【課題】機械的強度が高く長期信頼性に優れていて、圧電アクチュエータの変位量とキャパシタの容量との関係が安定し、可変可能な容量の幅が広い圧電駆動型の可変キャパシタを提供可能とすること。
【解決手段】２以上の圧電体層のうち何れか一の外表面側に位置する圧電体層に分極処理を施し、その圧電体層の残留分極を制御することによって、平板状の形状を調節した圧電アクチュエータを、圧電駆動型の可変キャパシタの駆動部として用いる。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の膜応力によるメンブレンの不均一な撓みが原因の圧電素子特性のばらつきを抑制し、圧電素子の感度や信頼性を向上させることが可能な圧電ＭＥＭＳ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電ＭＥＭＳ素子であって、基板の表面側に形成され、不純物がドープされており下部電極として機能する支持体１１１と、基板の裏面側に形成され支持体の下部に位置する裏面空洞１２１と、が設けられた基板１０１と、支持体１１１上に形成された圧電膜１１２と、圧電膜上に形成された上部電極１１３とを備える。支持体１１１は、少なくとも、第１の厚さを有する第１の支持体部分Ｍと、第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する第２の支持体部分Ｂとを含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電アクチュエータを備えるＭＥＭＳ（微小電子機械システム）デバイスを提供する。
【解決手段】第１の面を有する基板１０２が、第１の面上において第１の接着促進導電層１０４と、結晶配向促進層１０６と、第２の導電１０８と、誘電層１１０と、第３の接着促進導電層１１４と、導電性電極１１６を有する。圧電部１１２は、この結晶配向促進層１０６と接触し、結晶配向促進層１０６の配向に対応する配向を有する。誘電材料１１０が圧電部１１２を囲む。この誘電材料１１０は、無機材料から形成される。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡易な構造で、レーザ光源等の光源からの光を走査して画像を表示する際に生じるスペックルノイズを低減することができる光偏向器用アクチュエータ装置を提供する。
【解決手段】 支持体４０に支持された圧電アクチュエータ４２ａ，４２ｂが、光源からの光を偏向する光偏向器を搭載する台座４３を並進振動させることにより、光偏向器による反射光に微小な光路差を付与する。 （もっと読む）

【課題】 特に、センサ部材とキャップ部材間の応力を効果的に緩和できるＭＥＭＳセンサを提供することを目的としている。
【解決手段】 センサ部材４とキャップ部材５とが接合層６を介して接合されている。前記センサ部材４は、前記接合層６側からセンサ領域を備える第１シリコン部材１、第１酸化絶縁３層及び第２シリコン部材２の順に積層されている。前記キャップ部材５は、前記接合層６側から第３シリコン部材７、第２酸化絶縁層８及び第４シリコン部材９の順に積層されている。 （もっと読む）

【課題】可動錘部の質量を効率的に増大させることができ、また、物理量を高精度で検出可能であり、また、多層配線を使用するＣＭＯＳプロセスを用いて、自在かつ容易に製造することが可能なＭＥＭＳセンサー（例えば静電容量型加速度センサー）を提供する。
【解決手段】弾性変形部１３０を介して固定枠部１１０に連結され、周囲に空洞部１１１，１１２が形成された可動錘部１２０を有するＭＥＭＳセンサー１００Ａにおいて、可動錘部１２０は、複数の導電層１２１Ａ〜１２１Ｄと、複数の導電層間に配置された複数の層間絶縁層１２２Ａ〜１２２Ｃと、複数の層間絶縁層の各層に貫通形成された所定の埋め込み溝パターンに充填され、層間絶縁膜よりも比重が大きいプラグ１２３Ａ〜１２３Ｃと、を含む積層構造体を有し、各層に形成されたプラグは、一または複数の長手方向に沿って壁状に形成された壁部を含む。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する構成のマイクロ構造体において、トーションバーの端部の形状不安定およびこれに伴うマイクロ構造体の特性ばらつきを抑制する。
【解決手段】マイクロ構造体１は、第１層からなる部分および前記第１層よりも下側の第２層からなる部分を含むフレーム３と、第１層からなる部分および第２層からなる部分を含む可動体２と、第１層からなりフレーム３の第１層からなる部分と可動体２の第１層からなる部分とを連結して可動体２を揺動可能に支持する揺動支持部４と、を備える。そして、揺動支持部４のフレーム３側の端部が、フレーム３の第２層からなる部分によって下方から支持され、揺動支持部４の可動体側２の端部が、可動体２の第２層からなる部分によって下方から支持されている。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数特性が得られ、歩留まりが向上する電子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】電子装置１の製造方法は、基板６と、機能素子７と、機能素子７を配置する空洞部を画性素子周囲構造体とを有し、機能素子７が、固定電極７１と、可動板７２２を備える可動電極７２とを有し、素子周囲構造体８が、空洞部５に連通する複数の細孔３３２を有する被覆層３３１を有する調整前電子装置を用意する工程と、可動板７２２の固有振動数を測定する固有振動数測定工程と、細孔３３２を介して可動板７２２上に錘材料９を堆積することにより、可動板７２２の固有振動数を調整する固有振動数調整工程と、細孔３３２を封止する封止工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】所望の周波数特性が得られ、歩留まりが向上する電子装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板６と、機能素子７と、機能素子７を配置する空洞部５を素子周囲構造体８とを有し、機能素子７が、固定電極７１と、可動板７２２および連結部７２３からなる振動系７２４を備える可動電極７２とを有する電子装置１の製造方法であって、素子周囲構造体８が、空洞部５に連通する複数の細孔３３２を有する被覆層３３１を有する調整前電子装置を用意する工程と、振動系７２４の固有振動数を測定する固有振動数測定工程と、細孔３３２を介して連結部７２３に錘材料９を堆積することにより、振動系７２４の固有振動数を調整する固有振動数調整工程と、細孔３３２を封止する封止工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 電気信号により抵抗値を連続的に変化させることが可能な小型の可変抵抗を提供する。
【解決手段】 電極Ｂは電極Ｃと間隙を挟んで対向するように一端が固定されている。電極Ｃにおける電極Ｂとの対向面には複数の突起状の抵抗体ｒが面状に配列されている。電極Ｄは、電極Ｃとの間に絶縁層２０４を挟んで電極Ｃに固定されている。電極Ａは、電極Ｂとの間に絶縁層２０９を挟み、電極Ｄと対向している。電極ＡおよびＤ間には、制御電圧が与えられる。制御電圧を大きくすると、電極ＡおよびＤ間の吸引力が大きくなって電極Ｂが電極Ｃに向かって撓み、電極Ｂと電極Ｃの抵抗体ｒとの接触面積が増加し、電極ＢおよびＣ間の抵抗値が低下する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスが容易で小型化可能、かつ、高い信頼性を有する中空封止構造を備えたＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１と、基板１上に、この基板１と空隙９を介して形成され、穴１６が設けられた可動部１２と、基板１上に形成され、穴１６の内側を可動部１２に非接触に貫通する支柱１３と、支柱１３によって支持され、可動部１２上に可動部１２と空隙９を介して形成されたキャップ部７、８を有することを特徴とするＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】備える機能素子を直接測定することなく、機能素子の寸法を精度よく測定することにより、機能素子の状態が把握されることができる電子装置を提供すること。
【解決手段】電子装置１は、基板２と、基板２上に配置され、固定電極３１および固定電極３１と空隙を隔てて対向配置された可動板３２２を備える可動電極３２を有する機能素子３と、基板２上に設けられ、機能素子３が配置された空洞部６を画成する素子周囲構造体５と、基板２上の空洞部６の外部に設けられ、固定電極３１に対応する第１の検査用膜４１と、可動電極３２に対応する第２の検査用膜４２とを有する検査体４とを有し、検査体４は、所定の部位の寸法が測定されることにより、機能素子３の所定の部位の寸法を求めるために用いられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】機能素子の寸法を精度よく求めることができ、精度よく機能素子の周波数特性を推定することのできる機能素子の寸法の測定方法を提供すること。
【解決手段】 機能素子の寸法の測定方法は、基板２と、基板２上に設けられた固定電極３１および可動電極３２を有する機能素子３とを有する機能素子付き基板１に対し、機能素子３の寸法を測定する方法であって、固定電極３１の形成と同時に、固定電極３１と同様の方法で第１の検査用膜４１を形成する工程と、可動電極３２の形成と同時に、可動電極３２の形成と同様の方法で第２の検査用膜４２を形成する工程と、第１の検査用膜４１と第２の検査用膜４２とからなる検査体４の所定の部位の寸法を測定する工程と、測定の結果から、機能素子３の所定の部位の寸法を求める工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

電気機械システムデバイスは、基板にわたって配置された複数の支持体と、該複数の支持体にわたって配置された変形可能な反射層とを含んでいる。前記変形可能な反射層は、第１の方向に延びている複数の実質的に平行な列を含んでいる。各々の列は、前記第１の方向に一般的に垂直な第２の方向に延びている一つ以上のスロットを有している。前記スロットは、下位部分を電気的に断線することなく部分的に機械的に分離するために、前記列の下位部分の境界縁部に生成されることができる。電気機械デバイスを製造する方法は、基板にわたって導電性の変形可能な反射層を堆積する段階と、複数の電気的に分離された列を形成するために前記変形可能な層の一つ以上の部分を除去する段階と、及び少なくとも一つの前記列内に少なくとも一つの横方向スロットを形成する段階と、を含んでいる。
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【課題】小型化されたアクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明のアクチュエーター２００は、基板１８上に、いずれも櫛歯状を成し、互いの開放端側で対向する第１固定電極１１及び第２固定電極１２と、第１固定電極１１と第２固定電極１２との間に配置され、第１固定電極１１と第２固定電極１２との間を移動可能とされた平面視蛇行形状の可動電極１３と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固定電極に対する可動電極（可動部）の形成位置に関わらず、所望の振動特性を発揮することができるアクチュエータおよび電子装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、基板２と、基板２上に設けられた固定電極３と、可動電極４とを有している。可動電極４は、可動部４２と、可動部４２を支持する支持部４１と、可動部４２と支持部４１とを連結する連結部４３を有している。また、可動部４２は、連結部４３を介して支持部４１に片持ち支持されるとともに、固定電極３と空隙を隔てて対向配置されている。このような可動電極４には、可動電極４から固定電極３の連結部４３側の縁部の少なくとも一部が露出するように、開口５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】付加的な回路を用いずに、絶縁膜の電気抵抗率を調整することでスティクションを防止する。
【解決手段】基板上に導電性を有する材料を用いて固定電極を形成する工程と、前記固定電極上に、犠牲膜を形成する工程と、前記犠牲膜の上面に、窒素ガスの流量比を全体に対して８０％より高く制御された混合ガスを用い、少なくとも遷移金属元素群のうち１元素と、半導体元素群又は前記遷移金属元素群を除く金属元素群のうち１元素とを原料として絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に、導電性を有する材料を用いて可動電極を形成する工程と、前記犠牲膜を除去する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】相対的に大きな力学量が加わっても、破損することなく被検知対象である傾斜を検知することができる力学量検出センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の力学量検出センサである傾斜センサは、基材上に立設された導電性の固定接点柱１１ｂと、前記基材上であって固定接点柱１１ｂの外側に設けられた枠体１１ａと、前記枠体１１ａに対して梁１１ｄを介して設けられ、前記枠体１１ａと前記固定接点柱１１ｂとの間で揺動可能である導電性の可動部材１１ｃと、を具備し、前記枠体１１ａ及び前記可動部材１１ｃは、前記基材側の第１層と前記第１層よりも上層の第２層とを含み、前記第２層に前記梁１１ｄが設けられており、前記第１層が前記梁１１ｄの下方に部分的に延在部１１ｅを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動時に並進変位動作する可動部について回転変位を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を含んでなる光干渉計を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、可動部１０、固定部２０、および連結部３１〜３４を備える。可動部１０は、一対の電極部１２，１３を有する。固定部２０は、電極部１２，１３の離隔方向に交差する方向における可動部１０の並進変位の駆動力を電極部１２，１３と協働して発生させるための一対の電極部２２，２３を有する。複数の連結部３１〜３４のそれぞれは、可動部１０に接続し且つ固定部２０に接続する。連結部３１および可動部１０が接続する接続部Ｐ１と、連結部３３および可動部１０が接続する接続部Ｐ３との離隔方向における、接続部Ｐ１，Ｐ３の間以内に、電極部１２，１３は位置する。 （もっと読む）

【課題】 機能素子の外周にメタライズを設けたＳｉ基板と、メタライズを設けたＳｉ基
板とを、メタライズ間に設けたはんだを熔融・接合して、気密封止する機能素子パッケー
ジにおいて、Ｓｉ基板どうしをはんだ接合しても、メタライズがＳｉ基板から剥離するこ
となく、封止気密性に優れた機能素子パッケージ構造を提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板とメタライズとの間にアルミナ層を設けることで、メタライズと
Ｓｉ基板との間の密着力が改善し、封止気密性に優れた機能素子パッケージを得ることが
できる。 （もっと読む）