電気的に接続されたフロントプレートおよびバックプレートを有するディスプレイデバイスを製造するためのシステムおよび方法が開示される。一実施形態では、この方法は、非導電バックプレート上に導電隆起形状部を印刷すること、隆起形状部がフロントプレート上の導電配線と位置合わせされて隆起形状部と配線が電気的に接続されるようにバックプレートを非導電フロントプレートと位置合わせすること、バックプレートとフロントプレートを封止することを含む。
（もっと読む）

【課題】本発明は、光学反射素子の高精度な自励駆動を実現することを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部９と連結された振動子１０とを備え、振動子１０は、基材１９上に形成された分断溝３０Ａによって分離して配置されたドライブ素子１６およびモニター素子１７を有し、これらのドライブ素子１６およびモニター素子１７の下部電極層２１は、共通の外部電極と接続され、モニター素子１７とドライブ素子１６とが隣接して配置された任意の点において、分断溝３０Ａにより、モニター素子１７の下部電極層２１とドライブ素子１６の下部電極層２１との最短導通経路は、モニター素子１７の下部電極層２１から共通の外部電極までの距離より長いものとした。これにより本発明は、モニター素子１７、１８の検出精度を高め、光学反射素子８を高精度に自励駆動させることができる。 （もっと読む）

【課題】製造が容易であり、かつ製造歩留まりが高い光スイッチ素子の製造方法、光スイッチ素子、光スイッチ装置、およびＭＥＭＳ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】固定電極と、前記固定電極と所定の間隙を有して配置された可動電極と、前記可動電極に接続したミラーとを備えた光スイッチ素子の製造方法であって、表面導電層と絶縁層と裏面層とを有する多層基板の該表面導電層から該絶縁層に到る貫通パターン孔を形成し、前記貫通パターン孔を通して表面側から前記裏面導電層にパターンを形成する。 （もっと読む）

【課題】回動軸方向の幅が有限な可動板に捻り梁が接合された端面においては、幅が無限な可動板における理論的な動たわみとは異なる形状の複雑な動たわみが発生する。当該動たわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光束が反射される反射面が形成された反射手段が固定されており板状の形状を有する可動板と、一端が可動板の端面に接続されており、可動板を反射面に平行な回動軸回りに回動可能に支持する弾性支持梁と、弾性支持梁の一端の反対側の一端が接続されており、弾性支持梁を支持する支持枠と、可動板の側面から反射面に平行な方向に突出し、回動軸に垂直な方向において可動板の先端より回動軸に近い範囲に配設された可動板突起と、を備える。光偏向器は、当該光偏向素子を備え、画像形成装置は、当該光偏向素子又は当該光偏向器を備える。 （もっと読む）

本発明は、一方向（Ｙ１）に沿った向きの変位を測定するための面内ＭＥＭＳ又はＮＥＭＳ検出デバイスであって、基板に対して懸架された振動質量（２０２）であって、前記基板の面に垂直な軸（Ｚ）周りに旋回可能な振動質量（２０２）と、振動質量（２０２）及び基板に機械的に接続された少なくとも一つのピエゾ抵抗歪みゲージとを備え、ピエゾ歪みゲージ（８）が振動質量の厚さよりも小さな厚さを有し、ピエゾ抵抗歪みゲージ（８）の軸（Ｙ）が、振動質量（２０２）の旋回軸（Ｚ）及び重心（Ｇ）を含む面に直交していて、該面が、測定される方向（Ｙ１）に直交している、面内ＭＥＭＳ又はＮＥＭＳ検出デバイスに関する。
（もっと読む）

【課題】微小電気機械素子のアクチュエーション電圧またはリリース電圧の一方または両方を検出するための方法及び手段が提供される。
【解決手段】微小電気機械装置のアクチュエーションおよび／またはリリース電圧を感知する方法は、可変電圧を装置に印加し、その状態および異なる電圧レベルを感知することを含む。装置は、ディスプレイに適した干渉変調器のアレイを含むシステムの一部である。この方法はディスプレイピクセル特性における温度に依存した変化を補償するために使用することができる。 （もっと読む）

【課題】製造工程が簡易で歩留まり低コスト化を可能とする圧電駆動型ＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】第１の基板１０の可動部１６となる領域上に可動部１６の一部として設けられた圧電体膜２２と、圧電体膜２２を挟むようにして配設された一対の電極２１、２３とからなる圧電駆動部２０により駆動されて凸状に変位する可動部１６を一部に備え、該可動部１６の表面中央部に可動電極２５が設けられてなる第１の基板１０と、第１の基板１０に接合された、可動電極２５と所定間隔で対向する固定電極３５を支持する第２の基板３０とから、圧電駆動型ＭＥＭＳ素子１を構成する。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳセンサーなどの物理量センサー、および、物理量センサーを比較的容易に製造できる物理量センサーの製造方法、および、物理量センサーを備えた電子機器を提供する。
【解決手段】静電容量型加速度センサー１００は、固定部としての固定枠部１１０と、可動錘部１２０と、固定電極を有する固定電極部（固定腕部）１５０（１５０ａ，１５０ｂ）と、可動電極を有する少なくとも一つの可動電極部（可動腕部）１４０（１４０ａ，１４０ｂ）と、を有し、固定電極部１５０（１５０ａ，１５０ｂ）は、第１積層構造体ＡＩＳの側面に形成された、固定電極としての第１側面導体膜ＣＱ１（ＣＱ１ａ，ＣＱ１ｂ）および第１接続電極部Ｌ４（Ｌ４ａ，Ｌ４ｂ）と、を有し、可動電極部１４０（１４０ａ，１４０ｂ）は、第２積層構造体層構造体ＢＩＳの側面に形成された、可動電極としての第２側面導体膜ＣＱ２（ＣＱ２ａ，ＣＱ２ｂ）および第２接続電極部Ｌ５（Ｌ５ａ，Ｌ５ｂ）を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ミラー部を支持する捻れ梁部を有する基板の振動を利用してミラー部に捻れ振動を生じさせる光走査装置において、ミラー部の研磨によるソリ、及び、高速振動時の動的変形を抑制することを目的とするものである。
【解決手段】基板本体と、基板本体の一側の両側部から突出した２つの片持ち梁部と、これら片持ち梁部間に捻れ梁部により両側を支持されるミラー部と、基板本体を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、基板本体のミラー部側と反対側の固定端部を支持部材に固定し、基板本体の一部に駆動源を設けるとともに、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、ミラー部にＳｉミラーを貼り付け固定したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】大きなミラー部の変位量を得られる光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０、支持梁１２０、固定部１４０及び圧電駆動部１３０を備える。ミラー部１１０は、揺動軸線ＡＲの周りに揺動される。支持梁１２０は、ミラー部１１０から延出する。支持梁１２０は、固定部１４０に連結される。圧電駆動部１３０は、固定部１４０から支持梁１２０の一部に亘って設けられる。支持梁１２０は、揺動軸線ＡＲに対して対称配置され、固定部１４０に接続される一対の梁部分１２３を有する。一対の梁部分１２３は、第１部分１２３ａと、屈曲部分１２３ｂとを有する。第１部分１２３ａは、ミラー部１１０から離れる方向に、揺動軸線ＡＲに沿って伸張する。屈曲部分１２３ｂは、第１部分１２３ａに接続され、揺動軸線ＡＲから離間する方向及び揺動軸線ＡＲに沿う方向に屈曲する。 （もっと読む）

干渉変調器と、干渉変調器を製造する方法が開示される。一実施形態において、干渉変調器は、第一の反射面と、第二の反射面と、第一の反射面と第二の反射面とによって画定される光学共振層と、を有する干渉反射体を含む。干渉反射体は、干渉変調器が透過ピーク波長において光の反射率が減少するように、透過ピーク波長において光の特定のスペクトルを透過するように構成することができる。
（もっと読む）

【課題】２つの回動軸に関して、充分な回動角度を得ることができる光スキャナを得る。
【解決手段】印加電圧が０Ｖから増加していくと、接地されているミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及び接地されているジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に電圧差が生じ、この電圧差によりミラー部２１０と第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極との間、及びジンバル部２２０と第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極との間に静電引力が生じる。ミラー部２１０は、第３及び第４の内側裏分割電極４１３、４１４並びに内側表分割電極からの静電引力に加えて、第２の外側裏分割電極４２２及び外側表分割電極からの静電引力によりＹ軸時計回りに回動する。交流電圧が１３０Ｖになると、ミラー部２１０は、アイドル状態から１５度回転する。 （もっと読む）

【課題】クリープ現象による特性劣化を抑制するＭＥＭＳデバイスを実現する。
【解決手段】本発明の例に関わるＭＥＭＳデバイスは、基板９上に設けられる電極１１，１２と、基板９上に設けられた第１及び第２のアンカー部によって、電極１１，１２上方に中空に支持され、電極１１，１２に向かって動く可動構造２と、アンカー部と可動構造２とを接続し、延性材料が用いられるばね構造と、アンカー部５２と上部電極２とを接続し、脆性材料が用いられるばね構造４５とを、具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、安定して低速駆動を行うことができる圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】駆動対象物３０、３１を軸Ｘ周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ１１０、１１１、１１２であって、
前記軸Ｘの両側に配置された錘部７１と、前記軸Ｘと交差して延在し、前記錘部７１を連結する連結部７２とで前記駆動対象物３０、３１を平面的に囲む環状構造を有し、前記駆動対象物３０、３１が連結されて前記駆動対象物３０、３１を連結支持する可動枠７０と、
弾性体１５に圧電薄膜２２が成膜された構造を有し、前記可動枠７０の外側に配置され、該可動枠７０の前記連結部７２に前記軸Ｘ周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁９０と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】動作不良の発生が抑制され且つ製造時において製造プロセスで使用する薬品による損傷を低減できるマイクロリレーを提供する。
【解決手段】マイクロリレーは、厚み方向の一表面側に２対の固定接点１４，１４が設けられたベース基板１と、シリコンにより形成され且つベース基板１の前記一表面側に配置された蓋体１７と、シリコンにより形成された可動基台３０ａおよびＦｅ系の磁性体により形成された磁性体部３０ｂからなるアーマチュア３０を有するアーマチュアブロック３とを備える。磁性体部３０ｂと蓋体１７とには、最表面に白金族元素であるＲｈ、Ｒｕ、Ｉｒのうちのいずれか１種類の金属が露出し磁性体部３０ｂと蓋体１７との接触を防止する第１の保護膜５１と第２の保護膜５２とが形成されている。 （もっと読む）

本発明は、剛体エレメント（例えばミラーのような光学エレメント）を動かすためのアクチュエータに関する。エレメントは、曲げ可能な連結部を有するフレームに機械的に連結される。アクチュエータエレメントは、フレームとエレメントとの間で連結部上に載置される。連結部およびアクチュエータエレメントは、信号発生器から信号を受けるときに、エレメントに動きを提供するのに適している。 （もっと読む）

【課題】迷光の発生を防止することができる光偏向器、光偏向器の製造方法および画像表示装置を提供する。
【解決手段】可動板１１と、一端が可動板１１と連結され、回転軸Ｘの周りに可動板１１を回動可能に支持する弾性支持部１２と、弾性支持部１２の他端と連結された支持部材１３とを備え、弾性支持部１２、支持部材１３は、上面、下面、及び側面を有し、側面は、上面又は下面よりも外側に存在する１つ又は複数の斜面によって形成され、弾性支持部１２、支持部材１３の上面、下面、及び側面に、光吸収膜３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】揺動駆動時における駆動電圧の低減と、ミラー歪みの低減とが可能な光スキャナを提供すること。
【解決手段】光スキャナ１００は、ミラー部１１０と、一組の第１梁１１１と、枠部１１２と、一組の第２梁１２０と、固定部１４０と、圧電駆動部１３０とを備える。一組の第１梁１１１は、揺動軸線ＡＲを含む平面上で、ミラー部１１０から離れる方向にミラー部から延出する。枠部１１２は、ミラー部１１０を囲むように配置され、一組の第１梁１１１が接続される。一組の第２梁１２０は、揺動軸線ＡＲに沿う方向に、枠部１１２から延出する。固定部１４０には、一組の第２梁１２０が接続される。ミラー部１１０の重心ＣＭは、一組の第２梁１１１を揺動軸線ＡＲに沿う方向に結ぶ第２梁延長線ＥＬ２に対して、揺動軸線ＡＲに直交する方向に離間する。 （もっと読む）

【課題】低コスト、且つ、高い機能を有するＭＥＭＳ、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】微細構造体からなるデバイス層６１と、基材９１とにより構成されるＭＥＭＳ１０１の製造方法であって、成形可能な材料を型５１により成形することにより、デバイス層６１、及び基材９１を成形する成形工程Ｓ４２と、成形工程により成形されたデバイス層６１と、基材９１とを接合する接合工程Ｓ４４と、成形工程で生じた残膜６１ａを、デバイス層６１より除去する除去工程Ｓ４５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム自体の加工を施す代わりに、ベース基板に加工を施すことによってダイアフラムの応力の問題を解決したマイクロフォンを提供する。
【解決手段】音の伝搬経路となる貫通孔を縦方向に有するベース基板と、その上部に横方向に配置される電極部材と、ベース基板と電極部材の間に或いは電極部材の上方に横方向に配置され、電極部材等を通じて取り込まれた音の音圧によって振動し得る振動膜と、音圧によって振動膜を振動させ得る状態で、ベース基板、電極部材、振動膜を互いに絶縁する絶縁部材を備える。このマイクロフォンはベース基板を利用して形成された複数の固定部によって固定して使用され、複数の固定部はベース基板が横方向に広がる面において振動膜を取り巻く位置に配置され、ベース基板が横方向に広がる面において複数の固定部を含む部材と振動膜との間に縦方向のスリットを設けて部材と振動膜を互いに仕切っている。 （もっと読む）