【課題】 高い剛性を持ち、かつ旋回半径の小さい2アーム方式のロボット装置を提供すること。
【解決手段】 ロボット装置1は、円盤状の据付台2と、筐体3と、2本のアーム部10、20およびアーム部10、20の先端に設置されたハンド部材100、200とからなる。ハンド部材100、200は、2股に分かれたフォーク状の平板であり、液晶ガラス基板をこの2股に分かれた部分に載置可能である。大気雰囲気側となる円筒筐体3には制御基板が格納されている。
アーム部10、20は、同軸に配置されたハブ4、5、6上に設置されている。ハブ4、5、6は、同軸のインハブ型のモータが3段に連なった構成となっており、制御基板により旋回制御される。アーム部20は、アーム部10が前後進する際に、後退したままアーム部10に対して垂直方向に旋回する。 （もっと読む）

【課題】把持部を上下動させるための機構を構成する部材のアームからの突出長さを短縮する。
【解決手段】把持部を配設する昇降部材５を、テレスコープ状の直線移動支持機構９の第２の単位可動部材１５の下端部寄りに取り付ける。また、昇降用モータ１９の回転を直線移動支持機構９の第１，第２の単位可動部材１４，１５を直線移動に変換させるための機構をラック・ピニオン機構２０とし、そのピニオン２２とラック２３との接触伝導部分をアーム４の下端寄りに位置させる。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下で加熱された板状ワークを搬送する場合において、当該ワークからの熱による不都合を解消ないし低減する。
【解決手段】搬送装置Ａは、固定ベース１と、固定ベース１に対して旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持され、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含んで構成された直線移動機構３と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持され、直線移動機構３の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂとを備える。ハンド４Ａ，４Ｂとガイドレール３２Ａ，３２Ｂとの間には熱反射板８が設けられる一方、固定ベース１および旋回ベース２には、固定ベース１側と旋回ベース２側とを常に連通させる空間５０２，６０２を含んで構成された冷媒循環路が設けられている。上記冷媒循環路は、上記熱反射板８に接するように取り回された冷却管７１，７３，７４，７６を含む。 （もっと読む）

【課題】移動距離を延長しても、直線移動機構全体の重量化、および旋回動作による慣性力の増大を適切に回避する。
【解決手段】搬送装置Ａ１は、固定ベース１と、垂直状の旋回軸線Ｏｓ周りに旋回可能な旋回ベース２と、旋回ベース２に支持された直線移動機構３と、直線移動機構３に支持され、ワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド４Ａ，４Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４からの駆動力を直線移動機構３に伝達するための伝動軸２５，２６とを備える。直線移動機構３は、水平軸線Ｏ１周りに回転可能な駆動プーリ３３５、および、垂直面内に沿うように駆動プーリ３３５に掛け回され、移動行程の平行線に沿って往復動する出力ベルト３３７を含んで構成された駆動機構３３Ａ，３３Ｂと、出力ベルト３３７に連結されたハンド４Ａ，４Ｂを移動可能に支持するガイドレール３２Ａ，３２Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】各アームを独立して動作させるとともに、各アームの上下方向の座標位置を同じにして、ワークの搬送時間等を短縮することができる産業用ロボットを提供する。
【解決手段】基台部１００側からアーム部２及びハンド部３の順で連結され、そのハンド部３を所定方向に向けながら伸縮自在に動作するアーム１０を２つ以上有する産業用ロボットであって、アーム１０Ａ，１０Ｂそれぞれは、アーム伸縮軸２Ａ，２Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを伸縮させるアーム伸縮用駆動源４Ａ，４Ｂと、アーム旋回軸３Ａ，３Ｂを回動中心としてアーム１０Ａ，１０Ｂを旋回させるアーム旋回用駆動源５Ａ，５Ｂと、ハンド部１２の上下方向の座標位置Ｐ１，Ｐ２をほぼ同じにする連結部材１３Ａ，１３Ｂとを備えるように構成して、上記課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】据え付け時などにおいて取り扱いが容易な搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、固定ベース１に対して鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に搭載されたガイド部材３と、旋回ベース２ないしガイド部材３に支持された直線移動機構４と、直線移動機構４に支持され、ワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド５Ａ，５Ｂと、軸線Ｏｓに沿って配置され、固定ベース１内のモータＭ３，Ｍ４の駆動力を直線移動機構４に伝達するための伝動軸２６，２７とを備えた搬送装置Ａ１であって、旋回ベース２は上下に分離可能に連結されたハウジング２２と円筒軸２１とを備え、ハウジング２２には軸線Ｏｓ周りに回転可能に支持された連結部材６１，６２が付属させられており、連結部材６１，６２には伝動軸２６，２７に対して上方から係合される係合部材７１，７２が着脱可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】移動にかかるエネルギー消費量を節約するのに好適な脚車輪型ロボット及び脚車輪装置を提供する。
【解決手段】脚車輪型ロボット１００は、基体１０と、基体１０に自由度を有して連結され脚車輪装置１１を含んで構成される脚部１２と、脚部１２の股関節部を形成する脚駆動機構部１６と一体的に設けられた車輪２０と、脚部１２を駆動するための動力を付与する関節モータ４０と、車輪２０の近傍に設けられ、車輪２０を駆動するための動力を付与する車輪モータ５０とを備え、車輪モータ５０の制御により行う車輪２０のみを用いた移動制御において、関節モータ４０への駆動電力の供給を断ち、関節モータ４０の制御により行う脚部１２のみを用いた移動制御において、車輪モータ５０への駆動電力の供給を断つ。 （もっと読む）

【課題】昇降動作のストローク量を大きく確保するとともに装置全体の高さを低く抑えることができる、低床型の搬送装置を提供する。
【解決手段】固定ベース１と、旋回ベース２と、この旋回ベース２を固定ベース１に対して昇降させる昇降機構３と、旋回ベース２を鉛直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回させる旋回機構と、旋回ベース２に支持された直線移動機構５と、直線移動機構５に支持され、直線移動機構５の作動によりワークＷを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンド６Ａ，６Ｂとを備えた搬送装置Ａであって、昇降機構３は、固定ベース１に対してテレスコピック状に伸縮するように組み合わされた２段の昇降部材３１，３２と、各段の昇降部材をその下位段の部材に対して昇降させる第１および第２の昇降駆動機構３３，３４と、を備えて構成されており、かつ、旋回ベース２は、最上位段の昇降部材３２に支持されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、配管を取り外すことなく、配管内面を精度良く正確に移動可能で、配管内の洗浄、点検、検査、予防保全、補修などの作業について、配管を損傷させることなく、安全、確実に実施する。
【解決手段】配管２の内側から各種作業を行う。配管内作業装置１は、走行駆動部３ａ、３ｂと、作業装置５と、回転支持機構部９ａ、９ｂと、連結機構６と、吊り下げ装置８ａ、８ｂと、を備え、走行駆動部３ａ、３ｂを配管２の内面に挿入可能とし、これら走行駆動部３ａ、３ｂによって作業装置５をこの配管２の内面に沿って円周方向に移動可能に構成したものである。 （もっと読む）

【課題】アイドラプーリを使用せずに簡単な構成でベルトのテンションを調整することができ、テンション調整部の省スペース化や軽量化を実現できるベルト伝動装置を提供する。
【解決手段】１対の回転軸に第１プーリ、第２プーリを配置し、第１の有端ベルトの一端を調整ブロックを介して第１プーリの外周上側に、他端を第２プーリの外周上側に取り付ける。第２の有端ベルトの一端は第１プーリの外周下側に、他端は第１のベルトの巻き掛け方向と逆にして第２プーリの外周下側に取り付ける。第１プーリには調整ブロックの取り付け部に案内部とネジ穴を設ける。ネジ穴へ挿入できるテーパ部を有するテンション調整ネジをねじ込むことによって、調整ブロックを案内部に沿って位置を調整し、第１と第２ベルトの両方のテンションを調整する。調整後はテンション調整ネジを取り外す。 （もっと読む）

【課題】ロボットの屈伸動作時や膝関節を屈曲させた姿勢時等にもバランスを維持する。
【解決手段】モータ２０の本体を大腿リンク１０と一体に回動する第１膝部プーリ１２に接続し、モータ軸２０１を下腿リンク１５と一体に回動する第２膝部プーリ１７に接続する。第１膝部プーリ１２と足首関節部５に設けた足首部プーリ１３との径比は１：２で両者にはベルト１４が巻掛けられ、第２膝部プーリ１７と股関節部３に設けた股部プーリ１８との径比も１：２で両者にはベルト１９が巻掛けられる。モータ２０を作動させ両リンク１０、１５間の相対的な回転位置関係を変えると、膝関節部３の回動と股関節部３及び足首関節部５の回動が連動し、足部６と胴体部１とは互いに同じ姿勢を保って互いに近付くように動作する。このため、床面上で膝曲げを行っても胴体部１は直立姿勢を維持したまま下降し、胴体部１による重心はほぼ鉛直下方に作用するためバランスを崩しにくい。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の保持対象物の往復運動方向の位置精度を高めることができる保持アームを提供する。
【解決手段】 第１の腕要素(20)が、第１の回転中心(10)を中心として、回転可能に支持され、先端に第２の回転中心(11)を画定する。第２の腕要素(60)が、第２の回転中心を中心として、第１の腕要素に対して回転可能に支持され、先端に第３の回転中心(12)を画定する。伸縮用駆動力発生機構(57)が、第１の腕要素に対して第２の腕要素を回転させる。伸縮用駆動力発生機構によって、第２の腕要素が第１の角度だけ回転したとき、第１の腕要素が、第２の腕要素の回転方向とは反対方向に、第１の角度の１／２の角度だけ回転する。保持部材(80)が、第３の回転中心を中心として、第２の腕要素に対して回転可能に支持される。第１及び第２の腕要素の姿勢を変化させたとき、保持部材が並進移動する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】
第１及び第２の各平行リンク機構の連結部に設けられたベルト伝動機構を構成する一対のベルト体の張力調整を容易にすることである。
【解決手段】
第１及び第２の各平行リンク機構ＬＤ₁ ，ＬＤ₂ が中間リンク台Ｅで連結されて、当該中間リンク台Ｅを構成する上下一対の中間リンク板５が左右一対の中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bで連結されて、当該中間連結軸Ｓ₃a, Ｓ₃bに支持された左右一対の各プーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ に互いに逆方向の第１及び第２の各ベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ が部分巻回されて、中間リンク台Ｅにおいて第１平行リンク機構ＬＤ₁ の正逆両方向の回動力を第２平行リンク機構ＬＤ₂ に伝達させる構成の物品の直線搬送装置において、前記一対のプーリ体Ｐ₁,Ｐ₂ の一方を軸方向に二分割して、各分割プーリ体Ｐ₁a, Ｐ₁bに対して前記一対のベルト体Ｖ₁,Ｖ₂ の一端部をそれぞれ固定した構成とする。 （もっと読む）

【課題】構造の簡略化を図るとともに汎用性の高い作業補助装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る作業補助装置Ａ１は、支持ベース１と、支持ベース１に対してＺ軸方向に伸縮するＺ軸駆動機構２と、Ｚ軸駆動機構２に対して基端部が接続され、この基端部に対して先端部がＸ軸，Ｙ軸方向に沿って揺動する揺動駆動機構３と、上記先端部に接続され、ＸＹＺ方向に操作可能な操作部材４と、操作部材４のＸＹＺ方向の操作力を個別に検出する操作力検出手段５と、操作力検出手段５からの情報に基づきＺ軸駆動機構２および揺動駆動機構３を操作部材４の操作方向への移動を支援するように制御する制御手段とを備える。また、揺動駆動機構３は、上記基端部に対して上記先端部がＸ軸に沿って揺動可能な第１のパンタグラフ機構と、上記基端部に対して上記先端部がＹ軸に沿って揺動可能な第２のパンタグラフ機構との複合パンタグラフ機構によって構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は上下移動軸からの発塵による基板の汚染を防止するとともに、生産性を向上させた液晶用のガラス基板や半導体ウェハ等の薄板状のワークをストッカに出し入れする多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部（８）と、前記ハンド部（８）と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節（３）、（４）、（５）を備え、前記ハンド部（８）を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム（１）と、前記多関節アーム（１）と上下に移動する移動機構（１１）とを連結する支持部材（１０）と、前記移動機構（１１）に備えられた旋回機能を有する台座（１３）とからなる多関節ロボット（１）において、前記移動機構（１１）は、前記ハンド部（８）の移動方向と同方向にコラム（１２）が配置され、前記移動機構（１１）に配置された支持部材（１０）は、前記ハンド部（８）の移動方向に直交する方向に突出し、前記多関節アーム（２）と連結されたものである。 （もっと読む）

【課題】ワークストック等の搬送元、搬送先の装置の出し入れが狭い環境であっても、迅速、確実にワークを搬送する半導体製造用搬送装置を提供する。
【解決手段】駆動部を格納する本体部２と、回動中心３０、４０、５０を中心として水平方向に回動自在に取り付けられた第１アーム３、第２アーム４、第３アーム５と、ワークを吸引する吸引口６４，６５を設けた爪６２、６３を有するハンド部６と、開口部５１内にハンド部後端６１を支持するスライド部とを備え、ワークストックの棚に差し込んだワークを出し入れする。また、ワーク検出センサ５２を備え、ハンド部６が第３アーム５へ後進したときにワークの有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】 高真空状態下において、半導体基板等を複数の処理チャンバーにおいて効率よく搬送でき、プロセスチャンバーのフットプリントを大幅に縮小可能な基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 真空環境２内に、回転駆動軸Ｒ₄回りに旋回可能な第１アーム１３０と、第１アーム１３０に対して所定角度で回動する第２アームと、第２アームの先端で基板を把持可能なツインハンドとが配置された基板搬送装置であって、第１アーム、第２アーム、及びツインハンドを駆動する複数の駆動モータ２１，２２，２３，２４の駆動力を同軸配置された複数の各回転駆動軸Ｒ₁，Ｒ₂，Ｒ₃，Ｒ₄にそれぞれ伝達する伝達ベルト４０，４１，４２，４３により、第１アーム１３０、第２アーム、及びツインハンドは、第１アーム１３０が旋回中心点として旋回し、第２アームとによるアーム伸縮により所定位置に移動し、ツインハンドがチャンバー間での基板の受け渡しを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドが半導体チップの上面に接触する高さ位置を、簡単な構成で高精度に求めることができるハンドラのティーチング方法及びハンドラを提供する。
【解決手段】吸着パッドを検査用ソケットに配置されたＩＣチップに向かって下動させるとき、吸着パッドからエアーを噴射させながら下動させる。そして、検査用ソケットにＩＣチップの上面に接触するとき、吸着パッドから噴射しているエアーが、ＩＣチップにて塞がれるようにした。従って、エアーの噴射が塞がれることにより、吸引管内のエアーの圧力の上昇を圧力検出センサが検出することによって、吸着パッドが検査用ソケット内のＩＣチップに接触する高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】不整地等の環境の好ましくない床面上を歩行可能な脚式の歩行ロボットにおいて、歩行に要する消費エネルギーを可及的に抑制するとともに、ロボットの安定性を確保する。
【解決手段】複数のリンク部材と該リンク部材の各々を連結する関節部とで構成される脚を少なくとも三本有し、該脚の駆動により床面上の歩行を行う歩行ロボットであって、脚６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃが接続される胴体部６０１と、脚の関節部を駆動する駆動手段と、胴体部に設けられ、床面と接触し該胴体部を支持可能とする支持部６０ａ、６０ｂ、６０ｃと、駆動手段によって脚の関節部を駆動して床面の歩行を行うとともに、該歩行のサイクルにおいて支持部により胴体部が支えられる状態を所定割合迎えるように脚の駆動を行う歩行制御手段と、を備える。 （もっと読む）