【課題】本発明は、金属製品または非金属製品の成形または切断作業時に発生するバリを自動で除去するだけでなく、デバーリング作業時に発生する騒音及び異質物による作業空間汚染を最小化することができるデバーリング装置を提供するためのものである。
【解決手段】本発明に係るデバーリング装置は、ベースの上に設けられてデバーリング対象物を移送する移送経路を形成する移送モジュール、ベースの上のデバーリング対象物の移送経路の上に設けられてデバーリング対象物をデバーリングするデバーリングモジュール、及びベースの上に往復動可能に設けられて移送モジュール及びこの移送モジュールの上のデバーリング対象物が外部に露出することを選択的に遮断するだけでなく、デバーリングモジュールを用いたデバーリング対象物のデバーリング作業時に発生する粉塵及び騒音が外部に伝えられることを防止する遮断カバーを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ファンに加工屑等の異物が付着する恐れを低減してファンの吸引力の低下を防止可能な加工装置を提供する。
【解決手段】チャックテーブルと、加工手段２４と、加工液供給手段と、加工室３１と、一端が該加工室３１に連通すると共に他端がファン４５に連通して該加工室３１内の雰囲気を排気する排気路４４とを備えた加工装置であって、該加工室３１から該排気路４４に流入した排気に含まれる廃液を気体から分離する分離手段４８を更に具備し、該分離手段４８は、一端に該加工室３１に連通する吸気口５４を有する底部５０ａと、上端部に該ファン４５に連通する気体排出口５６を有する立ち上がり部５０ｂと、該底部５０ａと該立ち上がり部５０ｂとを連結する屈曲部５０ｃとから構成される筒状本体５０と、該筒状本体５０の該底部５０ａに形成された廃液を排出する廃液排出口５８と、該廃液排出口５８に連通する廃液排出路６０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】排気装置を大型化することなく、加工チャンバーや洗浄チャンバー内の排気能力を向上させること。
【解決手段】ワークを吸引保持するチャックテーブル機構３と、チャックテーブル機構３に保持されたワークを加工するブレード７１１，７２１と、ブレード７１１，７２１を回転可能に支持する気体軸受けを有するスピンドル７１２，７２２と、を備えた第一及び第二の切削加工手段７１，７２と、ブレード７１１，７２１がワークに作用する加工点を覆う加工チャンバー１００とを有する加工装置であって、チャックテーブル機構３若しくは第一及び第二の切削加工手段７１，７２の気体軸受けに用いられた気体の排気経路７１３，７２３に加工チャンバー１００内に吸引力を発生させるエジェクター１１１，１１２を有する。 （もっと読む）

【課題】切断時に発生した切粉等の粉塵が被切断物の表面に残留するのを防止できる切断方法及び切断装置を提供する。
【解決手段】切断ブレード１０１を回転駆動しながら基板９００に対して相対的に移動させるときに、基板９００に対する切断ブレード１０１の相対移動方向における下流側及び上流側の少なくとも一方で、基板９００の表面に対して気体を吹き付け、切断ブレード１０１の周辺から気体を吸引して排出する。更に、切断ブレード１０１の側面側で、基板９００の表面に対して気体を吹き付けるようにしてもよい。また、切断ブレード１０１の回転で生じた気流の外部への飛散を遮蔽するように前記気体を面状にして吹き付けてもよい。また、切断ブレード１０１の被切断物側で回転移動している外周部分の移動方向と、被切断物に対する切断ブレード１０１の相対移動方向とが同じ方向になるように、切断ブレード１０１を回転駆動してもよい。 （もっと読む）

【課題】効果的にエナメルヘアなどを除去することができ、経済性や生産性などを向上させることができる剥離ヘア除去装置及び剥離ヘア除去方法の提供を目的とする。
【解決手段】エナメルヘア除去装置１は、コンビーフ缶６を搬送するマグネットコンベア１１と、エナメルヘア６３を吸引するための吸引用流路２１３を有し、コンビーフ缶６からエナメルヘア６３を掻き取るセグメント式ロールブラシ２と、吸引用流路２１３と連通し、エナメルヘア６３を吸引して排出する吸引用ダクト５とを備え、コンビーフ缶６からエナメルヘア６３を除去する構成としてある。 （もっと読む）

【課題】基板上のレジスト膜を現像した後に基板外周と端部に残存するレジスト残りを研磨する装置の提供である。
【解決手段】少なくとも、円柱部材の外周上に円柱の軸を中心とする複数のＵ字形状の凹溝7が平行に形成され、該凹溝7内壁は壁に沿うように砥石4により被覆されるとともに、該凹溝内空間は、円柱部材の中心軸上に形成された開口部を有する空洞9と砥石4と円柱部材に形成された微細な排出用孔8を介して連通する、砥石ヘッドと、基板を載置して該基板を上下水平方向に移動自在な基板ステージ10と、純水あるいはエアーを凹溝内部方向に吐出するノズル５と、を備え、基板ステージ10上に載置した基板1の外周部を砥石ヘッドの凹溝7に収容したままの状態で、砥石ヘッド20が軸回転できるようにしたことを特徴とする基板端面付着レジスト研磨装置。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、粉塵処理の効率を向上させ、かつ粉塵の廃棄処理が容易となる粉塵分離処理装置を提供する。
【解決手段】吸入空気から粉塵を分離して除去した後にサイクロンホッパー２を上方に移動させるだけで回収容器３から離脱でき、かつ回収容器３の方に設けられた蓋体５２にサイクロンホッパー２の下端部が挿入・離脱可能に連結されているので、サイクロンホッパー２を用いることによって粉塵処理の効率を向上させるとともに、サイクロンホッパー２に対する回収容器３の着脱が容易となり、回収容器３内の粉塵の廃棄作業が容易になる。 （もっと読む）

【課題】研削時に発生する研削屑の除去効果を向上させること。
【解決手段】回転軸４２には、液体を供給する液体源に連通する液体連通路４２１が上下方向に伸びるように形成され、工具マウント４４は、液体連通路４２１に連通する第１流路４４１と、第１流路４４１の下側先端部から回転軸４２に対して放射方向に分岐して形成され、ワークＷに向かって液体を噴出する噴出口５２２に連通する第２流路４４２と、第２流路４４２の中間部に気体を取り込む気体流入口４４３と、を有し、液体源から供給された液体が、回転軸４２の回転により第２流路４４２内で生成される遠心力によって気体流入口４４３から取り込まれた気体と第２流路４４２内で混合され、噴出口５２２からワークＷに向かって混合流体が噴出するようにした。 （もっと読む）

【課題】研磨効率の低下を抑制し、効率よくグリーンボールの研磨を実施することが可能なグリーンボールの研磨装置を提供する。
【解決手段】
研磨装置１は、第１の面１１を有する第１定盤１０と、第１の面１１に対向し、第２の面２１を有するとともに、第２の面２１に交差する方向に突出する保持部２２を有する第２定盤２０とを備えている。第１の面１１は、グリーンボール９１を研磨する研磨面となっている。また、グリーンボールの研磨装置１は、研磨により生じた研磨粉を上記研磨面から除去する吸引部材４０をさらに備えている。グリーンボール９１は第１の面１１と第２の面２１との間において挟持される。そして、第１定盤１０および第２定盤２０は、それぞれ軸αおよび軸β周りに回転することによってグリーンボール９１を公転および自転させる。 （もっと読む）

【課題】表面処理により生じた切屑などを簡単な構成で回収するとともに、処理対象の形状に関わらず効率良く処理できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１０は、回転ブラシ２２を備えたワークスペース２０，モータ収納部４０，回収部８０により構成される。回収部８０には、回転ブラシ２２の後方に配置されたフィルタ９４と、底面側に設けられた回収トレー８４が着脱可能に保持され、上面カバー９８には通気孔１００が形成されている。回転ブラシ２２の後方には、上面カバー９８とフィルタ９４の間を塞ぐ遮蔽板９９が設けられる。回転ブラシ２２にワークを押し当てると、表面処理によって生じた切屑は、回転ブラシ２２の回転によって生じた気流に乗り、大きなものは回収トレー８４に落下する。一方、細かい切屑は、吹き上げられた気流がフィルタ９４を通過する際に分離し、回収トレー８４に落下する。 （もっと読む）

【課題】給水ノズルから当接部に供給される冷却水の飛沫が広範囲に亘って飛散するのを防止し、これにより、飛沫が板材の表面に付着し難くすること。
【解決手段】 板材の端面加工装置１は、回転砥石１０の外周面に凹に周設された研磨溝１１に加工対象である板材Ｂの外周端部を挿入して当接させ、当該圧接加工部１７へ冷却水を供給する装置において、給水ノズル１２の水出口１２１を、回転砥石１０の径方向の外側から研磨溝１１の溝底に向けて冷却水を供給するように配向し、給水ノズル１２の下流側に水出口１２１から圧接加工部１７まで回転砥石１０の外周に沿って延伸する水ガイド１５を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 円柱形の鉄系金属部品の稜角部の丸み付け加工をするための加工方法において、外周面側ダレ量と端面側ダレ量との近似化が容易で、更には、短時間で丸み付け加工が済む鉄系金属部品の加工方法を提供すること。
【解決手段】 円柱形の鉄系金属部品（ワーク）の両側の端面Ｗ1の角部Ｗ２に丸みＲ付けをするための加工方法。ワークＷの多数本を同時処理するバレル研磨工程により行う。該バレル研磨工程を、
１）ワークＷの角部Ｗ２を塑性変形させて、該端面Ｗ１の外周端部に、湾曲凸部ａを、前記端面Ｗ１に前記ワークの外径より小さい径の平面部ｂを残して形成する第一工程、及び、２）湾曲凸部ａを研磨除去して、端面Ｗ１の角部Ｗ２に丸みＲが形成されるようにする第二工程、とで行なう。 （もっと読む）

【課題】稼働停止時における電力等のユーティリティを低減する。
【解決手段】ＣＭＰ装置１の回転定盤１７に取り付けた研磨パッド１６とトップリング１８との間に半導体ウエハＷを保持して相対回転させてウエハＷを研磨する。リンス水供給管１１にリンス水流量調整弁１３を設けて、研磨部２内の研磨パッド１６に間欠的に純水を供給して湿潤状態に保つ。洗浄部３には研磨した半導体ウエハＷを洗浄用スポンジローラ２６，２７で挟持して洗浄して搬送する。リンス水供給管１２ａ、１２ｂにリンス水流量調整弁１４、１４を設けて、洗浄用スポンジローラ２６，２７に間欠的に純水を供給して湿潤状態に保つ。純水の供給間隔をｔ分とし、１回毎の純水の供給継続時間をｄｔ秒として、下記の（１）式と（２）式を満足する。ｄｔ＝２０{１．６−ｅｘｐ（−０．０１７８３ｔ）} ……（１）、１０≦ｔ≦３０ ……（２） （もっと読む）

【課題】連続溶融金属めっきラインのトップロールに付着した異物を適切に除去することができるトップロールの異物除去装置を提供する。
【解決手段】このトップロールの異物除去装置１０は、トップロール８に付着した異物を除去するために、トップロール８の表面に押し当てられて、回転しながらトップロール８の幅方向に移動するポリッシャー１１と、そのポリッシャー１１の下方に配置され、トップロール８の幅以上の幅を有し、先端がトップロール８に接するようにして、ポリッシャー１１で発生した研磨粉を受け止めて回収するブレード１２と、そのブレード１２に併設されて、ブレード１２で回収された研磨粉を吸引・確保するバキューム装置１３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 脱臭装置を大型化することなく、レンズ加工時に発生した臭気の外部への漏れを抑え、効率よく脱臭する。
【解決手段】 加工装置の加工室でレンズ加工を行う際に生じる臭気を脱臭する眼鏡レンズ周縁加工の脱臭システムは、加工室から排出される加工屑を含む研削水が導入される脱水槽を持ち、脱水槽の回転により研削水と加工屑を分離し、分離した研削水を脱水槽の外へ排出する遠心分離機と、遠心分離機から排出される研削水を研削水タンクに導くと共に、脱水槽の回転により加工室から吸引される臭気を含む空気を研削水タンクに排出する排気路を兼ねる研削水排出路と、タンクの水面より上部に吸気管を介して接続され、タンク内に排気された空気を吸引して臭気を脱臭する脱臭装置と、脱臭装置により吸引し切れないタンク内の空気を導く排気管であり、タンク上部と加工室とを接続する排気管とを有する。 （もっと読む）

【課題】切断作業時に生じる切粉を効果的に除去・回収することができるワイヤーソー切断装置を提供する。
【解決手段】ワイヤーソー切断装置１は、無端状の切断用ワイヤー１０、駆動プーリ２０、送り側ガイドプーリ３０、戻り側ガイドプーリ４０、切断用ワイヤー１０の張力を調整するための補助プーリであるテンションプーリ５０ａ、５０ｂを備える。そして、送り側ガイドプーリ３０にこれを包囲するプーリカバー１００を備える。また、このワイヤーソー装置は、プーリカバー１００の排出ノズル１０４から剥離させた切粉を吸引するためのバキュームポンプ２００、切粉を濾過して分離された水を収容すると共に、この水をプーリカバー１００へ循環させるための排水タンク３００を備える。吸引された切粉は、排水タンク３００に導入され、タンク内で濾過され、濾過された水は排水タンク３００からプーリカバー１００の冷却水供給ノズルへ戻るようになっている。 （もっと読む）

【課題】長尺の加工対象物であっても集塵能力を増強することなく、安定した状態で表面粗面化処理を可能とする表面粗面化装置を提供する。
【解決手段】表面粗面化装置の収容槽９は、円筒状の非磁性の外周部材５０１と、外周部材５０１と同軸状に位置決め部材５４ａ、５４ｂ上にベアリング部材８１によって回転自在に取り付けられた円筒状の磁性体からなる中間部材５０２と備えている。中間部材５０２は、外周部材５０１の内周壁５０１ａと中間部材５０２の外周壁５０２ｂとの間に、削り粉８０が通過可能な所定の間隔で離隔した間隙ｇを有して配設されている。中間部材５０２には、台形状の開口８２が周方向で４等分された位置に４個、そして、軸方向で複数形成されており、この開口８２によって、中間部材５０１の内方の空気を吸引すると共に、この開口８２から削り粉８０が間隙ｇ内に搬送されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】非磁性管の内面の汚れがひどい場合でも好適に用いることができ、長時間に亘って研磨作業を継続する場合でも研磨作業の効率が低下しない上、非磁性管の種類に応じて磁界の強度を容易に調整することが可能な非磁性管内面研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置１は、横長な長方形状の支持台２の上面に、非磁性管Ｐを固定するための固定手段３、非磁性管Ｐの外部から外周方向に回転する磁界を発生させる回転磁界発生手段４等が設けられている。また、回転磁界発生手段４の後方には、研磨によって生ずる研磨屑を除去するために非磁性管Ｐ内を吸引する吸引手段８が設けられており、回転磁界発生手段４の側方には、回転磁界発生手段４を冷却するための冷却手段９が設けられている。一方、固定された非磁性管Ｐの内部には、長尺な円柱状の磁性体からなる研磨手段１０，１０・・が収容されている。 （もっと読む）

【課題】クリーンルーム環境下において、低コストで迅速かつ確実にガラス板のエッジを自動で研磨する。
【解決手段】本発明は、クリーンルーム環境下においてガラス板のエッジを自動で研磨する装置及び方法に関し、以下の構成を含む。ａ）ガラス板（１１）を受け取るために、複数の吸引ユニット（１０）を有する吸引フレーム（９）を保持したグリッパアームを備えた多軸ロボット（２）、ｂ）ロボット（２）のグリッパアームの回転範囲内に導入され、少なくとも１つの回転可能な研磨輪（１３）を備え、固定された様式で設置された研磨ユニット（１）、ｃ）研磨ユニット（１）の操作により生じた研磨塵を排出する排出システム、ｄ）検知機器に連結され、研磨輪（１３）の摩耗の程度及び状態を監視する較正機器（１８）、並びに本方法を実行するためのコンピュータプログラム。 （もっと読む）

【課題】紙パックを用いても変形や破損を生じにくくして取扱いを至便とする。
【解決手段】ハウジング２に形成された粉塵排出用のノズル１１に装着される装着部２１と、その装着部２１に連結され、ノズル１１から空気と共に排出される粉塵を貯留する集塵部２２とからなるダストボックス２０であって、集塵部２２を、装着部２１へ着脱可能に連結される合成樹脂製のボックス３４と、そのボックス３４内に収容されて粉塵を貯留する紙パック３５とから構成した。よって、紙パック３５は常にボックス３４に保護され、脆弱な紙パック３５を用いても変形や破損が生じにくくなり、取扱いに至便となる。 （もっと読む）