【課題】高い性能を確保しながら、小型化を実現することが可能なアクチュエータの製造方法、アクチュエータ、及び該アクチュエータを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】電極層と、該電極層に通電することにより変形する金属板と、が積層されたアクチュエータの製造方法であって、金属板の表面に絶縁膜を成膜する工程と、絶縁膜の表面に電極層を形成する工程と、電極層が形成された面と同じ側の面に、金属板のエッチング部分に開口を有する第１のレジスト膜を成膜する工程と、金属板の絶縁膜が成膜された面と反対側の面に、第１のレジスト膜の開口部分が表裏で略同じ形状になるように第２のレジスト膜を成膜する工程と、第１のレジスト膜および第２のレジスト膜をエッチングマスクとして、エッチング法を用いて金属板を除去することにより、該金属板の形状を形成する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板同士を加圧して接合させた場合でも、基板間のミラーが損傷しない波長可変干渉フィルター、この波長可変干渉フィルターを備えた測色センサー、およびこの測色センサーを備えた測色モジュールを提供する。
【解決手段】エタロン５は、透光性を有する第一基板５１と、第一基板５１の一面側に対向するとともに、第一基板５１に加圧接合される透光性の第二基板５２と、第一基板５１および第二基板５２の互いに対向する面にそれぞれ設けられ、互いに対向配置される一対のミラー５６，５７と、一対のミラー５６，５７の間の寸法を可変する静電アクチュエーター５４と、第二基板５２の可動ミラー５７の内周側に設けられるとともに、第一基板５１に向かって突出する支持突出部５２４と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】ムービングマグネット型の駆動部を有する変形可能ミラー装置の応答速度、変形精度を向上する。
【解決手段】ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたり、駆動力発生部により発生した駆動力を駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するものとし、且つ上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着せず当接させる。これによりミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の質量を従来例の場合よりも大幅に削減でき、可動側部の固有振動数の値をより大とすることができる。また上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、ケースにおけるガイド孔に挿入するようにして設ける。これにより、先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができ、ミラー面の変形精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

本発明は、微小機械ユニット、特に調節可能な光学フィルタ、およびまたそのユニットを製造する方法に関する。このユニットは、互いに少なくとも部分的に固定される第１の素子層と第２の基板層とを含み、素子層は、複数の可動でない固定反射素子の間に分割される複数の反射素子を含み、固定素子は基板に接続され、空洞が、基板と各々の可動素子との間に規定され、各々の可動素子は空洞内でスプリングにより負荷される動きを生じるように設置され、複数の誘電性スペーサブロックが、それらの間の電気接触を回避するために各々の可動素子と基板との間の空洞内に配置される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも分光帯域の広いファブリペロー干渉計及びその製造方法を提供する。
【解決手段】第１ミラー構造体と第２ミラー構造体とがギャップを介して対向配置されたファブリペロー干渉計であって、第１ミラー構造体を構成する第１ミラーと第１電極、及び、第２ミラー構造体を構成する第２ミラーと第２電極、の少なくとも一方が電気的に絶縁分離されている。また、電圧が印加されない初期状態で、第１電極を含む電気的に結合された部分と、第２電極を含む電気的に結合された部分との対向距離ｄｅｉが、第１ミラーと第２ミラーとの対向距離ｄｍｉよりも長くされている。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】水平駆動ミラーを形成すると共に、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは２つ以上の支持要素を介してフレーム構造（３）に接続し、このフレーム構造に対して水平方向に動作するミラープレート（１）を含むマイクロメカニカルミラー構造であって、少なくとも１つの支持要素（２）、好ましくは全ての支持要素（２）とミラープレート（１）との接続領域（４）を、ミラープレートの外側縁（５）からミラープレートの中心（６）の方へと内側にオフセットさせて配置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微細構造体を高精度に製造する。
【解決手段】基板１１上に被陽極酸化金属膜２１を形成する工程（Ａ）と、被陽極酸化金属膜２１に、基板１１に形成する凹部１２のパターンに合わせたパターンで凹部２２を形成する工程（Ｂ）と、凹部２２のピッチに合ったピッチで微細孔２３が開孔する陽極酸化条件で被陽極酸化金属膜２１を部分的に陽極酸化して、微細孔膜部２４とバリア層部２５とからなる陽極酸化膜２６を形成する工程（Ｃ１）と、バリア層部２５において微細孔２３の下方に位置する部分をエッチング除去する工程（Ｄ）と、非陽極酸化部分２７において微細孔２３の下方に位置する部分をエッチング除去する工程（Ｅ）と、微細孔膜部２４をマスクとしてエッチングを行い、基板１１に凹部１２を形成する工程（Ｆ）と、陽極酸化膜２６と非陽極酸化部分２７とを除去する工程（Ｇ１）とを順次実施する。 （もっと読む）

【課題】熱膨張率の相違を利用した湾曲によって駆動力を生じる応答性が良好なアクチュエータ、ならびに該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】アクチュエータは、第１層と、該第１層よりも大きな熱膨張率を持つ第２層と、第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ第３層とを含む複数層が積層されるとともに、加熱に応じて変形する可動部を備える。また、該アクチュエータは、第３層と一体的に構成されるか、または第３層と接触するように構成され、且つ第１および第２層よりも大きな熱伝導率を持つ熱伝導部を含む放熱領域を有するとともに、可動部が固定される固定部を備える。 （もっと読む）

【課題】
ＭＥＭＳを用いた広角の光スキャナを実現する。
【解決手段】
光マイクロスキャナは、曲面反射板３０を用いて広い回転角を実現する。本光マイクロスキャナは、入射ビーム２５を受信し反射して反射ビーム３５を生成する可動ミラー３０と、可動ミラー３０の直線変位を発生させる微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アクチュエータ４０とを含む。曲面反射板は、可動ミラーの直線変位に基づいて反射ビーム３５の角度回転θを発生させる。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。
【解決手段】第２の基板３は、その厚さ方向での位置が異なる２つの面を可動部２１側に有し、２つの面のうち、一方に駆動電極３３が設けられ、他方に検出電極４０が設けられており、検出電極４０と可動部２１との間の静電容量に基づいて、駆動電極３３と可動部２１の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部２１を変位させるとともに、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜３５と可動反射膜２５との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】破壊や特性の劣化を抑制しつつ、所望の変位を実現することが可能なアクチュエータ、該アクチュエータを用いた駆動装置および撮像装置を提供する。
【解決手段】移動対象物を移動させるアクチュエータであって、所定の部分が変位する可動部と、該可動部が固設される基準部とを備える。また、該アクチュエータでは、可動部が、第１層と、加熱に応じて第１層とは異なる膨張または収縮を行う第２層と、発熱する第３層とを含む複数層が積層されて構成されるとともに、放熱性が高い領域ほど、該可動部のうちの所定領域当たりにおける第３層の発熱量が増加するように構成される。そして、可動部では、第３層の発熱に応じて可動部が曲がることで所定の部分が変位する。 （もっと読む）

【課題】駆動時に並進変位動作する可動部について回転変位を抑制するのに適したマイクロ可動素子、および、そのようなマイクロ可動素子を含んでなる光干渉計を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ可動素子Ｘ１は、可動部１０、固定部２０、および連結部３１〜３４を備える。可動部１０は、一対の電極部１２，１３を有する。固定部２０は、電極部１２，１３の離隔方向に交差する方向における可動部１０の並進変位の駆動力を電極部１２，１３と協働して発生させるための一対の電極部２２，２３を有する。複数の連結部３１〜３４のそれぞれは、可動部１０に接続し且つ固定部２０に接続する。連結部３１および可動部１０が接続する接続部Ｐ１と、連結部３３および可動部１０が接続する接続部Ｐ３との離隔方向における、接続部Ｐ１，Ｐ３の間以内に、電極部１２，１３は位置する。 （もっと読む）

【課題】光走査によるファインダー表示において、光源およびスキャナ機構の位置決めが容易で、表示パターンを所定位置に精度よく表示する。
【解決手段】一体的にパッケージングされたマイクロミラーデバイス５５および光源６０を備えるスキャナモジュール５０を、カメラの光学ファインダー傍に設ける。スキャナモジュール５０において、光源６０とマイクロミラー５６を同一方向に向けて配置し、光射出面６０Ｓとミラー反射面５６Ｓを互いに平行にする。また、スキャナモジュール５０内の内部空間ＮＳを密閉する矩形状リッドグラス７０には、全反射面７６、ＰＢＳ膜７８を４５度の傾斜角度で形成し、マイクロミラー５６とリッドグラス７０の間にλ／４波長板６５を配置する。 （もっと読む）

【解決手段】 高スループット且つ低コストのサブミクロン３Ｄ構造製品を製造するための３Ｄ鋳型を製造するプロセスが開示される。このプロセスは、２光子レーザリソグラフィと３Ｄ書き込み技術との使用を統合して、３Ｄ構造製品の各層の３Ｄ鋳型を作り、次に、ナノインプリントを使用して、その層の上記３Ｄ鋳型から３Ｄ構造の各層のポリマー薄膜シートを形成する。次に、ポリマー薄膜シートの各層は、サブミクロン３Ｄ構造製品に製造される。高スループット且つ低コストのサブミクロン３Ｄ構造製品の各層の３Ｄ鋳型がさらに使用されて、マスタ鋳型が作られ、次に、マスタ鋳型を使用して、３Ｄ構造の各層のポリマー薄膜シートが形成されて、サブミクロン３Ｄ構造製品が製造される。このプロセスを使用する適用例も開示される。 （もっと読む）

【課題】ミラー間のギャップを可変させた場合においても分光特性に優れた光を取り出すことができ、しかも取り出す光の分光特性を低下させることなく良好に維持することができる光フィルタ及びそれを備えた光モジュールを提供する。
【解決手段】本発明の光フィルタ１は、第１の基板２と、これに対向して接合され、第１の凹部５及び第２の凹部７が形成された第２の基板３と、第１の凹部５に第１のギャップを介して設けられたミラー４Ａ、４Ｂと、ミラー４Ａ、４Ｂの周囲に第２のギャップを介して設けられた一対の電極６Ａ、６Ｂと、第１の基板２に形成された第１のダイアフラム部８と、第１のダイアフラム部８の内周側に形成された第２のダイアフラム部９とを備えた。 （もっと読む）

本発明は、様々な態様において、高速および低電圧で駆動できる、画質を改良および電力消費を低減するＭＥＭＳ作動式ディスプレイのシステムおよび方法に関する。
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【課題】装置全体の温度が変化した場合であっても、可変形ミラーを所望の形状に変形することができる可変形ミラー装置を得る。
【解決手段】可変形ミラー１と、先端部が可変形ミラー１の裏面に向かって設けられ、駆動することで可変形ミラー１を変形させるアクチュエータ２と、可変形ミラー１の裏面に接合され、磁性体から構成された接合パッド４と、アクチュエータ２の先端部に設けられ、磁力によって接合パッドを引き付ける接触アタッチメント５とを備え、可変形ミラー１の線膨張係数と接合パッド４の線膨張係数とがほぼ同等である。 （もっと読む）

【課題】焦点可変で且つ高精度の一様な近似放物面形状を得ることができるようにしたミラー装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ミラー装置３０は、薄板状のミラー部３１ａと、ミラー部３１ａを懸架するサスペンション３１ｂを有し、ミラー部３１ａの周縁の少なくとも一部を包囲し、かつサスペンション３１ｂによりミラー部３１ａをその表面に垂直な方向へ移動可能に支持するベース部３１ｃと、から成るミラー基板３１と、ミラー基板３１のベース部３１ｃの表面に配設した支持基板３２と、を備え、支持基板３２が、ミラー基板３１の周縁の内側に対向してミラー部３１ａの表面に当接する支持部３２ａと、支持部３２ａより外側でミラー部３１ａに対向して形成された固定電極部３２ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】熱効率の改善によって駆動力の発生における応答性を向上させることができる技術を提供する。
【解決手段】固定部と、一端が該固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備えるアクチュエータにおいて、該可動部が、一端が固定部に固設され、且つ上記一方向に延設される板状の支持層と、加熱に応じて上記一方向に膨張または収縮する駆動部層とを含む複数層が積層されて形成される。そして、該可動部が、上記一端とは反対側の他端近傍に断熱部材を有するようにしている。 （もっと読む）

【課題】小型の構成で大きな駆動力を発生させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】固定部と、一端が固定部に固設され、且つ一方向に延設される板状の可動部と、を備えるアクチュエータとする。そして、該可動部が、一端が固定部に固設され且つ一方向に延設される板状のベース部と、該ベース部の一方主面上において該ベース部と一体的に形成され、且つ第１の光の照射に応じて上記一方向に伸び、第２の光の照射に応じて上記一方向に縮む光変位部と、を有するようにする。 （もっと読む）