【課題】搬送システムの構成モジュールの実装状態に拘わらず，精度の高い搬送位置合わせを効率よく行う。
【解決手段】搬送経路Ｘ２３，Ｘ２４を通じてオリエンタ３２０と第２処理室２２０Ｂとの間でダミーウエハＷｄを搬送する際における，第２処理室での搬送位置の位置ずれの補正が可能な方向に対応するオリエンタでの搬送位置の位置ずれの補正が可能な方向を求めることにより位置ずれ補正用座標系を得る工程と，基準搬送経路Ｘ２１，Ｘ２２を通じてオリエンタから第２処理室まで搬送したダミーウエハを，搬送経路Ｘ２３，Ｘ２４を通じて第２処理室からオリエンタまで戻して搬送前後のダミーウエハの位置ずれを検出する工程と，位置ずれ補正用座標系に基づいて，検出された位置ずれがなくなるように搬送経路Ｘ２３，Ｘ２４による第２処理室での搬送位置を補正する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】マスタ・スレーブ式マニピュレータシステムにおいて、モニタや操作入力装置の配置に制限がない簡単な構成で、直感的な操作を可能とすること。
【解決手段】マスタ・スレーブ式マニピュレータシステム１は、マニピュレータ１３４、カメラ１４６、モニタ１５２、操作入力装置１００、マニピュレータコントローラ１２２、マスタコントローラ１０４を備える。マスタコントローラ１２２は、操作入力装置１００による指示に基づいて操作指令情報を取得する操作指令情報取得部１０６と、操作指令情報を位置移動指令情報と姿勢指令情報とに分離する取得情報分離部１１０と、姿勢指令情報に基づいて位置移動指令情報を補正して位置移動指令補償情報を出力する移動方向補償コントローラ１１６とを備える。マニピュレータコントローラ１２２は位置移動指令補償情報及び姿勢指令情報に基づいてマニピュレータ１３４の位置姿勢を制御する。 （もっと読む）

【課題】手動誘導運転の際、ハンドを容易に移動させて微調整することができ、またハンドが誤って周囲の物と衝突するのを防止することができるロボットシステムを提供する。
【解決手段】ロボットシステム１０は、ロボット本体１１とこのロボット本体１１を制御する制御部２０とを備えている。このうちロボット本体１１は、第１のハンド１２と、第１のハンド１２を第１のハンド１２の基端１２ａから先端１２ｂに向う一定方向に沿って移動させるＪ１軸と、Ｊ１軸を水平面上で回転させるＪ４軸と、Ｊ４軸を垂直方向へ移動させるＪ３軸と、Ｊ３軸を水平面上で一定方向に移動させるＪ５軸とを有している。Ｊ１軸とＪ３軸とＪ４軸とＪ５軸とを制御部２０により同期して駆動し、第１のハンド１２を第１のハンド１２の中心を基準とするツール座標系のＸ軸、Ｙ軸、およびＣ軸上で移動できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】作業者の負担軽減、非熟練作業者のスキルアップ、作業の効率化を図る。
【解決手段】モニタ画面上にワーク（作業対象物）１の実画像を表示する（図１（ａ））。この表示例において、ワーク１は、そのＺ軸回りの回転だけが許可される。また、ワーク１の実画像に対して、ワーク１の現在の拘束状態を示す指標としてガイドラインＬ１と支点ＰＭが表示される。作業者は、このモニタ画面を見ながら、ロボットを遠隔操作し、ワーク１を支点ＰＭを中心として、ガイドラインＬ１の位置まで回転させる。すると、ガイドラインＬ１と支点ＰＭが消え、２本のガイドラインＬ２が表示される（図１（ｃ））。この表示例において、ワーク１は、ガイドラインＬ２に沿う方向への動きだけが許可される。作業者は、このガイドラインＬ２に沿って、ワーク１を目標位置へ移動させる。 （もっと読む）

【課題】作業者の負担軽減、非熟練作業者のスキルアップ、作業の効率化などを図る。
【解決手段】モニタ画面上にワーク（作業対象物）１の実画像を表示する。このワーク１の実画像に対して、姿勢の修正方向を示す矢印Ｙ１、目標位置への移動方向を示す矢印Ｙ２を表示する。また、矢印Ｙ１の長さで修正量を示し、矢印Ｙ２の長さで移動量を示す。ロボットを遠隔操作して、矢印Ｙ１が示す方向へワーク１を回転させると、矢印Ｙ１が徐々に短くなり、やがて消失する。ロボットを遠隔操作して、矢印Ｙ２が示す方向へワーク１を移動させると、矢印Ｙ２が徐々に短くなり、やがて消失する。 （もっと読む）

【課題】モニタ画像を見ながら教示作業を進めることができ、したがって、安全性に優れるとともに少ない手間で迅速に基準位置を教示することができる搬送用ロボットの教示方法を提供する。
【解決手段】予めマスタリング工程において基準位置に係るハンド８とカセット２との適正な相対的位置関係を示すモデル画像を撮影しておき、ティーチング工程においては、モデル画像に実空間画像を重畳的にモニタ表示し、両画像が一致したときの搬送用ロボット１の姿勢を基準位置として教示する。この教示方法は、複数箇所の基準位置を簡単確実に、しかも高精度にロボットに教示することが可能であり、ハンド８の姿勢制御に精密性と正確性が要求される、大型のワーク３を搬送対象とする搬送用ロボット１に好適に採用できる。 （もっと読む）

【課題】操作者による手動操作や音声操作を用いることなく指令情報を入力することができ、操作者の意図する通りに作動させることができる作動装置を提供する。
【解決手段】ロボット１０は、ロボット１０の前方の床面の所定の位置において物体を検出するレンジセンサ１７と、同床面上にロボット１０が実行する作動の内容を表した作動メニューＭを表示するプロジェクタ２０と、これらレンジセンサ１７およびプロジェクタ２０の各作動を制御するとともに所定の作動内容を実行するコントローラ３０とを備えている。レンジセンサ１７は、作動メニューＭの前面を含むようにレーザ光を走査して測長信号をコントローラ３０に出力する。コントローラ３０は、測長信号が表す作動メニューＭ上における物体の位置を用いて、同位置に対応する作動内容を実行する。 （もっと読む）

【課題】ロボットにおける教示のしにくい場面での教示作業の簡易化と、教示位置の確認作業の簡易化を実現する。
【解決手段】複数軸で構成されたロボットの動作を制御する制御装置において、制御装置に接続される教示手段のキー操作によって、現在位置から予め教示された教示位置へロボットを手動動作させる際、前記複数軸のうち予め指定された軸か、教示位置における制御点の位置成分または姿勢成分のうち予め指定された成分を再生するよう構成するとともに、教示作業の際にも、予め指定された軸か、現在位置における制御点の位置成分または姿勢成分のうち、予め指定された成分の登録を許可するように構成した。 （もっと読む）

【課題】コントローラとして、取出ロボットの手動操作に際して操作ミスを起こさせないよう表示画像を工夫して使い勝手をよくする。
【解決手段】コントローラ１は、表示画面１０にロボット擬似画像７と共に十字キーを模した矢印画像８を表示する。画像処理部により、軸選択ボタン６で選択されたアーム軸に対応するロボット擬似画像７のアーム軸画像７２〜７４部分、及び選択されたアーム軸７２〜７４の移動可能な方向に対応する矢印画像８のボタン画像８１〜８４部分をアクティブ表示させる。手動操作制御部により、アクティブ表示されたボタン画像８１〜８４に対応する軸移動ボタン５をオン操作すると、アクティブ表示されたアーム軸画像７２〜７４部分に対してアクティブ表示のボタン画像８１〜８４で示す方向と一致して実機の取出ロボットのアーム軸を移動させるよう取出ロボットに指令する。 （もっと読む）

【課題】作業装置の異常停止時の状態に関わらず作業装置を原位置に復帰させることが可能であり、作業装置に精通していない作業者でも容易に対応可能な柔軟性のある作業復帰方法及び作業復帰装置を提供する。
【解決手段】第１ステップでは、作業装置をアシストモードに設定する（第１設定工程）。第２ステップでは、作業者が作業装置を異常停止位置から待避位置へ待避させる（アシスト動作・制御工程）。このとき、作業者の人力の大きさ、方向に応じて作業装置の移動を制御する。第３ステップでは、作業装置を自動復帰モードに設定する（第２設定工程）。第４ステップでは、作業装置を待避位置から原位置に自動復帰させるように制御する（復帰制御工程）。第５ステップでは、作業装置の原位置への復帰が完了する。 （もっと読む）

【課題】産業用ロボットのツールの位置及び姿勢を直交座標系を用いて手動で制御するにあたり、当該手動制御の最中に、産業用ロボットのツールの並進動作及び回転動作の各動作にそれぞれ適した基準座標系に切り替えるという煩雑な操作を行うことなく、簡易に産業用ロボットのツールを手動制御する方法及び制御システムを提供すること。
【解決手段】産業用ロボット１の位置及び姿勢を直交座標系を用いて手動で制御する方法であって、前記産業用ロボット１に備えられたツール１１の並進動作と回転動作とに用いる基準座標系を各動作ごとにそれぞれ個別に設定した後、各基準座標系に基づいて並進動作及び回転動作の手動制御を行うことを解決手段とする。 （もっと読む）

【課題】撮像手段を使った教示方法において、曲率が大きい曲線に対応できる低コストの教示方法を提供する。
【解決手段】作業手段１４は作業位置にある。ＮＬは作業手段１４の標準ラインと呼ぶ。教示時には、支持板１３を下方へ移動させて標準ラインＮＬに撮像手段１５を位置決めして教示する。教示後、作業手段１４と撮像手段１５との距離に基づいて教示データを補正する。 （もっと読む）

【課題】ロボットの姿勢変化が大きい場合でも、動作プログラムの教示点位置を正確かつ短時間で修正する。
【解決手段】教示位置修正装置（１）が、ロボット（２）を複数の教示点のそれぞれに順番に移動させ、該複数の教示点のそれぞれにおけるロボットの現在位置を順番に取込むことによって、動作プログラムにおける複数の教示点位置を修正する際に、修正後の教示点位置と修正前の教示点位置とに基づいて、位置修正量（Ａ）を算出する位置修正量算出手段（１１ａ）と、位置修正量（Ａ）に基づいて複数の教示点のうちの未だ修正されていない未修正教示点位置の補正後の位置を算出する補正後位置算出手段（１１ｂ）とを含む。さらに、ロボットを未修正教示点に移動させるときに、移動手段（１５）によって、ロボットを未修正教示点位置の補正後の位置まで移動させる。 （もっと読む）

【課題】教示作業が容易であり、且つ実動作でのタクトタイムを短縮できるロボット装置を提供する。
【解決手段】ワークを保持するワーク保持部１０を有して往復運動する第１アーム１１、その第１アーム１１を連結して第１アーム１１と同じ方向に往復運動する第２アーム１２とで少なくとも構成されたアーム部２、及び、第１アーム１１の動作を第２アーム１２に優先して制御して、アーム部２を始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまで移動させる制御装置を備えたロボット装置１により、上記課題を解決した。前記の制御装置は、ロボット座標系としてＲ軸を設け、始点座標Ｐ０から所定の座標位置Ｐまでの距離ＲをＲ＝Ｒ１＋Ｒ２（Ｒ１は第１アーム１１の移動距離であり、Ｒ２は第２アーム１２の移動距離である。）の順機構解を定義し、ＲからＲ１，Ｒ２への割付を逆機構解として定義することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】作業者が教示点の位置・姿勢を修正するための手動操作を行う際に、安価かつ簡単な構成で、位置・姿勢情報を修正することができるとともに、作業者への負担を軽減することができるロボット制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】ロボット制御装置３は、教示点の位置・姿勢を修正するための手動操作によるロボット４の動作速度を制御する動作速度制御部８と、手動操作に従って、ロボット４の動作を制御する動作制御部６とを備えている。動作速度制御部８は、ロボット本体のリンク上および作業ツール上に予め設定された特徴点と、特徴点の位置座標を表現するために設定された基準点との接近距離を算出するとともに、接近距離に基づいて、動作速度を決定する。動作制御部６は、決定された動作速度により、ロボット４を動作させる。 （もっと読む）

【課題】ローダが本来停止すべき位置からどれくらい、どの方向に外れているのかを視覚的に判断できて、作業者がローダ位置を簡単に修正できるローダの位置教示装置を提供する。
【解決手段】ローダの位置教示装置は、対象機械１のチャック２に対するローダチャック１４の上下左右の相対位置を検出する相対位置検出手段３１を備える。また、この相対位置検出手段３１の出力に従い、対象機械１のチャック２の位置とローダチャック１４の位置を表示装置３４の画面上に図で表示する相対位置表示手段３５を有する。作業者の入力操作によって前記移動機構１６を動作させてローダチャック１４の位置を変更するローダ操作手段３６と、作業者の入力操作が行われることでローダチャック１４の現在位置をワーク渡し位置として前記停止位置記憶手段２３に記憶させる教示位置指定手段３７を備える。 （もっと読む）

【課題】無線方式を採用するコントローラ、教示装置間の通信システムにおいて、無線通信を開始する前に必要なパラメータを重複設定や誤設定のないように有線を使っていた。【解決手段】コントローラ、教示装置間で設定情報、モニタ情報を交換するための第１無線通信手段に加え、設定、モニタの対象となるコントローラ１０と、オペレータが携帯する教示装置２０間でのみ通信可能な第２無線通信手段を備える。まず、前記コントローラに備えた前記第２無線通信手段１１の起動スイッチ１５をオペレータが押して、第２無線通信手段によって、第１無線通信手段の設定パラメータを授受するための通信を行い、その後、第１無線通信手段による通信を開始するという手順で処理する。 （もっと読む）

【課題】ロボットプログラムの作成、修正時間を短縮して効率的なロボットプログラム作成ができるようにするとともに、作業命令の区切りを明確化する機能を備えたロボット制御装置を提供する。
【解決手段】ロボットに対する少なくとも１つの命令からなる文字列型のロボットプログラムの内容を１つあるいは複数の行で表す表形式に変換する文字列-表形式プログラム変換部を備える。 （もっと読む）

【課題】手を離したらマシンが停止するセーフティスイッチを提供する。
【解決手段】産業用ロボットまたはマシンのための手動操作式セーフティ・スイッチの形態のライブ・ハンドル・スイッチが、記載される。このライブ・ハンドルは、手動コントロール下にあるときにロボットまたは他のマシンを安全に操作するための認証されたセーフティ・スイッチを有している。このライブ・ハンドル・スイッチは、ＴＰＵ（ティーチ・ペンダント・ユニット）・タイプの携帯式ロボット・コントローラの中に設けられることが可能である。このようなＴＰＵは、ロボットを三つまたはそれ以上の自由度で動かすためのコントロール手段を有することが可能である。他のアスペクトにおいて、ロボット及びコントロール・ユニット及びライブ・ハンドル・スイッチを有するシステムが、記載される。 （もっと読む）

【課題】ロボットやティーチングペンダントを目視することなく、人間がロボットの動作状況を知覚できること。
【解決手段】ティーチングペンダント３００に、アクチュエータ（サーボモータ１０７）を備え、ロボットの制御情報１０４に基づいた情報を、サーボ指令入力部３０１で選択等をおこなったうえで、サーボ制御部１１０に情報を送出し、これをもとにサーボ制御部１１０がアクチュエータを回転させる。これにより、人間がダイヤル１０８の触覚によりロボットの動作状況を知覚することができる。 （もっと読む）