【課題】 ローラ本体に刻設されたワイヤ溝の壁面の摩耗を低減し、ローラの耐久性を増す。
【解決手段】 ワイヤソー用ローラのローラ本体を、ウレタンで成形する。このウレタンは、ＳｉＣなどの砥粒を均一に含む。このローラ本体に外周面に複数のワイヤ溝を刻設する。ワイヤ溝の壁面がウレタンのみの場合よりも硬化する。ワイヤが細線化され、単結晶インゴットの直径が大きくなって、切断時のワイヤへの負荷が増大しても、ワイヤ溝壁面の摩耗や変形が生じない。この結果、単結晶インゴットより一定厚さの半導体ウェーハを得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
マグネシウム合金の薄板製造技術を改良し、表面欠陥が少ないマグネシウム合金のコイルを製造する方法を提供する。表面欠陥の減少により、後続の加工工程における良品歩留まりが向上する。
【解決手段】
マグネシウム合金の［温間粗圧延］−［焼鈍し］−［温間圧延］の工程を含むマグネシウム合金薄板のコイルを製造する方法において、粗圧延を経た中間シートのコイルに対し、水性の研削媒体の存在下に研磨ベルトを用いた湿式の表面研削を行なったのち、温間圧延に移る。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板表面に発生する傷（スクラッチ）を低減させ、ガラス基板の検査機歩留まりを向上させ得、さらにはそのガラス基板より得られる磁気ディスクの検査機歩留まりを向上させ得る、磁気ディスク用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】 パッドを有する研磨定盤を用いてガラス基板をポリッシングするに際して、加工レート０．１５μｍ/分以下、パッド溝幅２〜４ｍｍに設定してアモルファスもしくは結晶化ガラス基板を研磨する。さらには、加工レート０．１５μｍ/分以下に設定して化学強化ガラス基板を研磨する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤの脱線頻度を小さくすることができるワイヤソー装置を提供すること。
【解決手段】本発明のワイヤソー装置は、それぞれ複数のＶ溝を有する複数本のワイヤガイド１に螺旋状に巻きつけられた切断用ワイヤ２を走行させるとともに、その状態でワイヤ２と被加工物３との間に切削送りを付与して被加工物３に対して切断加工を施すようにしたワイヤソー装置において、該ワイヤガイド１の各Ｖ溝の間に存在する仕切り壁の幅を５０μｍ以上とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド薄膜の化学研磨には高温雰囲気や特殊反応が必要とされ、それに応
じた特殊装置を用いた研磨工程となることからコスト上昇の原因となる。また、真空雰囲
気内での研磨になることから、作業工程自体も複雑化する。砥粒の条件として、作業者の
労働環境において毒性のないことはもちろんであるが、昨今の環境規制から排出による環
境負荷の少ない（処理しやすい）ことが求められている。
【解決手段】水にアルミナ砥粒を分散させた研磨液に人工ダイヤモンドの薄膜又は薄板を
浸漬し、ラップを回転させて該アルミナ砥粒で人工ダイヤモンドの薄膜又は薄板を擦過し
ながらその表面を研磨することを特徴とするダイヤモンド表面の化学機械研磨方法。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤソーの切断装置で、駆動プーリーとワイヤーソーとの摩擦力を確保してスリップを防止させ、ワイヤーソーを適正な速度で回転させて、超砥粒層や被覆部材の異常摩耗を防止し、寿命を向上させることが可能なワイヤーソー切断装置用駆動プーリーおよびワイヤーソー切断装置を提供する。
【解決手段】 駆動プーリーの外周面に凹部が形成され、前記凹部には弾性体が設けられるとともに、前記弾性体のワイヤーソーと接する面には凹凸を有するものとする。あるいは、駆動プーリーの外周面に弾性体が形成され、前記弾性体の外周面には凹部が設けられるとともに、前記凹部の面には凹凸を有するものとする。弾性体は、熱硬化性ゴムまたは熱硬化性樹脂を使用するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 回転バレル法を用いて、小型の希土類合金ワークの面取り加工を際に、欠けの発生を抑制し、均一な面取りを短時間で可能とする希土類合金の面取り方法を提供する。
【解決手段】 回転バレル容器１内に希土類合金ワークとメディアと液状媒体とを投入し、該バレル容器を回転させることにより希土類合金ワークを研磨する方法において、上記バレル容器の中心軸を回転軸に対して所定角度傾斜させ、この傾斜角度を維持した状態でバレル容器を回転させることを特徴とする希土類合金の面取り方法。 （もっと読む）

【課題】 石材やコンクリートを切断するためのワイヤーソーで、超砥粒層の摩耗が進行しても駆動プーリーとワイヤーソーとの摩擦抵抗を確保し、スリップを防止することにより、適正な速度で回転させて、超砥粒層や被覆部材の異常摩耗を防止し、寿命を向上させるワイヤーソーを提供する。
【解決手段】 円筒状の台金の外周に超砥粒層が設けられた複数のビーズがワイヤーロープに挿通され、前記複数のビーズが被覆部材にて前記ワイヤーロープに固定されるとともに、前記ビーズ間の被覆部材の両端部に中央部の径より大きくした太径部を設けることにより前記被覆部材に段差を設けたワイヤーソーであって、少なくとも前記ビーズの走行方向後側に隣接する太径部は、周方向において断続的に形成されたものとする。 （もっと読む）

【課題】 堅い鉱物材料を成形する装置と方法を提供する。
【解決手段】 本発明の装置は、端部がヘッド（２０ａ）を構成する本体を含む回転ツールが、前記鉱物材料の領域と接触する能動表面（２００）を有する。前記回転ツールのヘッド（２０ａ）は、前記能動表面（２００）に向いて開口する少なくとも１つの第１スロット（２１０，２２０）を有し、その中に開口（２１０ａ，２２０ａ）を形成し、研磨粒子（５００）が、前記領域に輸送され、前記能動表面（２００）内に収納され、前記能動表面上の開口（２１０ａ，２２０ａ）に沿って、必要とされる形状を形成するような切断用エッジを形成する。本発明のツールは、堅い透明な鉱物材料（例、サファイア、コランダム、スピネル）にレンズ等の変形光学表面を形成する。本発明の方法はこのようなツールを用いて、鉱物材料を機械加工する方法である。
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【課題】粒子分散型混合機能性流体を用いて非磁性管内面を効率的に研磨できる磁気内面研磨方法及び装置を提供する。
【解決手段】非磁性管２の回りに等分に３個配設された電磁石４に三相交流電源を供給し、強磁性粒子３１、非磁性体砥粒粒子６２、磁性微粒子６３を分散媒６０中に分散させた粒子分散型混合機能性流体６を非磁性管内２ｃに供給し、非磁性管内に磁性微粒子を回りに配した略Ｖ字状の強磁性粒子からなる磁気クラスタを形成させ、非磁性体砥粒粒子を非磁性管内と磁気クラスタとで作る空間２０に閉じこめ非磁性管内壁１２を非磁性体砥粒粒子で研磨する。さらに、粒子分散型混合機能性流体を貯留するタンク７と、非磁性管内に粒子分散型混合機能性流体を供給するポンプ８と、戻し管９と、攪拌機１０を設ける。また、ポンプの吐出口８ａと、非磁性管の一方２ａとの間に、粒子分散型混合機能性流体又は空気を選択的に供給できる切換弁１３を設ける。 （もっと読む）

【課題】乾燥された瓦素地の尻部端面を、一連の製造工程の中で、迅速かつ的確に平坦面に研削可能な瓦素地の尻部端面研削装置を提供する。
【解決手段】本発明の瓦素地の尻部端面研削装置１は、乾燥した瓦素地５０を平伏した状態で搬送するコンベア２と、コンベア２の一側側において搬送方向に沿って研削面３が起立状態で配された研削ベルト４と、研削ベルト４の研削面３に瓦素地５０の尻部端面５３を当接させるための頭部端面押圧手段５とを有している。このため、各瓦素地５０の尻部端面５３がどのように変形していても、研削直前に、瓦素地５０の尻部端面５３が頭部端面押圧手段５により研削ベルト４の研削面３に押し当てられるため、研削面とは無関係に瓦素地が位置決めされる機構に比してより的確に尻部端面を平坦面に形成できる。また、研削手段として研削ベルトを使用するため、迅速な研削が可能となる。 （もっと読む）

【課題】 非線形光学材料として使用する光学材料の研磨方法において、特にイオン性有機非線形光学材料などの軟脆弱材料の精密研磨方法に関し、被研磨材料であるイオン性有機結晶の特性劣化がなく、平坦性の良好なイオン性有機結晶の研磨方法及び該イオン性有機結晶の研磨方法により研磨したイオン性有機結晶を提供する。
【解決手段】 研磨面を有する研磨パッドと研磨液とによりイオン性有機結晶を被研磨物とする研磨方法において、イオン性有機結晶が溶解しにくい非水溶媒に微粒子を分散させた研磨液を用いることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】目詰まり防止剤が塗布された表面の微細構造をどのようにすれば、目詰まり防止剤の機能が充分に発揮されるかをつきとめること。
【解決手段】最外側面に目詰まり防止被膜を有する研磨材において、該目詰まり防止被膜は、目詰まり防止剤および結合樹脂を含有し、該結合樹脂はひび割れを伴って膜化されており、該ひび割れによって該目詰まり防止被膜の表面全体に網目状の微細構造が形成されている、研磨材。 （もっと読む）

【解決手段】テラゾ材、大理石、石材、コンクリート又はその他の材質の床からなる被加工面（２０）に対して仕上げを施すための仕上げ装置（１）であって、仕上げ装置は、少なくとも２つの仕上げユニット（３ａ，４ａ；３ｂ，４ｂ；３ｃ，４ｃ，３００）を備え、該仕上げユニットは、仕上げ装置のフレーム（１４，１００）によって支持されており、該仕上げユニットは被加工面を研削、研磨、及び／又は、マシニングすべく設けられ、各仕上げユニットは、モータ（４ａ，４ｂ，４ｃ，２００）と、該モータによって駆動されるべく回転可能に設けられた加工円板（４１）とを備えてなる仕上げ装置である。仕上げユニット（３ａ，４ａ；３ｂ，４ｂ；３ｃ，４ｃ，３００）は、被加工面（２０）に対して実質的に平行であるそれぞれの軸線を中心として、フレーム（１４，１００）に対して、個別的に傾動可能になっている。 （もっと読む）

この発明に係るワイヤソーは、被加工物とワイヤとの切断界面にアルカリまたは混酸を含むスラリを供給しながら前記被加工物を切断するマルチワイヤソーであって、前記スラリを貯蔵加熱するための加熱機構付貯蔵タンクと、前記加熱機構付貯蔵タンクから前記ワイヤが前記被加工物に繰り込まれる手前の位置までポンプにより送出された前記スラリを所定の温度に維持しながら搬送する保温パイプと、ステージに固定された前記被加工物の近傍の温度を前記所定の温度に維持する恒温槽と、前記ワイヤを前記所定の温度に加熱するワイヤ加熱機構とを備えている。その結果、シリコンインゴット切断加工時の切断抵抗が低減されるとともにそのばらつきが小さくなり、高品質のウエハを高効率・低コストで得ることができる。
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本発明は、（ａ）研磨表面（１２）と第１長さおよび第１幅を有する第１開口部とを含む第１研磨層（１０）、（ｂ）本体と第２長さおよび第２幅を有する第２開口部とを含む第２層（２０）であって、該第２層（２０）は第１研磨層（１０）と実質的に同一の広がりを有し、第１長さおよび第１幅の少なくとも一方は第２長さおよび第２幅よりも小さい、第２層、および（ｃ）実質的に透明な窓部分（３０）であって、第１研磨層の第１開口部と整合するように第２層の第２開口部内に配置され、且つ第２層の本体から隙間（４０）により分離れる実質的に透明な窓部分、を含む化学機械研磨用の研磨パッドを提供する。本発明はさらに、化学機械研磨装置および加工物研磨方法を提供する。
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体積中央粒径が約２０ナノメートルから約１００ナノメートルで体積スパン値が約２０ナノメートルに等しいか或はそれ以上で約１００ナノメートルより大きい粒子の分率が研磨剤粒子の約２０体積％に等しいか或はそれ以下である多分散粒径分布を示す多数の研磨剤粒子を含有する基質研磨用研磨剤組成物。
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【課題】 アルミニウムディスク及びガラス製ハードディスクは、記録容量の高密度化のため平均うねりが３Å以下のディスクが要望されている。その平滑な研磨面が得られる研磨用組成物を提供すること。
【解決手段】 異なったモノモーダル数粒子径分布を有するコロイダルシリカ粒子群を含む、０．５〜５０重量％のＳｉＯ₂ 濃度を有する、アルミニウムディスク、又はシリカを表面に有する基板の研磨用組成物。 （もっと読む）

【課題】 比較的大きな金属間化合物の結晶からなる非常に硬質な強磁性結晶粒が粒界相で囲われている金属組織を有した硬質な焼結希土類磁石合金を歩留りよく且つ滑らかな表面をもつ小さな部品に切断する。
【解決手段】 強磁性結晶粒の周囲にそれより易被削性の粒界相を有する焼結希土類磁石合金に線径１.２ｍｍ以下の可撓性線材を押し付け，砥粒を分散媒に分散させてなる砥液を該合金と線材との間に介在させつつ，該線材をその軸方向に移動させることを特徴とする焼結希土類磁石合金の切断法。 （もっと読む）

【課題】 切断面の平坦度を高めつつ、ローラの磨耗を抑制して長時間の連続運転を可能にした希土類合金の切断方法を提供する。
【解決手段】 砥粒を固着させたワイヤに１９．６Ｎ以上３９．２Ｎ以下の張力を与えながら希土類合金を切断する。エステル系ウレタンゴムから形成されたローラを用いてワイヤを駆動し、ローラ磨耗を抑制する。４０℃における粘度が４．０から４０．０［ミリパスカル秒］の範囲内にある切削油を供給しながら切断を行い、希土類合金の切断する際に生じた合金スラッジを切削油内から磁力によって分離する。 （もっと読む）