【課題】ワイヤソーによるワークの切断において、カーフロスを低減するために砥粒番手＃２０００よりも小さい砥粒径の砥粒を用いる場合においても、砥粒濃度の低下による切断能力の低下、ひいては切断品質の悪化や生産性の低下によるコスト増加を抑制できるスラリー及びこのスラリーの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】ローラーミル、又はボールミルで粉砕された砥粒の一部又は全てをジェットミルで再度粉砕することによって前記砥粒の平均円形度を０．９００以上にし、該平均円形度が０．９００以上の砥粒とクーラントとを混合して前記スラリーを製造することを特徴とするスラリーの製造方法及び、スラリーに混合された砥粒の平均円形度が０．９００以上であることを特徴とするスラリー。 （もっと読む）

【課題】切断部位に注水してカッタの冷却若しくは切断粉の飛散防止を図るための注水タンクを備えた注水カッタが提供されている。従来、ハンドル部に対するタンク本体の位置によりその重量バランスが損なわれる問題があった。本発明では、この重量バランスの問題を解消する。
【解決手段】平面視でタンク本体２１をハンドル部１０に対して鋸刃とは反対側に配置する。また、平面視でタンク本体２１をハンドル軸線Ｈに対して傾斜配置することにより、その重心位置を従来の平行配置よりもハンドル部１０に接近した位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】コンクリート構造物に穿孔する際に、コンクリート構造物内に埋設されている各種の配管等を切断したり傷付けたりするのを防止する。
【解決手段】コンクリート構造物６５に孔を形成するための穿孔方法であって、穿孔面が平面で形成されるとともに、軸線方向に貫通するコア孔が設けられ、かつ、該コア孔の内外を貫通する孔又はスリットが少なくとも１箇所に設けられる円柱状の砥石ビット５５を用い、流体供給手段４５により前記コア孔を介して前記穿孔面に流体を供給しながら、該砥石ビット５５を回転させつつ推進させることにより、前記コンクリート構造物６５に孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでクーラントを再生し、回転体に付着したスラッジを除去する機能を有するクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１は、縦型遠心分離装置に洗浄液を吐出する洗浄液吐出工程Ｓ０’と、洗浄液の吐出される縦型遠心分離装置の回転体を遠心分離工程時の回転数よりも低速で回転させ、縦型遠心分離装置に付着したスラッジを洗浄及び除去するスラッジ洗浄工程Ｓ０”と、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに使用済クーラントを供給するクーラント供給工程Ｓ１と、遠心分離ユニットに供給された使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、遠心分離ユニットの縦型遠心分離装置を稼動させた状態で使用済クーラントの供給を間欠的に制御する間欠制御工程Ｓ３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】０．１μｍ以下の粒径のシリコン微粒子の比率を抑えた再生クーラント、及びクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、遠心分離ユニット２に使用済クーラント３を供給するクーラント供給工程Ｓ１と、使用済クーラント３を遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、分離した遠心分離液１９を回収する遠心分離液回収工程Ｓ３と、遠心分離液５を膜分離ユニット７に供給する遠心分離液供給工程Ｓ５と、遠心分離液１９を膜分離する膜分離工程Ｓ６と、分離された膜濾過液２１を回収する膜濾過液回収工程Ｓ７とを具備し、再生クーラント４は、残存シリコン成分が再生クーラント全体の０．０１重量％以上、３．０重量％以下であり、残存シリコン成分に含まれる０．１μｍ以下の粒径のシリコン粒子が残存シリコン成分全体の０．０１重量％以上、３０重量％以下になる。 （もっと読む）

【課題】 本発明はシリコンインゴットの切削工程において、従来品より加工熱の冷却性、浸透性、水とシリコンとの反応抑制性、抑泡性が良好であるため、切削加工効率を向上させることができる。また、シリコンウエハの平坦性も良好であるため、過酷なスライス条件下でも被加工面の表面精度を高く維持できる切削液を提供する。
【解決手段】 下記一般式（１）で表される３〜８個の水酸基を有する化合物（ａ）のポリオキシアルキレン付加物（Ａ）と水を必須成分として含有し、該ポリオキシアルキレン付加物（Ａ）のＨＬＢが６．０〜２０．０であることを特徴とするシリコンインゴットスライス用含水切削液。
【化１】


［式（１）中、Ｒは３〜８個の水酸基を有する化合物から水酸基、（Ａ^１Ｏ）は炭素数が２〜４のオキシアルキレン基を除いた残基を表す。ｍは炭素数が２〜４のアルキレンオキサイドの平均付加モル数を表し１〜３５０の数、ｆは３〜８の整数である。］ （もっと読む）

【課題】より冷却効率を向上させた乾式穿孔加工装置及び乾式穿孔加工方法を提供する。
【解決手段】乾式穿孔加工装置１００は、円筒状のシャンク１１０とその先端の刃部１２０とを有するビット１００ａと、シャンク１１０の内部から刃部１２０に粒状二酸化炭素Ｃを連続的に供給するホッパー１２、真空発生器２０等とを備える。ビット１００ａは、ホッパー１２、真空発生器２０等により供給された粒状二酸化炭素Ｃを連続的に刃部１２０から放出しつつ被加工物Ｗの穿孔加工を行なう。固体の二酸化炭素を冷媒として用いることにより、冷却効率を高めることができる。固体の二酸化炭素は昇華して液体とはならないため、水や液を冷媒として用いることが不可能な状況においても穿孔加工を行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎ切断加工を行って角柱状インゴットに形成する際の切断屑の発生量を低下させたい。
【解決手段】 切断装置１の薄い厚みの回転切断刃９１ａ，９１ｂを挟む外周刃横揺れ自己補償機構９６を新たに設けるとともに、インゴットの切断方法を予め回転切断刃９１ａ，９１ｂで１／２カットする溝切加工を行った後、インゴットを回転させて残りの１／２の溝を回転切断刃９１ａ，９１ｂで加工し、側面を切断するハーフカット方法に変更した。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーにおいて、加工液に混ざった切削屑を除去し、切削屑の除去された加工液を再度ワイヤソーに供給する。
【解決手段】走行するワイヤ４１にワーク４４を押し当てて切断するワイヤソー２と、ワイヤソー２に加工液８を供給する供給槽６と、加工液８の回収槽５とを備えたワイヤソー２の加工液循環装置１であって、回収槽５は、回収された加工液８が供給される加工液貯留部１２と、加工液貯留部１２の一端に設けられた傾斜部１３と、回収槽５の幅方向両端に沿って周回可能な無端チェーン１８と、加工液貯留部１２の底面３５に沈降した切削屑２８を傾斜部１３上方へ掻き上げる複数のスクレーパー２３と、切削屑２８の排出口１１と、加工液貯留部１２の加工液８をオーバーフローさせて供給槽６に供給する加工液流出部７とから構成し、供給槽６は、回収槽５からオーバーフローする加工液８を貯留するとともにワイヤソー１に供給するように構成する。 （もっと読む）

【課題】 シリコンを切出すときに生じる加工粉のうち不純物の少ないシリコン加工粉を回収できるシリコン加工粉回収方法及び装置を提供する
【解決手段】 ワイヤー４と、インゴットを接着剤２０で取り付けるビーム１７と、クーラント供給ノズル２ａと、使用後のクーラントを受けるクーラント受け槽１０，１１と、クーラント循環用循環槽１２，１３と、循環経路配管２ｂと循環槽とを切替える手段１６と、クーラント受け槽１０，１１を移動させる移動手段３３と、ワイヤーと接着層若しくはビームと接触したか否かを検出する手段５とを備え、検出した信号に応じて、使用する循環経路とクーラント受け槽を選択する。 （もっと読む）

【課題】ノズルを加工液供給部に対して簡単な操作で容易に着脱することができるワイヤソーを提供する。
【解決手段】複数の加工用ローラ間にワイヤを複数回周回させる。加工液供給部１５の一次側口金１６に対してノズル１４の二次側口金１７を着脱可能に接続して、加工液供給部１５からの加工液がノズル１４よりワイヤに供給されるようにする。一次側口金１６と二次側口金１７との間には、ノズル１４の二次側口金１７を加工液供給部１５の一次側口金１６に対して、接続口径方向の横位置を決める凹溝２０と係合部２１となる係合手段と、ノズル１４の装着に伴って二次側口金１７を一次側口金１６に対する接続方向及び上下方向に位置決めするカム構造２３を設ける。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】調節部７０は、スクライビングホイール５０の温度を低下させる。調節部７０は、主として、近接板７１と、ノズル７２と、冷却部７８と、を有している。近接板７１は、ホルダ３５により保持されたスクライビングホイール５０の上方に設けられている。スクライビングホイール５０によりスクライブラインＳＬが形成される際、近接板７１は、脆性材料基板４と近接する。複数のノズル７２は、保持ユニット１０に保持された脆性材料基板４と、近接板７１との間の調節空間７０ａに、窒素ガスを吐出する。冷却部７８は、ノズル７２に供給される窒素ガスを、共通管７５内で冷却する。これにより、調節空間７０ａの雰囲気が窒素ガスにより冷却され、スクライブ時のスクライビングホイールが十分冷却される。 （もっと読む）

【課題】所望のボイド率を有する処理液を供給する。
【解決手段】送液装置は、気体を含む液体が流れる第１流路３ａと、その第１流路３ａに連通し第１流路３ａの開口面積より小さい開口面積を有する第２流路３ｂとを備え、第１流路３ａを流れる液体の第１圧力をＰ１、その第１流速をＶ１、第２流路３ｂを流れる液体の第２圧力をＰ２、その第２流速をＶ２、液体の密度をρ、重力加速度をｇ、急縮損失係数をｆｓｃ、液体の流量をＱ、第１流路３ａの開口面積をＳ１、第２流路３ｂの開口面積をＳ２とすると、第１圧力Ｐ１と第２圧力Ｐ２との差圧、流量Ｑ、第１流路３ａの開口面積Ｓ１及び第２流路３ｂの開口面積Ｓ２は、Ｐ１−Ｐ２＝（（１＋ｆｓｃ）×Ｖ２^２／２ｇ−Ｖ１^２／２ｇ）×ρｇ及びＱ＝Ｖ１×Ｓ１＝Ｖ２×Ｓ２の関係式を満足しており、第２流路３ｂを流れる液体のレイノルズ数は、第２流路３ｂに乱流が生じる値である。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で製造コストを低減することができる加工液ノズルを提供する。
【解決手段】ワイヤソーの加工部の上方に加工液ノズル１４をワイヤの配列方向に沿って延長配置して、その加工液ノズル１４からワイヤ上に加工液を供給する。加工液ノズル１４には、加工液供給部に連結され、下部に自身の延長方向に沿って供給口２０ａを設けた供給管２０と、その供給管２０内を上部室２０Ａと下部室２０Ｂとに区画するように供給管２０内に設けられ、自身の延長方向に沿って複数の透孔２２ａを配列した区画板２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】脆性材料基板を繰り返しスクライブしても、良好にスクライブラインを形成することができるスクライブ装置を提供する。
【解決手段】調節部７０は、調節空間７０ａの雰囲気を調節する。調節部７０は、主として、近接板７１と、ノズル７２と、を有している。近接板７１は、ホルダ３５により保持されたスクライビングホイール５０の上方に設けられている。スクライビングホイール５０によりスクライブラインＳＬが形成される際、近接板７１は、脆性材料基板４と近接する。複数のノズル７２は、保持ユニットに保持された脆性材料基板４と、近接板７１との間の調節空間７０ａに、窒素ガスを吐出する。これにより、脆性材料基板４のスクライブラインＳＬは、低酸素状態で形成される。 （もっと読む）

【課題】 手動式の注水装置では注水に伴うタンク内の圧力低下のために頻繁に再加圧する必要があり、エンジンカッタによる切断等の作業の他に加圧操作が必要となり、作業が煩雑となりエンジンカッタによる作業の効率が低下する。また、ブレードへの注水が止まると冷却不足により、ブレードの磨耗が注水時に比べ早く進行し、ブレードの寿命が短くなると共に切断によって生じる粉塵で作業中の視界が悪化し作業効率が低下してしまう。
【解決手段】エンジンの回転によるポンプ作用により注水タンク内を連続して自動加圧する加圧装置を設けると共に、タンク内圧力を一定に保ち給水量を一定とする構成とする。 （もっと読む）

【課題】大径のワークを正確に効率良く破損等の不具合を生じることなく切断することができるワイヤーソーによるワークの切断方法を提供する。
【解決手段】ワークの切断の際には、ソーワイヤ１は、噛み合い部分Ｍの両端である入出部Ａにおいて、砥粒スラリー６の砥液面の上方に位置しており、入出部Ａにおいて砥粒スラリー６内に浸漬されていない。また、砥粒スラリー６の砥液面がソーワイヤの入出部Ａと、ソーワイヤ１のワーク押し付け方向に向かって最も変位している最大撓み部Ｂとの間に位置するように、ソーワイヤ１及びワークＷは砥粒スラリー６内に浸漬されている。さらに、各ノズル４ｒ，４ｌは、ソーワイヤ１の入出部Ａの外側に砥粒スラリー６が供給される被噴射位置Ｐが位置するように位置している。 （もっと読む）

【課題】 本発明は脆性材料の切削工程において、従来品より低粘度かつ表面張力を低く調整することで加工後の表面精度と洗浄性に優れた含水切削液組成物；並びにこのような特性を有する含水切削液の工業的に有益な製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
水１００重量部に対して、アルキレングリコール（ａ）が１０〜１２０重量部、ジアルキレングリコール（ｂ）が２０〜２４０重量部、トリアルキレングリコール（ｃ）が１０〜２３０重量部、およびアルキレンオキサイドの４量体以上のポリオキシアルキレングリコール（ｄ）が０〜１２０重量部の含有比率からなり、かつ粘度が５〜１８ｍＰａ・ｓ、表面張力が４８〜５４ｍＮ／ｍであることを特徴とする含水切削液組成物 （もっと読む）

【課題】ドリル加工によってガラス板に貫通孔を穿設する際に、ガラス板の被加工部及びその周縁部に微小欠陥が形成される確率を一層効果的に低減させる。
【解決手段】ガラス板Ｇに貫通孔を穿設する際に使用する加工治具１である。この加工治具１は、ガラス板Ｇの上面Ｇａ側及び下面Ｇｂ側に対向して配置される上部保持部材２及び下部保持部材３を有し、各保持部材２，３は、対向する保持部材との間でガラス板Ｇを挟持する保持面４と、保持面４と直交する方向に延び、一端が保持面４に開口したドリル挿通孔５と、ドリル挿通孔５の周縁部に、ガラス板Ｇの被加工部Ｘを指向するように設けられた切削液８の吐出口７ｂと、ドリル挿通孔５と外部を連通させる廃液通路６とを備える。廃液通路６は、保持面４から軸方向に離間した位置で、ドリル挿通孔５と外部を連通させる貫通孔で構成されている。 （もっと読む）

【課題】切りくずが混入したときの粘度の上昇、及び、混入した切りくずによる設備の配管詰まりや固い固着の発生を抑制できる固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液を提供する。
【解決手段】（Ｃ）カルボン酸と、（Ｄ）水に溶解して塩基性を示す化合物と、（Ｅ）水と、を含み、２５℃における電気伝導度が３００μＳ／ｃｍ以上３０００μＳ／ｃｍ以下であり、２５℃におけるｐＨが５以上１０以下であり、平均粒子径１．５μｍのシリコン粉を１０質量％添加し撹拌して形成した擬似使用液の粘度が、２５℃で３０ｍＰａ・ｓ未満である、固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液とする。 （もっと読む）