【課題】 円形凹部に対応するデバイス領域に割れを生じさせることなくウエーハを個々のチップに分割可能なウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハの加工方法であって、ウエーハ内部に分割予定ラインに沿った改質層及び円形凹部と環状補強部との境界部に環状改質層を形成する。環状補強部上に環状フレームに装着された粘着テープを載置し、ウエーハの直径より長いローラーを、ウエーハに対して下方に押圧しつつ粘着テープの裏面上を転動させて、環状補強部を押し下げて円形凹部と環状補強部を環状改質層に沿って分離するとともに、円形凹部の底面及び環状補強部に粘着テープを貼着する。 （もっと読む）

【課題】軸受装置に対して高荷重・高速回転で運転されているときでも、焼き付き等の不具合の生じにくいころ軸受の製造方法を提供する。
【解決手段】内輪部材３と外輪部材２との間に複数のころ４を介在させるとともに、内輪部材２と外輪部材３とのうち少なくとも一方の部材の軸方向端部に、ころ４の端面４Ａをすべり接触で案内する案内面８を有する鍔部７を設けたころ軸受１の製造方法において、ころ４を砥石に対して遠近方向で移動させてきわめて短時間ころ４の端面を砥石に接触させ、その後ただちに研磨位置から退避させることを繰り返すとともに、その繰り返す研磨ごとにころがころの軸心周りでことなる回転姿勢となるように設定して研磨を行うことでころ４の端面４Ａの研磨痕９を無方向性にしてある。特に、円錐ころ軸受に適用することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ベベル研磨時に研磨粉によってウエハ表面が汚染されず、研磨後のウエハ洗浄工程を必要としないウエハ研磨装置を提供する。
【解決手段】ウエハ２のベベルの下半分を研磨するには、回転砥石４１を４１aに示す位置まで移動させて、ウエハ２の端面に回転する砥石研磨面４３を接触させる。
そしてステージ３１側を回転させることによって、回転砥石４１はウエハ２の端面全周と接触してベベルを研磨する。
ステージ３１が一回転する間に、回転砥石４１をウエハ２の下面に向かって、ベベルに沿って一定の速度で移動させ、これを連続して回転砥石４１が図２、４１ｂの位置に来るまで続ける。研磨中はウエハ上方に備えたノズルからクーラント液を研磨位置直前の砥石に向かって噴射する。
ベベル上半分を研磨するときはウエハの下方に設置したノズルからクーラントを噴射しながら同様に研磨する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、後面ヤゲンに連結するヤゲン肩のコバを薄くでき、コバのエッジの尖りを軽減できる眼鏡レンズ加工装置等を提供する。
【解決手段】 眼鏡レンズを保持するレンズチャック軸と、該レンズチャック軸に保持された眼鏡レンズの周縁にヤゲンを形成するヤゲン加工具と、を備える眼鏡レンズ加工装置において、前記ヤゲン加工具は、レンズ後面側のヤゲンを形成する第１加工部位と後面側ヤゲンに連結するヤゲン肩を形成する第２加工部位とを持ち、前記第２加工部位は、第１加工部位との境界点を始点として第２加工部位の終点に至るまでに、前記境界点を通って前記レンズチャック軸の軸線に平行な線からの距離ｙｎが徐々に増加すると共に、距離ｙｎの増加率が終点に行くにしたがって少なくとも２段階で徐々に大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】ディスプレイパネルのガラス基板その他の硬質脆性板の面取加工方法及び装置に関し、チッピングの発生を可及的に抑えながら、より高速で面取加工を行うことが可能な技術手段を得る。
【解決手段】
硬質脆性板の割断面と板面とが交わる部分に形成された鋭い稜線を、当該稜線と平行な砥石軸回りに回転する複数枚の円板砥石を当該稜線と平行に送りながら、当該円板砥石の周面で斜めに削り取る面取加工方法において、稜線を削り取ることによって形成される斜めの面（面取面）と板面との夾角（面取角）を３５度〜１５度の範囲の角度とし、円板砥石の回転方向を従来とは逆の方向、すなわち回転砥石の周面が面取面を割断面側から板面側へ摺擦する方向の回転とする。 （もっと読む）

【課題】細長眼鏡レンズに溝を刻設する場合でも、ガイドローラの機能が損われず、確実に溝の刻設が可能となる眼鏡レンズの溝堀機を提供する。
【解決手段】本体部と、該本体部に傾動可能に支持され、水平方向に移動自在なチャックヘッド１と、該チャックヘッドに設けられ、回転可能にレンズを支持するチャック回転機構２，３と、前記本体部に設けられたガイドユニットと、眼鏡レンズ４の周端面に溝２６を刻設するカッタ６とを具備し、前記ガイドユニットは、前記眼鏡レンズの周端面が前記カッタに当接した状態で、水平方向から前記眼鏡レンズの両面に転動自在に当接し、該眼鏡レンズの周端面に対する前記カッタの位置を設定する左右一対のガイドローラ１０を有し、該ガイドローラは、レンズから離れるに従ってレンズ周端面から離反する方向に傾斜された。 （もっと読む）

【課題】 複列の軌道溝を有する旋回軸受において、生産性を損なわずコスト的に可能な範囲内で、軸受寿命の長期化が図れる軌道溝間距離の相互差を提示する。
【解決手段】 旋回軸受は、内輪１および外輪２の複列の軌道溝１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ間に複数のボール３が介在する。内輪１における複列の軌道溝１ａ，１ｂ間の距離ｅ_ｉまたは外輪２における複列の軌道溝２ａ，２ｂ間の距離ｅ_ｏがボール３の直径Ｄｗの１ないし１．７倍であり、かつボールの直径Ｄｗが３０ｍｍから８０ｍｍであって、前記軌道溝間距離ｅ_ｏと軌道溝間距離ｅ_ｏとの差Δｅを５μｍないし５０μｍとする。複列の軌道溝１ａ，１ｂ，（２ａ，２ｂ）を、アランダム系の砥石を用いて同時に加工する。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造で形成される鋳片を回転砥石で研削するに際し、研削面から回転砥石が脱落することがない鋳片の研削方法を提供する。
【解決手段】鋳片３０の縁３０ｂ，３０ｃに沿い、かつ縁３０ｂ，３０ｃに対して回転砥石３１の回転軸線３２が傾斜するようにして研削する場合、回転砥石３１の移動方向下流側の側面３１ａに対して、鋳片３０の研削中の部分から作用する移動方向反力Ｒの方向が鋳片３０の内向きになるようにする。鋳片３０に対する内向きの反力Ｒは、鋳片３０の外方へ延びる回転軸線３２と、回転砥石３１の移動方向下流側の鋳片３０の縁３０ｂ，３０ｃとの成す角度αを、鋭角にすることで実現される。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】インデックス型ロータリーテーブル２にサーボモータ３ｍによりセンター軸を回転させる主軸台３ｒの４台と心押台３ｆの４台よりなるクランプ機構３を同一円周上に等間隔にかつ、縦方向に４基設け、この４基のクランプ機構の位置でインデックス型ロータリーテーブル２上のワークピースｗ位置を、ローディング／仕上げ研削砥石を用いるコーナー部仕上げ研削加工／アンローディングステージ（ｓ_１）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面研削加工ステージ（ｓ_２）と、粗研削砥石を用いるコーナー部粗研削加工ステージ（ｓ_３）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面仕上げ研削加工ステージ（ｓ_４）の四つの研削加工ステージに区分けしたインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】給水ノズルから当接部に供給される冷却水の飛沫が広範囲に亘って飛散するのを防止し、これにより、飛沫が板材の表面に付着し難くすること。
【解決手段】 板材の端面加工装置１は、回転砥石１０の外周面に凹に周設された研磨溝１１に加工対象である板材Ｂの外周端部を挿入して当接させ、当該圧接加工部１７へ冷却水を供給する装置において、給水ノズル１２の水出口１２１を、回転砥石１０の径方向の外側から研磨溝１１の溝底に向けて冷却水を供給するように配向し、給水ノズル１２の下流側に水出口１２１から圧接加工部１７まで回転砥石１０の外周に沿って延伸する水ガイド１５を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スループット時間が短く、フットプリントがコンパクトな角柱状シリコンインゴットの面取り加工装置を提供する。
【解決手段】インデックス型ロータリーテーブル２にサーボモータ３ｍによりセンター軸を回転させる主軸台３ｒの４台と心押台３ｆの４台よりなるクランプ機構３を同一円周上に等間隔にかつ、縦方向に４基設け、この４基のクランプ機構の位置でインデックス型ロータリーテーブル２上のワークピースｗ位置を、ローディング／粗研削砥石を用いるコーナー部粗研削加工／アンローディングステージ（ｓ_１）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面研削加工ステージ（ｓ_２）と、仕上げ研削砥石を用いるコーナー部仕上げ研削加工ステージ（ｓ_３）と、一対のカップホイール型砥石を用いる両側面同時平面仕上げ研削加工ステージ（ｓ_４）の四つの研削加工ステージに区分けしたインゴットの面取り加工装置１。 （もっと読む）

【課題】高精度で効率よくブラシの摺動面を加工することができる発電機ブラシ用研削装置を提供する。
【解決手段】ブラシ固定部１１が、基準ブラシの基準面と交換用ブラシの摺動面とが同じ方向に向いて横に並ぶよう固定可能である。接触部３３が、ブラシ固定部１１に固定された基準ブラシの基準面に接した状態で、基準面に沿って移動するよう、基準ブラシに対して相対的に移動可能に設けられたローラ３３ａを有している。研削部３４が、ローラ３３ａと同一軸で回転する研削材３４ａを有している。研削材３４ａは、ブラシ固定部１１に固定された交換用ブラシの摺動面に接した状態で、交換用ブラシの摺動面を基準ブラシの基準面の形状に合わせて研削するよう、ローラ３３ａとともに交換用ブラシに対して相対的に移動可能になっている。 （もっと読む）

【課題】形鋼の接続部の研削に際して高い研磨能率とその形鋼の接続部の表面に形成されるうねりに追従した均一な研磨とが同時に得られる形鋼表面研磨装置を提供する。
【解決手段】回転軸３２の軸端に固定された固定部材５０の回転軸３２とは反対側に、その固定部材５０の回転中心Ｃ上に設けられた揺動中心点Ｐを中心とする揺動可能且つ相対回転不能に円盤状の揺動部材５２が取り付けられ、その揺動部材５２を固定部材５０側へ接近するように外側コイルスプリング( 付勢部材) ５６により付勢され、その揺動部材５２の固定部材５０とは反対側の外周部に固定された外周砥石５４がＨ形鋼１２に対して押しつけられて研磨が行われる。回転軸３２からの押付力がそのまま揺動部材５２に伝達されるので、高い研磨効率が得られる。揺動部材５２はＨ形鋼１２の表面のうねりに応じて揺動するので、そのうねりに追従した好適な研磨が得られる。 （もっと読む）

【課題】従来のウェーハの面取り加工では、ウェーハ一周の面取り形状（断面形状）が均一であるが、ウェーハ製造の後工程処理方法では均一な面取り形状が円周位置ごとに変化してしまうことから、ウェーハ製造の後工程処理に応じたウェーハ面取り加工方法を提供することにある。
【解決手段】溝なし砥石をウェーハの周端部（エッジ）に接触させてウェーハを面取りする面取り加工方法であって、前記ウェーハと砥石をZ軸およびY軸方向に相対的に移動させてウェーハ全周で同一の断面形状を形成する移動軌跡を基準とし、
ウェーハ回転角度位置に応じてZ軸またはY軸のうち少なくとも1軸方向にウェーハと砥石の相対的位置を上記基準軌跡位置から変動させて加工する動作のために、圧電アクチュエータを使用して、ウェーハの回転角度位置に応じて異なる断面形状を形成することを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの交換頻度や修正頻度を低減可能なウエーハの面取り部を切削除去するウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】除去予定領域の半径方向距離の１倍より大きく２倍未満の厚みの切削ブレード２４をスピンドル１０に装着するステップと、チャックテーブル２０で、ウエーハ２の中心を回転軸に一致させて保持するステップと、第１及び第２側面を有する切削ブレード２４の第１側面を、スピンドル１０の軸線の投影と除去予定領域の円形内周エッジとの二つの交点のうちの一方に位置づけるステップと、切削ブレード２４をウエーハ２に切り込ませるステップと、チャックテーブル２０を３６０度回転させることで除去予定領域を除去するステップと、所定のタイミングで、切り込みステップにおける切削ブレード２４の位置付けを、第２側面を二つの交点のうちの他方に位置づけるステップとを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】希土類焼結磁石の加工装置で、連続加工時、希土類磁石が食い込むことで搬送路に凹部が発生し、搬送路の摺動性が悪くなった。
【解決手段】
回転砥石と、希土類磁石を連続して搬送する搬送路を有する希土類焼結磁石の加工装置において、少なくとも搬送路の回転砥石直下の部位が超硬合金からなる基材の上にＣｒＮ（窒化クロム）、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）の順に層を有することを特徴とする希土類焼結磁石の加工装置とする。 （もっと読む）

【課題】伝動体に動力の伝達ロスのない適切な張力を付与することができるとともに該張力を一定に保持することができる動力伝達装置及びこれを用いたベルト研磨機を提供する。
【解決手段】動力伝達装置１００を、出力軸１０２及びゴムロール（入力軸）３０と平行に配置される回動シャフト１１１と、該回動シャフト１１１からその径方向に沿って延びる支持アーム１１２と、該支持アーム１１２の先端部に回動可能に取り付けられタイミングベルト１０５を巻き掛けるとともにそのループ内側に向かって押圧するテンションプーリ１１３と、回動シャフト１１１を回転させることで支持アーム１１２を旋回させるシリンダ（駆動機構）１１４と、回動シャフト１１１を回転不能に固定する電磁ブレーキ１２０とから構成する。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上させた上で、ガラス基板の研磨後の端面と表面および／または裏面との境界部に適正な面取り部を確実に形成すると共に、ガラス基板の端面の面性状と、当該端面の表面側および／または裏面側の境界部の面性状との関係を適切化して、ガラス基板の欠損や破損を効果的に抑止し、且つ、ガラスパーティクル等の問題をも回避する。
【解決手段】ガラス基板１の研磨処理後の端面３と表面２ａおよび裏面２ｂとのそれぞれの境界部ｚの少なくとも一方に、上記の研磨処理とは異なる特定研磨処理を施すことにより面取り部４を形成すると共に、面取り部４の特定研磨面の十点平均粗さＲｚ₂が、端面３の研磨面の十点平均粗さＲｚ₁よりも小さく、且つ、面取り部４の特定研磨面の粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍ₂が、端面３の研磨面の粗さ曲線要素の平均長さＲＳｍ₁よりも大きく設定する。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く、チッピングを生じさせない磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び寿命が長い電着砥石を提供すること。
【解決手段】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、一対の主表面と端面を有するガラス基板の前記一対の主表面と前記端面との間にチャンファー面を形成するチャンファリング工程を備えた磁気ディスク用基板の製造方法であって、前記チャンファリング工程において、自動ドレスされた電着砥石を用いてチャンファリングすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 レンズ加工時のトラブル対応の容易化、対応の迅速化を図る。
【解決手段】
レンズチャック軸と眼鏡レンズの加工具とが配置された加工室と、眼鏡レンズの加工条件データを入力するデータ入力手段と、加工条件データに基づいてレンズチャック軸と加工具との相対的な位置を変化させて眼鏡レンズを加工する加工制御手段とを備える眼鏡レンズ加工装置は、加工具による眼鏡レンズの加工状態の映像を撮影可能に加工室に配置されたカメラと、カメラに撮影された映像を記憶する記憶手段と、装置の動作開始信号及び加工終了信号に基づいてカメラにより撮影された映像の記憶手段への記憶を制御する記憶制御手段と、を備える。記憶制御手段は、さらに加工条件データを付加データとして眼鏡レンズ毎の映像に対応付けて記憶手段に記憶させる。 （もっと読む）