【課題】輻射熱を受けやすい部材から効率よく熱を逃すことができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】ワークを搬送するためのワーク搬送機構を備えたワーク搬送装置であって、ワーク搬送機構の外表面各所には、冷媒循環用の冷却パイプ８４が付設されており、冷却パイプ８４は、上記外表面に対して弾性部材８５を挟んだ状態で固定具８６を介して押圧固定されている。 （もっと読む）

【課題】 センサ座標系を気にせず、ワーク寸法の入力も必要とせずに、計測を含む把持動作の教示、再生をできるようにする。
【解決手段】 ロボット制御装置１０２において、手動操作でグリッパ１０７を把持位置へ移動して教示位置として記録し、前記教示位置を中心としてあらかじめ決められた広さを計測範囲として決定し、前記計測範囲をワークの形状計測手段により計測したワーク形状をマスタデータとして前記教示位置と関連づけて記録する。前記マスタデータと計測データを比較する。マスタデータに対する計測データの３次元の位置姿勢を計算して修正量とする。前記修正量にしたがって把持位置を修正し、グリッパ１０７を把持位置へ移動する指令を生成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、空間的に自由に移動することができる旋回ユニット搭載ロボットを用い、軽量化され密集配置に適した多関節ロボットおよびそれを用いたロボットシステム提供する。
【解決手段】水平面内を旋回するリンク機構５の先端に３次元空間を自在に移動可能なロボット１を備えた多関節ロボットであって、前記ロボット１が双腕ロボット１から構成されるものである。 （もっと読む）

【課題】把持できる対象物の大きさの制限を緩和すること。
【解決手段】グリッパ１は、対象物を把持する把持手段２と、モータ４を用いて把持手段２を動作させる第１の駆動手段と、圧電素子入りサポートユニット３を用いて把持手段２を動作させる第２の駆動手段と、把持手段２が対象物を把持する際の把持力を検出する荷重センサ４０及びひずみゲージ４２を含む。把持手段２は、第１の把持部材２Ａと、第１の把持部材２Ａに対向して配置される第２の把持部材２Ｂとで構成されて、第１の把持部材２Ａと第２の把持部材２Ｂとで対象物を挟持する。そして、モータ４を用いた第１の駆動手段が第２の把持部材２Ｂを動作させ、圧電素子入りサポートユニット３を用いた第２の駆動手段が第１の把持部材２Ａを動作させる。 （もっと読む）

【課題】 駆動源となるモータの個数を少なくして装置コストの削減及び全体の軽量化を図ることが可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】 被処理体Ｗを保持して搬送するための搬送装置において、ベースに回転自在に支持された回転基台２４と、第１アーム部２６Ａ、２８Ａ、第２アーム部２６Ｂ、２８Ｂ及びピック部２６Ｃ、２８Ｃをこの順序で屈伸可能に連結してなる第１及び第２アーム機構２６、２８と、前記第１及び第２アーム機構の各第１アーム部にそれぞれ連結されて前記第１及び第２アーム機構を旋回させる駆動リンク機構３０と、前記回転基台を回転駆動させる第１駆動源３２と、前記駆動リンク機構を駆動する第２駆動源３４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、異形の混在した箱物の大きさを検出して、正確に移載するロボットシステムを提供する。
【解決手段】
カセットに積載された箱物３を移載する移送システムであって、前記箱物３を積載した前記カセットと、前記カセットに少なくとも２つのアーム７Ｒ、７Ｌを挿入し、前記箱物３を移載する双腕ロボット１との間に、コンベア２を介して対向するように配置されたものである。 （もっと読む）

【課題】取り扱う対象物の変形を抑制すること。
【解決手段】グリッパ１は、基部６と、基部６に取り付けられる温度調整手段２と、温度調整手段２に取り付けられる対象物保持部４と、対象物保持部４に設けられる温度応答性ポリマー５と、温度応答性ポリマー５の温度を検出する温度検出手段３とを含む。温度応答性ポリマーは、温度に応答して構造を変化させる高分子材料であり、ポリ（Ｎ−イソプロピルアクリルアミド）が用いられる。温度調整手段２は、温度応答性ポリマー５の温度を変化させることにより、グリッパ１が保持する対象物を対象物保持部４に保持し、又は前記対象物を対象物保持部４から解放する。 （もっと読む）

【課題】災害発生時における作業を高い信頼性をもって実行すること。
【解決手段】この走行式作業ロボットは、不整地に対して追従可能なクローラ１を備え、このクローラ１によって不整地上を走行することが可能な走行台車２と、この走行台車２上に配置された多軸構成の胴体部３と、この胴体部に備えられた多関節アーム４と、胴体部３に備えられた多関節撮影手段５とを備えている。また、走行式作業ロボットは、走行台車２の下部に複数のクローラ１をそれぞれ、各クローラ１の長さ方向中央部を支点として回転揺動可能な状態で備え、備えられた各クローラ１をそれぞれ独立に駆動させるクローラ駆動手段（クローラモータ）を付加した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的小さな設置面積に配置でき、上下への昇降範囲が広くできるとともに、安全にワークを移送することが可能な移送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４を一方向に移動させる水平アーム機構３０と、前記水平アーム機構３０を上下に移動する昇降機構２０を備えた移送ロボットにおいて、前記昇降機構２０が、ベース部材２に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され、２組のリンク機構の第２関節部６が互いに内側になるように動作させながら、ハンド部１４のローリング方向、横ずれ動作、ヨーイング方向の動作を行なう。 （もっと読む）

【課題】災害発生時における作業を高い信頼性をもって実行すること。
【解決手段】この走行式作業ロボットは、不整地に対して追従可能なクローラ１を備え、このクローラ１によって不整地上を走行することが可能な走行台車２と、この走行台車２上に配置された多軸構成の胴体部３と、この胴体部に備えられた多関節アーム４と、胴体部３に備えられた多関節撮影手段５とを備えている。また、走行式作業ロボットでは、多関節アーム４が、７つの関節（Ｓ_１〜Ｓ_７）から構成されている。 （もっと読む）

【課題】アームの軽量化を図りつつ、製造工程を簡略化することができる真空搬送装置の製造方法及び真空搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ロボットの製造方法において、アーム本体２０を構成する上側板２５、下側板２６及び環状部材２７と、関節軸を支持する各ブシュ２１〜２３とから中空構造のアーム５を組み立て、上側板２５、下側板２６及び環状部材２７を互いに接合する接合部と、それらの部材と各ブシュ２１〜２３の接合部とにロウ材を付着させる工程と、組み立てられたアーム５を真空加熱して、ロウ付けする工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】必要十分な動作範囲を確保しつつ省フットプリント、クリーンで、高いスループットを備える基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】基板を保持するハンド１３と、ハンド１３を先端に支持するアーム部２４と、アーム部２４を支持するボディ１６と、からなる第１及び第２のロボット部２５ａ、２５ｂと、第１のロボット部２５ａを支持する第１の走行ベース１５ａと、第２のロボット部２５ｂを支持する第２の走行ベース１５ｂと、第１の走行ベース１５ａと第２の走行ベース１５ｂとを支持する共通ベース１８と、を備え、第１のロボット部２５ａと第２のロボット部２５ｂが、第１および前記第２の走行ベースによって各々自在に走行可能とした。 （もっと読む）

【課題】災害発生時における作業を高い信頼性をもって実行すること。
【解決手段】この走行式作業ロボットは、不整地に対して追従可能なクローラ１を備え、このクローラ１によって不整地上を走行することが可能な走行台車２と、この走行台車２上に配置された多軸構成の胴体部３と、この胴体部に備えられた多関節アーム４と、胴体部３に備えられた多関節撮影手段５とを備えている。また、胴体部３は、所定の揺動軸に沿って揺動可能であり、かつ所定の旋回軸を中心として旋回可能となっている。 （もっと読む）

【課題】２軸駆動と無限旋回が可能で、かつ構成の簡素なロボットアームを提供する。
【解決手段】同軸配置された第１および第２の駆動軸と、第１の駆動軸に連結され、第１の駆動軸から２方向に延びる第１および第２のアームと、第１および第２のアームの先端部に、回動可能にそれぞれ連結された第１および第２の回動出力部材と、第１のアームに対する第１の回動出力部材の回動姿勢を制御する第１の姿勢制御機構と、第２のアームに対する第２の回動出力部材の回動姿勢を制御する第２の姿勢制御機構と、第２の駆動軸に連結された操作用アームと、第１および第２の姿勢制御機構をそれぞれ操作する第１および第２の操作機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】投入搬出口から作業室内に搬入された作業ユニットを装置内で容易に移動させること。
【解決手段】箱状の装置本体と、装置本体を下側の作業準備室２と上側の作業室とに仕切る平板状の隔壁部材と、作業準備室の内部から隔壁部材の位置まで昇降可能な可動床部８と、作業準備室内に設けられ可動床部を昇降させる昇降機構と、可動床部に対して着脱可能に設けられ作業を行う作業ユニットと、作業ユニットを作業準備室内に対して出し入れするために、作業準備室を外部と仕切る側壁部２ａ、２ｂ、２ｃ、２ｄに設けられた投入排出口２２と、作業準備室内において、投入排出口と昇降機構によって下降された可動床部との間の平面領域内で、作業ユニットの下面に駆動力を付勢して作業ユニットを少なくとも２方向に搬送する搬送機構２４と、ワークに対して作業を行う２基のアーム部を有し隔壁部材上に設けられた作業ロボットと、を備える生産装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】教示治具によって教示するマニピュレータにおいて、教示治具から導出される光ファイバやケーブルが周辺装置に干渉しないようにすること、またそれらのケーブルを適切に配線して教示精度を上げること。
【課題を解決するための手段】基板あるいは教示治具２１０を保持可能なハンド２５と、ハンド２５を支持するアーム部２４とを備え、教示治具２１０を保持した状態のハンド２５で検出対象物を検出して教示を行なう基板搬送用マニピュレータにおいて、アーム部２４の先端に回転可能に支持され、ハンド２５を固定するハンド基端部２５１にコネクタ接続部２６１を設け、教示治具２１０から導出された教示治具用信号伝達ケーブル２１１の端部に、コネクタ接続部２６１に接続可能なコネクタ２６を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的小さな設置面積に配置でき、上下への昇降範囲が広くできるとともに、安全にワークを移送することが可能な移送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部１４と、前記ハンド部１４を一方向に移動させるアーム機構３０と、アーム機構３０を上下に移動する昇降機構２０を備えた移送ロボットにおいて、前記昇降機構２０が、ベース部材２に備えられた少なくとも２組のリンク機構から構成され、リンク機構の関節軸の方向がハンド部１４の移動方向と同じとなるよう配置し、ハンド部１４が２組のリンク機構の間で昇降するよう動作させる。また、ハンド部１４のローリング方向、横ずれ動作などを行なう。 （もっと読む）

【課題】処理チャンバ内に収納されている基板の一部のみを搬出する場合に残りの基板が処理チャンバの内壁に干渉することを防止し、処理チャンバを十分に小型化できるようにする。
【解決手段】自由端１２２が基軸１６を通過することなく基準線１７に接近するようにアーム機構１０の前段用モータ１２Ａ及び後段用モータ１２Ｂを駆動しつつ、搬出される基板４Ａを保持した保持端２１２Ａが基準線１７上を移動するようにハンド用モータ２２Ａを駆動する。これと同時に、搬出されない基板４Ｂを保持した保持端２１２Ｂが保持端２１２Ａから離間するようにハンド用モータ２２Ｂを駆動する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの引っ掻き傷や粒子による汚損を最少にして半導体ウエハを確実に移送し得る試料把持用端部エフェクタを提供すること。
【解決手段】光源、及び受光部に作動するように連結された本体を有する端部エフェクタを設け、前記光源、及び受光部は離間するそれぞれの光源光路開口、及び受光路開口を有し、これ等開口の間に光透過路に沿って光ビームが伝搬し、これ等光ビームが既知のビーム形状であるように前記光源光路開口、及び受光路開口の寸法を定め、前記試料と本体との空間を狭くするため、これ等試料と本体との間の相対運動を与え、前記相対運動を与えることに組み合わせて、前記光透過路に交差するように前記試料を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】ドアをボディから確実に取り外しできるドア取り外しシステムを提供すること。
【解決手段】ドア取り外しシステムは、自動車のボディ１０にボルト１２で固定されたドア１１を、このボディ１０から取り外す。このドア取り外しシステムは、ドア１１を把持して搬送可能な双腕ロボットと、ナットランナ７１と、双腕ロボットおよびナットランナ７１を制御する制御装置と、を備える。制御装置は、双腕ロボットによりドア１１を把持し、ナットランナ７１のソケットをボルト１２に嵌合して、ナットランナ本体によりソケットを所定回転数だけ回転させ、ソケットの後退距離ｘを測定し、この測定した後退距離ｘが所定距離以上である場合には、ボルト１２が外れたと判定する。 （もっと読む）