【課題】本発明の課題は、ガラス繊維含有樹脂連続素材板をバフロールによって研磨処理する際に、ガラス繊維含有樹脂連続素材板の研磨処理ムラや研磨処理量の低下を防止しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造しうるような製造方法を提供する。
【解決手段】回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板３を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板３の製造方法であって、バフロール２の表面に水を吹き付けつつ該バフロール２にて未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板３を連続的に研磨することにより、バフロール２の表面に付着している研磨カスをバフロール２の表面から水洗１除去しつつガラス繊維含有樹脂連続板３を連続的に製造するガラス繊維含有樹脂連続板３の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 複数種類のドレスギヤを用意することなく、歯面形状、特に圧力角誤差が異なる被削ギヤに対応してホーニング砥石をドレスすること。
【解決手段】 ドレスギヤとして、被削ギヤよりも歯幅が大きく、かつ、基準歯形に対する圧力角誤差が歯幅方向に連続的に変化する変化領域を有する歯面を備えたドレスギヤを用い、被削ギヤの歯面に応じて、ホーニング砥石の歯面に圧接させる前記変化領域上の位置を設定する。 （もっと読む）

【課題】従来の吸着テーブル方式の問題点を解決し、遊離砥粒の除去の完全化、ワークのエッジの両面及び端面の同時バフ研摩の実現による大幅な省力化、更にはバフ研摩終了後の遊離砥粒の除去の完全化を図ることができる画期的なワークのエッジの研摩方法及び装置を提供する。
【解決手段】シリコンウェーハで代表される半導体ウェーハ等のワーク１を縦方向に、好ましくは水平面に対して６０度乃至９０度の縦方向の範囲に、最も好ましくは垂直に保持して少くとも３個の回転体２０（２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ）で回転駆動し、ワーク１の最下部にバフ１０を配設し、研摩部１ｂには下方から遊離砥粒６（スラリー）を噴射してバフ研摩するように構成し、しかも該バフをその厚さ方向の両側から押圧するバフ押圧装置１８を備えた構成を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤソーと加工液との協働のもとに被加工材の切断を行うに際し、その切断部に対する十分な加工液の供給を維持して、同被加工材のより安定した、しかもより効率の高い切断を可能とする。
【解決手段】 有底筒状からなる加工槽３０の底部に被加工材２０を固定した状態で加工槽３０内に加工液３３を充填する。この加工液３３が充填された加工槽３０の対向する２つの側壁板４０をワイヤ１０により重力方向上方から下方へ切断しつつ、加工槽３０内に固定された被加工材２０を切断する。この際、走行するワイヤ１０の重力方向下方への移動に伴い側壁板４０の各板面に沿ってスライド可能な遮蔽板５１ａを側壁板４０の切断部を順次塞ぐ態様でスライドさせつつ被加工材２０の切断を行う。 （もっと読む）

【課題】切断されたウェーハの反りを抑制し均一な厚さのウェーハを切断できるワイヤソー用研削液、インゴットの切断方法を提供する。
【解決手段】本ワイヤソー用研削液は、単結晶インゴットを切断するワイヤソーに用いられる少なくとも水、又は、油を主成分とするワイヤソー用研削液であって、ワイヤソー用研削液にマイクロカプセル化された吸熱反応材料を加える。また、本インゴットの切断方法は、上記ワイヤソー用研削液を用いる。 （もっと読む）

【課題】簡易で安価な設備で、かつランニングコストも不要で、ワーク切断時の摩擦熱によるワークプレートの熱変形を抑制し、ワークの切断精度を高め、ウェーハのワープを改善するワイヤソーおよびこれを用いたワーク切断方法を提供する。
【解決手段】上方の冷媒供給ノズル３０から、冷却用砥液Ｓ１をワークプレート１９の外面に供給してプレート１９を冷やす。その結果、従来のようにフレーム支持体内の流路に温度調整流体をポンプ圧送して冷やすものに比べて、ワイヤソー１０は簡易で安価な設備を使用し、かつランニングコストも不要とし、インゴット切断時の摩擦熱によるワークプレート１９の熱変形が抑えられる。その結果、インゴットＩの切断精度が高まり、シリコンウェーハＷのワープを改善できる。 （もっと読む）

正確かつ再現性良く最適位置にノズルを設定できる加工装置を提供すること。
【課題】砥石に切削水を供給するノズルを加工に最適な位置に再現性良く、かつ正確に行える加工装置を提供すること。
【解決手段】高速回転して被加工物Ｗを切断もしくは被加工物Ｗに対して溝入れする砥石１と、上記砥石１に切削水Ｌを供給するノズル５と、上記ノズル５を移動可能かつ回転可能に支持する支持部材１２と、上記ノズル５に固定され、上記砥石１に向けて光を照射する光源７と、上記砥石１を挟んで上記光源７の反対側に配置され、上記光源７から照射された光を検出する光センサー８と、上記光センサー８の検出結果に基づいて、上記砥石１と上記ノズル５との相対位置を検出する制御装置９とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 研削点でクーラントに発生するクーラント動圧が工作物一回転中に変動しないようにクーラント流量を変化させることにより、工作物を高い形状精度に研削加工する。
【解決手段】 砥石台に支承されて回転駆動される砥石車を工作物支持装置に支持されて回転駆動される工作物に向かって相対的に研削送りし、研削点にクーラントを供給しながら前記砥石車により前記工作物を研削加工する研削盤において、研削点でクーラントに発生するクーラント動圧が工作物の一回転中のいずれの回転位相においても一定圧となるように研削点に供給されるクーラント流量を工作物の回転と同期して変化させる。 （もっと読む）

【課題】 簡易に、かつ安価な構成でスラリの劣化を正確に検知する。
【解決手段】 駆動モータ１６等により高速駆動されるワイヤ１１と、スラリを循環させながらワイヤ１１に供給するスラリ循環装置２と、ワイヤソーを統括的に制御する制御装置４０とを有する。制御装置４０は、駆動モータ１６を制御するサーボアンプ１７内に設けられた電流計の検出値に基づき、当該検出値が所定の閾値に達したときにその状態をスラリの劣化として検知する。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤに対してスラリをより均一に付着させることによりワイヤの挙動を安定させる。
【解決手段】 ワイヤソーは、高速走行するワイヤＷに対してスラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂによりスラリを供給しながらこのワイヤＷにワーク２８を押付けて切断するように構成されている。スラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂの近傍には、ワイヤＷに対し、プラズマによりワイヤ表面を活性化させる所定のプラズマ処理を施すためのプラズマ処理装置４２Ａ，４２Ｂが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 加工液が切断用ワイヤーと被加工物との当接箇所に安定的に供給され得るワイヤーソー装置を提供すること。
【解決手段】 ワイヤーソー装置は、並列配置されるとともに軸線方向に走行せしめられる複数の切断用ワイヤーＷと、被加工物３０を載置するテーブル１４と、テーブル１４を上下動させる移動装置１５と、加工液供給管１６と、を備え、加工液供給管１６の加工液供給開口から加工液を下方に落下させるとともに、移動装置により被加工物を走行させられている複数の切断用ワイヤーに押し付けることによって被加工物を切断する。このワイヤーソー装置は、更に、複数の帯状部材１７を備える。帯状部材１７は、加工液供給管に係止されて垂下している。加工液供給管から落下する加工液は、帯状部材によりその形状が制御され、中央に集まることなく、略鉛直下方に落下する。 （もっと読む）

【課題】 ドレッシングの際にねじ状砥石の砥石圧力角を精度良く修正する。
【解決手段】 外周面に螺旋状にねじ山を形成したねじ状砥石３は、ロータリー式ドレッシング装置１０のドレッシング工具１０ａ，１０ｂによりドレッシングされる。ねじ状砥石３の砥石圧力角を修正するために、ドレッシング工具１０ａ，１０ｂがねじ状砥石３に接触した状態を維持しつつ、ねじ状砥石３のＸ方向位置，Ｚ方向位置，Ａ方向旋回位置を、ＮＣ装置２０によりＮＣ制御する。これにより、ねじ状砥石３のねじ山のフランクに対して、ドレッシング工具１０ａ，１０ｂが接触する状態が変化して、砥石圧力角が修正される。 （もっと読む）

【課題】極くわずかの潤滑あるいは冷却用の研削液の使用で、研削速度の高速化が可能な潤滑・冷却液供給方法及びこれを用いた研削装置を提供する。
【解決手段】溝付き砥石１の外周表面１２に潤滑・冷却液を供給する方法において、砥石の外周表面と、潤滑・冷却液吐出ノズル２の吐出口との距離を潤滑・冷却液が吐出できるだけの極くわずかの間隙ｄに設定した。 （もっと読む）

【課題】 生産性に優れるＶリブドベルトの製造方法を提供する。
【解決手段】 少なくとも心線とゴム層とからなるベルトスリーブ１を駆動ロール１１とテンションロール１２に巻き掛け、前記駆動ロール１１を所定速度で回転させてベルトスリーブ１を走行させる。そして、複数の断面Ｖ字形状の突起を表面に有する研削ホイール１３を回転させながらベルトスリーブ１の表面に当接させ、ベルトスリーブ１の表面に複数のリブ部を形成するのであるが、このときに、駆動ロール１１とベルトスリーブ１との接触面に霧吹き１５によって水を供給する。こうすることで、ベルトスリーブ１を高速走行させても駆動ロール１１−ベルトスリーブ１間のスリップが生じにくくなり、短時間でリブ部を形成できる。 （もっと読む）

【課題】インゴットを平行に保持し切断加工する場合において、インゴット間にスラリーを供給する場合であっても、ワイヤソー装置の大きさを最小限に留めることができるワイヤソー装置を提供する。また、スラリーノズルがワイヤよりもかなり上方にある場合であっても、スラリーの表面張力によりスラリーが内側へ集中せず、スラリーを均一に供給できるワイヤソー装置を提供する。
【解決手段】ワイヤソーにおいて、スラリーを供給するセンターノズル２０ｂを中間プレート４１に固定する。また、センターノズル２０ｂの下部には、スリット４６を覆うように長手方向に沿ってスリットバー５０を固定する。そして、このスリットバー５０の両端には一対のサイドバー５１を鉛直に固定する。 （もっと読む）