【課題】設計自由度を高めるとともに低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の光反射部２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の光反射部２５に対向する第２の光反射部３４が設けられた第２の基体３とが接合膜４１を介して接合されており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の基体２と第２の基体３とを接合している。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図りつつ、寸法精度を優れたものとし、長期にわたり高精度に波長分離を行うことができる光学デバイス、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザを提供すること。
【解決手段】第１の反射膜２５を備える可動板２１が変位可能に設けられた第１の基体２と、第１の反射膜２５に対向する第２の反射膜３４が設けられた第２の基体３とを有し、第２の基体３は、第１の層３ａと、第１の層３ａに接合膜４１を介して接合された第２の層３ｂとを有しており、接合膜４１は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４１は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与したことにより、接合膜４１の表面付近に存在する脱離基がＳｉ骨格から脱離し、接合膜４１の表面の当該領域に発現した接着性によって、第１の層３ａと第２の層３ｂとを接合している。 （もっと読む）

【課題】複数のマイクロ流路間を容易にでき、従って容易に製造可能なマイクロ流体デバイスを提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、第１のマイクロ流路２と、第１のマイクロ流路２の一端部に接続され、第１のマイクロ流路２よりも小さな流路面積を有する第２のマイクロ流路３とを有する。マイクロ流体デバイス１は、第１のマイクロ流路２を構成する線条溝１３が形成された第１の基板１０と、板面方向に直線状に配列された線条溝よりも幅狭の複数の貫通孔２１が形成された第２の基板２０とを備えている。線条溝１３の延びる方向と複数の貫通孔２１の配列方向とが交差すると共に、複数の貫通孔２１のうちのひとつまたはいくつかと線条溝１３とが接続されて線条溝１３と接続された貫通孔２１ａにより第２のマイクロ流路３が構成されるように、第１の基板１０と第２の基板２０とが貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い液体金属リレーをマイクロマシン技術により形成するとともに、貫通電極を設けることによって高周波特性が良くかつ抵抗値が低いリレーを実現する。
【解決手段】 液体金属により複数の電極間のオン・オフ状態を切り替えるようにしたリレーにおいて、第１および第２の基板を張り合わせて形成された流路と、この流路の途中に形成された液体室と、この液体室に配置された複数の電極と、前記流路の両端に連通して配置された第１および第２の気体室と、これら第１および第２の気体室に封入された気体およびこの気体を加熱する加熱手段と、前記液体室に封入された液体金属と、前記複数の電極および前記加熱手段から前記第１の基板の外側に導出する貫通電極とを具備することにより、高周波特性が良くかつ抵抗値が低いリレーを実現した。 （もっと読む）

【課題】流路が詰まることなく、効率よく繰り返し利用が可能な流路構造体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】この流路構造体１は、流路用溝２０を有する流路基板２と、流路基板２の上面（第１の接合面）２ａおよび流路用溝２０の側面２０ａ，２０ｂおよび底面２０ｃに成膜された光触媒膜（第１の光触媒膜）４Ａと、流路基板２上に接合された蓋基板３と、蓋基板３の下面（第１の接合面）３ａに成膜された光触媒膜（第２の光触媒膜）４Ｂとを備え、流路基板２の上面２ａおよび蓋基板３の下面３ａを常温接合により接合して形成したものである。 （もっと読む）

【課題】液体や懸濁液内に存在する細胞を含む材料を大量の微小サンプルとして操作し、解析するための装置であって、プラテンに設けたアレイ状の貫通穴に内容物を充填するとき、隣の穴に流れ込むことを防止するためのプラテン表面疎水化処理の方法を提供する。
【解決手段】第１と第２の表面を有し、これらの表面が本質的に平行であり、当該表面に実質的に垂直に配置された複数の貫通穴とを備えたシリコン製プラテンに疎水性のコーティングを提供するための方法であって、a.第１の表面を酸化させるステップと、b.酸化された前記第一の表面をクリーニングするステップと、c.第２の表面の方向から前記複数の貫通穴へ不活性ガスの正圧をかけるステップと、d.シラン・カップリング剤蒸気に前記第１の表面を晒すステップと、から構成される。 （もっと読む）

【課題】シリコンに微細な加工が可能となる電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】電子部品の製造方法は、シリコン基板上にリソグラフィ工程によってエッチングマスク材を形成する工程Ｓ１０１と、シリコン基板上に形成されたエッチングマスク材を集束イオンビームで切断してエッチングマスク材にスリットを形成する工程Ｓ１０２と、エッチングによってエッチングマスク材に形成されたスリット部分に溝を形成する工程Ｓ１０４とを含む。好ましくは、電子部品の製造方法は、集束イオンビームでエッチングマスク材に形成したスリット部分のシリコン基板に注入されたイオン層を除去する工程Ｓ１０３をさらに備える。 （もっと読む）

【課題】基板から離隔して空隙を介して基板に対向する離隔対向部位を、基板上の犠牲層形成領域の凹凸態様に拘らず、所定の形状で形成するのに適したマイクロ構造体製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ構造体製造方法は、例えば、複数の金属犠牲層３３，３５からなる積層構造を有する金属犠牲部をめっき法により基板１０’上に形成する工程と、金属犠牲部上に広がって基板１０’から離隔する部位を有し且つ基板１０’に支持される構造部１４を形成する工程と、金属犠牲部を除去する工程とを含む。 （もっと読む）

構造化され焼結された物品の形成方法が開示され、この方法は、焼結可能な微粒子材料およびバインダを含む混合物を提供し、その場合、上記バインダは、このバインダの総樹脂含有量の関数として少なくとも５０重量％の熱可塑性バインダ材料と輻射線硬化性バインダ材料とを含み、上記混合物を、構造体を形成するように型を用いて整形し、上記構造体を冷却することによって、またはこの構造体を冷えるままに放置することによって、この構造体を硬化させ、上記構造体を離型させ、上記輻射線硬化性バインダ材料が少なくとも或る程度硬化するように、上記構造体に輻射線を照射し、かつ上記構造体のバインダを除去しかつ焼結させる諸ステップを含む。整形は、１本または複数本の開口溝を有する構造体を形成することを含んでいてもよく、かつ焼結は、少なくとも一つの追加の構造体を、上記溝を覆うまたは取り囲むように一体に接触させて焼結させることを含んでいてもよい。
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【課題】複雑でない生産性に優れた構造のセンサーパッケージとその製造方法とを提供する。
【解決手段】一面側を平坦面にして長手方向の一方側を薄肉部とし、他方側に厚肉部を設けた端子部を複数、薄肉部を内側として平坦面を揃えて配し、センサーチップのアクティブ面上に空隙を設けて再配線され、その外側領域にセンサーチップに接続する複数の接続用端子を有し、且つ、センサーチップの非アクティブ面側を絶縁板材で覆っている構造のセンサー部材を、前記接続用の端子において前記端子群の端子部の前記平坦な一面にバンプ接続し、ＡＳＩＣをその端子面側で前記端子群の端子部の薄肉部の前記平坦な一面側と対向する他方の薄肉部面にバンプ接続して前記端子部の厚さ内に収めており、各端子部の厚肉部の前記平坦な一面側と対向する側の厚肉部面を、外部回路と接続するための外部端子面として該外部端子面を露出するようにして各部を封止している。 （もっと読む）

【課題】複数の段差を備えたインプリントモールドの製造に好適なインプリントモールド製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のインプリントモールド製造方法は、エッチングマスクとして用いたパターニングされた感光性樹脂に新たなパターンを再度パターニングし、再度エッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、感光性樹脂に対して複数回のパターニングを行うことにより、段差形状になった基板に再度感光性樹脂を塗布することなく、複数の段差構造を備えたインプリントモールドを製造することが出来る。このため、不均一な感光性樹脂の塗布に由来する構造パターンの形状不良を防止することが出来、精度良く微細な３次元構造パターンを形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】共振振動数の温度変動が少なく、低電圧駆動が可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】ミラー振動子１０のミラー部材１に永久磁石４が固定される。ミラー振動子１０及び永久磁石４は上下カバー２１，２２により包囲され、外部から熱的に隔離される。上下カバー２１，２２の外側に駆動用の電磁石３０が配置される。電磁石３０の熱、その他の熱源の熱は、ミラー振動子１０及び永久磁石４に伝わりにくいため、ミラー振動子の共振周波数の温度変動が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】凹部を形成した基板とカバー材料とで構成されるマイクロ流体デバイスにおいて、幾何学的な個体間のばらつきと、基板とカバー材料との接合部に非接合領域を発生させる可能性を軽減したマイクロ流体デバイスの製造法を提供すること。
【解決手段】マイクロ流体デバイスの製造において、流路やチャンバ、リザーバになる凹部をあらかじめ基板に形成し、その基板の凹部を形成した側の面に、液体状のエネルギ線硬化樹脂を付着させる。そして、エネルギ線照射手段によってエネルギ線硬化樹脂を硬化させることで、基板凹部上のカバーとなり、流路やチャンバ、リザーバを形成できる。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプの特性バラツキを簡単な方法で補正し、所定の流量で駆動液をマイクロチップに送液する反応検出装置を提供する。
【解決手段】流体をマイクロチップに注入するポンプと、ポンプの性能データを記憶する記憶手段と、ポンプを駆動する駆動手段と、駆動手段を制御する制御手段と、を有し、制御手段は、性能データに基づいて駆動手段を制御することを特徴とする反応検出装置。 （もっと読む）

【課題】生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定したマイクロアレイを大量に製造するために必要な、微小針母型を精度良く作製すること。
【解決手段】所望の微小針に対応する貫通孔を有するＳｉ平板にＵＶ硬化樹脂を充填しＵＶ照射後、整形してパイレックスガラス基板上の固定する。そして、Ｓｉ平板を溶解除去して精度の良好なＵＶ硬化樹脂製の微小針母型を作製する方法である。更には、得られた母型の耐久性を改善するために、金属メッキ等で被覆し、ＵＶ硬化樹脂製の微小針母型の耐空性を強化した。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体を利用して製造され、無機固体材料と高分子材料との間の密着性が改善された、無機−高分子間の接合面を含む無機・高分子構造体、該無機・高分子構造体を含む微小および超微小電気機械システム、該無機・高分子構造体の製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】無機・高分子構造体１０は、無機固体材料１２に接して形成された高分子材料１４ａ〜ｃを含み、無機−高分子間の接合面Ａを含んでいる。無機・高分子構造体は、容器内に、無機固体材料に接して形成された高分子材料を配置する工程と、容器内で高分子材料を超臨界流体または亜臨界流体中に保持する工程と、容器内の超臨界流体または亜臨界流体に作用する圧力を所定の平均減圧速度で減圧する工程とを含む方法により得られる。 （もっと読む）

（１）基材上に第一微細構造パターンを形成する工程と、（２）前記第一微細構造パターンを複製して、第二微細構造パターンを可撓性材料内に作製する工程と、（３）前記第二微細構造パターンを複数回複製して、第三微細構造パターンを架橋性材料内に形成して、第一キャリア上に工具を作製する工程と、（４）前記第三微細構造パターンをポリマーに複製して、少なくとも１つの微細構造物品を作製する工程と、を含む、微細構造物品を作製する方法。
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【課題】 ミラー（特にミラー反射面）の破損を防止することで、ミラーの反射特性を維持するミラーデバイスを提供する。
【解決手段】 積層された複数（３枚以上）の基板を構成要素にもつミラーデバイスにおいて、前記複数の基板の一枚がミラーを有するミラー基板であり、前記ミラーは前記ミラー基板と支持部材で接続され回動可能であり、前記ミラー反射面と前記枠は前記ミラーの同一面側に配置されており、前記ミラーは前記ミラー基板と該ミラーデバイスを構成する他の基板で形成された閉空間内に配置され、前記複数の基板の少なくとも一枚が、少なくとも部分的に光学的に透明な材料で形成され、前記光学的に透明な材料部分を介し、ミラーデバイス外部の空間と前記ミラーが光学的に接続されているミラーデバイス。 （もっと読む）

【課題】高い研磨精度を有してワークの両面を同時に研磨する研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの両面Ｗａ及びＷｂを同時に研磨する研磨装置１００において、それぞれがワークＷに接触する研磨面１４２ａ，１６２ａを有して互いに反対方向に回転する一対の定盤１４０，１６０と、一対の定盤１４０，１６０の回転数を各々検出する一対の検出部１４８，１６８と、一対の定盤１４０，１６０の間でワークＷを加圧する加圧部１７０と、定盤１４０，１６０にスラリーを供給するスラリー供給部１７５と、研磨面１４２ａ，１６２ａとワークＷとの間の摩擦力が閾値を超えたと判断した場合に、加圧部１７０が加える荷重、定盤１４０，１６０の回転数、スラリー供給部１７５が供給するスラリーの少なくとも一つを減少する制御部１８０と、を有することを特徴とする研磨装置１００を提供する。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能かつ小さい力で作動し、しかもシリコン基板プロセスに比べて比較的製作が容易なエラストマバルブ構造及びそれを用いたポンピングシステムを提供する。
【解決手段】エラストマブロック内に第一フローチャネル３０と直交して積層された第二フローチャネル３２を形成する。第一フローチャネル３０の頂部を形成する膜２５は二つのフローチャネルを分離し、第一フローチャネル３０の頂部であると同時に第二フローチャネル３２の底部を形成している。第二フローチャネル３２の圧力を変動させることにより膜２５は下方への撓みと復帰を繰り返し、それにより第一フローチャネル３０は線形動作のバルブ動作システムを構成することになる。 （もっと読む）