【課題】容器本体の棚板から基板を適切に浮上させ、容器本体の開口した正面部に蓋体を圧入する際の圧力増加を抑制できる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体と、容器本体の正面部に嵌合圧入される蓋体とを備え、容器本体の背面壁２内に、半導体ウェーハＷの周縁部後方を遊嵌支持する断面略Ｕ字形の支持溝３を形成し、容器本体の両側壁内に、半導体ウェーハＷの周縁部側方を支持するティースを形成し、容器本体の背面壁２に対向する蓋体の対向内面に、半導体ウェーハＷの周縁部前方を保持するフロントリテーナを装着する。支持溝３を、蓋体の嵌合圧入時に半導体ウェーハＷのティースからの浮上を案内する緩高配の第一の傾斜底面４と、蓋体の容器本体からの取り外し時に半導体ウェーハＷのティースへの滑落を案内する急高配の第二の傾斜底面５とから形成する。 （もっと読む）

【課題】振動や衝撃で保持片や保持溝が回転するのを抑制し、保持溝から基板が外れて磨耗、汚染、破損するおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体とを備え、この蓋体の半導体ウェーハ１に対向する対向内面に、複数枚の半導体ウェーハ１を保持する基板保持具３０を装着する。また、基板保持具３０を、蓋体の半導体ウェーハ１に対向する対向内面方向から半導体ウェーハ１に接近する第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂと、この第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂにそれぞれ形成されて半導体ウェーハ１の周縁部２前方を保持する保持溝３６とから構成し、各保持溝３６の半導体ウェーハ１の周縁部２前方との接触部３９を第一、第二の保持片３４Ａ・３４Ｂの肉厚Ｔの範囲内に位置させる。 （もっと読む）

【課題】基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに成形してその内部下方には半導体ウェーハ１を支持する下部支持ブロック１５を装着し、この下部支持ブロック１５の半導体ウェーハ１に対向する対向面には、半導体ウェーハの周縁部２下方を縦に支持する支持溝１６を複数形成する。また、容器本体１０の内部上方に、下部支持ブロック１５に対向する上部支持ブロック１７を装着してその半導体ウェーハ１に対向する対向面には半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する支持溝１８を複数形成するとともに、各支持溝１８の谷部１９を半導体ウェーハ１の周縁部２上方に半導体ウェーハ１移動用の空隙２２を介して対向させる。 （もっと読む）

【課題】基板の横ぶれや位置ずれを抑制してクランプハンドのハンドリングの円滑化を図ることができ、しかも、基板の取り出し作業の作業性を向上させることのできる基板収納容器及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスタイプに形成してその内部下方には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の内部上方には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方に隙間を介して左右横方向から対向する上部規制板２１を設けるとともに、容器本体１０の内部後方には、半導体ウェーハ１の周縁部２後方を縦に支持する後部支持ブロック２４を設ける。容器本体１０を左右方向に傾斜させた場合に上部規制板２１に傾斜した半導体ウェーハ１の周縁部２上方を支持させる。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板を収納するディスクケースを再利用しても磁気ディスク用ガラス基板に影響が及ばないようにディスクケースの再利用回数を適確に管理することができるディスクケースの使用方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納して搬送する際に用いられるディスクケースの使用方法であって、前記ディスクケースに複数の磁気ディスク用ガラス基板を収納し、前記磁気ディスク用ガラス基板を搬送した後に、前記ディスクケースから前記磁気ディスク用ガラス基板を取り出し、その後、前記ディスクケースを洗浄・乾燥する全工程を１サイクルとし、前記磁気ディスク用ガラス基板のパーティクル発生率と前記ディスクケースのサイクル数との間の関係に基づき、前記パーティクル発生率が急激に上昇するサイクル回数未満のサイクル数で前記ディスクケースの再利用回数を管理することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】底面を簡便に密閉および開放できるカセット構造を提供する。
【解決手段】基板４０を収納するカセット１００であって、内部に基板４０が配置されるカセット本体部１０と、カセット本体部１０の側面に形成されたカセット開口部１２と、カセット本体部１０の底面１５に形成された底面開口部１４と、底面開口部１４を塞ぐ底板２０とを備え、底板２０とカセット本体部１０とは互いに分離可能であり、カセット本体部１０は、底面開口部１４の下方に凹部３２を有する置台３０の上に配置され、凹部３２は、カセット本体部１０が置台３０の上に配置された際に底板２０を収納可能であり、且つ、凹部３２の一部には、底板台３４が形成されている、カセット１００である。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１を収納する容器本体１０をフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２下方を縦に支持する下部支持ブロック１６を設け、容器本体１０の天板２２内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２上方を縦に支持する上部リテーナ２１を上下方向に弾性変形可能に並設し、容器本体１０の背面壁２７内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２上部後方を縦に支持する後部支持ブロック２３を設ける。半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ毎に使い捨てることができるように低コストで製造することができるウェハ保護部材と、そのウェハ保護部材を用いて半導体ウェハを保護する方法を提供する。
【解決手段】ウェハ保護部材２は、熱硬化前の熱硬化性樹脂で形成されており、柔軟性を有している。ウェハ保護部材２は、長尺であり、長手方向Ａに沿って半導体ウェハの周縁部に嵌め込む溝４が形成されている。ウェハ保護部材２を、溝４に半導体ウェハの周縁部に嵌合させながら取り付け、その後にウェハ保護部材２を熱硬化させる。これによって、半導体ウェハを保護することができる。ウェハ保護部材２は樹脂材料で形成されているため、低コストで製造することができ、半導体ウェハ毎に使い捨てることができる。 （もっと読む）

本明細書では、眼用レンズのパッケージを分与する装置及びそれを使用する方法を説明する。
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【課題】FIMSシステムにおいてポッド開口を蓋によって閉鎖する動作時に当該蓋が適切にポッドに固定されていることを検知する方法を提供する。
【解決手段】ポッドに対して蓋を取り付ける際にドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、更に蓋をポッドに係止させた後に再度ドアが所定の位置に存在するか否か及びポッドが蓋開閉位置からの変位の有無を判定し、何れの判定においてもドアが所定位置に存在し且つポッドが変位しないことが確認された場合に、蓋の固定が適切であると判定する。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰ用Ｎ２パージシステムに関するもので、ＦＯＵＰ内をＮ２ガスに置換するときに、外部の塵またはケミカルガスの浸入を抑え、Ｎ２ガスに対する安全性を高めるとともに、Ｎ２ガスへの置換時間を短縮する。
【解決手段】ＦＯＵＰ１内へＮ２ガス２１を圧入し、もう一方のブレスフィルター部４よりＦＯＵＰ１内の残留ガス２５を強制的に吸引する方法で、ＦＯＵＰ１内部が外気に対して常に陽圧の状態に維持され、ＦＯＵＰ１のＮ２ガス置換中に外部からの塵およびケミカルガスのＦＯＵＰ１内への浸入を防ぐ。さらに、Ｎ２ガス置換中にＦＯＵＰ１内の圧力の上昇が一定に保たれ、隙間から漏洩するＮ２ガス流量も極少量に一定に保たれるため、Ｎ２ガス２１の供給量を増加させて、ＦＯＵＰ１内のＮ２ガス置換時間の短縮を図る。 （もっと読む）

【課題】収納、搬送、組み立て時まで一貫して使用できるうえ、歯車を容易且つ速やかに、しかもがたつきを抑えながら決まった向きで収納することができ、異物の付着、変形や傷が付いてしまうことを未然に防止し、さらに摘み上げる作業性を格段に向上すること。
【解決手段】円板状の歯車本体、及び歯車本体の中心に設けられた軸部を有する歯車を収納するトレーであって、平板状のトレー本体２と、トレー本体の少なくとも上面４側に開口すると共に、上面側の開口端部３ａの内径Ｗ２が歯車本体の直径Ｗ１よりも大きくなるようにトレー本体に形成され、歯車を、歯車の軸部がトレー本体の上下方向Ｄ１に沿った状態で収納する収納孔部３と、を備え、収納孔部を画成する内周面６の少なくとも一部には、上面側から下面７側に向かうに連れて縮径すると共に、下端の内径Ｗ３が歯車本体の直径よりも小さいテーパ面８が形成されている歯車用収納トレー１を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハが撓むことなく支持できるとともに、当該半導体ウエハを外部から遮蔽した状態で収納することのできる半導体ウエハ収納キャリアを提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷを支持する支持体１２と、この支持体１２を介して半導体ウエハＷを収納するキャリア本体１１とにより半導体ウエハ収納キャリア１０が構成されている。キャリア本体１１は、開口部１８が形成されているとともに、側壁１４の内面に左右一対の受け部２０が形成されている。支持体１２は、半導体ウエハＷを支持する支持部２５と、この支持部２５の一端側に連なる遮蔽部２６とを備え、支持部２５が受け部２０上を摺動することでキャリア本体１１に対して出し入れされる。 （もっと読む）

【課題】例え基板の撓み量が大きい場合でも、容器本体の大型化や基板の破損を抑制することができ、しかも、基板の位置ずれを防いで円滑に取り出すことのできる基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法を提供する。
【解決手段】複数枚の丸く薄い半導体ウェーハ１を整列収納する容器本体１０を正面が開口したフロントオープンボックスに形成してその内底面には半導体ウェーハ１の周縁部２の下方を縦に支持する第一の支持ブロック１６を設け、容器本体１０の背面壁２４内面には、半導体ウェーハ１の周縁部２の上部後方を縦に支持する第二の支持ブロック２３を設ける。容器本体１０内に半導体ウェーハ１が起立して支持されるので、例え半導体ウェーハ１が撓み量の大きいφ４５０ｍｍタイプの場合でも、半導体ウェーハ１の撓みを防ぎ、容器本体１０の大型化を防止してスペースの有効利用を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】コンテナ部材内の汚染防止、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化、ドア部材の薄型化を図る。
【解決手段】ドア部材２をコンテナ部材１に係合する係合手段３を、ドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段３を、シャフト部材４と、シャフト部材４をコンテナ部材１側に軸支する支持部５と、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂとを有する構成とし、シャフト部材４の軸線方向の移動に連動しシャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する係合位置と解除位置とを移動する構成とし、このように係合手段３をドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段をドア部材に内蔵する構成としないことで、ドア部材２内に汚染物が溜まるのを無くし且つドア部材２を分解しないで係合手段３の点検、補修、洗浄を行い且つドア部材２内に係合手段を収容する空間を不要とする。 （もっと読む）

【課題】収納部がより密集した状態で数多く配置され、一度に多くの被収納物を効率良く収納すること。
【解決手段】複数の被収納物を収納するトレーであって、薄板１０と、薄板の上面側が開口となるように薄板に凹み形成され、被収納物を内部に収納する複数の有底状の収納部１１と、を備え、複数の収納部が、少なくとも隣り合う他の１つの収納部に対して近接するように配置され、共通の連通溝１２を介して互いの凹みが部分的に繋がっている収納トレー１を提供する。 （もっと読む）

【課題】光学成形品を保護できるようにする。
【解決手段】ストッカー４０は、上部材４１と、下部材４２とを備える。上部材４１が下部材４２に重なって接合することで、穴４０ａがストッカー４０に形成される。穴４０ａには、突条４２ａ，４２ｂ，４２ｃが形成されている。穴４０ａに光学成形品８を差し込む。この際、光学成形品８の突条１６，１６の間に突条４２ｂが挟まれる。また、レンズ部１１は、突条４２ｃから離れている。このように、複数の光学成形品を順次４０ａに差し込んでいくことで、複数の光学成形品をストッカー４０に収納する。 （もっと読む）

【課題】FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）

【課題】物品の汚染を抑制し、容器本体や蓋体に関する水分放出量を低減し、しかも、十分な機械的強度を確保できる収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、この容器本体１の開口した正面部を着脱自在に開閉する蓋体２０とを備え、容器本体１を樹脂混合物含有の成形材料により射出成形する。成形材料の樹脂混合物を、溶融粘度が相対的に高い樹脂と低い樹脂とを混合することにより調製し、溶融粘度が相対的に低い樹脂を低吸水率及び低透湿性の樹脂とし、この溶融粘度が相対的に低い樹脂により、容器本体１の周壁３の内外面を形成する。 （もっと読む）