【課題】被成膜物の反転作業の作業効率を向上させ、被成膜物に対して効率的に成膜すること。
【解決手段】減圧状態で被成膜物Ｈを一定方向側から成膜する成膜機構２１が配置された成膜室２と、被成膜物を収容するために成膜室に隣接して連通可能に設けられた収容室３と、を備える成膜装置１に用いられる機構であって、被成膜物を把持及び把持解除する把持ハンド４３と、該把持ハンドを、収容室から成膜室までの範囲で移動可能且つ把持姿勢を反転可能に支持するハンド支持部６１と、収容室及び成膜室の外部に配置され、ハンド支持部を介して、収容室から成膜室までの範囲で把持ハンドを移動させるハンド移動部４１と、収容室及び成膜室の外部に配置され、把持ハンドの把持姿勢を反転させる反転部４４と、を備えるハンドリング機構４を提供する。 （もっと読む）

【課題】物体を変形あるいは毀損することなく把持するのに適したロボットハンドを提案すること。
【解決手段】ロボットハンド１は、リニアアクチュエータ５の作動ロッド５ａの前後方向への伸縮動作を、リンク機構を介して左右の第１リンク１１の開閉動作に変換している。リンク機構にはコイルバネからなる左右の中間リンク１３が含まれている。左右の第１リンク１１が把持対象の物体Ｗに当たると中間リンク１３が弾性変形して伸び、物体Ｗを把持する力が中間リンク１３の弾性変形によって徐々に増加する。物体Ｗに急激に大きな把持力が作用して、物体Ｗが変形する、毀損するなどの弊害を防止できる。 （もっと読む）

【課題】流体圧式のアクチュエータを用いた回動装置において、回動角度の増大を図る。
【解決手段】回動部材１３を回動可能に連結した配置部材１２は、上面１２ｂに突出部２０を設け、その突出部２０の突出面２０ａに流体圧式のアクチュエータ１４を配置し、線材１５でアクチュエータ１４と回動部材１３を繋ぐ。突出部２０は、回動部材１３側の先端縁２０ｅから長手方向の途中部分へと高くなるようにすると共に、その途中部分から後端縁２０ｆへと低くなるようにしている。それにより、アクチュエータ１４に流体を供給してアクチュエータ１４の全長を短くさせると、アクチュエータ１４の先端１４ａが突出部２０の突出面２０ａに沿って移動し、配置部材１２の上面１２ｂから離れて高く位置する。その結果、傾いた姿勢の線材１５を介してアクチュエータにより回動部材１３は引っ張られるので、回動部材１３の回動角度が大きくなる。 （もっと読む）

【課題】各指毎に各１個のモータを必要とせず、さらに、システムが異常を検出した非常停止時など、ハンド装置への電源を遮断せざるを得ないときも、ハンド装置は把持力を維持することができ、把持しているワークを落下させることがないられない産業用ロボットのハンド装置を提供。
【解決手段】ボールねじ 2の軸方向にフレーム内周にスライド可能に案内されたブロック 4と、ナット16の小径切り込み部15下面とブロックの小径部17下面との間に配置されたスプリング 9（弾性体でもよい）と、スプリング 9の変形を検出するセンサ12と、を有し、サーボモータ 3を作動させることにより各フィンガー 5の他端が開閉動作するようにし、各フィンガー 5の他端がワーク10に当たった後、さらにスプリング 9を変形してセンサ12が作動するまでサーボモータ 3を作動させた後、サーボモータ 3のブレーキ13を作動させた状態でワーク10を把持させるようにした。 （もっと読む）

【課題】種々の形状の把持対象物体を安定して把持することが可能な小型軽量な把持機構を提供することにある。
【解決手段】把持機構１０では、第２の指リンク１２は第１の指リンク１１の一方先端にて第１の軸線Ａ１周りに回転可能であり、第１の指リンクは第１の軸線に直交する第２の軸線Ａ２に沿って相互に開閉運動が可能である。これにより、第２の指リンクを互いに逆方向に回転させつつ、第１の指リンクを互いに逆方向に開閉させることにより、第２の指リンクの周面を把持対象物体の表面に沿わせることができ、一対の第２の指リンクにより把持対象物体を把持・解放することができる。このため、把持可能な把持対象物体の形状が限定されることはなく、特に円盤状の把持対象物体を安定して把持できる。更に、指リンク自体は必要最小限の大きさで良いため、機構そのものの質量の増大を抑えて軽量化することができ、搭載する駆動手段や機構部材を小型化できる。 （もっと読む）

【課題】回転駆動源から押圧部材への駆動力の伝達が停止された場合等であっても、ワークへの押圧部材の押圧状態を維持して電気エネルギの消費を低減することが可能な駆動機構及び該駆動機構を備えるグリッパ機構を提供する。
【解決手段】電動グリッパ１０は、モータ１６と、軸線方向に変位可能な送りナット３０にモータ１６からの回転駆動力を伝達する送りねじ部２２と、送りナット３０にリンク機構１８を介して連結され、送りナット３０と連動して変位することでワークＷを把持するグリッパ部１４とを備える駆動機構１２を有する。駆動機構１２において、送りねじ部２２は、送りナット３０が前進されてグリッパ部１４によりワークＷを把持した場合に、該ワークＷからグリッパ部１４が受ける反力によっては送りナット３０が後退しないセルフロック機構を構成すると共に、該セルフロック機構は、モータ１６からの回転駆動力が送りねじ部２２に伝達されることで解除可能とされる。 （もっと読む）

【課題】ワーク把持力の大小にかかわらずフィンガーが抜け落ち、ワークが落下することがない、かつハンド装置全体を交換することなくワークの形状に合わせてフィンガーのみをコスト安に交換できる産業用ロボットのハンド装置を提供。
【解決手段】各フィンガー取付ベース43下面内側に対向して形成された（各フィンガー取付ベース43下面外側に内側に向けて形成してもよい）Ｔ字状断面をもつＴ字状水平盲溝46と、上部に各Ｔ字状水平盲溝46と嵌まり合うＴ字状頭部47とＴ字状頭部47から垂下するフィンガー部48からなる交換可能なフィンガー44と、Ｔ字状水平盲溝46にフィンガー44のＴ字状頭部47が嵌まり合った時の抜け止め部材 45a,45bとを有する。 （もっと読む）

【課題】基板アライメント機構を備えた搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】最先端のアーム５に設けられ、ハンド６を最先端のアーム５の延在方向に前後移動させるハンド駆動機構と、最先端のアーム５に設けられ、矩形基板Ｒの側面を把持して矩形基板Ｒをハンド６に対してアライメントするアライメント機構７と、を備え、ハンド駆動機構によって最先端のアーム５上にスライドさせた矩形基板Ｒに対してアライメント機構７がアライメントするよう構成した。 （もっと読む）

【課題】多指多関節の人工ハンドにおいて、形状記憶性素材を用いて指関節を屈曲駆動する際の把持トルクを増補するとともに、母指を可動取り付けして他の４指との位置関係を調整可能とすること。
【解決手段】多指可動ロボットハンドＸは、各指関節を手掌側に屈折可能で伸張復帰可能に回動連結した可動指21;22;23;24 を有し、隣接する可動指21;22(23;24)に屈伸誘導線条部材17;18(19;20)を挿通し、かつ、その指間連絡部を手首方向へ進退駆動可能な移動体10に係止して牽引操作することにより、静止挙動を含む把持又は開放動作に係る運動制御をおこなう指関節駆動機構を有する。ここで、屈伸誘導線条部材17;18(19;20)として固定長の形状記憶性素材（形状記憶メタル）を用い、その通電制御手段30を設けている。そして、把持動作時に形状記憶メタルを長手方向に収縮駆動又は形状回復駆動する。 （もっと読む）

本発明は、２本の駆動軸（５ｂ、６）、クランク、歯車、鎖、ベルトまたは歯付ベルト軸によって動作機構（１、１０ａ、１０ｂ、１１ｂ）に連結することによって動作させられる少なくとも１本の可動把持フィンガ（１１ｂ）を備えた、機械、ロボットおよび操作装置のための把持機構に関する。２つの被駆動レバー（１０ａ、１０ｂ）によって把持フィンガ（１１ｂ）を動作させ、次に各々駆動軸によって駆動される結果として、経路またはその範囲を通して１８０°をこえる回転を通して把持フィンガ（１１ｂ）を動かして、したがって、ひっくり返るかまたは不安定な位置に入ることなく力およびトルクをしっかりと伝達することが可能である。本発明によれば、駆動軸（５ｂ、６）は囲まれかつ一体的な把持ハウジング（１）内に完全に収容され、ほこりおよび汚れから保護され、かつ密閉して密封されるために、軸方向に少なくとも２つの部分に分けられる。駆動軸の異なる部分が、お互いに心出しされて、好ましくは穿孔およびピン（８）を備えたピニオン歯車の形で、軸方向歯部を用いて確実に接続される。駆動軸は、好ましくはキャリア支持軸受を有する。 （もっと読む）

【課題】把持対象ワークの異種形状や寸法違いや高さがばらつく場合を含む多数のワークをすくいあげるように把持することができ、かつフィンガーの先端が水平方向に同じ軸方向高さの位置でワークを掴むことができるハンド装置を有する産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】少なくとも２個のフィンガーを有しかつ少なくとも２個のフィンガーが開閉する際、すくいあげるように求心動作を行い、かつエンコーダーの検出角度θに対応して、ロボットを作動させてアーム２１先端に支持されたハンド装置３０を補正量だけ垂直方向Ｙ軸方向に移動させて各フィンガーの先端が同じＹ軸方向高さでワークを掴むようにした。 （もっと読む）

【課題】機構や制御アルゴリズムを単純にしつつも、様々な形状の物体を確実に把持することができるマニピュレータを提供する。
【解決手段】複数の関節軸１１１，１１２，１１３及び複数のリンク１３１，１３２，１３３を有し、複数の関節軸１１１，１１２，１１３の回転角が一定の関係を保つように複数のリンク１３１，１３２，１３３が連動して閉じる方向に動く指１と、指１と対向して配置され、複数の関節軸２１１，２１２，２１３及び複数のリンク２１１，２１２，２１３を有し、複数のリンク２３１，２３２，２３３のうち根元側のリンク２３１から順に閉じる方向に動き、且つ根元側のリンク２３１が物体に接触すると、根元側のリンク２３１に隣り合うリンク２３２が閉じる方向に動く指２と、指１及び指２を駆動する駆動源１００，２００を備える。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する第２アーム６を有する多関節アーム部４とを備えている。ハンド３は、ウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材とを備え、第２アーム６は、ハンド３の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ２の搬出開始前に把持部２８に当接して把持部２８をウエハ２から退避させる偏心部材３１を備えている。偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、把持部２８がウエハ２を把持する方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する。 （もっと読む）

【課題】共通の駆動源によって駆動される複数の関節を有する指部材にて、これら複数の関節の関節角度が任意の角度に設定された状態を作り出すことを可能とする。
【解決手段】多関節指部材２は、駆動モータ２００と、駆動モータ２００によって駆動される第１関節２０と、第１関節２０に一端が固定された第１リンク２１と、第２リンク２３と、第２リンク２３を回動可能に第１リンク２１の他端に結合し、第１関節２０と共通の駆動モータ２００によって駆動される第２関節２２と、クラッチ機構２１２とを備える。ここで、クラッチ機構２１２は、第１関節２０の駆動に要する駆動トルクの増大に応じて駆動モータ２００から第１関節２０への動力伝達を抑制するとともに、第１関節２０への動力伝達が抑制された状態において第１関節２０の駆動に要する駆動トルクが減少したことに応じて、即座に駆動モータ２００から第１関節２０への動力伝達を回復させる。 （もっと読む）

【課題】物体を把持した状態で指リンクの位置を固定するだけではなく、物体に及ぼす把持力を能動的に高めることが可能な指リンクの位置固定機構を有するロボットハンドを提供する。
【解決手段】ロボットハンド１は、指先リンク２３と、モータ２００と、モータ２００により回転駆動される入力プーリ２０２と、指先リンク２３に固定された出力プーリ２０４と、入力プーリ２０２と出力プーリ２０４との間に張られ、入力プーリ２０２の回転を出力プーリ２０４に伝達する少なくとも１つの帯状の伝達部材（ワイヤ２０３）と、ワイヤ２０３を押し付けて固定することで、出力プーリ２０４の回転を停止維持するとともに、押し付けられたワイヤ２０３の引張り力によって、指先リンク２３から把持された物体に作用する把持力を高める方向に出力プーリ２０４を付勢するようにしたクランプ部２０５とを備える。 （もっと読む）

【課題】シートの劣化を抑制すると共に、流体の供給に対してダイレクトに作動するメンブレン方式のアクチュエータを実現する。
【解決手段】アクチュエータ１０は、供給孔１２ｅを開口したベース部材１２にシート１３を配置し、シート１３を介在して第１部材１４および第２部材１５で構成されるカバー部材１０ａをベース部材１２へ取り付ける。カバー部材１０ａは、ベース部材１２の供給孔１２ｅに対応する箇所に空洞部１１と、この空洞部１１から外方へ貫通する貫通孔１８を有する。アクチュエータ１０は、空洞部１１にピストン１７を摺動可能に収め、空洞部１１を横切り貫通孔１８を通過して他端側が外方へ抜け出るように線材１６を配置し、ピストン１７で線材１６を押し上げる。 （もっと読む）

【課題】対象物を把持するロボットハンドによって溝状のインタフェースを操作する。
【解決手段】対象物を把持するロボットハンドに、掌部１０と、掌部１０から突出し、対象物を把持可能な一対のグリッパ５１，５２と、それらグリッパ５１，５２の間隔が変化するようにグリッパ５１，５２を移動させる開閉手段と、第１のグリッパ５１の先端の第１の指先部５５を押し込む直線運動によって第２のグリッパ５２の先端の第２の指先部５６を第１のグリッパ５１に向けて回動するように駆動するリンク手段とを備える。リンク手段は、第１の指先部５５に結合されたラック、そのラックにかみ合わされたピニオン、そのピニオンの回転を伝達するベルトなどを備える。 （もっと読む）

【課題】
省配線化することができるロボットを提供する。
【解決手段】
第１の指および第２の指を備え、前記第１の指および第２の指が複数の関節で構成される多指多関節ロボットハンドにおいて、前記第１の指または第２の指は、前記関節を回転させるための回転駆動手段を内蔵した第１の関節部と、所定の力以上の外力が加えられると当該外力に倣って回転する回転手段を備える第２の関節部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】把持したワークの姿勢および幅方向の把持位置を迅速に補正して次工程へ受け渡すことのできる把持装置およびその制御方法の提供。
【解決手段】対向する一対の把持爪と、把持爪と直交して設けられた対向する一対の補正部材と、これらに駆動系の動力を伝達する伝達部材を備えた把持装置であって、把持爪が把持したワークに、補正部材を進出動して当接させることでワークの姿勢を補正する姿勢補正機能を有することを特徴とし、好ましくは、ワークの姿勢が補正された状態からさらに補正部材を進出動させることでワークの幅方向の把持位置を補正する把持位置補正機能を有することを特徴とする把持装置およびその制御方法。 （もっと読む）

【課題】寸法範囲の広い把持対象物体を、安定して容易に把持することができるロボットハンドを提供すること。
【解決手段】本発明に係るロボットハンドは、回転軸を中心に回転可動な１又は２以上の指関節を有する複数の指部３と、複数の指部３を支持する掌部１とを有し、複数の指部２は、各指関節１１の回転軸が平行に配置され、掌部１は、少なくとも２つの板状形状の掌板部１ａ、１ｂを備え、掌板部１ａ、１ｂはその一方の端部にて指関節１１の回転軸と平行配置された回転軸を有する掌関節２を介して回転可動に連結され、その他方の端部にて指関節１１を介して複数の指部３に連結されるものである。 （もっと読む）