【課題】ビレットの面取りを好適に行なうことができる面取り装置を提供すること。
【解決手段】
筐体と、筐体に支持されるアーム用軸を介して筐体に対し回転可能に支持されるアームと、アームに支持される切削部材用軸を介してアームに対し回転可能に支持される切削部材と、筐体に支持され、かつ、アームのアーム用軸と切削部材用軸との間の領域においてアームを押圧する弾性部材と、を有するビレット用面取り装置とする。なおこの場合において、アームの、前記アーム用軸を基準として前記切削部材用軸が存在する側とは反対の側の領域に、重りを有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】アライニング機能を有するウェハ周辺部研磨装置であって、研磨対象となるウェハが大口径ウェハであっても、装置を小型化できるとともに、製造コストの上昇を抑制することが可能な周辺部研磨装置を提供する。
【解決手段】ノッチ位置検出センサ７３の光学式センサ７３１がワークＷのノッチｄを検出すると、チャック手段２１の回転が減速される。ノッチ位置決めピン７４をワークＷの半径方向内側に移動し、ばね７４６の付勢力によって、スライダー７４３を、ワークＷの半径方向内側に移動する。ピン部７４１の先端がワークＷの円筒面ｂに当接し、ピン部７４１の先端がワークＷの円筒面ｂに押し付けられる。この状態で、さらにワークＷを回転すると、ピン部７４１の先端がワークＷのノッチｄに侵入して係合する。その結果、ノッチｄは、ノッチ用研磨ユニット６と対向する角度位置に位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】被加工物の固定時における位置ずれ等を生じることなく、短時間で高精度な心出しにより、高精度に効率よく心取り加工を行う。
【解決手段】レンズ保持軸１のレンズヤトイ４に真空吸着にて被加工レンズ５を仮固定し、移動テーブル９に搭載された偏心検出装置Ｌ１による被加工レンズ５に対する出射光１８ａおよび反射光１８ｂの観察によってレンズ保持軸１の軸心と被加工レンズ５の中心軸を一致させる心出しを行った後に、レンズ保持軸１とレンズ固定軸６の間に被加工レンズ５を挟持して回転させ、研削砥石２１を被加工レンズ５の外周部に押圧して心取り加工を行う。従来のようにヤニによって被加工レンズ５をレンズヤトイ４に固定する場合に比較して、位置ズレを生じることなく、短時間に正確に被加工レンズ５をレンズ保持軸１に対して同軸状態に固定して高精度な心取り加工を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】ドリル本体が小径部と大径部を有する段付きドリルであっても、ドリル本体に対して一定の捻れ角の捻れ溝を加工することができ、段付き孔を効率的に穿孔できる穿孔ドリル及び穿孔ドリルの加工方法を提供する。
【解決手段】ドリル本体１１の先端部に小径部１２、基端部に大径部１３を有する段付きの穿孔ドリルにおいて、前記ドリル本体１１の大径部１３及び小径部１２に同一の捻れ角を有する螺旋状の捻れ溝１２ａ，１３ａを連続して形成したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ分断法の欠点を解消して、薄板化しても強度の劣らないＦＰＤ用ガラス基板を効率よく製造できる製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板の表面に、ガラス板厚Ｈの１／４未満で、且つ、その後の研磨量Ｗに対してＷ〜３Ｗの深さＤで、略Ｖ字状の区画ラインを形成して、ガラス基板を個々の電子装置の領域毎に区画する区画処理（ＳＴ１）と、区画されたガラス基板の表面に化学研磨液を接触させて、ガラス基板の表面を、厚さＷ≦８０μｍだけ研磨する研磨処理（ＳＴ２）と、薄型化されたガラス基板の区画ラインに沿ってレーザ光を走査して、前記区画ラインを、ガラス基板に対して貫通又はほぼ貫通させる走査処理（ＳＴ３）と、ガラス基板を個々の電子装置の領域毎に分離する分断処理（ＳＴ４）とを設け、その後の処理を経て電子装置を完成させる。 （もっと読む）

【課題】 クリングスアームとレンズとの干渉を避けつつ、見栄えの良いレンズの加工を容易に行えるようにする。
【解決手段】
眼鏡レンズ加工装置は、玉型データに基づいてレンズ前面及びレンズ後面のコバ位置を検知する手段と、レンズ後面のコバ角部を加工するコバ角部加工具と、仕上げ加工後のレンズ後面のコバと眼鏡フレームのクリングスアームとの干渉を避けるに必要なコバ角部の修正量データを入力する手段であって、クリングスアームのコバ位置での加工量及びコバ角部の加工範囲を含む修正量データを入力する修正量データ入力手段と、コバ位置検知データ及び修正量データに基づいてレンズ後面のコバ角部の加工軌跡を求めて修正加工データを得る加工データ演算手段と、修正加工データに従ってレンズ後面のコバ角部を前記コバ角部加工具により加工する加工制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】切刃の周方向の間隔が異なる部分を有するエンドミルにおいて、特に大きな切削負荷の作用する切刃の損傷を確実に防止する。
【解決手段】軸線Ｏ回りに回転されるエンドミル本体１の先端部外周に形成された複数の切屑排出溝４のエンドミル回転方向Ｔを向く壁面の外周側辺稜部に切刃５を形成するとともに、この切刃５のエンドミル回転方向Ｔ後方側には外周逃げ面７を、切刃５のエンドミル回転方向Ｔ後方側に隣接する切刃５の切屑排出溝４に交差するように形成し、切刃５のうち少なくとも一の切刃５Ａは、軸線Ｏ方向に沿った少なくとも一部において、エンドミル回転方向Ｔ側に隣接する切刃５Ｂとの周方向の間隔ａ＋Ｂを他の切刃５Ｂよりも大きくするとともに、この少なくとも一の切刃５Ａに連なる外周逃げ面７Ａの周方向の幅Ａも他の切刃５Ｂより大きくする。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハの外周を切削する際にウエーハの表面を汚染することのない面取り部除去工程を有するウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とが表面に形成され、該外周余剰領域の外周に表面から裏面に至る円弧状の面取り部を有するウエーハの加工方法であって、ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、回転可能な第１チャックテーブルにウエーハを吸引保持し、ウエーハの前記面取り部の半径方向内側に切削ブレードを位置付けて該第１チャックテーブルを少なくとも一回転させて該面取り部を除去する面取り部除去工程と、第２チャックテーブル上にウエーハの該保護部材側を吸引保持し、ウエーハの裏面を研削砥石で研削する裏面研削工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】工具交換をすることなく、粗加工と仕上げ加工とを行えるようにして、レンズ型を高精度に加工できるようにする。
【解決手段】回転するレンズ型Ｅに加工具Ｄ１を押圧することにより、そのレンズ型Ｅにレンズ成型用凹部を加工形成するレンズ型の加工装置Ａ１において、上記加工具Ｄ１に、レンズ成型用凹部を加工するための加工部を複数設けている。 （もっと読む）

【課題】大型化したフォトマスク用基板において、基板の外側端面を鏡面化処理してパーティクルの発生を防止しているため、ハンドリング時に手から重い基板が滑り、しっかりと保持できない場合がある。
【解決手段】波型部６の外形形状に合致する外形を備えた回転する研削工具１０を用いて、矩形に形成した合成石英ガラス製のガラス基板１の４辺に対し厚さ方向に沿って複数の凹凸部４，５が連なる波型部６を辺の全長にわたって形成し、波型部６にハンドリング時の手のひら、指の腹等が引っ掛かるようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の所望の強度およびエッジ品質の特性を低下させずに、正確な量のガラスをエッジから除去する。
【解決手段】研削ユニットに連結された空気軸受滑動部材２００が、リニア駆動モータ２０４によりｙ軸に沿ってレール部材２０２の上を滑動するように構成されている。研磨機支持部材３０４が空気軸受滑動部材２００に接続され、研削砥石３００を駆動するように構成されているスピンドルモータ３０２が、研磨機支持部材３０４に固定され支持されている。研削砥石３００に近接して配置された真空チャックが、ガラス基板を研削砥石３００に対して三次元にアラインメントし保持するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】切削によりウェーハの面取り部を除去する場合において、ウェーハ表面のデバイスに切削屑が付着して汚染されないようにしてデバイスの機能及び品質が低下するのを防止する。
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域Ｗ１とデバイス領域Ｗ１を囲繞する外周余剰領域Ｗ２とが表面Ｗａに形成され外周余剰領域Ｗ２の周縁に表面Ｗａから裏面Ｗｂにかけて円弧状の面取り部Ｗ３が形成されたウェーハＷの面取り部Ｗ３を切削により除去する場合において、デバイス領域Ｗ１に対して対面部材８４を対面させてデバイス領域Ｗ１と対面部材８４との間に隙間９を形成し、隙間９に水層９０を形成した状態で、ウェーハＷを回転させながら切削により面取り部Ｗ３を除去することにより、切削屑がデバイスに付着するのを防止する。 （もっと読む）

【課題】くし形のもみ抜き保持器を備えた自動調心ころ軸受において、たる形ころの保持器への組み込み性を向上させる。
【解決手段】
内輪１は各軌道３、４の小径側のつばがないものであり、内輪１の軌道３、４の大径側に保持器８、９の環状部８ａ、９ａが位置している。保持器８、９のくし部８ｂ、９ｂは、周方向内周にたる形ころ６、７の外周面に沿う球面状のポケット内面が形成され、ころ回転軸方向の長さがたる形ころ６、７の最大径部分を越え、かつたる形ころ６、７の面取り部分よりも短く形成される。これにより、隣り合うくし部８ｂ、９ｂの周方向内面でたる形ころ６、７を抱きかかえることができ、内輪１にたる形ころ６、７を組み込んだ保持器８、９を軸方向に容易に組み込むことができる。 （もっと読む）

【課題】砥石の寿命を向上させること、加工速度を高速化すること。
【解決手段】熱処理時にキャリアガスによって半導体ウエーハの外表面に形成された酸化膜のうち、該半導体ウエーハの外周面１ｃ，２ｃを覆う酸化膜部分と未接合部とを、砥粒粒度が異なる複数の砥石５ａ，５ｂを順次使って段階的に研削加工することにより、酸化膜部分を砥粒粒度の粗い砥石５ａで粗研削し、これに続いて、未接合部を砥粒粒度の細かい砥石５で仕上げ研削することが可能となり、それに伴って、これら砥粒粒度の異なる砥石５にかかる負荷が夫々軽減されるとともに、砥粒粒度の細かい砥石５による仕上げ研削で、半導体ウエーハの外周からチッピングが発生し難くなる。 （もっと読む）

【課題】円盤状ガラスの内外周面をＮＣ制御された回転式砥石を用いて研削する場合において、回転式砥石の表面磨耗を考慮することなく当初設定のままＮＣ制御し続けると、円盤状ガラスの処理枚数に比例して回転式砥石の磨耗量が増加して、結果として同一の回転式砥石を用いて研削した円盤状ガラスであっても、処理枚数の増加に従って内径が小さく、かつ、外径が大きくなる問題がある。
【解決手段】円盤状ガラスを固定するワーク台と円盤状ガラスの内外周面を研削する研削工具とを有する情報記録媒体用ガラス基板の製造装置において、研削工具の磨耗量を測定して、その磨耗量の測定値に応じて円盤状ガラスと研削工具との相対位置をフィードバック制御するようにした。これにより、同一の研削工具による円盤状ガラスの処理枚数が増えても、その寸法精度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】カムの外周面に形成された凹状部及び凸状部を有するカム面を、正確に研削することができるカム面の研削方法を提供する。
【解決手段】外周面にカム面Ｆを形成するとともに、そのカム面Ｆに凹状部Ｆｂ１〜Ｆｂ３及び凸状部Ｆａ１〜Ｆａ３を設けたカムＣを、その回転軸線Ｌ１を中心に回転させながら、回転砥石２４をカム面Ｆに接触させて、そのカム面Ｆを研削する。このカム面Ｆの研削時には、回転砥石２４の回転軸線Ｌ２をカムＣの回転軸線Ｌ１に対して傾斜させた状態で、回転砥石２４をカムＣの回転軸線Ｌ１と交差する方向（Ｘ軸方向）へ進退移動させるとともに、その進退移動方向と直交する方向（Ｙ軸方向）へ往復移動させる。カム面Ｆの凹状部Ｆｂ１〜Ｆｂ３を研削する際のカムＣの回転方向を、同カム面Ｆの凸状部Ｆａ１〜Ｆａ３を研削する際の回転方向に対して逆転させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の外径端面加工において面取り研削加工と研磨加工を同時に行うことのできる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板の外径端面部分の研磨において、粘弾性流体に研磨剤を加えた研磨液を用いることにより、ガラス基板の外径端面部分の研磨は、面取り加工を含む研削仕上の後に、この研削仕上に用いる工具と同一の砥石１を使用して行うことができ、また、ガラス基板の外径端面部分の研磨及び面取り加工は、砥石１及びガラス基板を交換することなく、交互に連続して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】膨大なデータ管理を必要とせずに、簡便かつ効率的に光学面として利用できる非球面が得られるレンズ研磨装置及び研磨皿を提供する。
【解決手段】レンズ研磨装置１０は、レンズ素材１２の光軸１３と研磨皿１５の中心軸１６とが交差し、被研磨面の光軸１３を通る直径分の断面形状線を中心軸１６回りに回転させたときの回転面を研磨面１７とする研磨皿１５を備える。研磨皿１５は、研磨面１７が表面に形成されたパッド台座１８と、パッド台座１８の表面に貼付されたシート状の研磨パッド１９とからなり、研磨パッド１９にはその中心から周辺に向かって幅が漸増する複数本の螺旋状の切込みが形成され、研磨皿１５が回転したときに被研磨面に形成される非球面の頂点部分と摺接する研磨面１７の帯状領域２５に、非球面の頂点部分に摺接しない凹部２６が離散的に配列される。 （もっと読む）

【課題】 遠心分離機の脱水槽から加工屑を容易に取り出すことができ、脱水槽の回転時に異常な振動の発生を抑え、作業者の手を汚す可能性を低減できる加工屑処理装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡レンズ加工装置からの加工屑を含む研削水が排出される脱水槽を持ち、脱水槽の回転により研削水と加工屑を分離する遠心分離機を有する眼鏡レンズ加工用の加工屑処理装置は、脱水槽の内部に入れられ、眼鏡レンズ加工装置からの加工屑を含む研削水が排出される加工屑回収容器を備え、加工屑回収容器は脱水槽の内側側面及び内側底面の内部形状に略一致する外形形状の側壁部及び底面部であって、脱水槽の内側側面の内径より小さな外径の側壁部及び底面部と、底面部の略中央又は前記側壁部の上端に設けられ、操作者が手で持つ取出治具のフックが引っ掛けられるか、または操作者の指に係合される係合部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】矩形硬質脆性基板の側辺加工の精度が高く、加工安定性に優れた側辺加工装置の提供を目的とする。
【解決手段】ワークの中心部を支持するための旋回制御された中心テーブルと、当該中心テーブルの両側に一対の前記ワークの中心部以外を支持するための側辺テーブルと、中心テーブル及び一対の側辺テーブルにて支持したワークの対向両側辺を加工する工具とを備え、工具は側辺テーブルの側辺と平行な方向に相対移動可能になっていて、一対の側辺テーブルは中心テーブルの旋回動作に同期して、当該中心テーブルを挟んで近接離隔制御された拡狭装置を有している。 （もっと読む）