【課題】 アームに取り付けられたハンドを直線的に動作させることが容易で、大型の搬送物を精度良く運ぶことが可能なダブルアーム型ロボットを提供すること。
【解決手段】 上下軸（Ｚ軸）を有するとともに、搬送物を載せる２個のハンドを有するダブルアーム型多軸搬送ロボットにおいて、この２個のハンドを駆動するアームは、それぞれ上下に配設した２個の直交ロボットであることを特徴とするダブルアーム型多軸搬送ロボットとした。 （もっと読む）

【課題】腕部を有するロボットにおいて、周囲環境に依存しない方法で把持対象物の三次元形状の認識を行うロボット装置を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様に係るロボット装置１０は、頭部１１と、頭部１１に連結された腕部１３と、腕部１３に設けられ、ワークＷの上面を撮像する手先カメラ１５と、頭部１１に設けられた頭部カメラ１２と、手先カメラ１５によって撮像したワークＷの画像に基づいて、手先カメラ１５の移動経路を計画する算出部とを有し、移動経路に沿って移動する手先カメラ１５によって撮像された画像と、頭部カメラ１２によって撮像された画像とに基づいてワークＷの三次元形状を認識するものである。 （もっと読む）

【課題】組立てコストを低減できるギヤ装置組立て方法を提供すること。
【解決手段】変速機の組立て方法は、リバースギヤを有する変速機本体と、アイドルギヤを有する変速機ケースと、を備える変速機を双腕ロボットで組み立てる。すなわち、基部６１と、双腕ロボットのハンドに接続可能な接続部６３と、双腕ロボット３０から接続部６３を介して供給される動力によりピン６２１を揺動させる揺動機構６２と、を備える位相合わせ冶具６０を用いて、双腕ロボットで位相合わせ冶具６０を変速機ケース上に載置して、位相合わせ冶具６０のピン６２１を変速機ケースのアイドルギヤに係合させ、双腕ロボットで変速機ケースを把持するとともに、双腕ロボットのハンドを位相合わせ冶具６０の接続部６３に接続し、双腕ロボットから動力を供給して位相合わせ冶具６０を駆動してアイドルギヤを揺動させながら、変速機ケースを変速機本体に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】ワークを確実に把持でき、かつ、この把持したワークを高精度で取り付けることができるワーク取付けシステムを提供すること。
【解決手段】ケース取付けシステム１は、第２カメラ７３と、双腕ロボット３０と、制御システム３３と、を備える。制御システム３３は、変速機本体１１が供給されると、第２カメラ７３で変速機本体１１を撮影して変速機本体１１の位置を特定し、変速機ケース１２が供給されると、変速機ケース１２の挿入孔を双腕ロボット３０で把持し、この把持した変速機ケース１２を変速機本体１１と第２カメラ７３との間に位置させて、その後、第２カメラ７３で変速機ケース１２を撮影し、この撮影画像に基づいて変速機ケース１２のうち軸受を認識し、この軸受を基準として、変速機ケース１２を変速機本体１１に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】組立てコストを低減できるギヤ装置組立て方法を提供すること。
【解決手段】変速機の組立て方法は、変速機本体１１と変速機ケース１２とを備える変速機１０を、力覚センサ４９を有する双腕ロボット３０で組み立てる。すなわち、変速機ケース１２を双腕ロボット３０で把持し、この把持した変速機ケース１２を変速機本体１１上に配置し、その後、双腕ロボット３０の力覚センサ４９でハンド４２Ａ、４２Ｂに作用する力を監視しながら、変速機ケース１２を変速機本体１１に接近させ、力覚センサ４９の検出値が所定値を超えることなく、変速機ケース１２が所定高さｈ１まで接近した場合には、変速機ケース１２をさらに接近させて、変速機本体１１に取り付け、変速機ケース１２が所定高さｈ１まで接近する前に、力覚センサ４９の検出値が所定値を超えた場合には、変速機ケース１２を変速機本体１１から離して、再試行する。 （もっと読む）

【課題】 多数のＲＦコネクタを有した供試体において、供試体のＲＦコネクタから終端器を抜き差しする作業処理を自動化し、ＲＦ信号の電気特性試験における手作業の所要時間を短縮する自動装置を得る。
【解決手段】 終端器及びＲＦコネクタの端末位置を計測する画像処理装置と、終端器を把持する把持部と把持部を３次元方向に移動させる駆動部を有したロボットハンドと、計測用ケーブルを３次元方向に移動可能な計測用ハンドと、ロボットハンドにおける把持部の把持または解放動作、上記ロボットハンド及び計測用ハンドの移動動作を制御する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】
第１及び第２の各平行リンク機構の連結部に設けられたベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力調整を容易にすることである。
【解決手段】
第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ₁ ，ＬＤ₂ が中間リンク台Ｅで連結されて、当該中間リンク台Ｅを構成する上下一対の中間リンク板５が左右一対の中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bで連結されて、当該中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bに支持された左右一対の各プーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ に互いに逆方向の第１及び第２の各ベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ が部分巻回されて、中間リンク台Ｅにおいて第１平行リンク機構ＬＤ₁ の正逆両方向の回動力を第２平行リンク機構ＬＤ₂ に伝達させる構成の物品の直線搬送装置において、前記一対のプーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体Ｐ₁a, Ｐ₁bに対して前記一対のベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ の一端部をそれぞれ固定した構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】アームの動作速度と動作精度を高めることができるアーム駆動装置を提供する。
【解決手段】関節部により連結された複数のアームを伸縮動作させることができるアーム駆動装置１において、基台９上の第１関節部２に回転可能に連結された第１アーム５と、第１アーム５の先端側に位置する第２関節部３に回転可能に連結された第２アーム６と、第２アーム６の先端側に位置する第３関節部４に連結された第３アーム１０と、第１アーム５の第１関節部２側に設けられた第１タイミングプーリ１１と、第１アーム５の第２関節部３側に設けられた第２タイミングプーリ１２と、第１タイミングプーリ１１と第２タイミングプーリ１２との間に掛け渡され、第１アーム５が回転したときの第２アーム６の回転量を規制する第１タイミングベルト１５と、第１関節部２及び第２関節部３の一方又は両方に、第１アーム５及び第２アーム６それぞれに回転力を伝達する合計２以上の駆動源７，２５とを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送中における基板に対して適切な処置を施すことができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置５０は、第１基板収容部２０と第２基板収容部３０との間を移動可能なフォーク支持体５１と、フォーク支持体に移動可能に支持されたフォーク６０，６５と、を備える。フォークは、第１基板収容部から第２基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置において支持し、第２基板収容部から第１基板収容部へ搬送される基板を第１支持位置とは異なる第２支持位置において支持する。第１支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置に配置され、第２支持位置に基板を支持したフォークは、フォーク支持体の移動中に第１待機位置とは異なる第２待機位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】手動誘導運転の際、ハンドを容易に移動させて微調整することができ、またハンドが誤って周囲の物と衝突するのを防止することができるロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、ロボット本体１１とこのロボット本体１１を制御する制御部２０とを備えている。このうちロボット本体１１は、第１のハンド１２と、第１のハンド１２を第１のハンド１２の基端１２ａから先端１２ｂに向う一定方向に沿って移動させるＪ１軸と、Ｊ１軸を水平面上で回転させるＪ４軸と、Ｊ４軸を垂直方向へ移動させるＪ３軸と、Ｊ３軸を水平面上で一定方向に移動させるＪ５軸とを有している。Ｊ１軸とＪ３軸とＪ４軸とＪ５軸とを制御部２０により同期して駆動し、第１のハンド１２を第１のハンド１２の中心を基準とするツール座標系のＸ軸、Ｙ軸、およびＣ軸上で移動できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】基板を移送する際の時間を短縮でき、かつ形状がコンパクトな基板移送装置を提供すること。
【解決手段】基板移送装置１２は、可動アームアセンブリ１８と、２つの基板ホルダ２２、２３と、同軸駆動軸アセンブリとを有する。可動アームアセンブリ１８は、ほぼＸ字形の軸アセンブリを有する。基板ホルダ２２、２３は、Ｘ字形部材の異なる対のアーム部３０、３１、３２、３３に接続される。同軸駆動軸アセンブリは、伸張位置と収縮位置と間の反転一斉運動で、Ｘ基板ホルダ２２、２３のアームを動かす。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

本発明は、リスト・アセンブリ１００の為の方法、装置、システムを提供する。リスト・アセンブリ１００は、キャップ１０４と底部１１２を有するハウジングと、上記ハウジングに少なくとも一部が内包され、ロボット・アームに結合されるように適合された少なくとも１つのピボットと、上記ピボットに結合され、ベアリングの周りに上記ピボットを回転させるように適合されたベルトとを含む。上記ハウジングの底部は、少なくとも１つのピボットとベアリングから離して熱を反射するように適合されている。
（もっと読む）

【課題】 正確な直線移動行程を実現しつつ、構造の簡略化を図ることができる直線移動機構、およびこれを用いた搬送ロボット、さらには真空環境下での使用に適した当該搬送ロボットを提供する。
【解決手段】 本発明に係る直線移動機構Ｂ１は、ガイド部材１と、このガイド部材１上に設定された水平直線状の移動行程ＧＬに沿って移動可能な２つの移動部材と、駆動プーリ３１ｂ、およびこの駆動プーリ３１ｂに掛け回されて移動行程ＧＬの平行線に沿う所定の往復動区間３Ａａ，３Ｂｂを往復動する出力ベルト３３を含んで構成された駆動機構３Ａ，３Ｂと、駆動プーリ３１ｂを駆動するためのモータＭ３，Ｍ４とを備え、移動部材は、連結部材２４ａ，２４ｂによって駆動機構３Ａ，３Ｂの出力ベルト３３にそれぞれ連結されており、駆動機構３Ａ，３ＢおよびモータＭ３，Ｍ４は、それぞれガイド部材１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】ウェハ等の基板を搬送する搬送機構において、構成を簡単にしながらも一度に搬送できる基板の枚数を増加させ、更に可動部のケーブルレスを実現する。
【解決手段】案内ガイド１８によって移動可能な移動ベース２１と、移動ベースに回転可能に載置されたロボットベース２０と、ロボットベース２０上に固定された第１アーム２７と、第１アーム２７の両端に支持された２つの第２アーム２８と、その各々の先端に支持されたピンセット３０とを備えるとともに、移動ベース２１を挟むように敷設された第１及び第２のリニアモータの可動子１２、１４を連結部材１６、１７を介してロボットベース２０に連結させた。 （もっと読む）

【課題】重量を物取り扱う作業現場での、５本指を持つ人間の腕型ロボットを提供する。
【解決手段】以上の課題を解決するために、マスタースレーブ方式で制御する５本指強力ロボットアームを発明した。本発明を作業内容に適した任意の台座、又は台車に装着して活用する。この形態なら二足歩行時の重心が高くならないように、５本指強力ロボットアームを軽量化する必要性は高くない。５本指強力ロボットアームはアクティブサスペンション（脚）の技術をアーム部に使用したアクティブアクチュエーター（腕）を主たる動力源とする。アクティブサスペンションは、重さが５０トン以上ある最新式の戦車の姿勢制御でも使用され始めており、十分な高出力と、耐久性がある。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供すること
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部１２を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部１２の開口を移動する支持部材４と、開口部１２を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５と、を備え、案内機構２２によって支持部材が移動しても、シールベルト５によって支柱の内部が外部に露出しないよう構成された基板搬送装置において、シールベルト５が、その両端を支柱内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラに巻装されて、開口部１２を封じるようにした。 （もっと読む）

【課題】 各スライダ２０、３０間の許容最短距離Ｌｍｉｎを、操作者が容易、かつ任意に変更・設定でき、被搬送物２２、３３同士の衝突を容易、かつより確実に防止することができると共に、ティーチング作業等をも安全に行うことを可能にする。
【解決手段】 第一及び第二スライダ２０、３０をそれぞれ独立して移動させるサーボモータ２７、３７に組み込まれたエンコーダ２８、３８の位置検出用信号をスライダ移動制御部１３に取り込んで両スライダ２０、３０の位置を検出して両スライダ２０、３０の移動を制御すると共に、これらの検出位置から両スライダ２０，３０間の距離Ｌを求める。他方、両スライダ２０、３０間の許容最短距離Ｌｍｉｎを任意に設定可能な最短距離設定部１４を設け、上記距離Ｌを許容最短距離Ｌｍｉｎと比較し、距離Ｌが許容最短距離Ｌｍｉｎに達したとき、両スライダ２０、３０の互いに接近する方向への相対的な移動を停止させる。 （もっと読む）