【課題】エピタキシャル成長前の表面処理（エッチング処理、洗浄処理、乾燥処理）において、半導体ウェハの表面パーティクル数が増大するのを効果的に抑制し、表面パーティクル数が少ない半導体ウェハを実現できる技術を提供する。
【解決手段】ウェハカセットを、当該ウェハカセットの前面を構成する前方支持体と、前方支持体に対向配置され、当該ウェハカセットの背面を構成する後方支持体と、収容される半導体ウェハを下方に案内する上溝部を有し、前方支持体と後方支持体を上部で連結する上側部フレームと、上溝部に対応して設けられ、収容される半導体ウェハを支持する下溝部を有し、前方支持体と後方支持体を下部で連結する下側部フレームとを備えた構成とする。上側部フレームと下側部フレームの間が開口し、側部周縁が開放された状態で半導体ウェハを収容可能となっている。 （もっと読む）

【課題】回収費用や洗浄費用を削減して、磁気ディスク用基板の製造コストを低減することができる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】使い捨て可能な梱包材で、ＲＴＰ基板Ｗが収納されるケース本体２と、ケース本体２内においてＲＴＰ基板Ｗを位置決め状態で保持する保持部６とを形成し、保持部６は、シート材に施された折り目によって蛇腹状に形成され、ケース本体２の少なくとも一対の対向面において、ＲＴＰ基板Ｗの外周縁部を保持することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 蓋の開閉機構の制約から弁部材の配置に制約が生じる問題がある。
【解決手段】 開口を有する本体容器と、開口を密閉する蓋部材であって、蓋部材の側面上に刻設される細長い第一溝と、第一溝の一端に、開口に挿嵌された際における蓋部材の内面と連通するように延在する第二溝とを有する係合溝を備える蓋部材と、第一溝に沿って摺動可能であって、蓋部材の開口への挿嵌に伴って第二溝を通って係合溝内に進入する係合部材を有するラッチ機構と、ポッド内外と流体的に連通し、不活性ガス供給管と接合された際に、不活性ガスをポッド内に導入可能な給気弁部材と、不活性ガスをポッド内から排気可能な排気弁部材とを備え、ラッチ機構は、係合溝内に進入した後に、第一溝に沿って移動して第一溝の他端まで係合部材が到達することにより、蓋部材を容器本体に固定し、給気弁部材は蓋部材に取り付けられる処理基板収納ポッドにより解決する。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな装置を特に必要とすることなく、簡単な構成によって、基板の収納空間に気流を生じさせ、内部をクリーンな状態に保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に取り付けられた搬送部材とを備える基板収納容器であって、前記基板収納容器の搬送時に、空気を前記基板収納容器内に取り込む吸い込み口と、前記吸い込み口から流入する空気をろ過するろ過手段と、前記基板収納容器内の空気を外部に排気する排気口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】ウエハー容器内を容易にパージできる方法を提供する。
【解決手段】ウエハー容器の内部と外部を連通する流路と、該ウエハー容器の外側に露出した着座面と、を提供する弾性材で作られたグロメット１２４，１２５にパージガス源を連結する段階、及びパージガスをウエハー容器に導入する段階を備えた方法で達成する。 （もっと読む）

【課題】 乱れの無い安定した層流状態の置換ガスの流れを得るには、供給管における置換ガスの圧力変動を断つ必要がある。
【解決手段】 基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、該蓋部材の内部に画定されるバッファ空間と、該バッファ空間に置換ガスを供給するための給気ポートと、前記本体容器の開口に挿嵌された状態において、該本体容器の中空部に対向する該蓋部材の内面と該バッファ空間との間に連通するように配置され、該バッファ空間に供給された置換ガスを該中空部に送出する複数の孔とを備える基板収納ポッドにより解決する。 （もっと読む）

【課題】 減圧環境下であっても変形を回避でき、収納された基板の信頼性ある保管を実現できる基板収納容器を提供することにある。
【解決手段】 ボトムプレートと、前記ボトムプレートに載置される基板収納カセットと、前記基板収納カセットを被って前記ボトムプレート上に配置されるシェルとを備える。前記シェルは、前記ボトムプレート側の一端が開口され、他端が閉じられた天面を有する円筒形状をなしている。前記天面は、外側に凸面となるドーム状の湾曲面となっているとともに、前記シェルの周側面とのコーナにＲ加工がなされている。前記ボトムプレートと前記シェルによって形成される容器内を真空環境から大気圧の環境に変化させた際に最大変形量が１ｍｍ以下となる。 （もっと読む）

【課題】保存しているコンタクトレンズの殺菌汚染を効果的に阻止する。
【解決手段】コンタクトレンズを保存する保存ケースの下に、表面又は全体が抗菌性を有する抗菌プレートを敷設し、この抗菌プレートの上にコンタクトレンズを保存している保存ケースを載せて保存しているコンタクトレンズを細菌汚染から防止する。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を排除し、基板を高精度に支持でき、しかも、基板に関する作業の簡素化や容易化を図り得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】ガラスウェーハＷ収納用の容器本体１と、ガラスウェーハＷをサポートするサポート治具３０とを備え、容器本体１の内部両側に、ガラスウェーハＷとサポート治具３０を水平支持可能な支持体５を配設したもので、支持体５は、ガラスウェーハＷ用の支持片７を備え、支持片７の前部に、ガラスウェーハＷの飛び出しを規制する段差部８を形成し、支持片７の後部に、ガラスウェーハＷの収納位置を規制する位置規制壁９を形成する。サポート治具３０は、ガラスウェーハＷに対向する治具本体３１と、治具本体３１に形成されて容器本体１の上下方向に湾曲する屈曲支持部３２・３２Ａと、治具本体３１の両側端部に突出形成されて支持片７に支持される平坦なレール３６とを備え、段差部８と位置規制壁９に挟持される。 （もっと読む）

【課題】 包装部材が容易にケースから外れないようにする。
【解決手段】 電子機器を包装可能な包装部材と、当該包装部材を挿入可能であり且つ弾性部材により形成されたケースと、からなる包装部材及びケースであり、前記ケースは前記包装部材を挿入する方向へ空洞となっており、且つ、前記空洞の少なくとも一側面には開口が形成されており、前記包装部材の一側面には、前記開口へと係合可能な凸部が形成されており、前記包装部材を前記ケースへ挿入すると、前記ケースの弾性力により前記ケースの一側面が前記凸部により外方へ広がり、更に挿入を続けると前記凸部が前記包装部材の一側面内側を摺動し、更に挿入を続けると、前記包装部材の凸部が前記ケースの開口へと係合することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 検査中に平滑性が悪化する恐れのない収納体を提供する。
【解決手段】本発明の収納体は、可視光の透過率が５０％以上であるカバー３３ａ、３３ｂを有しており、カバー３３ａ、３３ｂは、厚さ２ｍｍにおける可視光の透過率が５０％以上、７０％以下であるポリプロピレンで構成されている。 （もっと読む）

【課題】搬送時の揺れや振動等によって衝撃が加わってもレンズを傷つけないように保持する。
【解決手段】容器２は、凹陥部１１と、支持部１２と、８つの保持部２２とを備える。凹陥部１１は、レンズの径よりも小さい径の開口を有しており、この凹陥部１１の周縁には、レンズの周縁部を支持する支持部１２が設けられている。保持部２２は、支持部１２に連続して凹陥部１１とは反対側に突出すると共に、レンズの外周面に加圧接触する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ウェハ収納カセットからウェハが脱落することを簡易な方法で防止できるウェハ収納カセットと、ウェハ収納カセットから容易にウェハを出し入れできるウェハ搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】一対の側板と、上記一対の側板の内壁に形成された収納溝と、上記一対の側板の開放面でありウェハを出し入れするためのウェハ出入面とを有する。そして、上記一対の側板の底部は、上記ウェハ出入面側に角部を有しており、上記ウェハ出入面と反対側には角のない丸角部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】撓み易い基板を高い寸法精度で支持し、蓋体のフロントリテーナに基板を適切に保持させ、基板のローディング等に支障を来たしたり、基板損傷のおそれを払拭できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷ収納用の容器本体１と、容器本体１を開閉する蓋体２０を備え、容器本体１に、半導体ウェーハＷを水平に支持する支持体３０を配設し、蓋体２０に、半導体ウェーハＷの前部周縁両側を保持する一対のフロントリテーナ３４を装着する。半導体ウェーハＷをローディング・アンローディングする方向における半導体ウェーハＷの中心線を中心線Ｙとし、中心線Ｙと直交する中心線を中心線Ｘとした場合、容器本体１の側壁７に対する支持体３０の配設領域を、中心線Ｘに対して前部３２側が２０°〜３０°、中心線Ｘに対して後部３３側が２０°〜５３°の範囲になるよう設定する。中心線Ｙを挟んで蓋体２０に装着する一対のフロントリテーナ３４の取り付け領域を、４０°〜１１０°の範囲とする。 （もっと読む）

【課題】容器本体に装着可能であり、基板支持部の寸法精度の向上を図り、基板支持部によって支持された基板の撓みを抑制することができる支持部材、及び支持部材を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の内面に設けられ基板を支持する支持部材５と、支持部材を容器本体に固定する支柱部材５１Ａ，５１Ｂとを有する基板収納容器であって、支持部材５は、基板を載置可能な複数の支持片６１を有し、支柱部材５１Ａ，５１Ｂは、支持片６１を所定間隔で挟持する複数の棚部５２を有し、支持片６１は、棚部５２間に嵌入されている。これにより、複数の支持片６１が支柱部材５１Ａ，５１Ｂとは、別部材として形成されているため、支持片６１の成形が容易となり寸法精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板収納容器を保管中の工場で火災が発生したときに、延焼を抑制可能な基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体２と、容器本体の開口をシールガスケット部材２１によってシール可能に閉鎖する蓋体３と、容器本体の外表部に取りつけられる搬送部品とを有する基板収納容器１であって、前記容器本体２と前記蓋体３、並びに前記搬送部品の何れもが自己消火性の材料から形成する基板収納容器１。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体ウェーハの移送のためのコンテナの向上に関する。
【解決手段】ウェーハの側部保護の向上と、回転を最小化するために向上したカバー設計、簡単な上部カバー配向機構、自動化のために向上した下部保持機構を有する。ウェーハの側部保護は、内壁と外壁を複合的にずらせることによって得る。回転を最小化するために向上したカバー設計は、運搬や移動の際上下部のハウジングのアライメントと、ハウジング回転を最小化することによって得る。ハウジングは、双方向にロッキングでき、壁に埋め込まれたタブランプフィーチャーを有し、この双方向のロッキングは二つのハウジングがアセンブルされた際に、格納装置の剛性も向上させる。ラッチ機能は、保護ラッチウェル内に配置され、不注意でラッチが開口する事態を最小化する。自動化のために向上した下部保持機構は、下部ハウジングに形成され、二次的な操作ではアセンブリされない、統合されたフィーチャーである。 （もっと読む）

【課題】容器本体を成形するための設備の大型化を抑制し、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体の大型化を図ることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】開口２ａを有し基板Ｗを収納する容器本体２と、容器本体２の開口２ａを閉鎖する蓋体３と、搬送用のフランジ部品４とを有する基板収納容器１において、容器本体２を、複数のパーツ７〜９に分割して形成し、分割された複数のパーツ７〜９を組み立てることで一体化する。このように、容器本体２を複数のパーツに分割することで、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体２の大型化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】容器本体内にウエハーを収納して搬送を行なう場合に、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動により、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうことがある。
【解決手段】半導体ウエハー３０を保護する防塵シート３１と前記半導体ウエハー３０とを、容器本体内に収納された摩擦シート２１上に交互に積層して収納する。この摩擦シート２１は、当該摩擦シート２１と当接する防塵シート３１の回転を防止する摩擦係数を有する。 （もっと読む）