【課題】吸着手段とグリッパとを備えたローディングが可能な長尺材用ロボットハンドの提供と、このロボットハンドを使用した長尺板材曲げ加工システムの提供。
【解決手段】１．ロボットハンド15に吸着手段31とワークの長手方向両端部を把持するグリッパ51とを設け、前記吸着手段をワークの前後方向に移動位置決め可能に設けたことを特徴とする長尺板材曲げ加工用ロボットハンド。２．板材折曲げ加工機へワークを供給するロボットと、掴み換え装置とを備えた長尺板材曲げ加工システムにおいて、前記ロボットハンドがロボットハンド15に吸着手段31とワークの長手方向両端部を把持するグリッパ51とを設け、吸着手段をワークの前後方向に移動位置決め可能に設けてなるこ長尺板材曲げ加工システム。 （もっと読む）

【課題】ピックによる基板保持時に基板の異常を判定することで，異常な基板の搬送処理を続行することによる不具合を未然に防止する。
【解決手段】基板が水平方向に移動しないように規制する規制体４２０と，押圧体４４０をスライド駆動させて，ウエハＷの端部を規制体に押しつけることによって保持する押圧保持部４３０と，押圧体を駆動させるとともに，その押圧体の位置情報を出力可能な押圧体駆動部４４２とを有するピックを備え，このピックの基板保持時に押圧体をスライド駆動させてその押圧体が停止した位置を検出し，その検出位置が異常判定閾値以上にピックの先端側にある場合にはその基板は異常であると判定し，その基板の搬送処理を停止する。 （もっと読む）

【課題】搬送対象物が上下方向で重ならないように配置される第２配置位置と産業用ロボットとの間にゲート部が配置されていても、本体部に対するハンドの旋回半径を小さくしつつ、ハンドとゲート部との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供する。
【解決手段】産業用ロボット１は、第１ハンド３および第２ハンド４と、アーム５と、本体部６とを備えている。第１ハンド３の基端部と第２ハンド４の基端部とは、上下方向で重なるようにアーム５の先端部に取り付けられている。第１ハンド３と第２ハンド４とは、アーム５に対して個別に回転可能であり、かつ、上下方向から見たときにアーム５に対して共通の回転中心Ｃ１を中心にして回転可能である。また、第１ハンド３と第２ハンド４とは、上下方向から見たときに屈曲するように形成され、かつ、上下方向から見たときに回転中心Ｃ１を通過する所定の仮想線に対して略線対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセス用ウエハを把持した後、素早く移動させることができるエッジグリップ装置を提供する。
【解決手段】 チャックハンド１は、半導体プロセス用ウエハ３をフロントガイド１２に向かって押圧して半導体プロセス用ウエハ３を把持するプッシャー２５を有する押圧機構１４を備えている。押圧機構１４は、プッシャー支持体２２と、緩衝部材２８とを更に有している。プッシャー支持体２２は、進退できるよう構成され、前後にスライドできるようにプッシャー２５に設けられている。プッシャー支持体２２は、その前方に隙間２６ａがあいている。隙間２６ａには、反発力が小さく弾性変形可能な緩衝部材２８が介在している。プッシャー支持体２２は、前進すると、緩衝部材２８を介してプッシャー２５を押されて前方に移動させる。プッシャー２５は、半導体プロセス用ウエハ３に当たって押し付けられる。 （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構を備えている場合であっても、小型化することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットを構成する基板搭載機構３は、上下方向に重なるように配置され基板が搭載される搭載部１３〜１７間のピッチを変えるピッチ変更機構２６と、上下方向に移動可能な複数の可動ハンド１８〜２１とを備えている。ピッチ変更機構２６は、Ｙ方向を軸方向として配置される支点軸に回動可能に支持され可動ハンド１８〜２１が連結されるレバー部材５２、５３と、レバー部材５２、５３を回動させる駆動機構５８とを備え、可動ハンド１８〜２１とレバー部材５２、５３との連結部となるハンド連結部は、レバー部材５２、５３に取り付けられＹ方向に突出する突出部材と、可動ハンド１８〜２１に取り付けられ突出部材が係合する係合溝が形成されるガイド部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板が搭載される複数の搭載部間のピッチの変更動作を行う場合であっても、構成の簡素化が可能でかつハンドに搭載される基板を適切に把持することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、所定のピッチで上下方向に重なるように配置される基板の搭載部を有する複数のハンドと、搭載部間のピッチを変えるピッチ変更機構と、ハンドに搭載される基板を把持するための把持機構２４とを備えている。把持機構２４は、複数の基板の把持部８０と、基板の把持方向へ把持部８０を付勢する複数の付勢部材と、把持部８０に当接して基板からの退避方向へ複数の把持部８０を移動させる移動部材８２とを備えている。複数の把持部８０および複数の付勢部材のそれぞれは、複数のハンドのそれぞれに保持され、移動部材８２は、把持部８０が基板を把持しているときに把持部８０から離れている。 （もっと読む）

【課題】高温環境下において搬送物を確実に保持して高速搬送を図るとともに、搬送物の搬送時におけるダストをできるだけ少なくする技術を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置５０は、複数のアームを有する伸縮自在なリンク機構２０と、その動作先端部において第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒを介して連結され、基板１０を載置するための載置部５とを備え、載置部５には、基板１０の側部と当接して係止する係止部５ａ、５ｂが設けられる。第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒの先端部には、第３の左アーム３Ｌ、第３の右アーム３Ｒに設けられた凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒによって駆動される従動機構部６とを備える付勢手段９が設けられる。従動機構部６は、凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒと係合摺動可能な長孔６２を有する従動部６１と、従動部６１の長孔６２内における凸状の駆動支持部３１Ｌ、３１Ｒの移動に応じて載置部５の係止部５ａ、５ｂに向って案内移動される付勢部６ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】ウエーハのノッチの位置合せを実行することができ、かつ、径の異なるウエーハを搬送した場合でも、ウエーハ処理装置に対するウエーハの中心位置を位置合せすることができる半導体ウエーハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】容器からウエーハＷを取り出し、ウエーハＷを処理する処理装置に搬送する半導体ウエーハ搬送用ハンド１０であって、ハンド部材本体１２と、ハンド部材本体１２に対して移動可能なハンド部材１４と、ハンド部材１４に対して移動可能な保持部材３６と、ウエーハＷと接触する第１回転部材２４と、第１回転部材２４と共にウエーハＷを回転させる第２回転部材５６と、第１回転部材２４と第２回転部材５６が相互に離間する方向又は相互に接近する方向に沿って同じ距離だけ移動させる移動手段と、ウエーハＷのノッチを検出するノッチ検出手段と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】汎用性が高くかつ小型化できるワーク取付システムを提供すること。
【解決手段】ワーク取付システム１は、ボディ２のインナパネル２Ａにサンルーフ部材３を取り付ける。このワーク取付システム１は、サンルーフ部材３を把持して搬送する搬送ロボット４と、ボルトを締め付けるナットランナおよびＣＣＤカメラを有する取付ロボット５と、搬送ロボット４および取付ロボット５を制御する制御装置６と、を備える。制御装置６は、搬送ロボット４を制御して、サンルーフ部材３を把持してボディ２のインナパネル２Ａに搬送し、取付ロボット５を制御して、ＣＣＤカメラによりサンルーフ部材３のボルト穴およびインナパネル２Ａを撮影して、これらボルト穴およびインナパネル２Ａの位置を算出し、これら算出した位置に基づいて取付ロボット５の動作を補正して、ナットランナによりサンルーフ部材３の２箇所をインナパネル２Ａに固定する。 （もっと読む）

【課題】回動可能なアームに連結されたフレームと、そのフレームに支持された第１乃至第３のクランプ装置とを有し、その第１乃至第３のクランプ装置によってワークを把持して運搬するワーク運搬装置において、１台のワーク運搬装置によって、各種形態のワークを運搬できるようにする。
【解決手段】第１及び第２のクランプ装置９，９Ａを互いに接近又は離隔可能にフレーム７に支持すると共に、第３のクランプ装置９Ｂを、第１及び第２のクランプ装置９，９Ａのクランプ爪１４，１４Ａを結ぶ直線Ｌに対して、直交する方向に移動可能にフレーム７に支持する。 （もっと読む）

【課題】
複数枚のチャックされたディスクを１枚ごとに効率的に受け渡しができ、ディスク検査処理のスループットを向上させることができるディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボットを提供することにある。
【解決手段】
この発明は、中心に開口を有するディスクの内周と外周の２点でディスクをチャックする場合において、チャック部材（フィンガ）の１つにはディスクの内周に対応して所定間隔で谷溝が複数設け、他のチャック部材（フィンガ）には前記のチャック部材（フィンガ）に対して奥に向かって距離が開く傾斜（例えば階段状の切込み段差）もって谷溝を形成して、チャックの開閉（部材の接近、離間）により複数枚のディスクのうちの先頭の１枚のディスクのみの内周と外周とをチャックするようにしている。 （もっと読む）

【課題】異形形状の被搬送物品であっても、安定して保持できる物品保持装置を提供。
【解決手段】互いに対向するとともに眼鏡レンズ用基材１の外周部を保持する一対の保持部２１と、これらの保持部２１を互いに近接離隔させる駆動部２２とを備える。一対の保持部２１は、それぞれ駆動部２２に連結されるアーム部２５と、これらのアーム部２５にそれぞれ２個設けられる当接部２６とを有し、一方の保持部２１は、２個の当接部２６が独立して進退自在にアーム部２５に設けられ、これらの当接部２６とアーム部２５との間に弾性部材２８が設けられる。そのため、４個の当接部２６の少なくとも３個が眼鏡レンズ用基材１の外周部に当接することになるので、当接部２６の片当たりがなくなり、保持部２１で眼鏡レンズ用基材１が安定して保持される。 （もっと読む）

【課題】ハンドを用いた半導体ウエハを搬送する工程において、異物の発生を低減することのできる技術を提供する。
【解決手段】ロッド１７はピストン１６に固定されており、シリンダ１５には第１空間１８に接続されている第１圧力ライン１９および第２空間２０に接続されている第２圧力ライン２１が設けられており、ピストン１６には貫通穴２２およびこの貫通穴２２に嵌め込まれたネジ２３が設けられている。第２圧力ライン２１を閉じた状態で第１空間１８を第１圧力ライン１９から真空引きすることによって、ピストン１６が移動して可動部１３が可動し、第１圧力ライン１９を閉じた状態で第２空間２０へ第２圧力ライン２１から空気を流入することによって、ピストン１６が移動して可動部１３が可動する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク等の基板の移載が容易に行える基板移載装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板移載装置１００は、ベース部１１１に固定されたシャフトを中心に回転可能な回転胴部１１２と、回転胴部１１２の側面に上下動可能に取り付けられたアーム部１２０と、アーム部１２０の先端部に水平方向に回転可能に取り付けられた把持部１３０とを備える。把持部１３０は、上下動可能な下側把持爪１３３と上側把持爪１３４とによって、移載対象となる基板を垂直に立てた状態で上下方向に把持する。更に、把持部１３０は、垂直に立てた状態で把持されている基板に垂直な軸を中心に微小角度回転することができ、基板の重さでアーム部１２０がたわんで把持部１３０が傾いてしまうような場合にも、基板を水平に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 既存のロボット本体を交換することなく、基板の搬送可能領域を大きくすることができる基板搬送ロボットのロボットハンドを提供する。
【解決手段】 ロボットハンド２０を伸縮状態とすることによって、ロボットアームの先端部の可動領域では、ウェハ２１の搬送に必要な可動領域に達しない場合であっても、ウェハ２１の搬送に必要なウェハ２１の可動領域を得ることができる。これによってロボット本体を交換することなく、搬送元位置または搬送先位置の変更可能な範囲を広げることができる。またロボットハンド２０を縮退状態とすることで、ロボットアームを構成するアーム部分が他の装置と干渉する可能性を減らすことができ、ロボットの移動における制約を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 リングのセンタリングをリングの把持と同時に高精度に行うことができるリング搬送用ハンドとそれを用いた搬送装置を提供する。
【解決手段】 リング状の被搬送物の内側もしくは外側に挿入される１個の円筒形の固定爪と、同じくリング状の被搬送物の内側もしくは外側に挿入される２個の円筒形の可動爪と、２個の円筒形の可動爪を同時に駆動するエアシリンダとを備えたリング搬送用ハンドにおいて、これら３個の円筒形の爪が３角形状に配置され、２個の円筒形可動爪は、その中心を結ぶ線に直角で、円筒形固定爪の中心を通る線と平行に移動する構成とする。これら３個の円筒形の爪はリングの把持時にはリングを把持し、かつ、３点でリングと接触する。 （もっと読む）

【課題】把持の際に基板の載置位置がずれることを防止し、基板に対する処理精度を向上させる。また、この載置位置のずれの防止及び処理精度の向上を図りつつ、複数の基板を同時に搬送して処理速度を向上させ、基板のエッジ部又はエッジ部の近傍を把持してパーティクル等による汚染を防止する基板保持装置の提供。
【解決手段】５枚のエンドエフェクタ２１のそれぞれに配置され、往復移動して基板Ｐの端縁に当接、離間することで基板Ｐの端縁を把持する爪部２１Ａ〜２１Ｃと、一端のそれぞれが爪部２１Ａ〜２１Ｃに接続され、他端のそれぞれが支持部２２２Ａ〜２２２Ｃに接続されたスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃと、支持部２２２Ａ〜２２２Ｃを往復移動させる駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃとを備え、駆動シリンダ２２４Ａ，２２４Ｃを駆動してスチールテープ２２１Ａ〜２２１Ｃを往復移動させることで爪部２１Ａ〜２１Ｃを同期して往復移動させる。 （もっと読む）

【課題】シリンダ駆動方式の移動フィンガを有する基板移送装置を提供する。
【解決手段】基板移送装置は、駆動手段によって動作が制御されるロボットアーム部と、前記ロボットアーム部の先端に設けられ、基板Ｗが置かれるブレード１２０と、前記ブレード１２０に設けられ、前記ブレード１２０に置かれた基板Ｗを正位置に位置させると同時に基板Ｗを固定するクランピング部材１３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】パネルのサイズによって移動されるクランピングキャリアーを一対のカンチレバーから構成して全体的な構造が簡単なカンチレバーパネル移送装置を提供すること。
【解決手段】本発明のカンチレバーパネル移送装置を成す構成手段は、所定の駆動手段によってサブテーブルとワークテーブルとの間を往来する移動体と、移動体の上面に設けられる一対のキャリアー移動手段と、キャリアー移動手段によって移動体の長手方向に往復運動できる移動ブロックと、移動ブロックと一端が結合されてキャリアー移動手段によって移動され、互いに平行に向き合っている二つのカンチレバークランプキャリアーと、二つのカンチレバークランプキャリアーにそれぞれ結合されて移送されるパネルをクランピングし、カンチレバークランプキャリアーの長手方向に沿って移動可能なグリップ手段と、を含んで成る。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板等の薄板状ワークを把持して搬送を行う把持装置において、複数のワークを搬送するのにサイクルタイムを短くすることのできる把持装置を提供する。
【解決手段】 ベースに固定された２本のフォーク２と、ベースの左右に固定した２個の位置決めシリンダ３と、フォークの根本に固定されたクランプシリンダ４と、クランプシリンダに連結されるとともにフォーク先端でガイドされた連結棒６と、位置決めシリンダおよび連結棒に固定された２対のクランプ部材８と、クランプシリンダの動作を規制するストローク規制部材１０をピストン先端に固定したストッパシリンダ５より構成される把持装置であり、クランプシリンダのストロークをストローク規制部材が規制するとともに、ストッパシリンダの動きにより把持位置を２箇所に制限した把持装置を構成する。 （もっと読む）