【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持する場合であっても、小型化を図ることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ハンド３、４と、ハンド３、４を保持するハンド保持アーム７を含む多関節アーム部５とを備えている。ハンド３、４は、ウエハ２に当接してウエハ２を把持する把持部４２、５２と、ウエハ２を把持する方向へ把持部４２、５２を付勢する付勢部材とを備え、ハンド保持アーム７は、多関節アーム部５の伸縮動作に伴って、ハンド３、４に対して相対回動するカム部材を備えている。カム部材の内周側には、把持部４２、５２が当接するカム面が、収納部からウエハ２を搬出する前に把持部４２、５２をウエハ２から退避させるとともに、収納部からウエハ２を搬出する際の多関節アーム部５の伸縮動作に伴って、ウエハ２を把持する方向へ把持部４２、５２を移動させるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】多様な姿勢をとるワークを所定の姿勢で効率的に掴み取ることができ、安価で作業効率が高い多関節ロボット用ハンドを提供する。
【解決手段】多関節ロボット４のＺ軸５に鉛直軸周りに回転制御可能に取り付けられるロボットハンド１が、互いに対向して接離可能とされてワークを把持可能な一対の爪片を有するチャック機構１４と、チャック機構１４を下方に向けて所定角度内で首振り動作をする首振り機構１５と、チャック機構１４を回転軸１２周りに正逆回転可能とする回転機構と、チャック機構１４及び首振り機構１５並びに回転機構を個別に制御する制御装置を備えている。 （もっと読む）

【課題】非放射状の直線動作と三次元動作が可能なロボットアーム構造の提供。
【解決手段】ロボットアーム構造（１０）は、少なくともリンク１、リンク２を備える。θ動作は最基端のリンク１の基端部分の第１軸（ｚ１）のまわりに与えられる。Ｒ動作は第１軸から半径方向に前進し、それによって最末端のリンク３の末端部分は半径方向に延びる直線に沿って動ける。エンドエフェクタ（１８）は第１軸と平行なエンドエフェクタ軸のまわりに最末端のリンク３の末端部分に対して回転できるように回動可能に取付けられる。構造（１０）は、アームの手首をそれぞれの軸のまわりに回転させるヨー、ピッチ及びロールモータ３のうち１又は複数を付加することにより改良される。センサアレイは、ｒ、θ、ｚとヨー、ピッチ及びロール動作の１又は複数とを検出し、コンピュータはｒ、θ、ｚ及びヨー、ピッチ及びロール動作の１又は複数を監視及び制御する。 （もっと読む）

【課題】狭い作業領域で効率よくワークを搬送できるハンドリング装置を提供する。
【解決手段】水平方向に伸長するガイドレール１１、ガイドレールに沿って移動する可動キャリッジ２０、可動キャリッジに設けられてワークを取り扱うハンドリングロボットＲを備え、ハンドリングロボットＲは、可動キャリッジに対して上下方向に伸縮自在に設けられたテレスコアーム３０、テレスコアームに保持されると共に水平面内で旋回して伸縮又は屈曲動作を行うべく互いに連結された複数の旋回アーム４０，５０、複数の旋回アームの最も先端側に設けられたハンドユニット６０を含む。これによれば、複数の旋回アームが水平面内で二次元的に移動するものであるため、上下方向の剛性が高く、質量の大きいワークでも停止時に振動やブレ等の発生を防止でき、狭い作動範囲において、安定したハンドリング操作を行える。 （もっと読む）

【課題】 力覚呈示機構を持つコントローラは、遠隔医療やバーチャルリアリティーの分野などにおいて臨場感のある操縦を可能にする。しかし、アクティブ型の力覚呈示機構を用いた場合、力覚呈示機構の暴走による操縦者の負傷の危険がある。また、粘性流体などを用いるパッシブ型の力覚呈示機構においても、操縦対象の微小な動作に対して敏感な力覚呈示を行うことは難しい。
【解決手段】 本発明は、かかる実情に鑑み、力覚呈示機構にＥＲ流体やＭＲ流体などの粘性流体を用いることで、操縦者にとって安全なコントローラを実現した。そして、力覚を操縦者に伝達する機構に、操縦者が力を加える方向に垂直に取り付けられた円盤や、羽根状のものなど円盤回転方向からの抵抗を受けやすくしたものを用いることで、力覚を受け取る側の部品の動きを強く制御し、敏感な力覚呈示を可能にした。 （もっと読む）

【課題】エンドエフェクタを含む基板移送ロボットを提供すること。
【解決手段】前記エンドエフェクタは、リストプレートと、垂直方向に移動自在に前記リストプレートに連結され、第１基板を支持するための第１ブレードと、前記第１ブレードと隣接するように前記リストプレートに連結され、第２基板を支持するための第２ブレードと、を含む。昇降ユニットは、前記第１基板が前記第１ブレードによって支持されるように前記第１ブレードを上方に移動させ、前記第２基板が前記第２ブレードによって支持されるよう前記第１ブレードを下方に移動させる。 （もっと読む）

【課題】旋回径を小さくしつつ、１回の搬入動作あるいは搬出動作で複数の搬送対象物を搬送することが可能な産業用ロボットの具体的な構成を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、複数の搬送対象物２を搭載する第１ハンド３、第２ハンド４と、第１ハンド３、第２ハンド４をそれぞれ保持する第１アーム５、第２アーム６と、第１アーム５および第２アーム６を保持する共通アーム７と、共通アーム７に対する第１アーム５、第２アーム６のそれぞれの回動中心となる第１回動中心部３１、第２回動中心部４１と、共通アーム７を保持する本体部とを備えている。第１ハンド３と第２ハンド４とはロボット１の旋回動作時に重なるように配置され、第１ハンド３および第２ハンド４には、第１回動中心部３１および第２回動中心部４１との干渉を防止するための逃げ部４３、４４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】機器間のスペースが少なくても設置することができ、且つ、製造コストを少なくすることができる搬送用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム１４の基端を基部１１に対して回転可能に連結すると共に、第１アーム１４の先端を第２アーム１６に対して回転可能に連結した。また、第１アーム１４の回転軸（第１回転軸１３）と、第２アーム１６の回転軸（支軸１５）を平行にした。そして、基部１１に第１プーリ２４を固定すると共に、支軸１５を中心として、第２プーリ２５を第２アームと一体的に回転するように固定した。さらに、第２アームの基端に、第１アーム１４に対して回転しないように第３プーリ２８を固定すると共に、第２回転軸３２を中心として、保持部が取り付けられる第４プーリ３０を第２アームの先端に回転可能に固定した。 （もっと読む）

【課題】２つのハンドを備えた搬送装置において、ハンドの動作にともなう振動の発生やアームのダレなどの不都合を低減する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に対し、旋回軸Ｏｓを挟んで旋回軸Ｏｓから等距離にある回動軸Ｏ１，Ｏ２周りに回動可能に支持されたアーム４Ａ，４Ｂと、アーム４Ａ，４Ｂのそれぞれに固定状に支持され、ワークＷを保持しうるハンド６Ａ，６Ｂと、旋回ベース２を回動させる旋回駆動手段と、アーム４Ａ，４Ｂを回動させるアーム駆動手段と、を備え、各ハンド６Ａ，６Ｂは、これに保持させるワークＷの中心が位置するべき基準点Ｓ１，Ｓ２をそれぞれ有し、上記旋回駆動手段と上記アーム駆動手段が連動して、ハンド６Ａ，６Ｂのいずれか一方を、基準点Ｓ１または基準点Ｓ２が旋回軸Ｏｓを通る水平直線上の移動行程ＧＬを移動するように所定位置間を移動させる。 （もっと読む）

【課題】停電等の不慮の電力トラブルが生じた場合でも、ハンド位置を検出することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ベルト駆動で伸縮する多関節アームを備えた基板搬送装置であって、ハンド６２の位置を検出する検出手段（ハンド位置検出装置）１２０を備え、当該検出手段は、基台６３に対して相対移動可能なロッド部材１２１と、ベルト部材の移動をロッド部材のその軸方向への移動に変換する変換機構１２２と、ロッド部材に装着された磁性ブロック１２３と、磁性ブロックの位置を検出する検出ユニット１２４を有する。本発明によれば、検出ユニットを用いた磁性ブロックの位置検出によってハンドの位置を検出することが可能となる。また、真空中におけるハンドの原点位置への復帰作業も容易となり、装置稼働時間の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 脚型ロボットまたは脚車輪型ロボットの姿勢制御に好適で、かつ、測距センサを用いた２次元距離測定装置により物体認識を行う場合に認識精度を向上するのに好適な物体認識装置を提供する。
【解決手段】 脚車輪型ロボット１００は、基体１０と、基体１０に対して自由度を有して連結された脚部１２と、脚部１２に回転可能に設けられた駆動輪２０と、物体上の測定点までの距離を測定する測距センサ２１２ａを備え、測距センサ２１２ａを走査し、その走査範囲で測定可能な測定点について測距センサ２１２ａの測定結果を取得し、取得した測定結果を直交座標系の座標に変換し、変換された少なくとも２つの測定点の座標に基づいてハフ変換により直交座標系における線分を検出し、検出した線分に基づいて物体上の連続面または連続面の境界を認識する。 （もっと読む）

【課題】ハンドの原点位置において多関節アームの姿勢を安定に保持する。
【解決手段】一端が基台６３の支持軸９１に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８とを備え、多関節アーム６１の第１アーム７１Ａ，７１Ｂと第２アーム７２Ａ，７２Ｂがほぼ平行となるハンドの原点位置で、支持軸９１の周りへの多関節アームの回動を規制するロック機構１００を備える。ロック機構１００は、ロックバー１０１と保持アーム１０２の接触によってアームの回動規制を行う。ロックバー１０１は、ハンドがその原点位置から所定距離移動するまでの間にわたり、ベルト７６と同期して移動するとともに、保持アーム１０２との接触状態を維持する。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】偏荷重やモーメント荷重の影響を低減し、安定した昇降動作を実現可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、昇降ベース２と、昇降ベース２を昇降させる昇降機構３と、昇降ベース２に搭載された旋回ベース４と、旋回ベース４を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構５と、旋回ベース４に支持された直線移動機構６と、直線移動機構６の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド７Ａ，７Ｂとを備える。昇降機構３は、固定ベース１に設けられたガイドレール３１１、および、昇降ベース２に設けられたガイド部材３１２からなるスライドガイド機構３１と、固定ベース１に配置されたネジ軸３２１、および、昇降ベース２に設けられたナット部材３２２を備えたネジ送り機構３２と、を備えて構成される。ネジ送り機構３２は、旋回軸Ｏｓを挟んで対向状に２つ設けられている。 （もっと読む）

【課題】アームを直動式の構成とし、その回転駆動部であるモータをダイレクトドライブ方式とし、さらにそのモータの回転位置検出器を１回転以内での位置検出が可能なものを使用できるようにする。
【解決手段】多段の直動式アームを伸縮動作させる大プーリ１６について、第２アームを直線状に駆動する連結プレートが第１ベルトの直線状部分におけるストローク量を移動しても第１ベルトによって回転する量が１回転未満となる直径を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】直動式アーム内にあるリニアスライダなどの機構からの発塵を抑制するとともに、真空中に置かれる基板搬送ロボットでも使用可能な防塵機構を提供すること
【解決手段】リニアスライダによって直動する直動式アーム３を備えて基板９を所望の位置に搬送する基板搬送ロボット１において、リニアスライダ１８、２３を摺動可能に保持するリニアレール７、８の近傍に、リニアスライダ１８、２３と微小な隙間を介して敷設され、ポリ塩化ビニール又はフッ素樹脂で製作された集塵カバ４４をリニアレール７、８に沿って敷設した。リニアレール６上を摺動するリニアスライダ７直近に集塵カバ１０を設置し、リニアレール６上のリニアスライダ７が摺動する際に飛散するパーティクル１３を集塵カバ１０のラビリンス形状部で収集し、アームカバ８の開口部からパーティクル１３が流出することを防止し、ウエハ搬送フォーク３上のウエハ１２にパーティクル１３を付着させない処置をする。 （もっと読む）

【課題】マネキンや人形、ロボットなど人型機械に対し、人の情動を呼び起こす魅力的で美しい胴体の動作制御を行うこと。
【解決手段】胸部２０１と腰部２０２から成る胴体を持つマネキンやロボットなどの人型機械で、肩と腰が連動する美しい動きの表現方法と機構を持たせる。胸部２０１と腰部２０２が捻れる動きと同時に、胸部と腰部の左右体側の肩２０３・２０４と股関節２０５・２０６との距離が交互に開く揺動が同期して連動することで、胴体の美しい表現を可能にした。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】機械的な構成で搬送対象物を把持しても、搬送対象物に与える衝撃を抑制することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】ロボット１は、ウエハ２を搭載するハンド３と、ハンド３を保持する第２アーム６を有する多関節アーム部４とを備えている。ハンド３は、ウエハ２を把持するための把持部２８と、ウエハ２を把持する方向へ把持部２８を付勢する付勢部材とを備え、第２アーム６は、ハンド３の回動中心から偏心した位置に固定され、ウエハ２の搬出開始前に把持部２８に当接して把持部２８をウエハ２から退避させる偏心部材３１を備えている。偏心部材３１は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作に伴って、把持部２８がウエハ２を把持する方向へ移動するように、把持部２８に対して相対移動し、把持部２８は、ウエハ２を搬出する際の多関節アーム部４の伸縮動作の減速時に、ウエハ２の把持を開始する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置で基板を搬送する基板搬送装置において、昇降する可動子が目的の位置に到達したことを確実に確認できる構成を提供し、それにより基板の破損を防止できるようにする。
【解決手段】アームとハンドを搭載した可動子５を上下に昇降させる昇降部において、装置の起動時に、搬送装置の制御装置で、インクリメンタル式のリニアスケール８のフィードバック値ＬnrＦb₀を、絶対値式エンコーダ１６から得られるフィードバック値ＭtrＦb₀のリニアスケール換算値ＭtrＦb₀'と同じになるよう記憶しなおし、所定のときにフィードバック値ＭtrＦbのリニアスケール換算値ＭtrＦb'とフィードバック値ＬnrＦbとを比較する基板搬送装置とした。 （もっと読む）