【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】可動範囲をより大きくしながらも、省スペース性能をより向上することができるようにした、ロボット及びロボットシステムを提供する。
【解決手段】基台１０と、複数の関節により連結された複数の構造材からなるアームと、を有するロボット１であって、アームは、ある関節の回転軸と次の関節の回転軸との位置が所定方向にオフセットされるとともに、次の関節の回転軸と次々の関節の回転軸との位置が所定方向とは反対方向にオフセットされたオフセット部を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】ロボット動作を診断して不具合を回避することができ、かつ、異常部位の詳細表示やパネル上でのロボット動作の再現により、メンテナンス時間を短縮できるロボットの動作診断方法を提供する。
【解決手段】複数の駆動軸をそれぞれ駆動する複数のモーター、マニピュレータ、及びセンサを有し、駆動軸によりマニピュレータを移動させるロボットの動作診断方法において、少なくとも１つの駆動軸に対し、ロボットの診断対象とする動作パターンを設定し、ロボットの初期状態での動作パターンにおいて、複数回計測したモーターを制御する制御装置の複数の入出力信号と、センサまたはマニピュレータを制御する機器の複数の入出力信号とを判定データとし、新たに計測した判定データを診断データとし、統計的パターン認識方法により診断データが判定データに含まれるかを判別することにより、新たに計測した時のロボットの動作が正常であるか判定する。 （もっと読む）

【課題】小型のロボットを用いながらも相対的に大重量のワークの搬送を自動化できるようにした、搬送システム，ロボット装置及び搬送方法を提供する。
【解決手段】ワークＷを懸垂して支持するクレーンユニット１０２を水平方向に移動可能とするクレーン移動機構１０３と、ワークＷを支持したクレーンユニットを保持して移動させるマニピュレータユニット１０１と、を有し、第１位置にあるワークＷをクレーンユニットにより支持させ、ワークＷを支持したクレーンユニット１０２を第２位置側に移動させて、支持したワークＷを第２位置に載置する。 （もっと読む）

【課題】人と共存、協調する作業場所に作業ロボットを投入する場合に、作業場所の近傍の床上の障害物があっても作業ロボットを配置することができ、その作業ロボットを配置した際に作業者の安全を確保することができ、しかも高精度の位置決めも作業命令の大規模な改変も必要としない作業ロボットを提供することにある。
【解決手段】撮像手段と、可動部を逆入力可能に駆動する関節を持つ少なくとも１本の作業腕と、前記作業腕を支持する胴部と、作業場所の天井又は壁に基部を着脱可能に固定されて吊り下げられるとともに先端部で前記胴部と前記撮像手段とを支持する支持部材と、前記撮像手段が撮像した画像に基づき前記作業場所での作業対象物と当該作業ロボットとの相対位置を認識し、その相対位置に基づき前記作業対象物に対する作業を前記作業腕に行わせる作動制御手段と、前記作業が人と共存、協調して行う作業であることを認識すると、前記作業腕の関節を作動させるモータの出力を低下させる出力制御手段と、を具えてなる吊下げ型作業ロボットである。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】タイヤ又はタイヤ構成部材の製造において、ロボットアームによる物体の移動範囲を広くして、ロボットによる作業領域を拡大する。
【解決手段】ロボット１の一対のロボットアーム２０を駆動してロボットハンド１５を移動させ、ロボットハンド１５により物体を保持して移動させる。ロボット本体１０を、昇降装置３０により上下方向に移動させ、かつ、移動装置４０により水平面内の直交する２方向に移動させて、ロボット本体１０に設けられたロボットアーム２０を、互いに直交する３方向の各方向に移動させる。基部１１を中心に胴体部１２を旋回させて、ロボットアーム２０を旋回させる。制御装置５０により３方向への移動や旋回を制御して、ロボットアーム２０を各方向に変位させ、ロボットハンド１５をロボットアーム２０の稼動範囲と変位範囲の任意の位置に移動させる。 （もっと読む）

【課題】ロボットを分解することなく移送でき、容易に設置できる及び生産設備の製造方法を提供する。
【解決手段】台座と、台座に立設され少なくとも上側ブロックと下側ブロックとを有するコラムと、コラムに設けられコラムに沿って移動する移動機構と、移動機構に連結された支持部材と、支持部材に支持され複数の関節を有するアームと、を有する多関節ロボットであって、上側ブロックが横倒し状態にまで揺動可能となるように上側ブロックと下側ブロックとを連結する可動部材と、上側ブロックが横倒し状態となった状態で上側ブロックを固定する固定部材と、を有して構成する。 （もっと読む）

【課題】搬送アームに基板を真空吸着して搬送する場合において、容易に交換することができるとともに、長時間吸着してもウェハに固着することがなく、安定してウェハを真空吸着することができる真空吸着パッドを提供する。
【解決手段】基板を真空吸着して搬送する基板搬送装置１６の搬送アーム１７（１９）に形成された取付孔２２又は貫通孔に取り付けられて、搬送アーム１７（１９）に設けられた真空吸引路２１と連結されて基板を真空吸着する真空吸着パッド２０であって、第１の開口部４４が形成された上面部４１と、取り付けられたときに取付孔２２または貫通孔と対向し、シール部材３２を装着する装着部４６が形成された側周面部４２とを有する。 （もっと読む）

【課題】遠隔操縦による作業に必要な画像を自律して取得しつつ、一台の作業ロボットのみで作業を行うことができるようにする。
【解決手段】本発明は、作業対象物の測距データを取得するための測距部、作業対象物に対する作業を行う作業用アーム、作業対象物の画像を取得するための撮像部を配設した画像取得用アーム及びそれら各アームを駆動するためのアーム駆動部を設けた作業ロボットＢと、作業ロボットＢと通信回線を介して接続されるとともに、作業対象物の画像を表示するための表示部、作業ロボットＢを遠隔操縦するための操縦情報を生成して当該作業ロボットＢに向けて送信する遠隔操縦装置Ｃとを有するものであり、測距部によって取得した測距データに基づき、作業対象物を撮像部によって撮像できるようにアーム画像取得用アームをアーム駆動部によって自律的に移動させるアーム自律移動手段３０ａを作業ロボットＢに設けている。 （もっと読む）

【課題】
複数のアームが連結されたアームユニットを備えた基板搬送ロボットにおいて、当該アームユニットの交換・組立、及び調整の作業性を高めることである。
【解決手段】
ベースＫに昇降可能に支持された昇降フレームＦと、当該昇降フレームＦ内に配置された駆動モータＭ₁ により旋回される基端アーム（第１アーム）Ａ₁ を含む複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ と、先端アーム（第２アーム）Ａ₂ 内に配置された駆動モータＭ₂ により旋回されるハンドＨ₁ ，Ｈ₂ とを備え、複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ のうち前記基端アーム（第１アーム）Ａ₁ を除く残りのアーム（第２アーム）Ａ₂ は、当該アームＡ₂ が旋回軸Ｓ₂ を介して支持されている手前側のアームＡ₁ 内に配置された駆動モータＭ₂ により旋回され、前記複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ が連結されたアームユニットＵは、前記昇降フレームＦに対して着脱可能な構成の基板搬送ロボットであって、前記アームユニットＵは、前記基端アーム（第１アーム）Ａ₁ の駆動モータと一体となって、前記昇降フレームＦに対して着脱可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】
ダブルハンドロボットにおいて、下側に配された歯付ベルト伝動機構の組み立てと歯付ベルトの張力の調整を容易に行えるようにすることである。
【解決手段】
第２アームＡ₂ の床板部２における下側の減速プーリユニットＵ₂ が配置される部分は部分的に開口されて、当該下面部分開口３は下蓋体２１により閉塞される構成にして、下側に配置される減速プーリユニットＵ₂ の第２アームＡ₂ の長手方向Ｑに沿った固定位置を当該第２アームＡ₂ の下側から前記下面部分開口３を通して調整可能にすることにより、下側の減速プーリユニットＵ₂ の軸心Ｃ₄₁，Ｃ₄₂とハンド旋回軸３６，３７の軸心Ｃ₃ との軸心間距離Ｌ₁,Ｌ₂ を調整して、下側の歯付ベルトＶ₂₂の張力を調整可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の基板移動方法に関し、大気搬送部分での、第１エンドエフェクタと第２のエンドエフェクタでの搬送機構を提供する。
【解決手段】半導体基板を第１位置から第２位置に移す装置。該第１及び第２位置は個別的な支持領域において複数の該半導体を保持するようになされている。その装置は、個別的に支える半導体の異なった最大数の支持領域をおのおのが有する２つの基板保持エンドエフェクタ４６，４８を有する搬送機構を含む。該半導体は該第１位置から該第２位置へと該第１エンドエフェクタ４６によって搬送され、該第２位置又は該第１位置における空の個別的支持領域が該第１エンドエフェクタ４６上の支持領域の該最大数よりも小さいときは、該第１位置から該第２位置へと該第２エンドエフェクタ４８を用いて基板を搬送する。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】機能を維持しながらもより小型化することができるようにした、ロボット及び物品搬送システムを提供する。
【解決手段】アーム部材２３と、アーム部材２３を揺動させるアクチュエータ２２と、アーム部材２３の先端に設けられるハンド部材２４と、アーム部材２３とハンド部材２４とを回転可能に連結する関節部材と、アクチュエータ２２を支持し直線駆動するリニアアクチュエータ３と、アクチュエータ２２及びリニアアクチュエータ３を協働させての各ハンド部材を進退方向に直線移動させるコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】同時にベルト両辺のベルトテンションを偏りなく正確に調整することができ、しかも、誰が行っても簡易かつ短時間で正確なベルトテンションの調整を行えるようにする。
【解決手段】一方の片辺側ベルト１５ａに接する第１のアイドラ１６が取り付けられ、ベルト走行方向と直角な方向に移動可能なようにケーシング１２に取り付けられた第１のアイドラシャフト１８と、他方の片辺側ベルト１５ｂに接する第２のアイドラ１７が取り付けられ、ベルト走行方向と直角な方向に移動可能なようにケーシング１２に取り付けられた第２のアイドラシャフト２３と、第１アイドラ１６と第２アイドラ１７のそれぞれの端部に螺合する左右逆ねじで同一リードになったねじ部を有する左右ねじシャフト３０と、ケーシング１２上に固定され、左右ねじシャフトを回転可能に支持する支持ブラケット３２と、からベルトテンション調整装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】 ロボット関節への多様な制御を提供する。
【解決手段】 ロボットシステム１１は、物体に対し力制御を行う複数の関節を有する人型ロボット１０と、ユーザーから入力信号を受け取るグラフィカルユーザーインターフェース（ＧＵＩ）２４と、コントローラ２２とを備える。ＧＵＩは、ユーザーにコントローラへの直観的プログラムアクセスを提供する。コントローラは、入力に応じてロボットの物体レベル、エンドエフェクタレベル及び／又は関節空間レベルを各々制御するインピーダンスベースの制御フレームワークを使用して関節制御する。制御方法は、ＧＵＩを介し所望の力等の入力信号を受け取り、ホスト装置で入力信号を処理し、インピーダンスベースの制御フレームワークを介して関節制御する。フレームワークは、ロボットの物体レベル、エンドエフェクタレベル及び／又は関節空間レベルを各々制御し、機能ベースＧＵＩが動作モードのミリアドの実施を簡単化する。 （もっと読む）

【課題】ロボットに基づいたサブストレートの大量移送のための改良技術を提供する。
【解決手段】サブストレート取扱いロボット２０は第一アーム２２と第二アーム２６が接続されているアーム駆動機構３４を含む。複数サブストレート・バッチローダー２４が第一アーム２２に接続され、単一面エンド・エフェクタ２８が第二アーム２６に接続されている。複数サブストレート・バッチローダー２４は保持するサブストレート数を示す真空信号を生じる。真空信号インタープリータがサブストレート装荷数に応じて、第一アーム２２の運動を代える。第二アーム２６に接続されている対象物センサー５８は、複数サブストレート・バッチローダー２４に隣接するカセットの中のサブストレート数を査定する。サブストレート装荷順コントローラが、カセットの中のサブストレート数に応じて、アームの運動を制御し、複数サブストレート・バッチローダー２４の完全装荷を促進する。 （もっと読む）

【課題】並進する多関節アームを提供する。
【解決手段】多関節アーム１００は、ベース１０と第１のリンク１１０で連結した第１のアーム１０１と、第１のアーム１０１と中間リンク１３０で連結した第２のアーム１０２と、第２のアーム１０２と第２のリンク１２０で連結したエンドエフェクタ２００とを含む。第１のリンク１１０は、第１のアーム１０１に対して同期して動く第１の駆動歯車１１１と、ベース１０に対して同期して動く第１の伝達歯車１１２とを含む。中間リンク１３０は、第２のアーム１０２に対して同期して動き、第１の伝達歯車１１２とタイミングベルト１３９により接続された中間の駆動歯車１３１と、第１のアーム１０１に対して同期して動く中間の伝達歯車１３２とを含む。第２のリンク１２０は、エンドエフェクタ２００に対して同期して動き、中間の伝達歯車１３２とタイミングベルト１２９により接続された第２の駆動歯車１２１を含む。 （もっと読む）

【課題】双腕ロボット及びそのハンドリング方法において、パレタイズ時にワークを適切な位置に整列積載する。
【解決手段】双腕ロボットは、左右一対で構成されたワークを保持する第１ハンド部２ａ及び第２ハンド部２ｂと、制御部とを備える。両ハンド部２ａ、２ｂは、それぞれ長爪２１と可動する短爪２２とを有する。両ハンド部２ａ、２ｂによってワークＷａを保持しているとき、制御部は、先に第１ハンド部２ａを退避させ、ワークＷａの第１ハンド部２ａ側の隅部を降下させる。次に、制御部は、第２ハンド部２ｂを退避させ、ワークＷａの第２ハンド部２ｂ側の隅部を降下させ、ワークＷａをワークＷｂ上に積載する。これにより、先の第１ハンド部２ａの退避時においても、またその後の第２ハンド部２ｂの退避時においても、各ハンド部の摩擦力が動摩擦となり、それぞれの動作時にワークがハンド部に引っ張られることがなくなる。 （もっと読む）