【課題】省スペース化と高スループット化を図ったウェーハ搬送ロボットを提供する。
【解決手段】昇降可能な支持台２００と、支持台上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第１アーム部２０１と、その他端部上に一端が軸支され水平方向に旋回可能な第２アーム部２０２と、第１アーム内に設けられ、第１及び第２アームを旋回させアームの最大移動範囲内の任意の位置に停止させるアーム駆動機構２２１，２２２とで構成される水平多関節ロボット２２０と、第２アーム部の先端上に軸支され、水平方向に旋回可能な互いに対称的に配置された２つの機械式リンクアーム２４１，２４２と、その先端にそれぞれ設けられウェーハを保持するエンドエフェクタ２０８，２０９とを有する水平多関節機械式ダブルリンクアーム２４０とを備え、機械式リンクアームを旋回させる旋回機構が前記第２アームの内部に設けられ、エンドエフェクタは、互いに間隔をおいて上下に配置した。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドに生じた摩耗や位置ずれを自動的に検知する吸着装置を提供する。
【解決手段】吸着パッド１０の基準位置Ｌ_０における吸着力Ｆ１を吸着センサ３０が測定し、測定された吸着力Ｆ１が閾値ＴＨより小さいと判定部４２が判定した場合には、駆動部２０が吸着パッド１０を昇降方向または交差方向に所定の変位量を変位させ、変位した位置（変位位置Ｌ_Ｄ）における吸着パッド１０の吸着力Ｆ２を吸着センサ３０が測定するとともに、吸着力Ｆ２が閾値ＴＨより大きいと判定部４２が判定した場合の変位量ΔＬを取得する機能を有する制御部４０を備える吸着装置１００。 （もっと読む）

【課題】２本の駆動用回転軸を回転駆動させるための各モータユニットが、両駆動用回転軸共通の回転中心軸方向における同一位置に設けられた回転駆動装置における駆動用回転軸が短く、小型化及び軽量化を図れることを利用し、装置を大型化することなく、設計上及びコスト上の負担の少ない上下移動機構を有する回転駆動装置を提供すること。
【解決手段】駆動用回転軸１１７，１２７の下方に、前記回転中心軸の延長線上に中心軸を有する昇降軸１３９の昇降により前記駆動用回転軸１１７，１２７を同時に上下に移動させる上下移動機構を配置する。 （もっと読む）

【課題】アームの質量及び慣性を低減可能として、アームとしての応答性能や位置決め精度を高く維持することのできるスカラロボットの手首軸回転駆動機構を提供する。
【解決手段】手首軸１６にはそれを回転させるためのスプライン溝１６ｓが形成されている。手首軸１６の挿通されるスプラインナット２２は、固定筒２２ａと回転筒２２ｂからなり回転筒２２ｂが回転されると、スプライン溝１６ｓに嵌合されるベアリングを介して手首軸１６が回転される。回転筒２２ｂには第３モータＭ３の駆動力が回転動力の伝達機構により伝達される。すなわち第３モータＭ３からの回転動力が、基端側プーリ２３からタイミングベルト２６を介して先端側プーリ２５に伝達され、同プーリ２５に連動するピニオンギア２７に噛合されるシザーズギア２８から回転筒２２ｂに伝達される。これにより、第３モータＭ３の正逆回転により手首軸１６が正逆回転されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】ウエーハのノッチの位置合せを実行することができ、かつ、径の異なるウエーハを搬送した場合でも、ウエーハ処理装置に対するウエーハの中心位置を位置合せすることができる半導体ウエーハ搬送用ハンドを提供する。
【解決手段】容器からウエーハＷを取り出し、ウエーハＷを処理する処理装置に搬送する半導体ウエーハ搬送用ハンド１０であって、ハンド部材本体１２と、ハンド部材本体１２に対して移動可能なハンド部材１４と、ハンド部材１４に対して移動可能な保持部材３６と、ウエーハＷと接触する第１回転部材２４と、第１回転部材２４と共にウエーハＷを回転させる第２回転部材５６と、第１回転部材２４と第２回転部材５６が相互に離間する方向又は相互に接近する方向に沿って同じ距離だけ移動させる移動手段と、ウエーハＷのノッチを検出するノッチ検出手段と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成と省スペースを実現できるダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物２，３が載置されるハンド部２３，３３、各々が関節部で回動可能に連結された複数のアーム２１，２２，３１，３２を有し、ハンド部２３，３３がアーム２２，３２の一端に関節部で回動可能に連結される、第１及び第２の多関節アーム１１，１２と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の一端が、基端の関節部によって各々回動可能に連結されるアーム支持部１３と、アーム支持部１３の一端を鉛直方向に移動可能に保持し、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部で回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２における基端の関節部以外の関節部での回動を行わせる第１及び第２の関節回動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】ベルト１１１の張力を調整可能なテンション調整機構を有する水平多関節ロボットにおいて、テンション調整機構が、ベルト１１１に接触して張力を与えるアイドラ１３１と、アイドラ１３１を支持するとともにアームに対して第１支点１１９で回転可能に設けられたリンク１１８と、アームに対して第２支点１１７で回転可能に設けられ、リンク１１８の一部に接触するローラと、を備え、アームの温度上昇に伴って第１支点１１９と第２支点１１７とが離れると、リンク１１８がローラ１１７に接触しながら第１支点１１９で回転して張力を軽減するようにした。 （もっと読む）

【課題】 プーリの熱膨張による軸間距離が長くなりベルトのプーリ間の軸間距離が伸びる。これによる伝達ベルトの張力が過大からくるアームの反りや、ベルトの伸びや破断を引き起こさないようにする。
【解決手段】 各テンションプーリ２３とそれを取り付ける固定ベース５１の間に、テンションプーリ２３を支持するプレート２６を介在させ、プレート２６は熱膨張率が各々異なる支持板Ａ５５と支持板Ｂ５６を張り合わせることにより形成する。熱膨張時のバイメタル効果によりプレート２６が曲がってテンションプーリ２３の位置を変位させることにより、伝達ベルト２４の張力の増減が相殺されてベルト張力を一定に保つ。 （もっと読む）

【課題】減速機などの伝達系を用いた搬送装置における異常検出で、減速機の２次側にベルトやプーリを介す水平多関節ロボットのように、負荷側の状態がモータエンコーダに反映されにくいような機構において精度よく異常が検出できなかった。
【解決手段】エンコーダ２０２から得られた回転角度からモータ部フィードバック加速度４１２を求め、さらにエンドエフェクタ部に搭載された加速度センサからエンドエフェクタ部フィードバック加速度４１４を求め、さらにエンドエフェクタの位置指令４０７からエンドエフェクタ部加速度指令４０８を求め、これらの差分を用いることによって、伝達系の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板の一括搬送および１枚の基板の枚葉搬送の切換えに要する時間を短縮することができ、構成も簡略化できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】搬出入機構４は、複数枚の基板Ｗを積層状態で一括して保持するバッチハンド４０と、このバッチハンド４０を進退させるバッチハンド進退機構と、１枚の基板Ｗを保持する枚葉ハンド３９と、この枚葉ハンド３９を進退させる枚葉ハンド進退機構と、バッチハンド進退機構および枚葉ハンド進退機構を保持する保持ベース４１と、保持ベース４１を上下動させる昇降ブロック４３と、前記保持ベース４１を鉛直方向に沿う旋回ブロック４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材と、支持部材を上下動させる上下駆動機構と、上下駆動機構を制御する制御部８０とを備えている。上下駆動機構は、２台の駆動用モータ２０を備え、制御部８０は、２台の駆動用モータ２０を制御するモータ制御部８１を備えている。モータ制御部８１は、一方の駆動用モータ２０と、他方の駆動用モータ２０とを個別に制御している。 （もっと読む）

【課題】大型化する搬送対象物を搬送する場合であっても、小型化が可能で、かつ、コストを低減することが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが連結されるアームと、アームを支持する支持部材とを備えるとともに、支持部材を上下動させる上下駆動機構、および支持部材を水平方向に移動させるための水平駆動機構、および上下方向を軸方向とする所定の中心軸を中心に前記支持部材を回転させるための回転駆動機構を備え、前記上下駆動機構、前記水平駆動機構、前記回転駆動機構は、それぞれ複数の駆動用モータを備える。例えば上下駆動機構においては、上下駆動用モータ２０、プーリ２８，２９とベルト３０、上下ブレーキ機構２４、減速機２１、減速機の出力軸に設けられたピニオン２２をそれぞれ２組有し、１本のラックに２個のピニオン２２が噛み合い駆動する。 （もっと読む）

【課題】ロボットのアーム駆動装置において、モータの回転をアーム側に伝達するベルト伝動機構のベルトが切れても、アームが不用意に回転することのないようにする。
【解決手段】駆動プーリ１４および従動プーリ１５とは別に、モータの回転軸１７および減速装置の入力軸１８にそれぞれ歯付きプーリからなる補助プーリ１９，２０を取り付け、これら両補助プーリ１９，２０間に歯付きベルトからなる補助ベルト２２を緩んだ状態にして掛け渡す。伝動ベルト１６が切れると、補助ベルト２２の歯２２ａが補助プーリ１９の歯１９ａおよび補助プーリ２０の歯２０ａと噛み合って回転軸１７と入力軸１８との間を動力伝達状態にする。 （もっと読む）

【課題】装置の近傍に基板を搬送したときに、基板の下方にスライダベースが存在しないようにすることができる基板搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基板搬送装置１であって、本体部１０に支持された第一スライダベース２０と、第一スライダベース２０の第一ガイドレール２２に沿って移動自在な第二スライダベース３０と、第二スライダベース３０の第二ガイドレール３２に沿って移動自在なハンド部材４０と、第二スライダベース３０に連動してハンド部材４０を移動させる連動機構５０とを備え、連動機構５０は、第二スライダベース２０に連動して回転する第一連動ギヤ５１と、第一連動ギヤ５１に対してギヤ比が小さい第二連動ギヤ５３とを備え、第二スライダベース２０に第一連動ギヤ５１及び第二連動ギヤ５３が取り付けられ、第一連動ギヤ５１に連動する第二連動ギヤ５３によってハンド部材４０が送り出される。 （もっと読む）

【課題】３次元空間的上で広い可動範囲に亘ってリンクの関節点におけるモーメントを補償する補償機構を容易に実現することができるマニピュレータを提供する。
【解決手段】ベースリンク３と、ベースリンク３の一端に第１の回転軸を有する第１の関節点Ｓ_１を介して他端が接続された中継リンク４と、中継リンク４の長手方向に平行な第２の回転軸を有する第２の関節点Ｓ_２を介して中継リンク４の一端に接続された２自由度平行リンク構造からなる第１乃至第４のアームリンク６，７，８，９を有するアーム部５とを備え、第１の関節点Ｓ_１における第１の回転軸及び第２の関節点Ｓ_２における第２の回転軸回りの、第１のアームリンク６と第２のアームリンク７と第４のアームリンク９のモーメントの釣り合いが取れている。 （もっと読む）

【課題】 関節を駆動するためのアクチュエーターの数を最小化できる構造のロボット用関節駆動装置及びこれを備えたロボットを提供する。
【解決手段】 正・逆回転可能に設けられた駆動モーターと、前記駆動モーターと結合され、前記駆動モーターの回転によって相互対向する方向に直線運動する一対の移動部材と、両端が前記一対の移動部材にそれぞれ連結されたワイヤーと、前記ワイヤーに巻かれ、前記ワイヤーの運動によって駆動される関節部とを含む。 （もっと読む）

【課題】様々な形状および寸法の物品を安定把持できるロボット用把持ハンドを得る。
【解決手段】ロボット用把持ハンドは、物品を受け入れ得る開口部を持つベースと、ベース上で回転可能に支持され、中心軸心に沿って延びて中心軸心と同心のピッチ円上で互いに等角度離間して配置され、回転駆動される３つの回転軸と、回転軸に取り付けられて、解放位置あるいは間に物品を把持する把持位置に可動の把持指とを備え、回転軸および駆動装置が開口部に受け入れられる物品と干渉しない位置に配置されている。
【効果】様々な形状および寸法の物品を安定して把持できる。 （もっと読む）

【課題】 歩行ロボットのピッチ方向股関節及び膝関節の駆動構造を改善することで、制御メカニズムが簡単であり、歩行時に脚から発生する慣性力を減少させ、より小さい出力でより自然な歩行が可能な歩行ロボットを提供する。
【解決手段】 胴体及び前記胴体に連結される複数個の脚を含む歩行ロボットにおいて、前記各脚のうち少なくとも一つの脚は、大腿リンクと、前記大腿リンクの下部に設けられる下腿リンクと、前記胴体と前記大腿リンクとを連結し、前記胴体に対して前記大腿リンクをピッチ方向に回動させるピッチ方向股関節と、前記大腿リンクと前記下腿リンクとを連結し、前記大腿リンクに対して前記下腿リンクをピッチ方向に回動させる膝関節とを含み、前記ピッチ方向股関節と前記膝関節は、互いに連動されて一つの連動アクチュエーターによって駆動されることを特徴とする歩行ロボットを構成する。 （もっと読む）

【課題】 人間の多様な動作とジェスチャーを自然に摸倣できるようにした人間型ロボットとその肩関節アセンブリーを提供する。
【解決手段】 この人間型ロボットは、胴体と腕との間に配置されて腕を動かす第１肩関節装置を備える。第１肩関節装置は、胴体に対して全体として相対運動でき、このために、胴体と第１肩関節装置との間には第１肩関節装置を動かすための第２肩関節装置が設置されることができる。 （もっと読む）

【課題】アーム機構部の旋回及び伸縮を可能とする各モータの配線ケーブルに折れ曲がりやねじれなどの変形が生じるのを防止する。
【解決手段】第１及び第２のアームとハンドとを有するアーム機構部１００と、該アーム機構部を昇降させるための昇降機構部２００と、アーム機構部を伸縮動作させるための伸縮機構部３００と、アーム機構部を旋回動作させるための旋回機構部４００と、固定フレーム５００とを有するワーク搬送用ロボットであって、昇降機構部２００は、固定フレーム５００に固定された昇降用モータ２２０を有し、伸縮機構部２００は、固定フレーム５００に固定された伸縮用モータ３１０と、該伸縮用モータの駆動力をアーム機構部１００に伝達する第１スプライン軸３５０とを有し、旋回機構部４００は、固定フレーム５００に固定された旋回用モータ４１０と、該旋回用モータの駆動力をアーム機構部１００に伝達する第２スプライン軸４３０とを有する。 （もっと読む）