【課題】
超硬合金を始めとする工具材料、或いは鉄族金属から成る構造材料などの基礎部材上に、部材成分等の影響を受けない状態でダイヤモンド膜を形成する技術を提供すること。
【解決手段】
本発明に係る析出用基体は、硬質材料からなる基礎材に、種子ダイヤモンド結晶をマトリックス中に保持含有する被覆層が表面に接合されたＣＶＤダイヤモンド析出用基体であって、(1) 前記種子ダイヤモンド結晶としてのダイヤモンド粒子の平均粒径が1μm以下であり、(2) マトリックスがＳi、Ｔi、Ｚr、Ｈf、Ｖ、Ｎb、Ｔa、Ｃr、Ｍo、Ｗからなる第一金属群から選ばれる１種以上の第一金属種及び／又は、該第一金属種とホウ素、炭素又はチッ素から選ばれる非金属物質との化合物である第一金属化合物を含有し、上記ダイヤモンド粒子は該マトリックス中に分散され、(3) 上記硬質材料と被覆層との接合部に、上記第一金属種の金属原子及び硬質材料を構成する金属原子、或いはその一方の拡散によるに拡散層が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高速・高能率切削が可能な、ＴｉＡｌＳｉＮよりも耐摩耗性に優れた切削工具用硬質皮膜、およびこの様な硬質皮膜を得るための有用な製造方法を提供する。
【解決手段】（Ｔｉ_{１−ａ−ｂ−ｃ−ｄ}，Ａｌ_ａ，Ｃｒ_ｂ，Ｓｉ_ｃ，Ｂ_ｄ）（Ｃ_１−ｅＮ_ｅ）からなる硬質皮膜であって、Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ，Ｂのそれぞれの原子比ａ，ｂ，ｃ，ｄが、０．５≦ａ≦０．８、０．０６≦ｂ、０≦ｃ≦０．１、０≦ｄ≦０．１、０．０１≦ｃ＋ｄ≦０．１およびａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＜１を満たすようにし、かつＮの原子比ｅが０．５≦ｅ≦１を満たすようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１０〜３００ＭＰａの低引張応力を備えたＴｉＣ_ｘＮ_ｙ層と、原子間力顕微鏡技法によって測定したときに０．１μｍ以下の高表面平滑度を備えたαＡｌ_２Ｏ_３層と、を有する化学蒸着法で被覆した切削工具インサートに関する。
【解決手段】この化学蒸着法で被覆した切削工具インサートは、Ｆ８０の粒のＡｌ_２Ｏ_３から成るスラリーを有する第一の集中湿潤ブラスト処理、引き続いてＦ３２０の粒のＡｌ_２Ｏ_３から成るスラリーを有する第二のブラスト処理を、被膜を処理することによって得られる。 （もっと読む）

【課題】密着性が充分な非晶質炭素被膜を被覆した非常に高い面圧下で使用される機械部品や、切削工具、金型を提供する。
【解決手段】非晶質炭素被覆部材の構造を、基材１上に周期律表第ＩＶａ 、Ｖａ、ＶＩａ 、ＩＩＩｂおよびＣ以外のＩＶｂ 族元素のなかから選ばれた少なくとも１つの元素、またはこれらのなかから選ばれた少なくとも１つの元素の炭化物からなる中間層２が形成され、この中間層２上に非晶質炭素膜３が形成された構造とし、中間層２の厚さを０．５ｎｍ 以上１０ｎｍ未満とする。 （もっと読む）

【課題】基体との密着性、皮膜の異層間の密着性に優れた特性を有する硬質被覆層を得るための皮膜形成方法と、この皮膜形成方法により被覆した被覆部材を提供する。
【解決手段】複数の蒸発源に複数の陰極物質を装着し、該蒸発源の前面に遮蔽板を設け、減圧容器内でプラズマを発生させて基体の表面に陰極物質材料の皮膜を形成する物理蒸着装置を用いて、少なくとも該基体表面にボンバードメント処理を行うボンバードメント工程と、皮膜を形成する被覆工程とから構成され、該ボンバードメント工程は該遮蔽板により該蒸発源の放電による放出物質を該基体から遮蔽した状態で、少なくとも非金属イオンによる該基体のボンバードメント処理を行うことにより、前記基体及び前記減圧容器内に残存する不純物成分を前記放出物質とともに前記遮蔽板に吸着するようにしたことを特徴とする皮膜形成方法である。 （もっと読む）

本発明は、ＤＣスパッタリング法によって、超硬材料、サーメット、鋼、またはセラミックで構成される基材を少なくとも１つのＴｉ_１−ｘＡｌ_ｘＮ層で被覆する方法に関する。本発明はさらに、上記方法によって被覆された工作物または工具、ならびにその使用に関する。本発明の目的の１つは、スパッタリング法およびアーク法の利点を併せ持つ被膜の形成が可能となる方法、すなわち小さい粗さおよび好ましい（２００）組織を有する被膜を得ることが可能となる方法を提供することである。本発明のさらに別の目的は、上記性質を有する被膜を有する工作物を提供することである。本発明のさらに別の目的は、金属の機械加工に特に適した工具を使用することである。本発明の方法によって実現される目的は、プラズマ密度を増加させるためにイオン化促進が使用されることを特徴とする。
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【課題】高速ミーリング切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具およびその製造方法を提供する。
【解決手段】工具基体表面に、Ｔｉ化合物層あるいは（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ層を下部層として形成し、その上に、ダイナミックオーロラＰＬＤ法により、（００１）面配向のＹＳＺからなる密着層、（０００１）面配向の（Ｃｒ，Ａｌ）_２Ｏ_３あるいはＣｒ_２Ｏ_３からなる中間層、（０００１）面配向の（Ｃｒ，Ａｌ）_２Ｏ_３あるいはα−Ａｌ_２Ｏ_３からなる上部層、をそれぞれ形成した表面被覆切削工具。
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【課題】 高い耐欠損性と耐摩耗性を有する切削工具を提供する。
【解決手段】 立方晶窒化硼素質焼結体からなる基体６の表面に被覆層７を形成し、被覆層７として（Ｔｉ_{１−ａ−ｂ}、Ｍ_Ｉａ、Ｍ_ＩＩｂ）Ｃ_{１−ｘ−ｙ}Ｎ_ｘＯ_ｙ（ただし、Ｍ_ＩはＡｌおよびＳｉの１種以上、Ｍ_ＩＩはＴｉ以外の周期表第４、５および６族金属から選ばれる１種以上、０．４５≦ａ≦０．７、０≦ｂ≦０．４、０≦ｘ≦１、０≦ｙ＜１）で表される複合Ｔｉ系被覆層８を含み、逃げ面３の最表面は複合Ｔｉ系被覆層８で構成されるとともに、すくい面および切刃における被覆層７の最表面にはＡｌ_２Ｏ_３およびＳｉＯ_２の少なくとも一方が多く存在する酸化領域９を具備する切削工具１である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、耐摩耗性と靭性とを向上させ高度に両立させた表面被覆切削工具を提供することにある。
【解決手段】本発明の表面被覆切削工具は、基材と、該基材上に形成された被覆層とを備えるものであって、該被覆層は、化学蒸着法により形成される１層以上の化学蒸着層と、その化学蒸着層上に物理蒸着法により形成される１層以上の物理蒸着層とを含み、該化学蒸着層は、少なくともその１層が圧縮残留応力を有することを特徴としている。 （もっと読む）

本発明は、金属酸化物、窒化物、若しくは炭化物、又はそれらの混合物の被膜を形成する方法に関するものであり、これによれば、アルゴンと反応性ガスとの混合ガス（５、６）中で、２００Ｗｃｍ^-2より大きいピークパルス電力で、一個以上のターゲット（３）における高電力インパルス・マグネトロン・スパッタリングＨＩＰＩＭＳ放電を操作することにより、成膜速度が向上すると共に反応性ガス分圧フィードバックシステムの必要性が除去される。
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【課題】本発明は、超硬合金切削工具コーティング層の表面粗さと母材に対する結合力とがいずれも卓越に改善されるコーティング前処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の前処理方法は、超硬合金切削工具の母材表面から該当母材のタングステンカーバイド粒度に相応する０．５〜５μｍの範囲程度の焼結表面層を適切に除去し、組織が不均一な多孔質焼結表面層が除去されてブラスティング前処理に比べて組織密度と平滑度が高い母材表面が提供される。コーティング層と母材との間の十分な結合力を確保するために、多孔質の焼結表面が除去されながら現れるタングステンカーバイド粒子の周囲に存在する焼結気孔の面積比率を５％以上確保するようにする。 （もっと読む）

【課題】 密着性の優れた硬質被膜を持つ切削工具とその製造方法を提供すること。
【解決手段】 切削工具はアルゴンを含有するＤＬＣ被膜を有する。または、アルゴンを含有するシリコンからなる中間層の表面にアルゴンを含有するＤＬＣ被膜を有する。
ＤＬＣ被膜および中間層が直流プラズマＣＶＤによって形成されたものである。前記切削工具が丸鋸刃物である。処理容器内に切削工具からなる処理物を置き、処理容器を真空状態にし、直流プラズマＣＶＤ装置を用いて、アルゴンガスと原料ガスとの混合ガスを流入させながら、前記ガスをプラズマ化して処理物に作用させ、アルゴンを含有するＤＬＣ被膜を処理物の表面に形成する。または、アルゴンガスとシリコンガスとの混合ガスを流入させながら、アルゴンを含有するシリコンからなる中間層を処理物の表面に形成させた後に、前記アルゴンを含有するＤＬＣ被膜を処理物の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】所定の組成比の膜を成膜して高靱性、耐摩耗性と密着力向上とを両立させる。
【解決手段】Ｎ2 ガスの導入手段を有する真空槽１１と、Ｍ（Ｍは、Ｔi またはＣr ）用、Ａl 用のハース３１、３１と、ホローカソード形の電子銃２０、２０と、電子ビーム電源と、ワークＷ、Ｗ…用のバイアス電源と、質量分析計５０と、組成比制御系とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 高温であっても耐摩耗性を発揮することができ、低コストにて提供が可能な耐摩耗性皮膜を提供することを目的とする。
【解決手段】 基材３上に形成され、金属窒化物とされた表層５を備えた耐摩耗性皮膜であって、表層５上には、表層５を皮膜する最表層１０が設けられ、最表層１０は、炭素が固溶されたアルミナとされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ最高含有点とＣｒ−Ｓｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．３５〜０．６０、０．３５〜０．５５、０．０３〜０．１０であり、また、Ｃｒ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．１０〜０．２５、０．６０〜０．８０、０．１０〜０．２５である。 （もっと読む）

【課題】高硬度鋼の高速重切削加工等において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具を提供する。
【解決手段】炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットからなる工具基体の表面に、１〜８μｍの平均層厚を有し、かつ、層厚方向にそって、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点とＴｉ−Ｓｉ最高含有点とが所定間隔をおいて交互に繰り返し存在する組成変化（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層を被覆した表面被覆切削工具において、Ａｌ−Ｃｒ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．３５〜０．５０、０．１５〜０．３５、０．２５〜０．４５、０．０３〜０．１０であり、また、Ｔｉ−Ｓｉ最高含有点におけるＡｌ、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｓｉの含有割合は、それぞれ、０．１０〜０．２５、０．１０〜０．２５、０．５０〜０．７０、０．１０〜０．２５である。 （もっと読む）

【課題】熱プラズマＣＶＤ法を用いることにより、密着性が高いコーティング膜を基材表面に形成する。
【解決手段】金属炭化物粉末と、バインダ金属とを焼結することで得られる硬質合金の表面に、炭化物、窒化物及びホウ化物からなる群より選択される１種類以上の化合物を含むセラミックス膜をコーティング膜として形成するに当たり、硬質合金の表面に熱プラズマを照射することにより、表面を被処理表面へと変質させる第１工程と、金属アルコキシド溶液を原料とする熱プラズマＣＶＤ法により、被処理表面にコーティング膜を形成する第２工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】耐摩耗皮膜と潤滑性皮膜を兼ね備え、両者の密着強度が極めて優れる耐摩耗皮膜を提供する。
【解決手段】物理蒸着法によって該基材にＡ層とＢ層とからなり耐摩耗皮膜が被覆され、該Ａ層は、金属元素としてＴｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｎｂのうちの少なくとも１種又は２種以上より選択された元素と、非金属元素としてＮを含みＣ、Ｏ、Ｂのうち１種又は２種以上より選択された元素から構成され、Ｎ、Ｃ、Ｏ、Ｂを原子％で１００とした時、Ｎを６０原子％以上含有するとともに結晶構造がｆｃｃ構造を有し、該Ｂ層は、該Ａ層の直上に接する潤滑性皮膜であり、該Ａ層と該Ｂ層との界面から該Ａ層の膜厚方向に５００ｎｍ未満の領域における結晶粒径の平均値が、１９ｎｍ以上、６２ｎｍ以下であることを特徴とする多層皮膜被覆切削工具である。 （もっと読む）

【課題】被覆部材のＳｉを含有した粒子状付着物を制限し、基体と皮膜との密着性、潤滑特性を改善する。
【解決手段】物理蒸着により皮膜を被覆した被覆部材であって、該皮膜が金属元素としてＳｉを含有した化合物であり、該皮膜表面のＳｉを含有した粒子状付着物の面積率は、直径が０．１μｍ以上の該粒子状付着物につき、該皮膜表面の任意に選択される１０００μｍ^２の範囲内に５％以下であり、該皮膜表面の該粒子状付着物の数は、直径が０．１μｍ以上の該粒子状付着物につき、該皮膜表面の任意に選択される１０００μｍ^２の範囲内に１００個未満であることを特徴とする被覆部材である。 （もっと読む）

【課題】 大規模で高価な設備を必要とせずに、基板上に硬度が高く表面が平滑で均質な硬質窒化炭素膜を効率良く形成する方法を提供する。
【解決手段】 シアン化合物を含む原料ガスをプラズマ化することにより活性化し基板上に窒化炭素膜を形成する際に、基板にパルス周期が０．１〜１０００００秒の高周波パルスをｏｎ／ｏｆｆ比５０／５０〜８０／２０で印加することを特徴とする硬質窒化炭素膜の形成方法である。印加する高周波パルスのバイアス電圧は−５０〜−２００Vとすることが好ましい。 （もっと読む）