【課題】使用目的・使用状況に応じ剛性を任意に構成可能な駆動機構とそれを用いた柔軟関節機構を提供する。
【解決手段】駆動基盤本体に固定された二台のサーボモータとアームに固定されたプーリとの間を、複数の弾性体を束ねてなる負荷変位特性生成部１０１３を介して接続し、拮抗機構を構成する。複数の弾性体は例えばゴムであって、長さを異ならせることによって、サーボモータで引張したときに伸び始める点、すなわち発火点が異なるようにする。二台のサーボモータを反対方向に駆動すればプーリが回転し関節が回転する。同一方向に駆動すればプーリすなわち関節は回転しないが負荷変位特性生成部が伸縮し、プーリすなわち関節の回転剛性を可変できる。弾性体が複数あることから負荷変位特性は折れ線とすることができる。 （もっと読む）

【課題】ワークの搬送効率をより向上することができるチャック装置を提供すること。
【解決手段】チャック装置１は、チャック部１０〜５０を備える。チャック部１０は、３つのチャック１１を支持する支持板１２が連結部材１３によりギア１４と連結されてなる。支持板１２は、側板６２にＹ方向に沿って上下に移動自在に支持されている。駆動側のギア８２の回転によりギア８７が回転すると、クランク機構である連結部材１３により回転運動が直線運動に変換され、支持板１２が上下に往復運動し、チャック１１も上下に往復移動する。チャック部２０〜５０も同様である。チャック装置１は、隣り合うチャック部同士の往復方向における位置にずれが生じるように構成されている。例えば、チャック部２０が前進すれば隣のチャック部１０が後退する動作を行う。これにより隣り合うチャック部の間隔を広げなくてもチャックの数を増加してワークの搬送効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの搬送ハンドを小型、軽量化し、さらに１つのハンドで異なるウェーハ口径でも、ウェーハの撓みや位置ずれを生じさせない最適な吸着位置を選択してウェーハを保持し、ウェーハを目的位置に搬送することができるハンドを提供する。
【解決手段】ウェーハを搬送するウェーハ搬送ロボットのアームに取り付けられ、ウェーハを吸着保持するための真空吸着穴が設けられたフォークを備えるウェーハ搬送ロボット用のハンドにおいて、フォークは、フォーク長手方向を回転軸として自転可能に設けられ、上面がウェーハを保持する保持面を構成し、各保持面には少なくとも１つの真空吸着穴が互いに異なる位置に設けられている構成とした。 （もっと読む）

【課題】上下軸の雰囲気と外環境とをジャバラにより隔離して当該雰囲気の外環境への流
出を抑制する上下軸を、ジャバラによる隔離を維持しつつ、より高速な上下動に対応させ
ることのできるスカラーロボットを提供する。
【解決手段】スカラーロボットには、支持軸１４に回動可能に設けられた第２のアーム１
５に、第２のアーム１５に貫通支持して第２のアーム１５に対して少なくとも軸線方向に
移動させる上下回転軸１６と、上下回転軸１６を外環境と隔離させるジャバラ１９，２０
とが設けられている。上下回転軸１６の下端部１７と第２のアーム１５の下部との間に設
けられる下側ジャバラ２０内の雰囲気を、上下回転軸１６の上昇に伴い下側ジャバラ２０
が収縮するとき下側ジャバラ２０の外環境に流出させずに第２のアーム１５の内部に流入
させるように下側ジャバラ２０内と第２のアーム１５内とを連通させる連通路３０を備え
る。 （もっと読む）

【課題】高剛性で耐熱性もある真空環境内に適した真空ロボットのアーム構成を提供すること。
【解決手段】内部に気密な空間を有するアームベース８と、アームベース８内に設置されたアーム駆動用モータ９と、アーム駆動用モータ９によって回転する中空の減速機シャフト３１と、減速機シャフト３１の回転が入力されて所定の比だけ減速し、減速機シャフト３１の周囲で回転する第１減速機出力軸３２と、からなり、アームベース８内に減速機シャフト３１の下端が露出するよう設置された第１減速機１０と、中空の減速機シャフト３１の上端が侵入することでアームベース８の気密な空間と同圧となる気密な空間を有し、かつ第１減速機出力軸３２に固定される第１アーム２と、第１アーム２の先端に設置され、入力軸が減速機シャフト３１と接続された第２減速機１５と、第２減速機１５の出力軸に固定され、内部に気密な空間を有しない第２アームと、第１アーム２と第２アーム５とに追従するリンク機構と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】人型歩行ロボット用脚において、人の脚、特に女性の脚に近いスリムなプロポーションを実現することにある。
【解決手段】下腿8の上部に配置したモータ13aと直線駆動機構13bとをベルト式伝動機構13dで駆動結合し、下腿8下部に配置したモータ14aと下腿8の左右方向へ延在する中間軸14bとをベベルギヤ組14cで駆動結合し、下腿8に軸線P4周りに揺動可能に支持した関節部材11cに足9を軸線R3周りに揺動可能に支持し、軸線R3上に同軸型減速機14dを配置してその出力要素を足9に結合し、関節部材11cの、軸線P4上から外れた部位と直線駆動機構13bの出力要素13fとをリンク部材13hで連結し、関節部材11cの、軸線P4上の位置に回動可能に支持した中間軸14eと、中間軸14bとをベルト式伝動機構14hで駆動結合し、同軸型減速機14dの入力要素と中間軸14eとをベベルギヤ組14iで駆動結合する。 （もっと読む）

【課題】可搬重量の低下及び動作スピードの低下を抑制しつつ小型化することができるローダ装置を提供する。
【解決手段】第１の方向に沿って延びる動力伝達軸４には、外周面に螺旋状の螺子溝及び第１の方向に沿って延びるスプライン溝が形成されている。動力伝達軸４に螺合されたボールねじナット７は、第１駆動モータ３１から伝達された回転運動をねじ作用により動力伝達軸４の第１の方向の直線運動に変換する。動力伝達軸４に装着されたボールスプラインナット８は、第２駆動モータ４１から伝達された回転運動を動力伝達軸４に伝達して動力伝達軸４を該動力伝達軸４の中心軸線Ｌ２回りに回転させる。チャック６６が連結された動力伝達ベルト６４は、第１の方向に沿って動力伝達軸４と一体移動可能であるとともに、動力伝達軸４から伝達された動力伝達軸４の中心軸線Ｌ２回りの回転運動を第２の方向の直線運動に変換してチャック６６に伝達する。 （もっと読む）

【課題】ベルト駆動装置やロボットの動作性能の低下を防止するとともに、ロボットのメンテナンス時期を通知することを課題とする。
【解決手段】ベースに対して回転可能な駆動プーリ７と従動プーリ８との間に掛けられて一定の張力が維持されるベルト６と、駆動プーリ７を回転させるサーボモータ１１と、サーボモータ１１を制御するコントローラ１５と、張力を測定可能なロードセル１０と、を少なくとも備えたベルト駆動装置において、コントローラ１５が、ロードセル１０の測定結果からベルト６の固有振動数を算出する自動設定部１５５を備え、測定結果が問題の無い張力であったとき、サーボモータ１１を駆動するモータ駆動部１５２のノッチフィルタのカットオフ周波数として固有振動数を設定する。
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【課題】 多関節ロボットのリンクおよび関節に作用する力やモーメントを測定すること。
【解決手段】 本発明の多関節ロボットは、関節部に設けられ、駆動力発生側の駆動軸および駆動力出力先のリンク１７４側の出力軸１７６それぞれに、軸心から離間した箇所で固定され、該箇所に作用する偶力に応じて弾性的に曲げ歪みを発生する歪み発生部材１９０と、歪み発生部材１９０に接して配置され、曲げ歪みを検出する歪みセンサとを含む。測定制御手段は、関節部の軸まわりに発生する負荷トルクを歪みセンサの出力値から算出し、仮想仕事の原理に従って関節部の負荷トルクからリンクに作用する力に換算する演算手段を含む。 （もっと読む）

【課題】２本のアームを個別に伸縮させることが可能であっても、２本のアームの伸縮動作や本体部に対する回動動作を安定させることが可能な産業用ロボットを提供すること。
【解決手段】第１アーム５は、第１アーム部１１と、第１アーム部１１に保持される第２アーム部１２とを備え、第２アーム６は、第３アーム部１３と、第３アーム部１３に保持される第４アーム部１４とを備えている。ロボット１では、第１アーム５と第２アーム６とを個別に伸縮させることが可能となっている。また、ロボット１では、第１アーム部１１の回動中心と第３アーム部１３の回動中心とは同軸上に配置されるとともに、第１アーム５と第２アーム６とは、第１アーム５および第２アーム６が縮んでいる状態で仮想線Ｌに対して略線対称になるように構成され、第１アーム部１１と第３アーム部１３と第２アーム部１２と第４アーム部１４とは、上下方向においてこの順番で配置されている。 （もっと読む）

【課題】
ストロークの大きな真空搬送装置であっても、適時にその駆動系を覆う容器の内部を真空排気出来る基板搬送装置を提供することを本発明の課題とする。
【解決手段】
本発明の係わる真空搬送装置は、内部を排気し得る第一の容器、前記第一の容器内に位置する内部を排気し得る第二の容器、前記第二の容器を一の方向に並進移動をさせる運動手段、排気手段と連通／遮断をするバルブ及び第一の容器に設けられた中空部分を有する第一の接合部、前記第二の容器に設けられた前記第一の接続部に対向する中空柱状体の突出部並びに前記中空柱状体の突出部の内側を移動可能で、前記第一の接合部に前記運動手段により接合可能な中空柱状体の部分を有する第二の接続部を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】塗装中に吹き付けの気流が乱れ、ロボット等の装置周辺を余分な塗料で汚染することを防止することが可能な被塗装物保持ロボットおよび塗装用ロボットシステムを提供する。
【解決手段】被塗装物保持ロボット１０は、固定されたベース部２０と、第１軸Ｊ₁を中心にベース部２０に対して旋回する細長状の第１アーム１１とを備えている。Ｌ字状の第２アーム１２は、第２軸Ｊ₂を中心に第１アーム１１に対して旋回し、細長状の第３アーム１３は、第３軸Ｊ₃を中心に第２アーム１２に対して旋回する。また第３アーム１３の先端１３ｂに、被塗装物Ｗを保持する第１保持部１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】手首部材を支持するアームをスリム化させた産業用ロボットの手首取付構造を提供する。
【解決手段】ロボットの第２アーム１４に手首部材１５を揺動可能かつ回転可能に配設する。手首部材１５の揺動機構は、手首部材１５と連結されると共に第２アーム１４に回転自在に配設された第１従動回転軸２２に軸支された第１歯車２１と、第１モータ６１と、減速機４０と、第１モータ６１の回転を減速機４０に伝達する第１ベルト６４と、減速機４０の出力側回転軸に軸支され第１歯車２１と噛合する第２歯車４１を有する。手首部材１５の回転機構は、第２モータ６６と、第１従動回転軸２２と同軸に配置された第２従動回転軸３１と、第２従動回転軸３１の回転をこれと直交する軸の回転に変換する傘歯車３５，３６と、第２モータ６６の回転を第２従動回転軸３１に伝達する第２ベルト６９を有している。第１ベルト６４と第２ベルト６９を同一面内で回転させる。 （もっと読む）

【課題】歯車間のバックラッシの調整を作業者の経験等に依存することなく簡単に行うことができる回転駆動機構の取付構造を提供する。
【解決手段】従動回転機構２０の第１歯車２１と、回転駆動機構の１種である減速機４０の第２歯車４１とを噛合させる際のバックラッシを調整する。フレーム５０の減速機取付部３０に、同一円周上に位置するように等間隔で複数のボルト挿通孔８０を形成し、減速機４０のケーシング４３にボルト挿通孔８０と連通するように第２歯車４１の回転中心に対して偏心した同一円周上に位置する複数のネジ穴７０を形成する。ネジ穴７０とボルト挿通孔８０とが連通するようにケーシング４３の取付位置を変更し、その際に第１歯車２１と第２歯車４１との間のバックラッシが所望の値となる状態を選び、ボルト挿通孔８０を通してネジ穴７０にボルト７５を螺合し、ケーシング４３を取り付ける。 （もっと読む）

【課題】ロボット本体およびアーム相互間の成す角度を各々光学的に正確に検出することにより、最終的な搬送位置のズレを生じさせないようにしたワーク搬送ロボットを提供する。
【解決手段】ロボット本体と、該ロボット本体に対して順次関節部を介して相対回動可能に連接された複数のアームと、該複数のアームの先端側アームに相対回動可能に取付けられたリストブロックと、上記複数のアームの各々を回動作動する連係手段と、上記連係手段を所定の連係関係で駆動する駆動手段とを備えてなるワーク搬送ロボットであって、上記ロボット本体および複数のアーム間の各関節部には、ロボット本体およびアーム相互の相対的な回転角度情報を示す角度情報表示部４２と、該角度情報表示部の角度情報を光学的に読み取る光学センサー５１とを設け、上記各関節部の連結軸を介して相互に相対回動するロボット本体およびアーム相互の実際の回転角を検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ピック＆プレースの作業が可能なものにあって、比較的簡単な構成でありながらも、部品供給部と部品組付部との間の途中部位の障害物を容易に乗越える。
【解決手段】Ｘ軸方向に水平に延びるＸ軸レール６の前面側に、移動体７を直線移動可能に設ける。移動体７の前面部に、回動アーム８の基端側を、Ｒ１軸を中心に回動可能に連結する。回動アーム８の先端側に、下端に作業用ツール１０を有する手首部９を、Ｒ２軸を中心に回動可能に連結する。回動アーム８内に、移動体７に対して回動アーム８を回動させるための、回動用モータ１６、減速機１７等からなる駆動機構１３を設ける。回動アーム８内に、手首部９の絶対的な向きを一定に保持するための、第１のプーリ１５、第２のプーリ２１、ベルト２２等からなる姿勢保持機構１４を設ける。 （もっと読む）

【課題】
複数のアームが連結されたアームユニットを備えた基板搬送ロボットにおいて、当該アームユニットの交換・組立、及び調整の作業性を高めることである。
【解決手段】
ベースＫに昇降可能に支持された昇降フレームＦと、当該昇降フレームＦ内に配置された駆動モータＭ₁ により旋回される基端アーム（第１アーム）Ａ₁ を含む複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ と、先端アーム（第２アーム）Ａ₂ 内に配置された駆動モータＭ₂ により旋回されるハンドＨ₁ ，Ｈ₂ とを備え、複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ のうち前記基端アーム（第１アーム）Ａ₁ を除く残りのアーム（第２アーム）Ａ₂ は、当該アームＡ₂ が旋回軸Ｓ₂ を介して支持されている手前側のアームＡ₁ 内に配置された駆動モータＭ₂ により旋回され、前記複数のアームＡ₁ ，Ａ₂ が連結されたアームユニットＵは、前記昇降フレームＦに対して着脱可能な構成の基板搬送ロボットであって、前記アームユニットＵは、前記基端アーム（第１アーム）Ａ₁ の駆動モータと一体となって、前記昇降フレームＦに対して着脱可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】
ダブルハンドロボットにおいて、下側に配された歯付ベルト伝動機構の組み立てと歯付ベルトの張力の調整を容易に行えるようにすることである。
【解決手段】
第２アームＡ₂ の床板部２における下側の減速プーリユニットＵ₂ が配置される部分は部分的に開口されて、当該下面部分開口３は下蓋体２１により閉塞される構成にして、下側に配置される減速プーリユニットＵ₂ の第２アームＡ₂ の長手方向Ｑに沿った固定位置を当該第２アームＡ₂ の下側から前記下面部分開口３を通して調整可能にすることにより、下側の減速プーリユニットＵ₂ の軸心Ｃ₄₁，Ｃ₄₂とハンド旋回軸３６，３７の軸心Ｃ₃ との軸心間距離Ｌ₁,Ｌ₂ を調整して、下側の歯付ベルトＶ₂₂の張力を調整可能な構成とする。 （もっと読む）

【課題】コンパクト且つ軽量化された手首構造を提供する。
【解決手段】手首構造１は、各々回動可能に設けられる基端側ケーシング１１と、可動ケーシング１６と、先端側ケーシング１１とを備える。基端側ケーシング１１と可動ケーシング１６とにＢ軸回りに可動ケーシング１６を揺動させるＢ軸用減速機構２４が架設され、可動ケーシング１６と先端側ケーシング１９とにＴ軸回りに先端側ケーシング１９を回転させるＴ軸用減速機構３５が架設され、基端側ケーシング１１と可動ケーシング１６とにＢ軸上に設けられた伝達軸３１によりＴ軸用減速機構３５の入力軸２４ａに回転駆動力を伝達する伝達機構３０が架設されている。可動ケーシング１６は、Ｂ軸用減速機構２４の入力軸２４ａ及び伝達軸３１の一端部を軸支する支持部２５を有する。 （もっと読む）

【課題】機能を維持しながらもより小型化することができるようにした、ロボット及び物品搬送システムを提供する。
【解決手段】アーム部材２３と、アーム部材２３を揺動させるアクチュエータ２２と、アーム部材２３の先端に設けられるハンド部材２４と、アーム部材２３とハンド部材２４とを回転可能に連結する関節部材と、アクチュエータ２２を支持し直線駆動するリニアアクチュエータ３と、アクチュエータ２２及びリニアアクチュエータ３を協働させての各ハンド部材を進退方向に直線移動させるコントローラとを有して構成する。 （もっと読む）