【課題】平流しの基板搬送路上で被処理基板に供給した第１の処理液を分別回収して第２の処理液に置き換える動作を効率よくスムーズに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】被処理基板Ｇに第１の処理液Ｄを供給する第１の処理液供給手段９と、前記第１の処理液が液盛りされた前記被処理基板の基板面に対し、所定のガス流を吹き付ける気体供給手段２１と、前記被処理基板の基板面に対し前記第２の処理液Ｓを吐出する第２のリンス手段２３と、前記気体供給手段と前記第２のリンス手段との間に設けられ、前記気体供給手段によりガス流が吹き付けられた前記被処理基板の基板面に対し、所定の流速で前記第２の処理液を吐出する第１のリンス手段２２と、前記基板搬送路上において、前記第１のリンス手段により供給された第２の処理液によって、基板幅方向に延びる液溜まり部を形成する液溜まり形成手段２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧力制御された複数の区画でナノ材料の秤量・包装および容器の洗浄を分担して行うことにより、作業者のナノ材料からの暴露危険性を低減するナノ材料秤量包装装置を提供する。
【解決手段】ナノ材料を秤量して包装容器に充填する区画Ａと、前記区画Ａから移送された包装容器の外側を洗浄する区画Ｂと、前記区画Ｂから移送された包装容器を保管する区画Ａと、前記各室間を仕切る仕切壁と、前記各室と調整弁を介してダクトで接続され各室を陰圧に保つ吸引ファンと、各室の圧力を区画Ａ＜区画Ｂ＜区画Ａに保つように前記ダクトの調整弁を制御する制御装置を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】 物品の表面に付着した脂・汚れ等を超音波を用いて強力に洗浄し且つ強く殺菌させることができる超音波洗浄方法を提供する。更に連続的に洗浄殺菌できる設備の費用とそのランニングコストを廉価にできるようにする。
【解決手段】 酸素と窒素を高濃度に溶存させた洗浄水Ｗを貯えた洗浄槽２の水面下に発振面が対向するように上下一対の超音波振動子４を配置し、同超音波振動子の発振面間の狭間領域７に酸素と窒素を高濃度に溶存させた洗浄水の一部を邪魔板８で水量・流速を抑えて略５０ｃｍ／分の流速で流入させる。洗浄槽２の側面を開口し、同開口を介して被洗浄物Ａを通過させる搬送コンベヤ３を配置し、同開口から洗浄水を排出させ、同開口の内側に洗浄槽２へ供給する洗浄水を噴出して水カーテンＷａを形成して開口からの大量の排水を抑え、又開口から落下した洗浄水を下方で受水槽１で受けてポンプで洗浄槽２へ圧送して洗浄水を循環的に使用する。 （もっと読む）

【課題】 高圧蒸気を微小領域に吹き付け、当該微小領域を拡大させることで被洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置を提供する。
【解決手段】 特定部に開口する槽形状の洗浄槽の開口部をエアカーテンにて閉鎖することとし、洗浄槽内に置かれた被洗浄物に対して高圧蒸気を吹き付けるノズルを、該エアカーテンを超えた洗浄槽内に配置することとする。 （もっと読む）

【課題】
設置型洗浄機を置けない狭い厨房や、床面に洗浄液を流せない厨房内での配膳車に移動し、配膳車の側面や、扉、及び食品庫内を洗浄液で洗浄し、その排水を排水溝又は、排水層に流し込んで床面に洗浄液を飛散させないようにし、さらに、各部品を整理して収納できることにより、狭い厨房や、洗浄できない床面の厨房で使用出来る配膳車洗浄機。
【解決手段】
土台２の下に自在輪３と回転して開く自在輪を有する土台補助板５があり、配膳車保護板２０に密着できる水受け板１５とカーテン水受け板８が、水受け固定台１６に接続しており、カーテン水受け板８のワイヤー１２を固定するワイヤー固定金具１４と、スプリング１８を固定する第一固定板１７がそれぞれの側面支柱１３に固定されていて、側面支柱１３の上部には、カーテンを取り付けて回転及び上下して移動できるカーテン取り付けユニット２５と、上部支柱２４を備えていることを特徴とした配膳車洗浄機。 （もっと読む）

【課題】ほぼ自動的にロールスクリーンを洗浄し、作業能率の向上と、均質な作業ができるロールスクリーンの洗浄装置並びにロールスクリーンの洗浄用車両を提供する。
【解決手段】ロールスクリーンの洗浄装置Ａは、適宜の機枠１に対し、ロールスクリーンユニットＳにおけるスクリーン本体ｓ３を洗浄する洗浄ユニット３が具えられ、この洗浄ユニット３は、スクリーン本体ｓ３の送り方向上流側に洗浄剤Ｌを噴出する洗浄スプレーボックス３１を配置し、更にその近傍に吸引ボックス３６を具えた。 （もっと読む）

【課題】収容部材内の薬液ミストを含む雰囲気が処理室内に拡散することを防止できる、基板処理装置を提供すること。
【解決手段】処理チャンバ２内において、ウエハＷを保持するウエハ回転機構３は、カップ８内に収容された状態で設けられている。カップ８の上端部には、カーテン形成ノズル３０が設けられている。また、処理チャンバ２内には、ウエハＷの表面にＳＰＭを供給するための移動ノズル１４が設けられている。少なくともウエハＷの表面へのＳＰＭの供給中は、カップ８の上方に水カーテンＷＣが形成され、水カーテンＷＣによって、カップ８の内側の空間を含む水カーテンＷＣの内側の空間と水カーテンＷＣの外側の空間とが遮断される。 （もっと読む）

【課題】ウエブ状の被洗浄物に洗浄液を吹き付けて形成される液膜を、噴出ノズルから噴出する気体で除去する際に、除去した洗浄液の液滴やミストが被洗浄物に再付着することを防止できる。
【解決手段】搬送されるウエブＷの表面に洗浄液Ｌを吹き付ける洗浄液吹き付けノズル３０と、ウエブＷの搬送方向に対向する向きの噴出流が少なくとも形成されるように気体を噴出してウエブ表面に残存する液膜Ｌ１を除去する気体噴出ノズル３２と、の間に遮風壁３４を設けた。 （もっと読む）

【課題】カート等の搬送体を容易かつ確実に除菌可能な搬送体清浄システムを提供する。
【解決手段】取っ手４を備えた搬送体２の搬送エリアに搬送体清浄ユニット５０を設置し、この搬送体清浄ユニット５０の装置本体５１に、水を電気分解して活性酸素種を含む電解水を生成する電解部と、その電解水をミスト状にして電解水ミストを生成するミスト生成部と、搬送エリアに搬送された搬送体２に対し、電解水ミストを少なくとも搬送体２の取っ手４に向けて吹き出す吹出部とを設けた。 （もっと読む）

【課題】大型化した洗浄対象物や形状の異なる複数の成膜治具について付着膜を効率良く剥離回収することができる剥離洗浄装置を提供する。
【解決手段】付着物の付着した洗浄対象物Ｗが配置される矩形状のテーブル２と、洗浄対象物Ｗに向けて配置される洗浄ノズルを有し、洗浄対象物Ｗに付着した付着物に対し高圧水を噴射するノズル装置３と、ノズル装置３をテーブル２の長手方向としてのＸ軸方向および幅方向としてのＹ軸方向にそれぞれ移動させるＸ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段と、洗浄ノズルを垂直方向としてのＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動手段と、洗浄ノズルを垂直軸まわりに回転させるＲ軸駆動手段と、を備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】各装置のメンテナンス時における作業員の安全性を確保できるとともに、処理室内の装置周辺空間に浮遊するダストの除去効率を向上することができるアスベスト系廃棄物の処理システム及び処理方法を提供する。
【解決手段】アスベスト系廃棄物の処理装置が存在する処理空間にて、該処理装置のメンテナンス計画に基づいてメンテナンス区域が設定され、この区域毎に密閉状の仕切り空間が形成されている。さらに仕切り空間の上方に水噴霧ノズル４０を設け、水噴霧ノズルにて、水粒径１００μｍ以下の水粒子を噴霧する。好適には、メンテナンス区域毎に、水噴霧ノズル４０により水粒径１００μｍ以下の水粒子を噴霧する微粒子モードと、水粒径１００μ以上の水粒子を噴霧する粗粒子モードとから選択するモード選択手段を備える。 （もっと読む）

【課題】複数種類のパレットを、簡単な装置構成で、作業性よく効率的に脱水処理できる複数種類のパレットに対応可能な脱水装置及びこれを用いた洗浄設備を提供する。
【解決手段】荷物の運搬に使用した複数種類の使用済みのパレット１１の側方周囲を囲むカバー部材と、パレット１１を水平状態で搬送するパレット搬送手段１９と、このパレット１１を設定位置に停止するパレット停止手段２３と、停止させたパレット１１の搬送方向と直交する方向の位置調整を行うパレット位置調整手段２７と、パレット１１を載置する回転テーブル４６を備えこれを回転可能及び昇降可能に支持する昇降手段４７と、カバー部材の内側に設けられ、昇降手段４７によって上昇させたパレット１１をその形状に対応してその両側からガイドする逆階段状となった一対の嵌合部５９、６０、５９ａ、６０ａを備える固定部材６１と、このパレット１１を回転させる駆動手段６５とを有する。 （もっと読む）

【課題】充分な洗浄効果が得られ、効率的な洗浄作業を行うことの可能な蒸気洗浄具を提供する。
【解決手段】ノズル２と被洗浄面７との間の間隔を規制するための間隔規制部材をノズルの近傍に設ける。スプレーガン１の先端にノズル２を装着し、間隔規制部材としてのガイドロッド８をノズルの前方に突出させて装着し、その先端に形成した球状部８ａを被洗浄面に当接させて滑動させていきつつ洗浄作業を行う。ガイドロッドを前後方向に位置変更可能とする。あるいはデッキブラシや円形ブラシ等のブラシ本体に蒸気噴射機構を組み込み、ブラシとしてのフィラメント群を間隔規制部材として機能させ、かつノズル周囲に蒸気溜まりの漏れ防止機構を形成する。蒸気管をブラシの柄として機能させる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の噴射圧力に応じた適切な膜厚で流体カーテンを形成する。
【解決手段】洗浄ノズル１８を、軸心に噴射口２３を有し、下端外周を先広がりのテーパ状としたノズル本体１９と、そのノズル本体１９に外装されて内周にリング状の流路３２を有し、下端内周をテーパ状とした外スリーブ３１とから形成して、ノズル本体１９の下端外周と外スリーブ３１の下端内周との間に、洗浄液の噴射口２３を中心としたリング状の第２噴射口３８を形成し、外スリーブ３１を、エアシリンダ２７，２７により所定の上下位置に軸方向にスライドさせることで、第２噴射口３８の大きさを変更して流体カーテンの膜厚を調整可能とした。 （もっと読む）

洗浄機のチャンバ間の流体移動を最小限にし洗浄機の各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化された流体排気通路を含むトンネル式洗浄機である。流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にする。またトンネル式洗浄機にはトンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】第１の処理液と第２の処理液とを分離回収することができ、しかも基板から飛散した各処理液が基板に再び付着しないようにしたスピン処理装置を提供することにある。
【解決手段】外カップ体１内に設けられ上面に基板を保持した状態で制御モータ１７によって回転駆動される回転テーブル１１と、外カップ体内に設けられ上端が回転テーブルの上面よりも低い下降位置と上端が回転テーブルに保持された上記基板よりも高い上昇位置との間で上下駆動機構２７によって上下駆動可能に設けられた内カップ体２１と、外カップ体の内周部に設けられ内カップ体が下降位置の状態で基板を回転させて第２の処理液で処理するときに基板の周辺部から飛散する第２の処理液を下方へ反射させる第１の反射板６と、内カップ体の内周部に設けられ内カップ体が上昇位置の状態で基板を回転させて第１の処理液で処理するときに基板の周辺部から飛散する第１の処理液を下方へ反射させる第２の反射板２５を具備する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液の外部への飛散が防止可能な洗浄装置において、洗浄の対象物を上方から吊り下げられた状態で洗浄室内へと搬入するとともに、洗浄後の洗浄液により移動機構が汚れることを防止する。
【解決手段】洗浄装置では、複数の洗浄ノズル４１１を有する処理部４を収容する洗浄室２に、開閉可能な開口部を形成する開閉部が側面および上面に跨って設けられる。これにより、洗浄水の外部への飛散が防止可能な洗浄装置において、上方から吊り下げられた状態で対象物９を洗浄室２内へ搬入することができる。また、処理部４を移動する移動機構５２が複数の洗浄ノズル４１１のうちの最も上の洗浄ノズル４１１ａよりも上方に設けられることにより、複数の洗浄ノズル４１１から吐出される洗浄水により除去された対象物９上の不要物が再付着して移動機構５２が汚れることを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板表面の非処理領域を確実に保護することのできる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板表面Ｗｆの非処理領域ＮＴＲが、該非処理領域ＮＴＲに近接して対向配置される遮断板５とカバーリンスノズル７から供給されるリンス液とによって選択的に覆われる。このように基板表面Ｗｆの非処理領域ＮＴＲを保護することで、非処理領域ＮＴＲのうちリンス液が接液することによって錆もしくは吸湿などの影響を受ける部位については、遮断板５の対向面５ａで覆うことによって該部位（対向部位ＮＴＲ１）を保護することができる一方で、リンス液の接液によって影響を受けない部位（非対向部位ＮＴＲ２）については、リンス液で覆うことによって遮断板５の真円度などの外形形状および基板Ｗの中心と遮断板５の中心との相対位置精度にかかわりなく保護することができる。したがって、基板表面Ｗｆの非処理領域ＮＴＲが確実に保護される。 （もっと読む）

【課題】単純な構成でありながら、略円筒形のワークを搬送路に沿って順次搬送すると共に、ワークに対して均等に洗浄液を吹き付けることのできる搬送機及びその搬送機を用いた洗浄装置を得る。
【解決手段】スプロケット８によって駆動される搬送チェーン７のローラ１２に、案内板１０と当接する駆動部１４と、略円柱状のワーク３を支持する支持部１５とを備える。駆動部１４は案内板１０上を移動することによって回転し、支持部１５は駆動部１４の回転に追従して回転する。支持部１５はワーク３の外周と当接するため、ワーク３は支持部１５の回転に追従して回転する。 （もっと読む）