【課題】本発明はメンテナンスが容易な多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部８と、前記ハンド部８と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え、前記ハンド部８を１方向に移動するように伸縮し、上下方向に対向するように配置された多関節アーム２１、２２と、上下に移動するようにコラム１２に取り付けられた上下方向に移動する移動機構１１と前記多関節アーム２１、２２とを連結する支持部材１０と、前記コラム１２の下端部に連結され、前記コラム１２に取り付けられた前記多関節アーム２１、２２を旋回する台座１３とからなる多関節ロボットにおいて、前記台座１３を旋回させる減速機３７の出力軸３９の固定面が前記台座１３を支持する前記軸受４２の厚みの略中心に位置するものである。 （もっと読む）

ロボットは、リソグラフィ装置の真空チャンバ内で対象物を位置決めする。ロボットの第１コンポーネントは、並進軸に沿って対象物を位置決めするために真空チャンバ内に配置される。シャフトは、シャフトの対称軸が並進軸に対して垂直になるように第１コンポーネントを支持し、第２コンポーネントは、対称軸の周りでシャフトを回転させ、かつシャフトを対称軸に対して平行方向に移動させる。第２コンポーネントは、シャフトの外周面に沿ってガスを導入するように構成されたガスベアリングと、第２コンポーネントガスベアリングによって導入されたガスを排気するように構成された排出シールとを含む。ロボットは、炭化水素分子のガス放出を約０〜２００ａ．ｍ．ｕ.の範囲に実質的に減少または除去し、よってロボットは極端紫外線（ＥＵＶ）フォトリソグラフィ用途での使用に適する。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの耐久性を向上し、発塵の量も軽減できる、多関節ロボットアームの関節部構造と、ミニエンバイロメント装置を提供することを課題とする。
【解決手段】多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を構成する第１関節軸２１ａ、第２関節軸２１ｂ、及び第３関節軸２１ｃを中空軸とする。中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１には、樹脂からなる円筒状の部材である保護部材２１３を圧入して、中空部２１ａ１、２１ｂ１、及び２１ｃ１の内周面を保護部材２１３で被覆し、ケーブル２３の通路となる配線挿通孔を形成する。このような多関節のロボットアーム２０ｂの関節部構造を具備する搬送ロボット２０を、ミニエンバイロメント装置に備える。 （もっと読む）

【課題】 小型化および軽量化を図るのに好適なロボットアームを提供する。
【解決手段】 ロボットアーム３００は、ナット３２４を直線運動させるリニアアクチュエータ３１０と、リニアアクチュエータ３１０の直線運動方向の一端に配置され、リニアアクチュエータ３１０の直線運動方向と直交する方向を軸心として回転関節１４に固定されたプーリ３５０ａと、リニアアクチュエータ３１０の直線運動方向の他端に配置され、プーリ３５０ａの軸方向を軸回りに回転可能なプーリ３５０ｂと、プーリ３５０ａ、３５０ｂに取り付けられ、ナット３２４が固定されたベルト３６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の制御系列を有するロボットにつき、各制御系列の動作可能領域が明確に把握できるように画像を表示するロボットシミュレータを提供する。
【解決手段】ロボット５１の各制御系列，右手系，左手系につき設定される動作可能エリアの一部が重複する場合、その動作可能エリア内に障害物５６が位置すると、パソコンは、障害物５６に応じて再設定した各手系の動作可能エリアの画像をディスプレイに色分けして描画表示する。 （もっと読む）

【課題】水平多関節ロボットにおいて、高温基板搬送時の熱影響によるアームの姿勢変化を最小限に抑え、高精度な搬送を維持できるようにする。
【解決手段】アームが、駆動部１からの回転動作を伝達する伝達機構と、伝達機構を収容するアームケース２０１と、伝達機構を覆うようにアームケース２０１の上面に装着されるアームカバー２１４と、によって構成された水平多関節ロボットにおいて、アームカバー２１４が、アームケース２０１が延在する方向に複数分割された複数のアームカバーからなるよう構成し、さらに複数のアームカバー２１４が互いに折り重なる部分を形成した。 （もっと読む）

【課題】搬送装置、搬送ロボットにおいて、ア−ム収納時の平面的な干渉領域を省スペ−スにする。
【解決手段】アーム２を、鉛直方向に延在するアームカバ６と、アームカバ６下方の開口部３３から出入可能であって、鉛直方向の上方にのみ湾曲可能なアーム体３１と、アームカバ６内に設けられ、開口部３３からアームカバ６内上方との間で、アーム体３１を水平と垂直の姿勢に案内するガイド１３〜１５と、アーム体３１の一端を支持してアーム体３１を鉛直方向に動作させる駆動機構７と、で構成し、アーム体３１が、駆動機構によってアームカバ６内で引き上げられた際、アームカバ６内で鉛直方向の姿勢となるようにした。 （もっと読む）

【課題】生産サイクルタイムのロスをより確実に低減できるロボットの制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、所定位置に配置されたパレット５６について、ロボット５１のアーム５４が右手系，左手系の各制御系列により動作可能となる領域を計算し、パレット５６に対するワーク供給又は取出し位置Ｐｗを基準に初期作業位置を決定すると、その初期作業位置からロボット５１が順次作業を進める位置をパレット５６内で決定する。そして、アーム５４の現在位置Ｐｌ（ｎ）に隣接する作業位置が同じ制御系列で作業可能であればその位置を優先して次の作業位置とし、同じ制御系列では作業不可であればそれ以外に継続して作業可能な位置があれば当該位置での作業を同じ制御系列で行い、前記位置がなければ異なる制御系列で作業可能な位置を次の作業位置とする。 （もっと読む）

【課題】支持ばねが切れたことを検知し、ＩＣデバイス，ＩＣソケット，ワークプレス自身が損傷することがないハンドラ装置を実現する。
【解決手段】基台に取り付けられ上下動するワークプレスを具備するハンドラー装置において、このワークプレスに一端が取り付けられ他端が前記基台に取り付けられ前記ワークプレスを上方に引っ張る弾性装置と、前記弾性装置の弾性本体の抵抗値の閾値を設定する閾値設定回路と、前記弾性装置の弾性本体の抵抗値を測定し測定値が前記設定閾値を越えた場合に前記ワークプレスの上下動停止の信号を発する抵抗値測定回路とを具備したことを特徴とするハンドラー装置である。 （もっと読む）

【課題】特に高さに制約がある加工機に対し、ワークの搬送、装填、取り出しを容易に達成できるようにした、ワーク移送装置を提供する。
【解決手段】第１案内枠１２ａと第２案内枠１２ｂに沿って、それぞれ往復動可能に介装した第１、第２スライダ１３、１４を介して取付けたアーム１７を、第１、第２スライダ１３、１４に連結した第１シリンダ１５と第２シリンダ１６により、傾斜移動させ、アーム他端側の把持手段２０をプレス装置１に干渉しないように、楕円曲線を描くように把持したワークＷを搬送させ、待機位置から加工位置に移載し、且つ取出し位置に移載する。 （もっと読む）

【課題】基台と搬送レベルとが異なる場合でも、第１アームと第２アームを同調させてほぼ直線的にワークを搬送できる搬送装置を提供する。その搬送装置を利用した大型搬送装置を提供する。
【解決手段】基台１１に第１アーム１２を第１軸Ｊ１廻りに回動自在に設け、第１アーム１２の先端に、第１アームと長さが異なる第２アーム１３を第２軸Ｊ２廻りに回動自在に設け、第２アーム１３の先端にハンド１４を取り付け、第１アーム１２を往復揺動駆動する第１モータＭ１を基台１１に設ける。基台１１には第１軸Ｊ１と同心状に第１ピニオン１６を固定し、第２アーム１３の基端に、第２軸Ｊ２と同心状に第２ピニオン１７を固定し、第１ピニオン１６と第２ピニオン１７の左右両側にラック１８、１９を摺動自在に設けて搬送装置１０を構成する。２基の搬送装置１０を一対で配置し、ハンド１４同士を搬送ビームで連結することにより、大型搬送装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】従来技術と同じようなサイズの部品を使用した場合でも、直動軸に懸架ユニットを懸架した構成において、全体の小形化を図ることができるロボットを提供する。
【解決手段】旋回ユニット３を構成する駆動部１９を、直動軸４の側方においてケーブルベア１５の曲面を持つ曲げ状態の曲げの内側に位置させてなるように旋回ユニット３に備えたので、駆動部１９を、旋回ユニット３と連結された状態で直線移動するケーブルベア１５の曲面を持つ曲げ状態の内側に位置するにしても何ら支障を生じることがない。これにより、ケーブルベア１５の曲面を持つ曲げ状態の内側のデッドスペースを有効活用することができる。 （もっと読む）

【課題】位置決め精度を高めたベルト駆動設計の多軸ロボットを提供する。
【解決手段】互いに実質的に平行に配置されている第１ガイドレールと第２ガイドレール１２，１４とを具備する。第１端１８および第２端２０を有するクロスバー１６が、ガイドレール１２，１４に作動可能に支持されている。第２運動軸６６に沿って移動させるために、搬送台２２が前記クロスバー１６に作動可能に連結されている。第１および第２ドライブと、第１ベルト３２とを有する第１駆動システムは、第１および第２運動軸６６に沿った搬送台２２の移動を提供する。第２および第３ベルト３４，３６は別々の第２および第３ベルト経路を走行し、第２および第３ベルト３４，３６の一方は右回りでクロスバー１６に進入するとともに、左回りでクロスバー１６から離れ、第２および第３ベルトの他方が左回りでクロスバー１６に進入するとともに、右回りでクロスバー１６から離れる。 （もっと読む）

【課題】直動軸に懸架ユニットを懸架する構成において、懸架ユニットが移動した場合における配線保持具からの騒音や発塵を抑制できるロボットを提供する。
【解決手段】直動ユニット２と旋回ユニット３との間を曲面を持つ曲げ状態で接続するケーブルベア１５は、曲げ方向が水平方向となるように配置されているので、ケーブルベア１５自体が自分自身の重力方向の荷重を受けることが可能となる。これにより、ケーブルベア１５と保持部材１６とが衝突することがなくなり、衝突音、或いは衝突による発塵を抑制することができる。しかも、ケーブルベア１５は、直動軸４の側方に配置されているので、直動軸４の上面にケーブルベア１５を配置する構成に比較して、ロボット１の高さ寸法を抑制することができる。 （もっと読む）

【目的】人間に対し，体の一部に力を加えることで，受動的な力覚フィードバックを実現する装置，およびその応用システムを提供することを目的とする．
【構成】本発明による受動的力覚フィードバック装置は，上腕や前腕など人間の体に装着され，本体にアクチュエータやセンサを装備し，体の一部に対し受動的な力覚の提示を実現する．また，受動的力覚フィードバック装置を用いて，遠隔操作システムや力覚訓練システムを実現する． （もっと読む）

【課題】脚部２の下腿リンク９と足平部１１とを足首関節部１０から離れた部分で連結する直動アクチュエータ１２_４の伸縮動作により足平部を下腿リンクに対し足首関節部を中心にして揺動させるようにした２足歩行ロボットにおいて、直動アクチュエータを大型化せずに階段歩行に必要な所要のモーメントを足平部に付与できるようにする。
【解決手段】直動アクチュエータ１２_４は、該直動アクチュエータの伸縮力が膝関節部８と足首関節部１０とを結ぶ結線Ｌ１に対し後傾した線Ｌ２上に作用するように配置される。好ましくは、直動アクチュエータ１２_４の下腿リンク９に対する連結部Ｙ３ａを上記結線Ｌ１よりも後方に位置させ、直動アクチュエータ１２_４の足平部１１に対する連結部Ｙ３ｂを上記結線Ｌ１よりも前方に位置させる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ワーク搬送ロボットを大型化することなく、高速搬送を可能とするハンドリングロボットを提供するものである。
【解決手段】水平に回転可能な第１アーム１０と、前記第１アーム１０の先端に前記第1アーム１０の回転軸と平行な軸に回転支持された回転可能な第２アーム１７と、前記第２アーム１７の先端部に前記第２アーム１７の回転軸と平行な軸に回転可能なフランジ２１と、前記フランジ２１にワーク把持部２５とを備えたワーク搬送ロボットにおいて、前記第１アーム１０の回転軸と平行な前記軸に少なくとも２つの出力軸を備えた減速機構１６，２０を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】リンクの幅及び長さを適宜の幅及び長さに構成するのに好適な関節モジュール、該関節モジュールから成る脚部を有する脚型ロボットを提供する。
【解決手段】脚車輪型ロボット１００は、回転関節１８の第３回転駆動機構１８０を、関節モータ４０と、関節モータ４０の回転方向を変換する駆動及び従動傘歯車１８０ａ及び１８０ｃと、動力伝達用回転軸１８０ｂと、動力伝達用回転軸１８０ｂの回転力を膝関節回転軸１８２に伝達する駆動、従動プーリ１８０ｄ、１８０ｆ及びベルト１８０ｇと、減速機１８０ｅとを含んだ構成とし、関節モータ４０を、膝関節用ハウジング１７ｃの内側に、出力軸１４０の先端を下方向に向けた姿勢で支持し、動力伝達用回転軸１８０ｂの軸心Ｏ₁と、膝関節回転軸１８２の軸心Ｏ₂とを、脚部１２の前後方向に所定距離を離間して配設し、且つ両者を他の部品と接触しない範囲で、垂直方向に接近させて配設した。 （もっと読む）

【課題】下腿部を構成するリンクの外郭フレームによってモータを含む回転駆動部を外部の衝撃から保護することが可能な脚車輪モジュール、該脚車輪モジュールを含んで成る脚部を有する脚車輪型ロボットを提供する。
【解決手段】脚車輪型ロボットの駆動輪２０を回転駆動する車輪駆動機構１９０を、車輪モータ５０の回転力をその回転方向を変換し且つ回転速度を減速して動力伝達用回転軸１９０ｂに伝達する駆動及び従動傘歯車１９０ａ及び１９０ｃと、動力伝達用回転軸１９０ｂの回転力を回転速度を減速して減速用回転軸１９０ｅに伝達する動力伝達用平歯車１９０ｄ及び減速用平歯車１９０ｆと、減速用回転軸１９０ｅの回転力を車輪回転軸１９０ｈに伝達する駆動、従動プーリ１９０ｇ、１９０ｉ及びベルト１９０ｊとを含んだ構成とし、車輪駆動機構１９０を、下腿部リンクのフレームを構成する車輪駆動部用ハウジング１９ｃの内側に配設する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 ターゲットの位置を高精度で検出することができるロボットのターゲット位置検出装置を提供する。
【解決手段】 ロボット２２は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の３軸方向に自由度を有するアーム３２の先端部に、水平方向の自由度を有する手首が設けられ、この手首にはエンドエフェクタであるハンド３３が設けられる。制御手段２３は、教示点を記憶部２６に記憶させ、この記憶部２６に記憶させた教示点にハンド３３が向かうように、ロボット２２の動作を制御する。この制御手段２３は、制御ループゲインを変化させて、ハンド３３のターゲット４６への押付け力を変更可能であって、少なくともターゲット４６が存在する教示点近傍から、手首軸の制御ループゲインを所定値よりも低下させて、ハンド３３をターゲット４６に接触させ、ハンド３３がターゲット４６に接触した状態における位置を取り込んで、ターゲット４６の位置を検出する。 （もっと読む）