去などの処理を行うに際し、高能率で十分な施工効果が得られ、比較的小型で簡易な機械装置により施工が可能な施工方法及び施工システムを提供する。
【解決手段】水ポンプ３・エアコンプレッサー４・泡発生器５からの10〜50μｍ程度の微小粒径の気泡を含有するマイクロバブル水、または給水タンク１・超高圧ポンプユニット２からの高圧水とマイクロバブル水を噴射ノズル装置から噴射し、この水−泡噴流によりコンクリート、モルタル、土、または岩石などの処理対象物に噴射して、洗浄、はつり、切削、破砕、穿孔、道路の白線消しなどの処理を行う。水噴流の衝撃波と、気泡のキャビテーションの破壊力により効率の良い処理を行う。 （もっと読む）

【課題】基板にダメージを与えることなく該基板表面に付着するパーティクルを効率良く除去する。
【解決手段】洗浄ユニット１にて、その表面に液膜が形成された基板は、基板搬送機構３により凍結ユニット２に搬送される。凍結ユニット２にて、液膜が凍結されることで液膜膜が体積膨張し、基板表面に付着するパーティクルと基板との間の付着力が弱まり、さらにはパーティクルが基板表面から脱離する。そして、凍結処理された基板は、基板搬送機構３により凍結ユニット２から洗浄ユニット１に再び搬送され、洗浄ユニット１にて基板に対して物理／化学洗浄が実行され、凍結膜が基板表面から除去される。このように物理／化学洗浄の前処理として液膜形成・液膜の凍結が行われることにより、基板表面からパーティクルを効率良く除去することができる。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８の屈曲管部４７には、土木用素材４８の移送方向に対向して略垂直又は斜めの姿勢に保持された被衝突面８０ａを有する被衝突体８０を着脱自在に設けると共に、該被衝突体８０の前方には、土木用素材４８が滞留しにくい非滞留構造を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）